CN115002080B - 基于secs/gem secsii交易的信息分流方法及分流器 - Google Patents
基于secs/gem secsii交易的信息分流方法及分流器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN115002080B CN115002080B CN202210737152.4A CN202210737152A CN115002080B CN 115002080 B CN115002080 B CN 115002080B CN 202210737152 A CN202210737152 A CN 202210737152A CN 115002080 B CN115002080 B CN 115002080B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- secsii
- transaction
- secs
- gem
- software system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 75
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims abstract description 9
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 13
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/02—Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]
Landscapes
- Computer And Data Communications (AREA)
Abstract
本申请公开了基于SECS/GEM SECSII交易的信息分流方法及分流器，所述方法包括：在软件中，实现对一个半导体设备的SECS/GEM HSMS连接，构建一个设备连接对象，以及实现对N个软件系统的SECS/GEM HSMS连接，构建N个系统连接对象；为设备连接对象和每个系统连接对象构建一个分流控制对象，对分流控制对象进行配置，使其控制设备端接口与软件系统端接口之间的SECSII交易。所述分流器实现了一台半导体设备可以基于SECS/GEMSECSII协议同时与多个软件系统进行信息交互。本申请实现了多个软件系统针对半导体设备的同时控制，增加了信息交互的速度，提高了生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体控制技术领域，尤其涉及一种基于SECS/GEM SECSII交易的信息分流方法及分流器。
背景技术
SECS/GEM，HSMS(High speed SECS Message System，高速SECS消息系统)是由SEMI(Semiconductor Equipment and Materials Institute，半导体设备与材料协会)制定的半导体行业通信标准协议，目前绝大多数的半导体设备均遵照该协议，运行在主机(Host)上的EAP(Equipment Automation Program，设备自动化程序)系统通过该协议与设备进行通信，实现修改设备参数、下达指令等，从而控制设备运行。
半导体通讯协议HSMS虽然定义了如何实现多系统对设备的控制协议(HSMS-MS，HSMS Multi Session)，但是由于过于复杂，大部分设备厂商不愿意去实现，一般只实现协议中的HSMS-SS(Single Session)。为了实现多系统和半导体设备的沟通，普通的做法是使用低阶的网路协议(TCPIP)分流器，但这种做法的缺点是，只有一个系统可以控制设备，其他的系统只能监听事件。要能做到多系统可以同时控制半导体设备，就必须根据SECSII(SEMI Standard E05)协议实现分流器。
如何基于SECSII协议实现多软件系统针对半导体设备的同时控制，是本领域技术人员需要解决的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种基于SECS/GEM SECSII交易的信息分流方法及分流器，以实现多软件系统针对半导体设备的同时控制。
为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
本申请第一个方面公开了一种基于SECS/GEM SECSII交易的信息分流方法，包括：
在软件中，实现对一个半导体设备的SECS/GEM HSMS连接，构建一个设备连接对象，以及实现对N个软件系统的SECS/GEM HSMS连接，构建N个系统连接对象，其中，N为大于等于1的整数；
为所述设备连接对象和每个所述系统连接对象，构建一个分流控制对象；
为每个分流控制对象，定义其对应的软件系统需要接收或不要接收的第一SECSII主要交易，所述第一SECSII主要交易为半导体设备发送的信息数据，只有定义为需要接收的第一SECSII主要交易才会被传送至该分流控制对象对应的软件系统；
为每个分流控制对象，定义其对应的软件系统对所述第一SECSII主要交易进行回复的第一SECSII次要交易需不需要传送给半导体设备，只有第一SECSII主要交易被定义为需要回复，该第一SECSII主要交易所对应的第一SECSII次要交易才会被传送回半导体设备；
为每个分流控制对象，定义需要半导体设备进行回复的第二SECSII主要交易，所述第二SECSII主要交易为软件系统发送的信息数据，不需要半导体设备回复的第二SECSII主要交易，则由该分流控制对象对应的软件系统回复一个预设的第二SECSII次要交易。
优选地，所述方法还包括：
为每个分流控制对象，针对所述第一SECSII主要交易定义筛选器，所述筛选器定义了半导体设备与其对应的软件系统之间进行信息交互的信息类型，满足筛选器要求的第一SECSII主要交易，被传送或不被传送至该分流控制对象所对应的软件系统。
优选地，所述方法还包括：
设置两种连接模块，分别为设备优先模式和软件系统优先模式；其中，
所述设备优先模式被配置为：只有设备连接对象实现了与半导体设备的SECS/GEMHSMS连接，才准许系统连接对象与软件系统进行SECS/GEM HSMS连接，否则针对软件系统的系统端接口不启用；
所述软件系统优先模式被配置为：只有至少一个系统连接对象与软件系统进行SECS/GEM HSMS连接，针对半导体设备的设备端接口才启用。
优选地，所述分流控制对象和所述设备连接对象被配置有基于HSMS传送方式的连接参数，所述连接参数包括、但不限于IP地址、Port、Device ID、连接对象。
优选地，所述设备连接对象和所述系统连接对象，采用面向对象(OOP)的关联方法，使所述设备连接对象和所述系统连接对象互相关联。
优选地，所述设备连接对象和所述系统连接对象之间透过SECS/GEM进行交易。
本申请第二个方面公开了一种基于SECS/GEM SECSII交易的半导体通讯协议分流器，包括：
一个设备端接口，用于与半导体设备之间进行符合HSMS协议的通信，所述设备端接口对应一个设备连接对象；
N个软件系统端接口，用于一一与N个软件系统进行符合HSMS协议的通信，所述N个软件系统端接口对应N个系统连接对象，N为大于等于1的整数；
其中，所述设备连接对象和每个系统连接对象之间设有一个分流控制对象，所述分流控制对象用于控制所述设备端接口与所述软件系统端接口之间的SECSII交易，使得一台半导体设备能够同时与多个软件系统进行消息交换。
优选地，所述设备端接口和所述软件系统端接口均用于接收和发送所述半导体设备和所述软件系统之间的消息交换数据。
优选地，所述设备连接对象和所述系统连接对象，采用面向对象(OOP)的关联方法，使所述设备连接对象和所述系统连接对象互相关联。
优选地，所述设备连接对象和所述系统连接对象之间采用透过关联方式连接。
优选地，每个所述分流控制对象，被配置为：
定义其对应的软件系统需要接收或不要接收的第一SECSII主要交易，所述第一SECSII主要交易为半导体设备发送的信息数据，只有定义为需要接收的第一SECSII主要交易才会被传送至该分流控制对象对应的软件系统；
定义其对应的软件系统对所述第一SECSII主要交易进行回复的第一SECSII次要交易需不需要传送给半导体设备，只有第一SECSII主要交易被定义为需要回复，该第一SECSII主要交易所对应的第一SECSII次要交易才会被传送回半导体设备；
定义需要半导体设备进行回复的第二SECSII主要交易，所述第二SECSII主要交易为软件系统发送的信息数据，不需要半导体设备回复的第二SECSII主要交易，则由该分流控制对象对应的软件系统回复一个预设的第二SECSII次要交易。
更优选地，每个所述分流控制对象，还被配置为：针对所述第一SECSII主要交易定义筛选器，所述筛选器定义了半导体设备与其对应的软件系统之间进行信息交互的信息类型，满足筛选器要求的第一SECSII主要交易，被传送或不被传送至该分流控制对象所对应的软件系统。
优选地，所述分流控制对象和所述设备连接对象被配置有基于HSMS传送方式的连接参数，所述连接参数包括、但不限于IP地址、Port、Device ID、连接对象。
优选地，每个软件系统端接口连接一台主机，每个所述主机内运行一个所述软件系统，N个所述软件系统端接口连接N台主机，使得一台半导体设备能够同时与N台主机进行信息交互。
与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下有益效果：
本申请的分流器实现了一台半导体设备与多个软件系统的连接，使一台半导体设备可以基于SECS/GEM SECSII协议同时与多个软件系统进行信息交互，实现了多个软件系统针对半导体设备的同时控制，增加了信息交互的速度，提高了生产效率。
附图说明
构成本申请的一部分附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
图1是本发明优选实施例的结构示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实例对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序，应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换。此外，术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
实施例：
图1为本实施例的整体实施架构图。
如图1所示，一种基于SECS/GEM SECSII交易的半导体通讯协议分流器，应用于半导体设备与多个软件系统的通信中。所述分流器提供一个设备端接口和N个软件系统端接口，具体包括：
一个设备端接口，用于与半导体设备之间进行符合HSMS协议的通信，所述设备端接口对应一个设备连接对象；
N个软件系统端接口，用于一一与N个软件系统进行符合HSMS协议的通信，所述N个软件系统端接口对应N个系统连接对象，N为大于等于1的整数；
其中，所述设备连接对象和每个系统连接对象之间设有一个分流控制对象，所述分流控制对象用于控制所述设备端接口与所述软件系统端接口之间的SECSII交易，使得一台半导体设备能够同时与多个软件系统进行消息交换。
上述的设备端接口和软件系统端接口均用于接收和发送所述半导体设备和所述软件系统之间的消息交换数据。
所述设备连接对象和所述系统连接对象，采用面向对象(OOP)的关联(has a)设计方法，使所述设备连接对象和所述系统连接对象互相关联。
所述设备连接对象和所述系统连接对象之间采用透过关联方式连接，所述设备连接对象和所述系统连接对象之间透过SECS/GEM进行交易。
在一种优选实施例中，每个软件系统端接口可以连接一台主机，每个所述主机内运行一个所述软件系统，N个所述软件系统端接口连接N台主机，使得一台半导体设备能够同时与N台主机进行信息交互。
另一方面，本申请还公开了一种基于SECS/GEM SECSII交易的信息分流方法，具体包括如下步骤：
步骤S1：在软件中，实现对一个半导体设备的SECS/GEM HSMS连接，建立一个设备连接对象。
步骤S2：在软件中，实现对N个软件系统的SECS/GEM HSMS连接，构建N个系统连接对象，其中，N为大于等于1的整数。
步骤S3：为所述设备连接对象和每个所述系统连接对象，建立一个分流控制对象。
步骤S4：为每个分流控制对象，定义其对应的软件系统需要接收或不要接收的第一SECSII主要交易(Primary Transaction，由半导体设备送出的)，所述第一SECSII主要交易为半导体设备发送的信息数据，只有定义为需要接收的第一SECSII主要交易才会被传送至该分流控制对象对应的软件系统。
所述第一SECSII主要交易，基于Stream Function Message，包括、但不限于：
事件相关S6F11/S6F19；
报警相关S5F1/S5F3；
WaferMap相关S12Fx；
配方相关S7Fx；
控制相关S1/Fx/S2Fx。
步骤S5：为每个分流控制对象，定义其对应的软件系统对所述第一SECSII主要交易进行回复的第一SECSII次要交易(Secondary Transaction，软件系统针对半导体设备发出的主要交易Primary Transaction的回复)需不需要传送给半导体设备，只有第一SECSII主要交易被定义为需要回复，该第一SECSII主要交易所对应的第一SECSII次要交易才会被传送回半导体设备。
所述第一SECSII次要交易，基于Stream Function Message，包括、但不限于：
事件相关S6F12/S6F20；
报警相关S5F2/S5F4；
WaferMap相关S12Fx；
配方相关S7Fx；
控制相关S1/Fx/S2Fx。
步骤S6：为每个分流控制对象，定义需要半导体设备进行回复的第二SECSII主要交易(Primary Transaction，由软件系统送出的)，所述第二SECSII主要交易为软件系统发送的信息数据，不需要半导体设备回复的第二SECSII主要交易，则由该分流控制对象对应的软件系统回复一个预设的第二SECSII次要交易(Secondary Transaction)。
步骤S7：每个分流控制对象，可以针对所述第一SECSII主要交易(PrimaryTransaction，由半导体设备送出的)定义筛选器，所述筛选器定义了半导体设备与其对应的软件系统之间进行信息交互的信息类型，满足筛选器要求的第一SECSII主要交易，被传送或不被传送至该分流控制对象所对应的软件系统。
所述筛选器，包括、但不限于：
S6F11/S6F19交易的筛选器可以根据CEID，EventID，ReportID等进行设定；
S5F1/S5F3交易的筛选器可以根据AlarmID，Set/Get等进行设定。
步骤S8：设置两种连接模块，分别为设备优先模式和软件系统优先模式。
所述设备优先模式被配置为：只有设备连接对象实现了与半导体设备的SECS/GEMHSMS连接，才准许系统连接对象与软件系统进行SECS/GEM HSMS连接，否则针对软件系统的系统端接口(Port)不启用；
所述软件系统优先模式被配置为：只有至少一个系统连接对象与软件系统进行SECS/GEM HSMS连接，针对半导体设备的设备端接口(Port)才启用。
步骤S9：所述分流控制对象和所述设备连接对象都必须定义好HSMS需要的相关连接参数，所述连接参数包括、但不限于IP地址、Port、Device ID、连接对象。
上述内容中，所述设备连接对象和所述系统连接对象，采用面向对象(OOP)的关联方法，使所述设备连接对象和所述系统连接对象互相关联。所述设备连接对象和所述系统连接对象之间透过SECS/GEM进行交易。
上面各种方法的步骤划分，只是为了描述清楚，实现时可以合并为一个步骤或者对某些步骤进行拆分，分解为多个步骤，只要包含相同的逻辑关系，都在本专利的保护范围内；对算法中或者流程中添加无关紧要的修改或者引入无关紧要的设计，但不改变其算法和流程的核心设计都在该专利的保护范围内。
本领域技术人员应该理解，本领域技术人员在结合现有技术以及上述实施例可以实现所述变化例，在此不做赘述。这样的变化例并不影响本发明的实质内容，在此不予赘述。
以上对本发明的具体实施例进行了详细描述，但其只是作为范例，本发明并不限制于以上描述的具体实施例。对于本领域技术人员而言，任何对本发明进行的等同修改和替代也都在本发明的范畴之中。因此，在不脱离本发明的精神和范围下所作的均等变换和修改，都应涵盖在本发明的范围内。
Claims (10)
1.基于SECS/GEM SECSII交易的信息分流方法，其特征在于，包括：
在软件中，实现对一个半导体设备的SECS/GEM HSMS连接，构建一个设备连接对象，以及实现对N个软件系统的SECS/GEM HSMS连接，构建N个系统连接对象，其中，N为大于等于1的整数；
为所述设备连接对象和每个所述系统连接对象，构建一个分流控制对象；
为每个分流控制对象，定义其对应的软件系统需要接收或不要接收的第一SECSII主要交易，所述第一SECSII主要交易为半导体设备发送的信息数据，只有定义为需要接收的第一SECSII主要交易才会被传送至该分流控制对象对应的软件系统；
为每个分流控制对象，定义其对应的软件系统对所述第一SECSII主要交易进行回复的第一SECSII次要交易需不需要传送给半导体设备，只有第一SECSII主要交易被定义为需要回复，该第一SECSII主要交易所对应的第一SECSII次要交易才会被传送回半导体设备；
为每个分流控制对象，定义需要半导体设备进行回复的第二SECSII主要交易，所述第二SECSII主要交易为软件系统发送的信息数据，不需要半导体设备回复的第二SECSII主要交易，则由该分流控制对象对应的软件系统回复一个预设的第二SECSII次要交易。
2.根据权利要求1所述的基于SECS/GEM SECSII交易的信息分流方法，其特征在于，所述方法还包括：
为每个分流控制对象，针对所述第一SECSII主要交易定义筛选器，所述筛选器定义了半导体设备与其对应的软件系统之间进行信息交互的信息类型，满足筛选器要求的第一SECSII主要交易，被传送或不被传送至该分流控制对象所对应的软件系统。
3.根据权利要求1所述的基于SECS/GEM SECSII交易的信息分流方法，其特征在于，所述方法还包括：
设置两种连接模块，分别为设备优先模式和软件系统优先模式；其中，
所述设备优先模式被配置为：只有设备连接对象实现了与半导体设备的SECS/GEMHSMS连接，才准许系统连接对象与软件系统进行SECS/GEM HSMS连接，否则针对软件系统的系统端接口不启用；
所述软件系统优先模式被配置为：只有至少一个系统连接对象与软件系统进行SECS/GEM HSMS连接，针对半导体设备的设备端接口才启用。
4.根据权利要求1所述的基于SECS/GEM SECSII交易的信息分流方法，其特征在于，所述分流控制对象和所述设备连接对象被配置有基于HSMS传送方式的连接参数。
5.根据权利要求1所述的基于SECS/GEM SECSII交易的信息分流方法，其特征在于，所述设备连接对象和所述系统连接对象，采用面向对象的关联方法，使所述设备连接对象和所述系统连接对象互相关联。
6.根据权利要求1所述的基于SECS/GEM SECSII交易的信息分流方法，其特征在于，所述设备连接对象和所述系统连接对象之间透过SECS/GEM进行交易。
7.基于SECS/GEM SECSII交易的半导体通讯协议分流器，其特征在于，包括：
一个设备端接口，用于与半导体设备之间进行符合HSMS协议的通信，所述设备端接口对应一个设备连接对象；
N个软件系统端接口，用于一一与N个软件系统进行符合HSMS协议的通信，所述N个软件系统端接口对应N个系统连接对象，N为大于等于1的整数；
其中，所述设备连接对象和每个系统连接对象之间设有一个分流控制对象，所述分流控制对象用于控制所述设备端接口与所述软件系统端接口之间的SECSII交易，使得一台半导体设备能够同时与多个软件系统进行消息交换。
8.根据权利要求7所述的基于SECS/GEM SECSII交易的半导体通讯协议分流器，其特征在于，所述设备连接对象和所述系统连接对象，采用面向对象的关联方法，使所述设备连接对象和所述系统连接对象互相关联。
9.根据权利要求7所述的基于SECS/GEM SECSII交易的半导体通讯协议分流器，其特征在于，每个所述分流控制对象，被配置为：
定义其对应的软件系统需要接收或不要接收的第一SECSII主要交易，所述第一SECSII主要交易为半导体设备发送的信息数据，只有定义为需要接收的第一SECSII主要交易才会被传送至该分流控制对象对应的软件系统；
定义其对应的软件系统对所述第一SECSII主要交易进行回复的第一SECSII次要交易需不需要传送给半导体设备，只有第一SECSII主要交易被定义为需要回复，该第一SECSII主要交易所对应的第一SECSII次要交易才会被传送回半导体设备；
定义需要半导体设备进行回复的第二SECSII主要交易，所述第二SECSII主要交易为软件系统发送的信息数据，不需要半导体设备回复的第二SECSII主要交易，则由该分流控制对象对应的软件系统回复一个预设的第二SECSII次要交易。
10.根据权利要求9所述的基于SECS/GEM SECSII交易的半导体通讯协议分流器，其特征在于，每个所述分流控制对象，还被配置为：针对所述第一SECSII主要交易定义筛选器，所述筛选器定义了半导体设备与其对应的软件系统之间进行信息交互的信息类型，满足筛选器要求的第一SECSII主要交易，被传送或不被传送至该分流控制对象所对应的软件系统。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210737152.4A CN115002080B (zh) | 2022-06-27 | 2022-06-27 | 基于secs/gem secsii交易的信息分流方法及分流器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210737152.4A CN115002080B (zh) | 2022-06-27 | 2022-06-27 | 基于secs/gem secsii交易的信息分流方法及分流器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN115002080A CN115002080A (zh) | 2022-09-02 |
| CN115002080B true CN115002080B (zh) | 2024-04-02 |
Family
ID=83037178
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210737152.4A Active CN115002080B (zh) | 2022-06-27 | 2022-06-27 | 基于secs/gem secsii交易的信息分流方法及分流器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN115002080B (zh) |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19803712A1 (de) * | 1998-01-30 | 1999-08-05 | Siemens Ag | Einrichtung zur Steuerung von in der Halbleiterindustrie vorgesehenen Fertigungsmaschinen |
| JP2001154931A (ja) * | 1998-10-30 | 2001-06-08 | Aim Systems Inc | Ｓｅｃｓ−ｉとｈｓｍｓ変換方法 |
| CN1641627A (zh) * | 2004-01-13 | 2005-07-20 | 巨路国际股份有限公司 | 半导体设备的secs－ⅱ至xml资料转换方法及资料转换装置 |
| CN103607340A (zh) * | 2013-10-23 | 2014-02-26 | 上海华力微电子有限公司 | Secs/gem消息交换设备和方法 |
| CN109411390A (zh) * | 2018-09-11 | 2019-03-01 | 深圳赛意法微电子有限公司 | 半导体器件的自动化分级封装方法及系统 |
| CN110933169A (zh) * | 2019-11-25 | 2020-03-27 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体设备的远程群组控制系统 |
| CN114338548A (zh) * | 2020-10-12 | 2022-04-12 | 迈普通信技术股份有限公司 | 报文分流方法、装置、网络设备及计算机可读存储介质 |
| KR20220071709A (ko) * | 2020-11-24 | 2022-05-31 | 순천향대학교 산학협력단 | 사물인터넷에 기반한 반도체 장비 통신 프로토콜 계층 구조, 게이트웨이 및 전송방법 |
-
2022
- 2022-06-27 CN CN202210737152.4A patent/CN115002080B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19803712A1 (de) * | 1998-01-30 | 1999-08-05 | Siemens Ag | Einrichtung zur Steuerung von in der Halbleiterindustrie vorgesehenen Fertigungsmaschinen |
| JP2001154931A (ja) * | 1998-10-30 | 2001-06-08 | Aim Systems Inc | Ｓｅｃｓ−ｉとｈｓｍｓ変換方法 |
| CN1641627A (zh) * | 2004-01-13 | 2005-07-20 | 巨路国际股份有限公司 | 半导体设备的secs－ⅱ至xml资料转换方法及资料转换装置 |
| CN103607340A (zh) * | 2013-10-23 | 2014-02-26 | 上海华力微电子有限公司 | Secs/gem消息交换设备和方法 |
| CN109411390A (zh) * | 2018-09-11 | 2019-03-01 | 深圳赛意法微电子有限公司 | 半导体器件的自动化分级封装方法及系统 |
| CN110933169A (zh) * | 2019-11-25 | 2020-03-27 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 半导体设备的远程群组控制系统 |
| CN114338548A (zh) * | 2020-10-12 | 2022-04-12 | 迈普通信技术股份有限公司 | 报文分流方法、装置、网络设备及计算机可读存储介质 |
| KR20220071709A (ko) * | 2020-11-24 | 2022-05-31 | 순천향대학교 산학협력단 | 사물인터넷에 기반한 반도체 장비 통신 프로토콜 계층 구조, 게이트웨이 및 전송방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN115002080A (zh) | 2022-09-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11700232B2 (en) | Publishing data across a data diode for secured process control communications | |
| CN100492302C (zh) | 基于Java的进程间异步通信的实现方法 | |
| US7747764B2 (en) | Web access for non-TCP/IP control devices of an industrial control system | |
| CN112769598B (zh) | 一种网络通信系统及其通信实现方法 | |
| US11271790B2 (en) | Interconnection device, communication method, and system including robot | |
| CN110928608B (zh) | 一种支持多种通信协议的可扩展通信框架及通信方法 | |
| CN102438017A (zh) | 基于路由功能的Modbus和BACnet Ethernet协议转化装置及转化方法 | |
| CN110300055B (zh) | 异构现场总线用网关系统 | |
| CN115002080B (zh) | 基于secs/gem secsii交易的信息分流方法及分流器 | |
| US20240121219A1 (en) | Secure remote access to historical data | |
| CN112764944A (zh) | 一种基于opc ua协议的mom系统自动化设备数据交互集成平台及方法 | |
| CN105337947A (zh) | 信息分流转换工具、半导体生产系统及其通信方法 | |
| CN107193663A (zh) | 一种业务消息处理方法及装置 | |
| CN109327405B (zh) | 报文保序方法及网络设备 | |
| CN104880979A (zh) | 模块化工业自动化设备和经背板总线系统传输消息的方法 | |
| KR20170127348A (ko) | 반도체 제조 설비와 외부 분석 시스템 간의 데이터 연결 시스템 및 방법 | |
| CN102413133A (zh) | 一种时间可控的客户端服务器传输方法 | |
| CN112506485A (zh) | 业务处理系统 | |
| US20080259953A1 (en) | Method, system, and storage medium for providing continuous communication between process equipment and an automated material handling system | |
| CN106657015B (zh) | 基于sdn网络的数据传输方法 | |
| JPH03195141A (ja) | 通信ネットワーク管理方法 | |
| KR100980737B1 (ko) | 다양한 반도체 제조 설비들을 제어하기 위한 네트워크 시스템 및 그 방법 | |
| CN211151986U (zh) | 一种用于二次供水增压设备的工业控制安全隔离系统 | |
| Hoon et al. | Foundation/spl trade/Fieldbus high speed Ethernet (HSE) implementation | |
| CN118020282A (zh) | 用于连接多个工业设备的网络设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| CB02 | Change of applicant information | ||
| CB02 | Change of applicant information |
Country or region after: China Address after: 201109, 3rd Floor, Building 2, No. 1259 Ping'an Road, Minhang District, Shanghai Applicant after: Shanghai Xuantian Intelligent Technology Co.,Ltd. Address before: 201109 floor 2, building 4, No. 1259, Ping'an Road, Minhang District, Shanghai Applicant before: SHANGHAI NOKIDA TECHNOLOGY CO.,LTD. Country or region before: China |
|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |