CN114984738A - 一种水洗式恒压废气处理器 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种水洗式恒压废气处理器，包括：上部，所述上部的上端面设置有进气管道，所述上部的前端面设置有排气管道；多级喷淋组件，所述多级喷淋组件设置在上部的内部，所述进气管道和排气管道均与多级喷淋组件连通；以及下部，所述多级喷淋组件安装在下部的上端，所述下部上设置有负压组件和若干组储液箱，所述负压组件和若干组储液箱均与多级喷淋组件连接；其技术要点为，整体的体积较小，而且采用了多级喷淋组件，使用时废气穿过多级喷淋组件，多次喷淋，相互之间不会干扰，喷淋液能够充分的与废气接触，能够充分的净化掉半导体生产过程产生的有毒气体，使用效果好，带来更好的使用前景。
Description
技术领域
本发明属于废气处理领域，具体是一种水洗式恒压废气处理器。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。
半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。
无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。
随着社会的进步，人们对于半导体的需求量不断的增多，为了快速的生产半导体，人们发明了一些半导体生产设备。
半导体生产设备在生产半导体的过程中会产生一些有毒废气，这些废气中含有HCL、TCS及DCS等，在排入到空气中前需要对这些有毒的废气进行净化，为了便于净化掉这些废气，人们发明了废气处理器；
但是，经研究发现现有的废气处理器在使用时存在一定的弊端；
现有的废气处理器通常为大型的喷淋塔，半导体生产过程中一次性产生的废气少，采用其直接净化消耗大，比较浪费，而且现有的废气处理器在净化时在同一区域内一次性进行多次喷淋操作，酸碱会出现中和的情况，会出现净化不完全的情况，不满足人们的使用要求，为此，我们研发了一种水洗式恒压废气处理器。
发明内容
为了克服现有技术的不足，本申请实施例提供一种水洗式恒压废气处理器，该装置具备体积较小，能够满足半导体生产过程产生有毒废气的净化，整体消耗能源少，比较环保的技术效果。
本申请实施例解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种水洗式恒压废气处理器，包括：
上部，所述上部的上端面设置有进气管道，所述上部的前端面设置有排气管道，进气管道采用磁流体密封，能够避免气体外泄大大增加了安全性；
多级喷淋组件，所述多级喷淋组件设置在上部的内部，所述进气管道和排气管道均与多级喷淋组件连通；以及
下部，所述多级喷淋组件安装在下部的上端，所述下部上设置有负压组件和若干组储液箱，负压组件的设置能够使得压力保持稳定，减少对半导体设备加工的影响，所述负压组件和若干组储液箱均与多级喷淋组件连接。
优选的，所述多级喷淋组件采用三级喷淋组件，所述多级喷淋组件包括酸淋筒、碱淋筒和水洗筒，所述酸淋筒、碱淋筒和水洗筒依次连通，多级喷淋组件还可以采用更多级的喷淋。
优选的，所述负压组件包括负压腔和负压泵，所述负压腔设置在下部的内部靠近顶端位置，所述负压泵与负压腔连通。
负压腔和负压泵连通，负压泵能够保持负压腔中压力稳定，减少对半导体设备加工的影响。
优选的，所述酸淋筒和碱淋筒的下端均贯穿下部并与负压腔连通，所述碱淋筒的出气口通过管道与水洗筒的进气口连通。
优选的，所述下部的内部位于负压腔的一侧设置有常压腔，所述水洗筒的出气口通过管道与常压腔连接，所述排气管道的一端与常压腔连接。
优选的，所述下部的内部设置有三组储液腔体，所述储液腔体上设置有输液组件，三组所述输液组件分别与酸淋筒、碱淋筒和水洗筒连通。
优选的，所述酸淋筒、碱淋筒和水洗筒的内部均设置有鲍尔环、喷洗环和过滤层，所述喷洗环位于过滤层的上方，所述喷洗环的外表面开设有若干组喷洗孔。
优选的，所述输液组件包括输送泵和输送管道，所述输送泵的进口和出口分别通过输送管道与喷洗环和储液腔体连通。
输送泵通过输送管道将液体输送到喷洗环中，通过喷洗环上的喷洗孔喷出。
优选的，所述水洗筒的内部靠近底端位置设置有引导罩，所述引导罩的下端设置有过滤箱，所述引导罩的下端与过滤箱的进口连通，所述过滤箱的出口通过管道与水洗筒连通的储液腔体连通。
引导罩能够引导水进入到过滤箱中，能够过滤喷淋水，过滤后的水通过管道直接流入到储液腔体中。
优选的，所述酸淋筒、碱淋筒和水洗筒的筒壁中均设置有夹层，所述酸淋筒、碱淋筒和水洗筒上均设置有压力传感器，所述压力传感器的检测端位于夹层的内部。
压力传感器能够实时监测夹层内部的压力，通过压力传感器监测的数据判断酸淋筒、碱淋筒和水洗筒是否损坏。
综上所述,本发明包括以下至少一种有益技术效果:
一是，本发明一种水洗式恒压废气处理器整体的体积较小，而且采用了多级喷淋组件，使用时废气穿过多级喷淋组件，多次喷淋，相互之间不会干扰，喷淋液能够充分的与废气接触，能够充分的净化掉半导体生产过程产生的有毒气体，使用效果好。
二是，本发明一种水洗式恒压废气处理器中的酸淋筒、碱淋筒和水洗筒中均设置了鲍尔环、喷洗环和过滤层，鲍尔环具有通量大、阻力小、分离效率高及操作弹性大的效果，鲍尔环能够起到分散废气的效果，喷洗环配合过滤层能够降低废气流动速度，从而使得废气与喷淋液充分的接触，从而进一步提高废气的净化效果。
三是，本发明一种水洗式恒压废气处理器中记载酸淋筒、碱淋筒和水洗筒，酸淋筒、碱淋筒和水洗筒的筒壁中均设置有夹层，采用压力传感器监测夹层中的压力变化，通过压力变化能够直接判断酸淋筒、碱淋筒和水洗筒是否存在泄漏，使用效果好，而且整个水洗式恒压废气处理器的结构简单，能够大规模推广应用，实用性高。
附图说明
图1是本发明的整体结构示意图；
图2是本发明的局部结构示意图；
图3是本发明中下部的局部内部结构示意图；
图4是本发明中酸淋筒的内部局部结构示意图；
图5是本发明中水洗筒的内部局部结构示意图；
图6是本发明图4中A处结构的放大示意图。
附图标记：1、上部；2、进气管道；3、下部；4、储液箱；5、酸淋筒；6、碱淋筒；7、水洗筒；8、负压腔；9、常压腔；10、鲍尔环；11、喷洗环；12、过滤层；13、输送泵；14、引导罩；15、夹层；16、压力传感器。
具体实施方式
本申请实施例通过提供一种水洗式恒压废气处理器，解决现有技术现有的废气处理器通常为大型的喷淋塔，半导体生产过程中一次性产生的废气扫，采用其直接净化消耗大，比较浪费，而且现有的废气处理器在净化时在同一区域内一次性进行多次喷淋操作，酸碱会出现中和的情况，会出现净化不完全的情况的问题，本专利整体的体积较小，而且采用了多级喷淋组件，使用时废气穿过多级喷淋组件，多次喷淋，相互之间不会干扰，喷淋液能够充分的与废气接触，能够充分的净化掉半导体生产过程产生的有毒气体的效果。
实施例1：
一种水洗式恒压废气处理器，如图1-6所示，包括上部1、多级喷淋组件和下部3，上部1的上端面设置有进气管道2，上部1的前端面设置有排气管道；多级喷淋组件设置在上部1的内部，进气管道2和排气管道均与多级喷淋组件连通；以及多级喷淋组件安装在下部3的上端，下部3上设置有负压组件和若干组储液箱4，负压组件和若干组储液箱4均与多级喷淋组件连接。
上部1上设置有PLC控制器，采用PLC控制器控制整个水洗式恒压废气处理器中电子器件的运行。
使用时从半导体工艺出来的有毒废气通过进气管道2进入到多级喷淋组件中，通过多级喷淋组件的净化后从排气管道排出。
进气管道2处安装有马达和刮板，进气管道2采用磁流体密封，使用时马达能够带动刮板转动，清洗进气管道2。
多级喷淋组件采用三级喷淋组件，多级喷淋组件包括酸淋筒5、碱淋筒6和水洗筒7，酸淋筒5、碱淋筒6和水洗筒7依次连通。
使用时碱淋筒6和酸淋筒5的位置能够更换，能够先碱洗然后在酸洗。
本发明一种水洗式恒压废气处理器整体的体积较小，而且采用了多级喷淋组件，使用时废气穿过多级喷淋组件，多次喷淋，相互之间不会干扰，喷淋液能够充分的与废气接触，能够充分的净化掉半导体生产过程产生的有毒气体，使用效果好。
负压组件包括负压腔8和负压泵，负压腔8设置在下部3的内部靠近顶端位置，负压泵与负压腔8连通。
负压泵采用磁力泵，采用盘PLC控制磁力泵的转速控制负压，实现了对安全的监控及压力的调整。
上部1上设置有与负压腔8连接的压力计，其与负压泵配合，负压腔8和负压泵连通，能够保持压力稳定，负压腔8上开设有排液口。
酸淋筒5和碱淋筒6的下端均贯穿下部3并与负压腔8连通，碱淋筒6的出气口通过管道与水洗筒7的进气口连通。
使用时酸淋筒5酸洗后的废气穿过负压腔8中传输到碱淋筒6中，最后传输到水洗筒7中。
下部3的内部位于负压腔8的一侧设置有常压腔9，水洗筒7的出气口通过管道与常压腔9连接，排气管道的一端与常压腔9连接。
下部3的内部设置有三组储液腔体，储液腔体上设置有输液组件，三组输液组件分别与酸淋筒5、碱淋筒6和水洗筒7连通。
输液组件能够实现自动输液，进气管道2上设置有电磁流量计，定量摄入废气，输液组件定量输液，能够充分的使用喷淋液，减少喷淋液的浪费。
实施例2：
在实施例1的基础上，如图1-6所示，本实施例为多级喷淋组件的具体结构，
酸淋筒5、碱淋筒6和水洗筒7的内部均设置有鲍尔环10、喷洗环11和过滤层12，喷洗环11位于过滤层12的上方，喷洗环11的外表面开设有若干组喷洗孔。
酸淋筒5中鲍尔环10、喷洗环11和过滤层12从上到下依次设置，水洗筒7和碱淋筒6中相同，鲍尔环10、过滤层12和喷洗环11由下到上依次设置。
使用时废气依次穿过鲍尔环10、过滤层12和喷洗环11。
本发明一种水洗式恒压废气处理器中的酸淋筒5、碱淋筒6和水洗筒7中均设置了鲍尔环10、喷洗环11和过滤层12，鲍尔环10具有通量大、阻力小、分离效率高及操作弹性大的效果，鲍尔环10能够起到分散废气的效果，喷洗环11配合过滤层12能够降低废气流动速度，从而使得废气与喷淋液充分的接触，从而进一步提高废气的净化效果。
输液组件将喷淋液输送到喷洗环11中后，喷淋液通过若干组喷洗孔均匀的喷射。
输液组件包括输送泵13和输送管道，输送泵13的进口和出口分别通过输送管道与喷洗环11和储液腔体连通。
输送泵13与电磁流量计配合，能够实现喷淋液的精确控制。
水洗筒7的内部靠近底端位置设置有引导罩14，引导罩14的下端设置有过滤箱15，引导罩14的下端与过滤箱15的进口连通，过滤箱15的出口通过管道与水洗筒7连通的储液腔体连通。
引导罩14汇聚水，将喷淋后的水汇聚到过滤箱15中，配合过滤箱15的过滤效果，能够实现水的重复利用，比较环保。
酸淋筒5、碱淋筒6和水洗筒7的筒壁中均设置有夹层，酸淋筒5、碱淋筒6和水洗筒7上均设置有压力传感器，压力传感器的检测端位于夹层的内部。
压力传感器能够监测夹层能够内部的气压，通过气压的变化判断酸淋筒5、碱淋筒6和水洗筒7是否出片破损的行为，破损和变形时夹层体积变化，会产生气压变化，能够通过数据直观的判断，方便工作人员及时排查，避免有毒气体泄漏。
本发明一种水洗式恒压废气处理器中记载酸淋筒5、碱淋筒6和水洗筒7，酸淋筒5、碱淋筒6和水洗筒7的筒壁中均设置有夹层，采用压力传感器监测夹层中的压力变化，通过压力变化能够直接判断酸淋筒5、碱淋筒6和水洗筒7是否存在泄漏，使用效果好，而且整个水洗式恒压废气处理器的结构简单，能够大规模推广应用，实用性高。
需要说明的是，本发明一种水洗式恒压废气处理器使用时从半导体工艺出来的有毒废气通过进气管道2进入到多级喷淋组件中，通过多级喷淋组件的净化后从排气管道排出，采用多级喷淋处理，有毒废气净化率超过98％。
最后应说明的是：显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明本发明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。
Claims (10)
1.一种水洗式恒压废气处理器，其特征在于，包括：
上部(1)，所述上部(1)的上端面设置有进气管道(2)，所述上部(1)的前端面设置有排气管道；
多级喷淋组件，所述多级喷淋组件设置在上部(1)的内部，所述进气管道(2)和排气管道均与多级喷淋组件连通；以及
下部(3)，所述多级喷淋组件安装在下部(3)的上端，所述下部(3)上设置有负压组件和若干组储液箱(4)，所述负压组件和若干组储液箱(4)均与多级喷淋组件连接。
2.如权利要求1所述的一种水洗式恒压废气处理器，其特征在于：所述多级喷淋组件采用三级喷淋组件，所述多级喷淋组件包括酸淋筒(5)、碱淋筒(6)和水洗筒(7)，所述酸淋筒(5)、碱淋筒(6)和水洗筒(7)依次连通。
3.如权利要求2所述的一种水洗式恒压废气处理器，其特征在于：所述负压组件包括负压腔(8)和负压泵，所述负压腔(8)设置在下部(3)的内部靠近顶端位置，所述负压泵与负压腔(8)连通。
4.如权利要求3所述的一种水洗式恒压废气处理器，其特征在于：所述酸淋筒(5)和碱淋筒(6)的下端均贯穿下部(3)并与负压腔(8)连通，所述碱淋筒(6)的出气口通过管道与水洗筒(7)的进气口连通。
5.如权利要求4所述的一种水洗式恒压废气处理器，其特征在于：所述下部(3)的内部位于负压腔(8)的一侧设置有常压腔(9)，所述水洗筒(7)的出气口通过管道与常压腔(9)连接，所述排气管道的一端与常压腔(9)连接。
6.如权利要求5所述的一种水洗式恒压废气处理器，其特征在于：所述下部(3)的内部设置有三组储液腔体，所述储液腔体上设置有输液组件，三组所述输液组件分别与酸淋筒(5)、碱淋筒(6)和水洗筒(7)连通。
7.如权利要求6所述的一种水洗式恒压废气处理器，其特征在于，所述酸淋筒(5)、碱淋筒(6)和水洗筒(7)的内部均设置有鲍尔环(10)、喷洗环(11)和过滤层(12)，所述喷洗环(11)位于过滤层(12)的上方，所述喷洗环(11)的外表面开设有若干组喷洗孔。
8.如权利要求7所述的一种水洗式恒压废气处理器，其特征在于：所述输液组件包括输送泵(13)和输送管道，所述输送泵(13)的进口和出口分别通过输送管道与喷洗环(11)和储液腔体连通。
9.如权利要求1所述的一种水洗式恒压废气处理器，其特征在于，所述水洗筒(7)的内部靠近底端位置设置有引导罩(14)，所述引导罩(14)的下端设置有过滤箱(15)，所述引导罩(14)的下端与过滤箱(15)的进口连通，所述过滤箱(15)的出口通过管道与水洗筒(7)连通的储液腔体连通。
10.如权利要求2所述的一种水洗式恒压废气处理器，其特征在于，所述酸淋筒(5)、碱淋筒(6)和水洗筒(7)的筒壁中均设置有夹层(15)，所述酸淋筒(5)、碱淋筒(6)和水洗筒(7)上均设置有压力传感器(16)，所述压力传感器(16)的检测端位于夹层(15)的内部。
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