CN115056231B - 半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法和装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法和装置，方法包括：响应于用户输入的机械臂运行速率控制指令，确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型；基于机械臂运行速率控制指令确定机械臂运行速率期望值，并基于机械臂运行速率期望值以及待执行动作的第一类型和第二类型，确定待执行动作的运行速率指导值；基于待执行动作的运行速率指导值向机械臂发送运动控制指令，并获取机械臂上传的位置信号；基于位置信号确定机械臂的当前位置及当前运行速率，并匹配调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率，能够保证半导体设备的安全高效生产。

Description

半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法和装置

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法和装置。

背景技术

半导体设备在工作过程中会通过相应的软件界面展示与机械臂实际运动过程对应的虚拟动画，以便工作人员确定机械臂的工作状态以及半导体设备的整体工艺进度。所述机械臂虚拟动画是上位机软件基于机械臂的控制指令生成的，所述机械臂的控制指令用于指示机械臂待执行的目标工艺节点以及执行所述目标工艺节点对应的机械臂运行速率，基于所述机械臂待执行的目标工艺节点以及对应的机械臂运行速率，软件即可生成对应的虚拟动画。

然而，虚拟动画的生成是建立在机械臂按要求准确执行控制指令的基础上的，即机械臂按照控制指令指示的目标工艺节点和运行速率执行动作。然而在实际工艺过程中，由于机械臂运行时存在机械阻力，因此其实际的运行速率往往低于控制指令指示的运行速率，即机械臂的实际运行速率与期望值（即控制指令指示的运行速率）会存在偏差，且该偏差会随着工艺的进行不断累计。而虚拟动画中机械臂的运动是基于期望值生成的，随着工艺的进行，会造成机械臂虚拟动画与机械臂实际运动过程不同步（即运动过程不匹配）的情况：例如机械臂实际正在执行将目标晶圆取出晶圆盒的动作，并且此时尚未拾取目标晶圆，但虚拟动画显示机械臂已经取出目标晶圆并回归原始位置，此时，上位机软件基于虚拟动画中机械臂的当前状态，将向机械臂发送将目标晶圆放入目标反应腔体的控制指令。但在当前情况下，机械臂实际上尚未拾取目标晶圆，因此，其无法执行将目标晶圆放入目标反应腔体的动作，从而造成软件控制逻辑冲突，进而卡死报错。同时，接上述情形，若机械臂在已经拾取目标晶圆，但尚未回归原始位置的情况下，接收到将目标晶圆放入目标反应腔体的控制指令并执行，将可能造成机械臂运行过程中与其它设备碰撞，进而导致晶圆或设备的损坏。

基于上述情形，如何在半导体设备工作过程中兼顾工艺效率、软件安全和设备安全成为当前业界亟待解决的技术问题。

发明内容

本申请提供一种半导体设备机械臂运动和动画速率匹配方法和装置，以用于在半导体设备工作过程中兼顾工艺效率、软件安全和设备安全，保证半导体设备安全高效生产。

本申请提供一种半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法，所述方法包括：

响应于用户输入的机械臂运行速率控制指令，确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型；

基于所述机械臂运行速率控制指令确定对应的机械臂运行速率期望值，并基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值；

基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，并获取所述机械臂上传的位置信号；

基于所述位置信号确定所述机械臂的当前位置及当前运行速率，并基于所述机械臂的当前位置及当前运行速率，匹配调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率。

根据本申请提供的一种半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法，所述第一类型包括有晶圆动作和无晶圆动作，所述第二类型包括旋转、移动和伸缩动作，相应的，所述基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，具体包括：

若所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型为无晶圆动作，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为机械臂运行速率的上限值；

若所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型为有晶圆动作，基于第二类型确定机械臂运行速率阈值，并基于所述机械臂运行速率期望值与所述机械臂运行速率阈值的对比结果，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值。

根据本申请提供的一种半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法，所述基于所述机械臂运行速率期望值与所述机械臂运行速率阈值的对比结果，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，具体包括：

若所述机械臂运行速率期望值小于所述机械臂运行速率阈值，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为所述机械臂运行速率期望值；否则，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为所述机械臂运行速率阈值。

根据本申请提供的一种半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法，所述基于第二类型确定机械臂运行速率阈值，具体包括：

若所述第二类型为伸缩动作，所述机械臂运行速率阈值为第一机械臂运行速率阈值；

若所述第二类型为旋转或移动动作，所述机械臂运行速率阈值为第二机械臂运行速率阈值；

其中，所述第一机械臂运行速率阈值大于所述第二机械臂运行速率阈值。

根据本申请提供的一种半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法，所述半导体设备机械臂的待执行工艺节点是基于预设的工艺流程确定的，所述待执行工艺节点对应的待执行动作是将所述待执行工艺节点对应的机械臂动作进行拆分得到的分解动作。

根据本申请提供的一种半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法，所述基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，具体包括：

基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，生成运动控制指令，并向所述机械臂发送运动控制指令；所述运动控制指令用于指示机械臂的待执行动作以及所述待执行动作对应的运行速率。

根据本申请提供的一种半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法，所述位置信号是所述机械臂基于预设周期上传的，所述机械臂的当前位置指机械臂当前时刻各部位所处的位置。

本申请还提供一种半导体设备机械臂和动画的运动匹配装置，所述装置包括：

动作类型确定模块，用于响应于用户输入的机械臂运行速率控制指令，确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型；

运行速率指导值确定模块，用于基于所述机械臂运行速率控制指令确定对应的机械臂运行速率期望值，并基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值；

运动控制模块，用于基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，并获取所述机械臂上传的位置信号；

运动匹配模块，用于基于所述位置信号确定所述机械臂的当前位置及当前运行速率，并基于所述机械臂的当前位置及当前运行速率，匹配调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率。

本申请还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法的步骤。

本申请还提供一种计算机程序产品，包括计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法的步骤。

本申请提供的半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法与装置，响应于用户输入的机械臂运行速率控制指令，确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型；基于所述机械臂运行速率控制指令确定对应的机械臂运行速率期望值，并基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值；基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，并获取所述机械臂上传的位置信号；基于所述位置信号确定所述机械臂的当前位置及当前运行速率，并基于所述机械臂的当前位置及当前运行速率，匹配调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率。能够保证机械臂与动画的运动匹配，避免软件控制逻辑冲突导致的卡死报错以及晶圆或设备的损坏，同时基于机械臂运行速率的控制，最大限度提高半导体设备的工艺效率，保证半导体设备的安全高效生产。

附图说明

为了更清楚地说明本申请或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请提供的半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法的流程示意图；

图2是本申请提供的半导体设备机械臂和动画的运动匹配装置的结构示意图；

图3是本申请提供的电子设备的结构示意图。

具体实施方式

为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请中的附图，对本申请中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

半导体设备在工作过程中会通过相应的软件界面展示与机械臂实际运动过程对应的虚拟动画，以便工作人员确定机械臂的工作状态以及半导体设备的整体工艺进度。所述机械臂虚拟动画是上位机软件基于机械臂的控制指令生成的，所述机械臂的控制指令用于指示机械臂待执行的目标工艺节点以及执行所述目标工艺节点对应的机械臂运行速率，基于所述机械臂待执行的目标工艺节点以及对应的机械臂运行速率，软件即可生成对应的虚拟动画。

然而，虚拟动画的生成是建立在机械臂按要求准确执行控制指令的基础上的，即机械臂按照控制指令指示的目标工艺节点和运行速率执行动作。然而在实际工艺过程中，由于机械臂运行时存在机械阻力，因此其实际的运行速率往往低于控制指令指示的运行速率，即机械臂的实际运行速率与期望值（即控制指令指示的运行速率）会存在偏差，且该偏差会随着工艺的进行不断累计。而虚拟动画中机械臂的运动是基于期望值生成的，随着工艺的进行，会造成机械臂虚拟动画与机械臂实际运动过程不同步（即运动过程不匹配）的情况：例如机械臂实际正在执行将目标晶圆取出晶圆盒的动作，并且此时尚未拾取目标晶圆，但虚拟动画显示机械臂已经取出目标晶圆并回归原始位置，此时，上位机软件基于虚拟动画中机械臂的当前状态，将向机械臂发送将目标晶圆放入目标反应腔体的控制指令。但在当前情况下，机械臂实际上尚未拾取目标晶圆，因此，其无法执行将目标晶圆放入目标反应腔体的动作，从而造成软件控制逻辑冲突，进而卡死报错。同时，接上述情形，若机械臂在已经拾取目标晶圆，但尚未回归原始位置的情况下，接收到将目标晶圆放入目标反应腔体的控制指令并执行，将可能造成机械臂运行过程中与其它设备碰撞，进而导致晶圆或设备的损坏。

同时，现有的半导体设备工艺过程中，机械臂通常基于控制指令指示的运行速率运动，即整个工艺过程中，机械臂始终采用该运行速率运动。所述控制指令指示的运行速率通常为系统默认值，该默认值会设置得较低，以确保半导体设备的工艺安全性。然而采用该保守的控制方式将导致半导体设备的整体工艺效率偏低。

基于上述情形，如何在半导体设备工作过程中兼顾工艺效率、软件安全和设备安全成为当前业界亟待解决的技术问题。针对该技术问题，本申请提出一种半导体设备机械臂运动和动画速率匹配方法和装置，以用于在半导体设备工作过程中兼顾工艺效率、软件安全和设备安全，保证半导体设备的安全高效生产。

图1为本申请提供的半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法的流程示意图，如图1所示，该方法包括：

步骤S101，响应于用户输入的机械臂运行速率控制指令，确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型。

具体的，通常情况下，在半导体设备工艺之前，会预先确定工艺过程中机械臂的运行速率（即前述系统默认值）。确定机械臂的运行速率之后，后续工艺过程中，机械臂将始终采用该运行速率默认值进行运动。可以理解的是，所述运动包括晶圆的取放操作（即从晶圆盒或反应腔体中取出晶圆，以及向晶圆盒或反应腔体中放入晶圆）。基于前述内容可知，该种方式将导致半导体设备的整体工艺效率偏低的问题。基于此，出于提高半导体设备工艺效率的考虑，本申请实施例采用用户设定机械臂运行速率的方式以提高机械臂运行速率控制的灵活性，用户可以在半导体设备工艺之前或工艺过程中输入机械臂运行速率控制指令，以控制机械臂按照所述机械臂运行速率控制指令指示的运行速率进行运动。可以理解的是，所述机械臂运行速率控制指令指示的运行速率大于前述系统默认值，基于此，可以提高半导体设备的整体工艺效率。

进一步的，本申请发明人研究发现，机械臂在执行不同动作时，对于其运行速率的限制也不同，例如在机械臂拾取晶圆动作时，需要保证机械臂以相对较低的运行速率运动，以避免晶圆意外损坏，而在机械臂未拾取晶圆动作时，机械臂则可以采用相对较高的运行速率运动，而不用担心晶圆意外损坏。基于此，本申请实施例将晶圆不同工艺节点对应的机械臂动作进行拆分，并将拆分后的动作进行分类，以基于用户输入的机械臂运行速率控制指令，为不同类型的拆分动作分配差异化的运行速率，在保证半导体设备工艺安全性的前提下，进一步提高机械臂的整体运行速率，进而提供半导体设备的工艺效率。具体的，半导体设备机械臂和动画的运动匹配装置接收到用户输入的机械臂运行速率控制指令后，基于预设的工艺流程确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型，以便后续为各待执行动作分配运行速率。其中，所述机械臂的待执行工艺节点包括晶圆取出节点和晶圆放入节点，相应的，根据作用对象的不同，晶圆取出节点和晶圆放入节点可进一步区分，所述待执行工艺节点与半导体设备的工艺流程相对应，例如，从晶圆盒中取出未加工的晶圆为A工艺节点，将晶圆盒中取出的未加工的晶圆放入反应腔体中为B工艺节点，从反应腔体中取出加工完成的晶圆为C工艺节点，将反应腔体中取出的加工完成的晶圆放入冷却腔中为D工艺节点，依此类推，由于不同半导体设备的工艺流程对应的工艺节点众多，因此此处不做穷举。可以理解的是，所述预设的工艺流程中包括半导体设备工艺过程中各组成部分对应的工艺节点（除机械臂外，还包括反应腔体等其它组成部分），且各工艺节点按照预先确定的加工时序依次排列以控制各组成部分协同工作实现晶圆的连续工艺。基于此，基于用户输入机械臂运行速率控制指令时机械臂的工作状态（即当前工艺节点）以及所述预设的工艺流程即可快速确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点。

确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点之后，即可进一步确定所述待执行工艺节点对应的待执行动作及所述待执行动作的第一类型和第二类型。具体的，所述第一类型包括有晶圆动作和无晶圆动作，所述第二类型包括旋转、移动和伸缩动作。本申请实施例为了在保证工艺安全的基础上最大限度提高半导体设备的工艺效率，充分挖掘机械臂执行不同动作时对应的运行速率要求，得到了上述第一类型和第二类型的分类原则，并基于上述分类原则对半导体设备机械臂的待执行工艺节点对应的机械臂动作进行拆分以得到对应的待执行动作。例如，对于上述A工艺节点，其对应的机械臂动作为从晶圆盒中取出未加工的晶圆，可以基于上述分类原则将其拆分为以下分解动作（即对应的待执行动作）：动作1、机械臂上升或者下降以对准要取的晶圆；动作2、机械臂伸进晶圆盒取晶圆；动作3、机械臂取到晶圆后携带晶圆返回初始位置。确定分解动作之后，即可快速确定不同分解动作的第一类型和第二类型。具体的，对于该示例，动作1的第一类型为无晶圆动作，第二类型为移动动作；动作2的第一类型为无晶圆动作，第二类型为伸缩动作；动作3的第一类型为有晶圆动作，第二类型为伸缩动作，确定了待执行动作的第一类型和第二类型后，即可为不同的待执行动作分配对应的运行速率。

可以理解的是，对于一批晶圆的工艺过程，机械臂对应有多个待执行工艺节点，基于所述预设的工艺流程可以快速确定机械臂对应的多个待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型，以便对机械臂全流程中的运行速率进行精细化控制。

步骤S102，基于所述机械臂运行速率控制指令确定对应的机械臂运行速率期望值，并基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值。

具体的，基于前述内容可知，所述机械臂运行速率控制指令用于指示机械臂运行速率，因此，基于所述机械臂运行速率控制指令即可确定对应的机械臂运行速率期望值（即期望机械臂达到的运行速率），确定机械臂运行速率期望值之后，再基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，即可确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值。可以理解的是，所述运行速率指导值即最终确定的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率值，后续将基于运行速率指导值向机械臂发送运动控制指令，以控制机械臂基于对应的运行速率指导值指示的运行速率执行所述待执行动作。基于此，可以在综合考虑用户需求以及工艺安全性的基础上，最大限度地提高机械臂的运行速率，进而提高半导体设备的整体工艺效率。

步骤S103，基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，并获取所述机械臂上传的位置信号。

具体的，基于前述内容可知，半导体设备机械臂和动画的运动匹配装置确定了所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值之后，即可基于所述运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，以控制机械臂基于所述运行速率指导值指示的运行速率执行所述待执行动作。同时，针对前述机械臂虚拟动画与机械臂实际运动过程不匹配造成软件控制逻辑冲突，进而导致软件卡死报错以及晶圆或设备损坏的问题，本申请实施例半导体设备机械臂和动画的运动匹配装置在向所述机械臂发送运动控制指令之后，进一步获取所述机械臂上传的位置信号，以基于所述机械臂上传的位置信号，对虚拟动画中机械臂的位置和运行速率进行调整，进而确保半导体设备机械臂和动画的运动匹配，避免软件卡死报错以及晶圆或设备损坏的问题。可以理解的是，所述位置信号包括机械臂的位置信息，所述位置信息为机械臂的三维位置信息，即机械臂各个部件的位置，以便对虚拟动画中的机械臂位置进行精确调整。所述机械臂的位置信息可以通过传感器或图像采集设备获取，也可以通过其它可行的方式获取，本申请实施例对此不作具体限定。所述机械臂可以基于预设周期上传所述位置信号，当然也可以实时上传所述位置信号，本申请实施例对此不作具体限定。

步骤S104，基于所述位置信号确定所述机械臂的当前位置及当前运行速率，并基于所述机械臂的当前位置及当前运行速率，匹配调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率。

具体的，基于前述内容可知，基于所述位置信号即可确定所述机械臂的当前位置。无论所述位置信号是基于预设周期上传还是实时上传，均可根据预设时段内机械臂的位置变化量计算得到机械臂的当前运行速率。获取所述机械臂的当前位置及当前运行速率之后，即可对应调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率以确保半导体设备机械臂和动画的运动匹配。基于本申请实施例的方案，半导体设备机械臂和动画的运动匹配装置能够获取能够准确获取所述机械臂的当前位置及当前运行速率，进而匹配调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率，确保两者始终保持同步，从而避免软件控制逻辑冲突，进而卡死报错的情况。同时，基于所述机械臂的当前位置及当前运行速率能够准确判断机械臂的当前状态，以便执行准确的运动控制，避免机械臂运行过程中与其它设备碰撞，进而导致晶圆或设备的损坏。

本申请实施例提供的方法，响应于用户输入的机械臂运行速率控制指令，确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型；基于所述机械臂运行速率控制指令确定对应的机械臂运行速率期望值，并基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值；基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，并获取所述机械臂上传的位置信号；基于所述位置信号确定所述机械臂的当前位置及当前运行速率，并基于所述机械臂的当前位置及当前运行速率，匹配调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率。能够保证机械臂与动画的运动匹配，避免软件控制逻辑冲突导致的卡死报错以及晶圆或设备的损坏，同时基于机械臂运行速率的控制，最大限度提高半导体设备的工艺效率，保证半导体设备的安全高效生产。

基于上述实施例，所述第一类型包括有晶圆动作和无晶圆动作，所述第二类型包括旋转、移动和伸缩动作，相应的，所述基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，具体包括：

若所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型为无晶圆动作，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为机械臂运行速率的上限值；

若所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型为有晶圆动作，基于第二类型确定机械臂运行速率阈值，并基于所述机械臂运行速率期望值与所述机械臂运行速率阈值的对比结果，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值。

具体的，本申请实施例综合考虑用户需求、工艺安全性以及工艺效率，基于用户需求以及不同待执行动作工艺安全性要求的差异，在确保工艺安全性的基础上，为各待执行动作分配最大的运行速率，以最大限度提高机械臂的运行速率，进而提高半导体设备的工艺效率。

更具体地，若所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型为无晶圆动作时，此时，机械臂运行过程中不存在晶圆损坏的风险，因此，此时可以将所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值设为机械臂运行速率的上限值，以使机械臂全速运行。

若所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型为有晶圆动作，此时机械臂显然不能以运行速率上限值运行，而应该设置相应的运行速率阈值，以确保机械臂运行过程中的安全性，避免损坏晶圆或设备。在此基础上，本申请实施例进一步基于待执行动作的第二类型确定机械臂运行速率阈值，即对于不同第二类型的待执行动作，设置不同的机械臂运行速率阈值，以在保证工艺安全性的基础上尽可能提高机械臂运行速率。

确定机械臂运行速率阈值之后，即可基于所述机械臂运行速率期望值与所述机械臂运行速率阈值的对比结果，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值。可以理解的是，基于所述机械臂运行速率期望值与所述机械臂运行速率阈值的对比结果，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，是为了避免因为用户的专业度不够或因为一时疏忽而输入了过大的机械臂运行速率期望值，从而导致机械臂以过高的运行速率运动，造成晶圆或设备损坏的问题。

值得注意的是，由于不同的待执行动作，其运行速率的表征方式有所不同，例如，对于移动和伸缩动作，运行速率通过位移速度表征，而对于旋转动作，运行速率通过角速度表征。基于此，本申请实施例中机械臂运行速率期望值、指导值和阈值均是以运行速率的上限值的百分比表示的，以解决不同待执行动作运行速率衡量标准不统一的问题，方便对不同待执行动作对应的机械臂运行速率进行统一控制，避免用户需要针对不同类型的待执行动作输入多个机械臂运行速率控制指令导致指令输入错误以及操作繁琐的问题，进一步提高半导体设备的工艺效率。

本申请实施例提供的方法，所述第一类型包括有晶圆动作和无晶圆动作，所述第二类型包括旋转、移动和伸缩动作，相应的，所述基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，具体包括：若所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型为无晶圆动作，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为机械臂运行速率的上限值；若所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型为有晶圆动作，基于第二类型确定机械臂运行速率阈值，并基于所述机械臂运行速率期望值与所述机械臂运行速率阈值的对比结果，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，能够基于待执行动作的类型为机械臂分配差异化的运行速率，在确保工艺安全性的前提下，最大限度提高半导体设备的工艺效率。

基于上述任一实施例，所述基于所述机械臂运行速率期望值与所述机械臂运行速率阈值的对比结果，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，具体包括：

若所述机械臂运行速率期望值小于所述机械臂运行速率阈值，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为所述机械臂运行速率期望值；否则，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为所述机械臂运行速率阈值。

具体的，若所述机械臂运行速率期望值小于所述机械臂运行速率阈值，理论上来说，出于提高机械臂运行效率的考虑，应将所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值设为机械臂运行速率阈值，但考虑到对于某些特殊晶圆的工艺，对应工艺安全性的要求很高，一旦晶圆损坏可能造成巨大的经济损失。基于此，本申请实施例并不会盲目的为待执行动作设置相对较高的运行速率，而是综合考虑用户需求与工艺效率，确保工艺安全性。因此，若所述机械臂运行速率期望值小于所述机械臂运行速率阈值，本申请实施例中所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为所述机械臂运行速率期望值，以尽可能确保工艺安全性。

同时，若所述机械臂运行速率期望值大于等于所述机械臂运行速率阈值，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为所述机械臂运行速率阈值，基于此，能够避免因为用户的专业度不够或因为一时疏忽而输入了过大的机械臂运行速率期望值，从而导致机械臂以过高的运行速率运动，造成晶圆或设备损坏的问题。

本申请实施例提供的方法，所述基于所述机械臂运行速率期望值与所述机械臂运行速率阈值的对比结果，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，具体包括：若所述机械臂运行速率期望值小于所述机械臂运行速率阈值，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为所述机械臂运行速率期望值；否则，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为所述机械臂运行速率阈值，能够最大限度确保工艺安全性，避免工艺过程中晶圆或设备损坏。可以理解的是，所述运行速率阈值可以根据晶圆的工艺类型以及晶圆的重要程度等因素进行调整，本申请实施例对此不作具体限定。

基于上述任一实施例，所述基于第二类型确定机械臂运行速率阈值，具体包括：

若所述第二类型为伸缩动作，所述机械臂运行速率阈值为第一机械臂运行速率阈值；

若所述第二类型为旋转或移动动作，所述机械臂运行速率阈值为第二机械臂运行速率阈值；

其中，所述第一机械臂运行速率阈值大于所述第二机械臂运行速率阈值。

具体的，本申请发明人通过研究发现，机械臂的伸缩动作通常对应于从目标腔体（晶圆盒或工艺腔室）中取出晶圆或将晶圆放入目标腔体的操作，在该过程中，机械臂存在与目标腔体的出入口碰撞的风险；而机械臂的旋转或移动操作通常分别对应于移动到目标腔体的出入口附近和对准目标腔体的出入口以便进出目标腔体的操作，在该过程中，机械臂与其它设备碰撞的风险较小。因此，本申请实施例基于待执行动作的第二类型确定机械臂的运行速率阈值时，基于不同的第二类型，为所述机械臂设置不同的运行速率阈值：若所述第二类型为伸缩动作，所述机械臂运行速率阈值为第一机械臂运行速率阈值，若所述第二类型为旋转或移动动作，所述机械臂运行速率阈值为第二机械臂运行速率阈值，值得注意的是，所述第一机械臂运行速率阈值大于所述第二机械臂运行速率阈值，以在保证工艺安全性的基础上，尽可能提高机械臂的运行速率，进而提高整体工艺效率。

本申请实施例提供的方法，所述基于第二类型确定机械臂运行速率阈值，具体包括：若所述第二类型为伸缩动作，所述机械臂运行速率阈值为第一机械臂运行速率阈值；若所述第二类型为旋转或移动动作，所述机械臂运行速率阈值为第二机械臂运行速率阈值；其中，所述第一机械臂运行速率阈值大于所述第二机械臂运行速率阈值。能够在保证工艺安全性的基础上，尽可能提高机械臂的运行速率，进而提高整体工艺效率。

基于上述任一实施例，所述半导体设备机械臂的待执行工艺节点是基于预设的工艺流程确定的，所述待执行工艺节点对应的待执行动作是将所述待执行工艺节点对应的机械臂动作进行拆分得到的分解动作。

具体的，其背后的原理以及具体的拆分方式在前述实施例已经进行了详细阐述，在此不再赘述。

本申请实施例提供的方法，所述半导体设备机械臂的待执行工艺节点是基于预设的工艺流程确定的，所述待执行工艺节点对应的待执行动作是将所述待执行工艺节点对应的机械臂动作进行拆分得到的分解动作，能够快速确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作，以便为不同的待执行动作分配对应的机械臂运行速率，能够提高半导体设备的工艺效率。

基于上述任一实施例，所述基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，具体包括：

基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，生成运动控制指令，并向所述机械臂发送运动控制指令；所述运动控制指令用于指示机械臂的待执行动作以及所述待执行动作对应的运行速率。

具体的，其背后的原理在前述实施例已经进行了详细阐述，在此不再赘述。

本申请实施例提供的方法，所述基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，具体包括：基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，生成运动控制指令，并向所述机械臂发送运动控制指令；所述运动控制指令用于指示机械臂的待执行动作以及所述待执行动作对应的运行速率。能够向机械臂发送准确的运动控制指令，以指示机械臂按照对应的运行速率执行所述待执行动作，确保机械臂准确执行各项工艺操作，进而保证半导体设备的工艺效率。

基于上述任一实施例，所述位置信号是所述机械臂基于预设周期上传的，所述机械臂的当前位置指机械臂当前时刻各部位所处的位置。

具体的，其背后的原理在前述实施例已经进行了详细阐述，在此不再赘述。

本申请实施例提供的方法，所述位置信号是所述机械臂基于预设周期上传的，所述机械臂的当前位置指机械臂当前时刻各部位所处的位置，能够准确确定机械臂的当前位置，以便对虚拟动画中的机械臂位置和运行速率进行调节，确保半导体设备机械臂和动画的运动匹配。

下面以一个具体的例子介绍所述半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法的具体过程。

通常情况下，晶圆的工艺是以批次为单位，即半导体设备工作一次需要处理一个批次的多个晶圆。对于同一批次的每个晶圆而言，其工艺步骤相同。所述预设的工艺流程中包括半导体设备工艺过程中各组成部分对应的工艺节点（除机械臂外，还包括反应腔体等其它组成部分），且各工艺节点按照预先确定的加工时序依次排列以控制各组成部分协同工作实现晶圆的连续工艺。对于一片晶圆而言，其对应的工艺流程依次包括以下工艺节点：机械臂从晶圆盒中取出未加工的晶圆、机械臂将晶圆盒中取出的未加工的晶圆放入反应腔体中、控制反应腔体对晶圆进行工艺、机械臂从反应腔体中取出加工完成的晶圆、机械臂将反应腔体中取出的加工完成的晶圆放入冷却腔中、控制冷却腔对晶圆进行冷却、机械臂从冷却腔中取出冷却完毕的晶圆、机械臂将冷却腔中取出的冷却完毕的晶圆放入冷却腔中，基于此，对于一片晶圆而言，所述方法的具体流程为：

步骤1、响应于用户输入的机械臂运行速率控制指令，确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型。

基于上述工艺流程可快速确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作。可以理解的是，用户可以在半导体设备工艺之前或工艺过程中输入机械臂运行控制指令，基于机械臂运行控制指令输入时机械臂所处的工艺节点及正在执行的动作（半导体设备机械臂和动画的运动匹配装置向机械臂发送运动控制指令时会在后台记录对应的待执行工艺节点以及待执行动作，因此，当机械臂运行控制指令输入时，即可快速确定机械臂当前所处的工艺节点及正在执行的动作），即可快速确定待执行工艺节点及对应的待执行动作。出于方便描述的考虑，以工艺之前接收到用户输入的机械臂运行速率控制指令指示的运行速率期望值为50%上限值为例进行阐述。

基于前述内容，确定的半导体设备机械臂的待执行工艺节点为：机械臂从晶圆盒中取出未加工的晶圆、机械臂将晶圆盒中取出的未加工的晶圆放入反应腔体中、机械臂从反应腔体中取出加工完成的晶圆、机械臂将反应腔体中取出的加工完成的晶圆放入冷却腔中、机械臂从冷却腔中取出冷却完毕的晶圆、机械臂将冷却腔中取出的冷却完毕的晶圆放入冷却腔中；相应的，对于机械臂从晶圆盒中取出未加工的晶圆的工艺节点（后续简称节点1），其对应的待执行动作及其第一类型和第二类型依次为：动作1.机械臂上升或者下降，对准要取的晶圆（第一类型为无晶圆动作，第二类型为移动动作），动作2.机械臂伸进晶圆盒，取晶圆（第一类型为无晶圆动作，第二类型为伸缩动作），动作3.机械臂取到晶圆后返回初始位置（第一类型为有晶圆动作，第二类型为伸缩动作）；对于机械臂将晶圆盒中取出的未加工的晶圆放入反应腔体中的工艺节点（后续简称节点2），其对应的待执行动作及其第一类型和第二类型依次为：动作4.机械臂带着晶圆旋转至面朝反应腔（第一类型为有晶圆动作，第二类型为旋转动作），动作5.机械臂上升或者下降，对准反应腔（第一类型为有晶圆动作，第二类型为移动动作），动作6.机械臂将晶圆送入反应腔内（第一类型为有晶圆动作，第二类型为伸缩动作），动作7.机械臂缩回至初始位置，方向仍然朝向反应腔（第一类型为无晶圆动作，第二类型为伸缩动作）；至于后续工艺节点对应的待执行动作的分解和分类规则依此类推，此处不做赘述。

步骤2、基于所述机械臂运行速率控制指令确定对应的机械臂运行速率期望值为50%上限值，并基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值。对于节点1而言，动作1-2为无晶圆动作，因此其对应的运行速率指导值为上限值；动作3第一类型为有晶圆动作，第二类型为伸缩动作，若其对应的第一机械臂运行速率阈值小于期望值（即50%以下），则运行速率指导值为所述第一机械臂运行速率阈值，否则，运行速率指导值为期望值。对于节点2而言，动作4第一类型为有晶圆动作，第二类型为旋转动作，动作5为第一类型为有晶圆动作，第二类型为移动动作，与动作3类似的，若其对应的若其对应的第二机械臂运行速率阈值小于期望值（即50%以下），则运行速率指导值为所述第二机械臂运行速率阈值，否则，运行速率指导值为期望值。值得注意的是，所述第二机械臂运行速率阈值大于所述第二机械臂运行速率阈值。动作6的类型与动作3相同，因此其运行速率指导值也与动作3相同，动作7的类型与动作2相同，因此其运行速率指导值也与动作2相同。

步骤3，基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，并获取所述机械臂上传的位置信号。可以理解的是，所述运动控制指令用于指示机械臂待执行动作及对应的运行速率指导值。

步骤4，基于所述位置信号确定所述机械臂的当前位置及当前运行速率，并基于所述机械臂的当前位置及当前运行速率，匹配调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率。

可以理解的是，由于半导体设备是对一批晶圆进行工艺，因此，上述步骤3-4会随着工艺流程的推进持续执行，直至完成全部晶圆的工艺。基于上述流程，能够保证机械臂与动画的运动匹配，避免软件控制逻辑冲突导致的卡死报错以及晶圆或设备的损坏，同时基于机械臂运行速率的控制，最大限度提高半导体设备的工艺效率，保证半导体设备的安全高效生产。

下面对本申请提供的半导体设备机械臂和动画的运动匹配装置进行描述，下文描述的半导体设备机械臂和动画的运动匹配装置与上文描述的半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法可相互对应参照。

基于上述任一实施例，图2为本申请提供的半导体设备机械臂和动画的运动匹配装置的结构示意图，如图2所示，该装置包括：

动作类型确定模块201，用于响应于用户输入的机械臂运行速率控制指令，确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型；

运行速率指导值确定模块202，用于基于所述机械臂运行速率控制指令确定对应的机械臂运行速率期望值，并基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值；

运动控制模块203，用于基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，并获取所述机械臂上传的位置信号；

运动匹配模块204，用于基于所述位置信号确定所述机械臂的当前位置及当前运行速率，并基于所述机械臂的当前位置及当前运行速率，匹配调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率。

本申请实施例提供的装置，响应于用户输入的机械臂运行速率控制指令，确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型；基于所述机械臂运行速率控制指令确定对应的机械臂运行速率期望值，并基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值；基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，并获取所述机械臂上传的位置信号；基于所述位置信号确定所述机械臂的当前位置及当前运行速率，并基于所述机械臂的当前位置及当前运行速率，匹配调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率。能够保证机械臂与动画的运动匹配，避免软件控制逻辑冲突导致的卡死报错以及晶圆或设备的损坏，同时基于机械臂运行速率的控制，最大限度提高半导体设备的工艺效率，保证半导体设备的安全高效生产。

基于上述实施例，所述第一类型包括有晶圆动作和无晶圆动作，所述第二类型包括旋转、移动和伸缩动作，相应的，所述基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，具体包括：

若所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型为无晶圆动作，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为机械臂运行速率的上限值；

若所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型为有晶圆动作，基于第二类型确定机械臂运行速率阈值，并基于所述机械臂运行速率期望值与所述机械臂运行速率阈值的对比结果，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值。

基于上述任一实施例，所述基于所述机械臂运行速率期望值与所述机械臂运行速率阈值的对比结果，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，具体包括：

若所述机械臂运行速率期望值小于所述机械臂运行速率阈值，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为所述机械臂运行速率期望值；否则，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为所述机械臂运行速率阈值。

基于上述任一实施例，所述基于第二类型确定机械臂运行速率阈值，具体包括：

若所述第二类型为伸缩动作，所述机械臂运行速率阈值为第一机械臂运行速率阈值；

若所述第二类型为旋转或移动动作，所述机械臂运行速率阈值为第二机械臂运行速率阈值；

其中，所述第一机械臂运行速率阈值大于所述第二机械臂运行速率阈值。

基于上述任一实施例，所述半导体设备机械臂的待执行工艺节点是基于预设的工艺流程确定的，所述待执行工艺节点对应的待执行动作是将所述待执行工艺节点对应的机械臂动作进行拆分得到的分解动作。

基于上述任一实施例，所述基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，具体包括：

基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，生成运动控制指令，并向所述机械臂发送运动控制指令；所述运动控制指令用于指示机械臂的待执行动作以及所述待执行动作对应的运行速率。

基于上述任一实施例，所述位置信号是所述机械臂基于预设周期上传的，所述机械臂的当前位置指机械臂当前时刻各部位所处的位置。

图3示例了一种电子设备的实体结构示意图，如图3所示，该电子设备可以包括：处理器(processor)301、通信接口(Communications Interface)302、存储器(memory)303和通信总线304，其中，处理器301，通信接口302，存储器303通过通信总线304完成相互间的通信。处理器301可以调用存储器303中的逻辑指令，以执行上述各方法所提供的半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法，所述方法包括：响应于用户输入的机械臂运行速率控制指令，确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型；基于所述机械臂运行速率控制指令确定对应的机械臂运行速率期望值，并基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值；基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，并获取所述机械臂上传的位置信号；基于所述位置信号确定所述机械臂的当前位置及当前运行速率，并基于所述机械臂的当前位置及当前运行速率，匹配调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率。

此外，上述的存储器303中的逻辑指令可以通过软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本申请的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备（可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等）执行本申请各个实施例所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器（ROM，Read-Only Memory）、随机存取存储器（RAM，Random Access Memory）、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

另一方面，本申请还提供一种计算机程序产品，所述计算机程序产品包括计算机程序，计算机程序可存储在非暂态计算机可读存储介质上，所述计算机程序被处理器执行时，计算机能够执行上述各方法所提供的半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法，所述方法包括：响应于用户输入的机械臂运行速率控制指令，确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型；基于所述机械臂运行速率控制指令确定对应的机械臂运行速率期望值，并基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值；基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，并获取所述机械臂上传的位置信号；基于所述位置信号确定所述机械臂的当前位置及当前运行速率，并基于所述机械臂的当前位置及当前运行速率，匹配调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率。

又一方面，本申请还提供一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以执行上述各方法提供的半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法，所述方法包括：响应于用户输入的机械臂运行速率控制指令，确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型；基于所述机械臂运行速率控制指令确定对应的机械臂运行速率期望值，并基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值；基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，并获取所述机械臂上传的位置信号；基于所述位置信号确定所述机械臂的当前位置及当前运行速率，并基于所述机械臂的当前位置及当前运行速率，匹配调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率。

以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性的劳动的情况下，即可以理解并实施。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到各实施方式可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件。基于这样的理解，上述技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如ROM/RAM、磁碟、光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备（可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等）执行各个实施例或者实施例的某些部分所述的方法。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (7)

1.一种半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法，其特征在于，所述方法包括：

响应于用户在半导体设备工艺之前或工艺过程中输入的机械臂运行速率控制指令，确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型；

基于所述机械臂运行速率控制指令确定对应的机械臂运行速率期望值，并基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值；所述待执行工艺节点对应的待执行动作是将所述待执行工艺节点对应的机械臂动作进行拆分得到的分解动作；

基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，并获取所述机械臂上传的位置信号；

基于所述位置信号确定所述机械臂的当前位置及当前运行速率，并基于所述机械臂的当前位置及当前运行速率，匹配调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率；

所述第一类型包括有晶圆动作和无晶圆动作，所述第二类型包括旋转、移动和伸缩动作，相应的，所述基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，具体包括：

若所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型为无晶圆动作，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为机械臂运行速率的上限值；

若所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型为有晶圆动作，基于第二类型确定机械臂运行速率阈值，并基于所述机械臂运行速率期望值与所述机械臂运行速率阈值的对比结果，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值；

所述基于所述机械臂运行速率期望值与所述机械臂运行速率阈值的对比结果，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，具体包括：

若所述机械臂运行速率期望值小于所述机械臂运行速率阈值，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为所述机械臂运行速率期望值；否则，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为所述机械臂运行速率阈值；

所述基于第二类型确定机械臂运行速率阈值，具体包括：

若所述第二类型为伸缩动作，所述机械臂运行速率阈值为第一机械臂运行速率阈值；

若所述第二类型为旋转或移动动作，所述机械臂运行速率阈值为第二机械臂运行速率阈值；

其中，所述第一机械臂运行速率阈值大于所述第二机械臂运行速率阈值。

2.根据权利要求1所述的半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法，其特征在于，所述半导体设备机械臂的待执行工艺节点是基于预设的工艺流程确定的。

3.根据权利要求1所述的半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法，其特征在于，所述基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，具体包括：

基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，生成运动控制指令，并向所述机械臂发送运动控制指令；所述运动控制指令用于指示机械臂的待执行动作以及所述待执行动作对应的运行速率。

4.据权利要求1所述的半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法，其特征在于，所述位置信号是所述机械臂基于预设周期上传的，所述机械臂的当前位置指机械臂当前时刻各部位所处的位置。

5.一种半导体设备机械臂和动画的运动匹配装置，其特征在于，所述装置包括：

动作类型确定模块，用于响应于用户在半导体设备工艺之前或工艺过程中输入的机械臂运行速率控制指令，确定半导体设备机械臂的待执行工艺节点及其对应的待执行动作的第一类型和第二类型；

运行速率指导值确定模块，用于基于所述机械臂运行速率控制指令确定对应的机械臂运行速率期望值，并基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值；所述待执行工艺节点对应的待执行动作是将所述待执行工艺节点对应的机械臂动作进行拆分得到的分解动作；

运动控制模块，用于基于所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值向所述机械臂发送运动控制指令，并获取所述机械臂上传的位置信号；

运动匹配模块，用于基于所述位置信号确定所述机械臂的当前位置及当前运行速率，并基于所述机械臂的当前位置及当前运行速率，匹配调节虚拟动画中机械臂的位置及运行速率；

所述第一类型包括有晶圆动作和无晶圆动作，所述第二类型包括旋转、移动和伸缩动作，相应的，所述基于所述机械臂运行速率期望值以及所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型和第二类型，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，具体包括：

若所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型为无晶圆动作，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为机械臂运行速率的上限值；

若所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的第一类型为有晶圆动作，基于第二类型确定机械臂运行速率阈值，并基于所述机械臂运行速率期望值与所述机械臂运行速率阈值的对比结果，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值；

所述基于所述机械臂运行速率期望值与所述机械臂运行速率阈值的对比结果，确定所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值，具体包括：

若所述机械臂运行速率期望值小于所述机械臂运行速率阈值，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为所述机械臂运行速率期望值；否则，所述机械臂的待执行工艺节点对应的待执行动作的运行速率指导值为所述机械臂运行速率阈值；

所述基于第二类型确定机械臂运行速率阈值，具体包括：

若所述第二类型为伸缩动作，所述机械臂运行速率阈值为第一机械臂运行速率阈值；

若所述第二类型为旋转或移动动作，所述机械臂运行速率阈值为第二机械臂运行速率阈值；

其中，所述第一机械臂运行速率阈值大于所述第二机械臂运行速率阈值。

6.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1至4任一项所述半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法的步骤。

7.一种非暂态计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至4任一项所述半导体设备机械臂和动画的运动匹配方法的步骤。