CN114975157B - 一种太阳能电池片的光致发光检测装置 - Google Patents
一种太阳能电池片的光致发光检测装置 Download PDFInfo
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Abstract
本发明涉及半导体器件检测技术领域,具体而言,涉及一种太阳能电池片的光致发光检测装置。检测装置包括:激光镜头、图像采集装置、定位装置。激光镜头将激光投射在激光镜头外部空间形成激光辐射空间。图像采集装置在图像采集装置外部空间形成图像可采集空间。图像采集装置设置与图像采集装置的采集镜头端部距离为h1的第一采集投影面和距离为h2的第二采集投影面,其中,h2大于h1。第一采集投影面、第二采集投影面在图像可采集空间内形成图像采集有效空间。定位装置将图像采集装置与激光镜头连接,使得图像采集有效空间和激光辐射空间重合。这样就解决了激光镜头和图像采集装置的镜头安装结构复杂且调节不方便的问题。
Description
技术领域
本发明涉及半导体器件检测技术领域,具体而言,涉及一种太阳能电池片的光致发光检测装置。
背景技术
随着光伏行业的不断发展,太阳能作为可再生能源,资源丰富,广泛应用于多种领域。因此太阳能电池片的需求也日益庞大,但在晶体硅太阳能电池片的发展过程中,也出现了许多质量的问题,例如电池片的隐裂,断栅,表面污染等。由于太阳能电池片的质量问题,限制了电池片的光电转化效率,影响电池片组件的使用寿命,因此缺陷检测这一环节是电池片生产工艺流程中必不可少的一部分。
太阳能电池片的检测目前主要包括电致发光和光致发光的方式。电致发光是一种接触式检测,需要通过机械手段夹取电池片,在检测的过程中也极易对电池片造成不同程度的损坏。光致发光是利用激光作为激发光源照射在电池片上,电池片对其进行吸收并发出荧光,图像采集装置进行图像的采集,利用对图像的分析进行电池片缺陷的筛查,这样的检测方法不对电池片进行物理接触。从而避免电池片在检测环节中造成损坏。
在光致发光的检测方式中,激光镜头发出的光源经电池片吸收发出荧光区域与图像采集装置的镜头的采集区域的位置对于检测结果有很大影响。现有技术中一般将激光镜头和图像采集装置的镜头分别固定且单独调节,使其达到要求的检测效果。但是这种固定和调节的方式往往安装结构复杂而且调节不方便,从而增加检测装置成本和延长了调节时间。
发明内容
为解决激光镜头和图像采集装置的镜头安装结构复杂且调节不方便的问题,本发明提供了一种太阳能电池片的光致发光检测装置。
本发明提供了一种太阳能电池片的光致发光检测装置,包括:
激光镜头,将激光投射在激光镜头外部空间形成由第一激光辐射侧面、第二激光辐射侧面、第三激光辐射侧面、第四激光辐射侧面包围的激光辐射空间;
图像采集装置,在图像采集装置外部空间形成由第一图像采集侧面、第二图像采集侧面、第三图像采集侧面、第四图像采集侧面包围的图像可采集空间;图像采集装置设置第一采集投影面和第二采集投影面;第一采集投影面与图像采集装置的采集镜头端部距离为h1;第二采集投影面与图像采集装置的采集镜头端部距离为h2,其中,h2大于h1;第一图像采集侧面、第二图像采集侧面、第三图像采集侧面、第四图像采集侧面、第一采集投影面、第二采集投影面在图像可采集空间内包围形成图像采集有效空间;
定位装置,将图像采集装置与激光镜头连接;图像采集有效空间设置在激光辐射空间内。
在一些实施例中,
所述h1为150mm~300mm;所述h2为400mm~500mm。
在一些实施例中,
定位装置包括镜头板;镜头板包括第一定位板、第二定位板、连接板;第一定位板通过连接板与第二定位板连接;第二定位板上设置第一定位孔;第一定位板上设置第一定位部;其中,第一定位孔的中轴线与第一定位部的中心对称面重合。
在一些实施例中,
所述镜头板的所述第一定位部包括从所述第一定位板一侧面凹陷的定位槽和设置在所述定位槽内的安装孔,其中,定位槽关于第一定位部的中心对称面对称设置;安装孔关于第一定位部的中心对称面对称设置;所述定位槽包括第一定位面和定位侧面,其中,所述第一定位面垂直于所述第一定位部的中心对称面。
在一些实施例中,
所述图像采集装置的第二定位部与所述定位槽配合,其中,所述第二定位部的端面与所述定位槽的所述第一定位面贴合,所述第二定位部的侧面与所述定位槽的所述定位侧面贴合。
在一些实施例中,
所述第二定位板包括第二定位面,其中,所述第二定位面垂直于所述第一定位孔的中轴线;所述第二定位面与所述第一定位面形成的夹角为α,其中,夹角α为0°~20°。
在一些实施例中,
所述夹角α为5°~10°。
在一些实施例中,
所述激光镜头的第三定位部的端面与所述第二定位板的所述第二定位面贴合;所述第三定位部的外圆周面与所述第二定位板的所述第一定位孔的圆弧面贴合。
在一些实施例中,
所述定位装置还包括镜头座;所述镜头座包括固定板、凸台、第二定位孔;所述凸台设置为从所述固定板一侧面沿远离所述固定板的方向延伸,其中,所述凸台垂直所述固定板;所述第二定位孔设置为从固定板另一侧面穿透所述凸台和所述固定板;所述固定板的一侧面与所述镜头板的所述第二定位面贴合,另一侧面与所述激光镜头的所述第三定位部的端面贴合;所述凸台与所述第一定位板的所述第一定位孔配合;所述激光镜头的所述第三定位部的外圆周面与所述第二定位孔的圆弧面贴合;所述第二定位孔的中轴线与所述定位槽的中心对称面重合。
在一些实施例中,
所述凸台远离所述固定板的端面对称设置两个凸耳;所述凸耳上设置第一调节孔;穿过一个所述第一调节孔的第一调节螺丝的端部贴合在所述激光镜头的凸起部;两个所述第一调节螺丝设置为从相同方向与两个所述第一调节孔分别对应的所述凸起部贴合。
在一些实施例中,
所述镜头板的所述第二定位板包括第二调节孔,其中,所述第二调节孔穿透所述第二定位板与所述固定板贴合区域内的所述第二定位面。
在一些实施例中,
所述检测装置还包括激光发生器、激光电源、散热装置;所述激光发生器与所述激光镜头光连接;所述激光电源与所述激光发生器电连接;所述散热装置设置在所述激光发生器和/或所述激光电源周边。
在一些实施例中,
所述检测装置还包括壳体;所述镜头板与所述壳体可拆卸连接;所述激光发生器、所述激光电源、所述散热装置设置在所述壳体内;所述壳体一面设置透明板;所述激光辐射空间和所述图像可采集空间穿过所述透明板。
为解决激光镜头和图像采集装置的镜头安装结构复杂且调节不方便的问题,本发明有以下优点:
太阳能电池片的光致发光检测装置可以包括:激光镜头、图像采集装置和定位装置。激光镜头将激光投射在激光镜头外部空间形成由第一激光辐射侧面、第二激光辐射侧面、第三激光辐射侧面、第四激光辐射侧面包围的激光辐射空间。图像采集装置在图像采集装置外部空间形成由第一图像采集侧面、第二图像采集侧面、第三图像采集侧面、第四图像采集侧面包围的图像可采集空间;图像采集装置设置与图像采集装置的采集镜头端部距离为h1的第一采集投影面和距离为h2的第二采集投影面,其中,h2大于h1;第一图像采集侧面、第二图像采集侧面、第三图像采集侧面、第四图像采集侧面、第一采集投影面、第二采集投影面在图像可采集空间内包围形成图像采集有效空间。用于安装激光镜头和图像采集装置的安装的定位装置设置为一体式的结构。定位装置一端与激光镜头连接,用于激光镜头的定位和固定;定位装置另一端与图像采集装置连接,用于图像采集装置的定位和固定。通过一体式定位装置将图像采集装置和激光镜头快速定位,将图像采集装置的图像采集有效空间与激光辐射空间重合。这样在安装检测装置时,待检测电池片在图像采集装置的图像采集有效空间时,不需要调整激光镜头和/或图像采集装置,图像采集装置都可以采集到合格的图像,从而简化了安装固定结构并简化激光镜头和图像采集装置位置的调节。
附图说明
图1示出了一种实施例的太阳能电池片的光致发光检测装置示意图;
图2示出了一种实施例的太阳能电池片的光致发光检测装置局部示意图;
图3示出了图2中的镜头板示意图;
图4示出了另一种实施例的太阳能电池片的光致发光检测装置局部示意图;
图5示出了图4中的镜头板示意图;
图6示出了图4中的镜头座示意图;
图7示出了一种实施例的太阳能电池片的光致发光检测装置的激光辐射空间和图像采集装置图像可采集空间示意图;
图8示出了另一种实施例的太阳能电池片的光致发光检测装置的激光辐射空间和图像采集装置图像可采集空间示意图;
图9示出了一种实施例的太阳能电池片的光致发光检测装置的激光辐射空间;
图10示出了一种实施例的太阳能电池片的光致发光检测装置的图像采集装置图像可采集空间和图像采集有效空间示意图。
具体实施方式
现在将参照若干示例性实施例来论述本公开的内容。应当理解,论述了这些实施例仅是为了使得本领域普通技术人员能够更好地理解且因此实现本公开的内容,而不是暗示对本公开的范围的任何限制。
如本文中所使用的,术语“包括”及其变体要被解读为意味着“包括但不限于”的开放式术语。术语“基于”要被解读为“至少部分地基于”。术语“一个实施例”和“一种实施例”要被解读为“至少一个实施例”。术语“另一个实施例”要被解读为“至少一个其他实施例”。
本实施例公开了一种太阳能电池片的光致发光检测装置,如图1所示,可以包括:
激光镜头30,将激光投射在激光镜头30外部空间形成由第一激光辐射侧面311、第二激光辐射侧面312、第三激光辐射侧面313、第四激光辐射侧面314包围的激光辐射空间31;
图像采集装置40,在图像采集装置40外部空间形成由第一图像采集侧面411、第二图像采集侧面412、第三图像采集侧面413、第四图像采集侧面414包围的图像可采集空间41;图像采集装置40设置第一采集投影面431和第二采集投影面432;第一采集投影面431与图像采集装置40的采集镜头端部距离为h1;第二采集投影面432与图像采集装置40的采集镜头端部距离为h2,其中,h2大于h1;第一图像采集侧面411、第二图像采集侧面412、第三图像采集侧面413、第四图像采集侧面414、第一采集投影面431、第二采集投影面432在图像可采集空间41内包围形成图像采集有效空间42;
定位装置20,将图像采集装置40与激光镜头30连接;图像采集有效空间42设置在激光辐射空间31内。
在本实施例中,如图1所示,太阳能电池片的光致发光检测装置可以包括激光镜头30、图像采集装置40、定位装置20。
如图9所示,激光镜头30将激光投射在激光镜头30外部空间形成由第一激光辐射侧面311、第二激光辐射侧面312、第三激光辐射侧面313、第四激光辐射侧面314包围的激光辐射空间31。激光辐射空间31在被检测电池片表面形成宽度为宽1mm~5mm长方形的激光辐射投影区32。激光照射在电池片上的激光辐射投影区32的位置和大小可以通过激光镜头30与被检测的电池片的位置变化来改变。
如图8和图10所示,图像采集装置40可以是工业线阵相机或图像采集摄像头。图像采集装置40可以在图像采集装置40外部空间形成由第一图像采集侧面411、第二图像采集侧面412、第三图像采集侧面413、第四图像采集侧面414包围的图像可采集空间41。由于图像采集装置40采集合格图像的采集投影区的位置是有一定要求的,其位置距离图像采集装置40过小或者过大都无法采集到合格的图像。如图8所示,图像采集装置40可以设置与图像采集装置40的采集镜头端部距离为h1的第一采集投影面431和距离为h2的第二采集投影面432,其中,h2大于h1。如图10所示,第一图像采集侧面411、第二图像采集侧面412、第三图像采集侧面413、第四图像采集侧面414、第一采集投影面431、第二采集投影面432在图像可采集空间41内包围形成图像采集有效空间42。在这个图像采集有效空间42内可以采集到合格的图像用于确认电池片的缺陷。图像采集装置40在检测电池片表面形成宽度为0.2mm~0.8mm宽长方形的图像采集装置40采集投影区。图像采集装置40采集投影区的位置可以通过图像采集装置40与被检测的电池片的位置变化来改变。通过采集的图像可以判断出电池片上是否含有缺陷。
如图3和图5所示,定位装置20可以设置为一体式的结构。定位装置20的一端与激光镜头30连接,用于激光镜头30的定位和固定。定位装置20另一端与图像采集装置40连接,用于图像采集装置40的定位和固定。通过在定位装置20上设置不同的安装位置来实现图像采集装置40和激光镜头30在定位装置20的定位安装。图像采集装置40的图像采集投影区43在激光辐射投影区32内,图像采集装置40的图像采集有效空间42与激光辐射空间31重合。这样可以确保图像采集装置40在图像采集装置40采集区域均采集到有效的图像,而不需调整激光镜头30和/或图像采集装置40的位置。这样一体式的安装装置结构简单,避免由于安装时检测装置与被检测电池片距离一定范围内的变动而需调整激光镜头30和/或图像采集装置40位置的情况,从而可更快速地完成被检测电池片的图像采集。
在一些实施例中,
h1为150mm~300mm;h2为400mm~500mm。
在本实施例中,如图8所示,第一采集投影面431与图像采集装置40的采集镜头端部距离h1可以为150mm~300mm;第二采集投影面432与图像采集装置40的采集镜头端部距离h2可以为400mm~500mm。通过设置距离h1为150mm~300mm和h2为400mm~500mm,可以确保在安装光致发光检测装置时将图像采集装置40与被检测物之间的距离调整到最佳距离,从而保证图像采集装置40获取的图像有效,利于被检测物缺陷的判断。
在一些实施例中,
定位装置20包括镜头板21;镜头板21包括第一定位板211、第二定位板213、连接板212;第一定位板211通过连接板212与第二定位板213连接;第二定位板213上设置第一定位孔2131;第一定位板211上设置第一定位部;其中,第一定位孔2131的中轴线与第一定位部的中心对称面重合。
在本实施例中,如图3或图5所示,定位装置20可以包括镜头板21,其中,镜头板21为一体式设计。镜头板21可以包括第一定位板211、第二定位板213和连接板212。第一定位板211通过连接板212与第二定位板213连接。第一定位板211可以设置为水平方向延伸的平板。这里的水平方向是为了便于描述连接板212和第二定位板213在空间上的设置结构。在另一些实施例中,由于检测装置安装的需要,在其安装完成后可以将镜头板21的第一定位板211保持与水平方向呈一定角度的状态,当然也可以将第一定位板211保持水平方向。第一定位板211可以用于图像采集装置40的固定和定位,图像采集装置40的对称轴可以是垂直于第一定位板211平面。连接板212可以是从第一定位板211的一端朝向第一定位板211的下方延伸。第二定位板213可以是在连接板212远离第一定位板211的一端,朝向远离第一定位板211且倾斜向下的方向延伸。同时,第二定位板213也可以设置为平板状。第二定位板213可以用于激光镜头30的定位和固定,激光镜头30的对称轴线可以是垂直于第二定位板213。当把第一定位板211设置为水平方向时,被检测的电池片位于连接板212从第一定位板211开始延伸的方向上,使得用于固定激光镜头30的第二定位板213比用于固定图像采集装置40的第一定位板211更靠近被检测电池片所在的平面。进一步来说,这种方式设置第二定位板213相对其他方式,使得激光镜头30相对于图像采集装置40更靠近被检测的电池片,从而避免图像采集装置40遮挡激光光路的情况发生。设置在第二定位板213上第一定位孔2131的中轴线与设置在第一定位板211的第一定位部的中心对称面重合,这样通过镜头板21安装激光镜头30和图像采集装置40后可以使得图像采集装置40的图像采集有效空间42与激光辐射空间31重合,从而减少激光镜头30和/或图像采集装置40调整。
在一些实施例中,
镜头板21的第一定位部包括从第一定位板211一侧面凹陷的定位槽2112和设置在定位槽2112内的安装孔2111,其中,定位槽2112关于第一定位部的中心对称面对称设置;安装孔2111关于第一定位部的中心对称面对称设置;定位槽2112包括第一定位面2113和定位侧面,其中,第一定位面2113垂直于第一定位部的中心对称面。
在本实施例中,如图3或图5所示,镜头板21的第一定位部可以包括定位槽2112、安装孔2111。其中,定位槽2112和安装孔2111关于第一定位部的中心对称面对称设置。第一定位板211的一侧面可以设置向下凹陷的定位槽2112。定位槽2112可以包括第一定位面2113和定位侧面,其中,第一定位面2113垂直于第一定位部的中心对称面。定位槽2112可以依据被固定装置位置的外观形状来设置,可以设置成方形的凹槽或圆形的凹槽。从定位槽2112的表面可以设置穿透第一定位板211厚度方向的安装孔2111。被固定装置的前端可以穿过安装孔2111。第一定位板211还可以设置用于穿过螺丝的通孔。通过螺丝穿过通孔,螺丝与被固定装置上内螺纹孔螺纹配合,将被固定装置固定在第一定位板211上。
在一些实施例中,
图像采集装置40的第二定位部33与定位槽2112配合,其中,第二定位部33的端面与定位槽2112的第一定位面2113贴合,第二定位部33的侧面与定位槽2112的定位侧面贴合。
在本实施例中,如图2和图4所示,图像采集装置40的第二定位部33可以与定位槽2112配合,从而实现图像采集装置40的定位。第二定位部33的端面与定位槽2112的第一定位面2113贴合,第二定位部33的侧面与定位槽2112的定位侧面贴合。图像采集装置40的前端可以穿过安装孔2111,其中,图像采集装置40的前端可以是图像采集装置40的镜头端。图像采集装置40穿过安装孔2111的部分可以与第一定位孔2131间隙配合,实现图像采集装置40的初步定位。当图像采集装置40的定位处可以与定位槽2112贴合后,图像采集装置40通过第一定位板211定位完成。第一定位板211还可以设置用于穿过螺丝的通孔。通过螺丝穿过通孔,螺丝与图像采集装置40上的内螺纹孔螺纹配合,将图像采集装置40固定在第一定位板211上。从而实现图像采集装置40在第一定位板211上的定位和固定。
在一些实施例中,
第二定位板213包括第二定位面2133,其中,第二定位面2133垂直于第一定位孔2131的中轴线;第二定位面2133与第一定位面2113形成的夹角为α,其中,夹角α为0°~20°。
在本实施例中,如图3和图5所示,第二定位板213包括第二定位面2133,其中,第二定位面2133垂直于第一定位孔2131的中轴线。由于第二定位板213朝向远离第一定位板211且倾斜向下的方向延伸,这样第一定位板211和第二定位板213形成一定角度,使得第一定位面2113和第二定位面2133形成夹角为α。在电池片的检测时,大多数情况是使电池片的保持水平状态下来检测的。这样可以减少了为检测电池片而需要保持电池片姿势的定位部件。由于图像采集装置40的采集光路需要垂直被检测的电池片,在检测装置安装完成后,镜头板21的第一定位板211可以与被检测电池片平行。这样夹角α大致可以表示激光光路与垂直面的夹角。如图7所示,当激光照射在电池片上形成激光辐射投影区32时,激光辐射投影区32可以是长方形。由于激光倾斜照射在电池片上,这样会出现激光辐射投影区32靠近激光镜头30一侧,激光在单位面积内的强度大;在激光辐射投影区32远离激光镜头30一侧,激光在单位面积内的强度小。为了减少这种两侧激光强度不一样的情况,夹角α可以为0°~20°。这样可以避免由于激光辐射投影区32两侧激光强度差异过大,影响图像采集装置40采集图像真实性,造成对被检测电池片缺陷的误判。通过将第一定位面2113和第二定位面2133角度固定设置,避免激光镜头30和图像采集装置40在夹角α圆周方向的调整,从而可更快速地完成被检测电池片的图像采集。
在一些实施例中,
夹角α为5°~10°。
在本实施例中,如图3或图5所示,夹角α可以为5°~10°。在夹角α设置过程中,当夹角α越来越小时,为了使得图像采集装置40采集区在激光辐射区,需要将激光镜头30朝远离被检测电池片的方向移动,这样移动激光镜头30,容易造成图像采集装置40遮挡激光的情况而损失激光;当夹角α越来越大时,容易造成激光辐射投影区32两侧激光强度差异过大。夹角α为5°~10°,可以平衡以上两种不足,使得检测装置达到最佳的使用效果。
在一些实施例中,
激光镜头30的第三定位部的端面与第二定位板213的第二定位面2133贴合;第三定位部的外圆周面与第二定位板213的第一定位孔2131的圆弧面贴合。
在本实施例中,如图2所示,第二定位板213可以设置穿透第二定位板213厚度方向的第一定位孔2131。激光镜头30的一端穿过第二定位孔223。激光镜头30的第三定位部的端面与第二定位板213的第二定位面2133贴合;第三定位部的外圆周面与第二定位板213的第一定位孔2131的圆弧面贴合。这样激光镜头30通过第二定位板213定位。激光镜头30可以在第一定位孔2131内绕第一定位孔2131中心轴旋转,使得图像采集装置40采集区在激光辐射区内。第二定位板213可以设置螺纹孔,通过螺丝与螺纹孔螺纹配合,使得螺丝端部压紧在激光镜头30的压紧槽内,用于限制激光镜头30沿第一定位孔2131中心轴旋转和轴向的移动。通过以上部件将激光镜头30在第二定位板213上的定位和固定。
在一些实施例中,
定位装置20还包括镜头座22;镜头座22包括固定板221、凸台222、第二定位孔223;凸台222设置为从固定板221一侧面沿远离固定板221的方向延伸,其中,凸台222垂直固定板221;第二定位孔223设置为从固定板221另一侧面穿透凸台222和固定板221;固定板221的一侧面与镜头板21的第二定位面2133贴合,另一侧面与激光镜头30的第三定位部的端面贴合;凸台222与第一定位板211的第一定位孔2131配合;激光镜头30的第三定位部的外圆周面与第二定位孔223的圆弧面贴合;第二定位孔223的中轴线与定位槽2112的中心对称面重合。
在本实施例中,如图6所示,定位装置20还可以包括镜头座22。镜头座22可以设置在激光镜头30和第二定位板213之间,用于激光镜头30的定位、调节和固定。由于激光镜头30通常设置成具有一定长度的圆柱状。用于激光镜头30定位的第一定位孔2131的深度(即第二定位板213在第一定位孔2131附近的厚度)达到激光镜头30长度的20%左右才可以有效地防止激光镜头30的晃动。当第一定位孔2131的深度达到激光镜头30长度的20%时,会增加制造镜头板21的成本。这样可以在激光镜头30和第一定位板211之间,设置用于激光镜头30的定位、调节和固定的镜头座22。镜头座22可以包括固定板221、凸台222、第二定位孔223。凸台222可以从固定板221的一侧面并垂直该侧面朝远离固定板221的方向延伸。凸台222的外圆周面可以与第一定位孔2131配合,固定板221与第二定位板213的表面贴合,这样可以在第一定位孔2131的深度较小的情况下对镜头座22定位。固定板221与第二定位板213可以通过螺栓固定连接。从凸台222的端面设置有贯穿凸台222和固定板221的第二定位孔223。激光镜头30的一端穿过第二定位孔223,通过第二定位孔223来定位激光镜头30。这样第二定位孔223的深度可以达到激光镜头30长度的50%,消除激光镜头30与镜头座22之间的晃动,从而使得激光镜头30定位更稳定。激光镜头30可以在第二定位孔223内绕第二定位孔223中心轴旋转,使得图像采集装置40的图像采集有效空间42在激光辐射空间31内。凸台222的侧面可以设置穿透的螺纹孔,通过螺丝与螺纹孔螺纹配合,使得螺丝端部压紧在激光镜头30的压紧槽内,用于限制激光镜头30沿第二定位孔223中心轴旋转和轴向的移动。
在一些实施例中,
凸台222远离固定板221的端面对称设置两个凸耳224;凸耳224上设置第一调节孔225;穿过一个第一调节孔225的第一调节螺丝的端部贴合在激光镜头30的凸起部;两个第一调节螺丝设置为从相同方向与两个第一调节孔225分别对应的凸起部贴合。
在本实施例中,如图6所示,镜头座22的凸台222还可以包括两个凸耳224。凸耳224设置在凸台222远离固定板221的端面上。凸耳224上设置第一调节孔225。穿过一个第一调节孔225的第一调节螺丝的端部贴合在激光镜头30的凸起部;两个第一调节螺丝设置为从相同方向与两个第一调节孔225分别对应的凸起部贴合。当两个第一调节螺丝的端部分别压紧在激光镜头30的凸起部时,激光镜头30在第二定位孔223内是无法旋转的。松开其中一个第一调节螺丝,通过拧紧另一个第一调节螺丝可以推动激光镜头30沿一个方向旋转。反正可以使得激光镜头30沿另一方向旋转。这样可以实现激光镜头30细微而精准的调整,使得图像采集装置40的图像采集有效空间42在激光辐射空间31内。
在一些实施例中,
镜头板21的第二定位板213包括第二调节孔2132,其中,第二调节孔2132穿透第二定位板213与固定板221贴合区域内的第二定位面2133。
在本实施例中,如图5所示,第二定位板213可以设置穿透第二定位板213厚度方向含有螺纹的第二调节孔2132。第二调节螺丝可以与第二调节孔2132螺纹连接;第二调节螺丝从第二调节孔2132穿过第二定位板213和固定板221贴合面,第二调节螺丝的一端推动固定板221朝远离第二定位板213方向移动。凸台222的外圆周面可以与第一定位孔2131间隙配合,通过第二调节螺丝可以将镜头座22的固定板221一侧顶起,使得固定板221的一侧与第二定位板213的表面保持一定间隙,从而使得固定在镜头座22内的激光镜头30相对于第二定位板213产生倾斜,最终用于调节激光镜头30和图像采集装置40的相对位置,使得图像采集装置40的图像采集有效空间42在激光辐射空间31内。在另一些实施例中,第二定位板213可以设置多个第二调节孔2132。多个第二调节孔2132分别配合有多个第二调节螺丝。在对镜头座22的固定板221倾斜度调节时,可以是同时调节多个第二调节螺丝,使得固定板221的一侧与第二定位板213的表面保持一定间隙。这样通过多个第二调节螺丝端部在固定板221的一侧的不同位置顶起固定板221,使得顶起后的固定板221姿态更容易保持和稳定。在第二调节螺丝调节完成后,还可以将第二定位板213和镜头座22锁紧用的螺丝锁紧,使得调整后的镜头座22位置固定。
在一些实施例中,
检测装置还包括激光发生器60、激光电源50、散热装置;激光发生器60与激光镜头30光连接;激光电源50与激光发生器60电连接;散热装置设置在激光发生器60和/或激光电源50周边。
在本实施例中,如图1所示,检测装置还可以包括激光发生器60、激光电源50、散热装置。激光发生器60与激光镜头30光连接,用于给检测装置提供激光。激光电源50与激光发生器60电连接,用于给激光发生器60提供电源;散热装置设置在激光发生器60和/或激光电源50周边,用于对激光发生器60和/或激光电源50降温。检测装置将激光发生器60、激光电源50、散热装置集成为一体,这样对于整个检测装置而言,只需要提供电源即可使得检测装置用于检测。在另一些实施例中,检测装置还可以包括一台含有图像处理的电脑。将图像采集装置40采集的图像进行处理,以便用户对电池片缺陷进行分析处理。
在一些实施例中,
检测装置还包括壳体10;镜头板21与壳体10可拆卸连接;激光发生器60、激光电源50、散热装置70设置在壳体10内;壳体10一面设置透明板11;激光辐射空间31、图像可采集空间41穿过透明板11。
在本实施例中,如图1所示,检测装置还可以包括壳体10。壳体10与定位装置20可拆卸连接,并将激光发生器60、激光电源50、散热装置70设置在壳体10内,这样将所有功能性部件固定为一个整体,并形成密封空间,防止功能性部件污染而降低其性能。壳体10上可以设置一个透明板11,激光镜头30和图像采集装置40的镜头同时朝向壳体10的透明板11。激光镜头30发射的激光穿过透明板11照射在被检测的电池片上。图像采集装置40也透过透明板11采集被检测电池片的图像。在另一些实施例中,检测装置还可以包括距离检测器80。距离检测器80可以设置在壳体10内部的透明板11处,用于测量距离检测器80与电池片的距离。当距离检测器80检测其与电池片的距离在设定值范围时,可以发出距离合格的信号。反之可以发出距离不合格的信号。这样便于检测装置安装时,使其安装在合适的位置,从而保证激光镜头30和相机距离被检测电池片的距离,最终使得相机采集合格的图像。
本领域的普通技术人员可以理解,上述各实施方式是实现本公开的具体案例,而在实际应用中,可以在形式上和细节上对其作各种改变,而不偏离本公开的精神和范围。
Claims (13)
1.一种太阳能电池片的光致发光检测装置,其特征在于,包括:
激光镜头,将激光投射在所述激光镜头外部空间形成由第一激光辐射侧面、第二激光辐射侧面、第三激光辐射侧面、第四激光辐射侧面包围的激光辐射空间;
图像采集装置,在所述图像采集装置外部空间形成由第一图像采集侧面、第二图像采集侧面、第三图像采集侧面、第四图像采集侧面包围的图像可采集空间;所述图像采集装置设置第一采集投影面和第二采集投影面;所述第一采集投影面与所述图像采集装置的采集镜头端部距离为h1;所述第二采集投影面与所述图像采集装置的采集镜头端部距离为h2,其中,h2大于h1;所述第一图像采集侧面、所述第二图像采集侧面、所述第三图像采集侧面、所述第四图像采集侧面、所述第一采集投影面、所述第二采集投影面在所述图像可采集空间内包围形成图像采集有效空间;
定位装置,将所述图像采集装置与所述激光镜头连接;所述图像采集有效空间设置在所述激光辐射空间内。
2.根据权利要求1所述的一种太阳能电池片的光致发光检测装置,其特征在于,
所述h1为150mm~300mm;所述h2为400mm~500mm。
3.根据权利要求1或2所述的一种太阳能电池片的光致发光检测装置,其特征在于,
所述定位装置包括镜头板;所述镜头板包括第一定位板、第二定位板、连接板;所述第一定位板通过所述连接板与所述第二定位板连接;所述第二定位板上设置第一定位孔;所述第一定位板上设置第一定位部;其中,所述第一定位孔的中轴线与所述第一定位部的中心对称面重合。
4.根据权利要求3所述的一种太阳能电池片的光致发光检测装置,其特征在于,
所述镜头板的所述第一定位部包括从所述第一定位板一侧面凹陷的定位槽和设置在所述定位槽内的安装孔,其中,所述定位槽关于所述第一定位部的中心对称面对称设置;所述安装孔关于所述第一定位部的中心对称面对称设置;所述定位槽包括第一定位面和定位侧面,其中,所述第一定位面垂直于所述第一定位部的中心对称面。
5.根据权利要求4所述的一种太阳能电池片的光致发光检测装置,其特征在于,
所述图像采集装置包括第二定位部;所述图像采集装置通过所述第二定位部与所述定位槽配合实现定位,其中,所述第二定位部的端面与所述定位槽的所述第一定位面贴合,所述第二定位部的侧面与所述定位槽的所述定位侧面贴合。
6.根据权利要求4或5中任一所述的一种太阳能电池片的光致发光检测装置,其特征在于,
所述第二定位板包括第二定位面,其中,所述第二定位面垂直于所述第一定位孔的中轴线;所述第二定位面与所述第一定位面形成的夹角为α,其中,夹角α为0°~20°。
7.根据权利要求6所述的一种太阳能电池片的光致发光检测装置,其特征在于,
所述夹角α为5°~10°。
8.根据权利要求6所述的一种太阳能电池片的光致发光检测装置,其特征在于,
所述激光镜头包括第三定位部;所述激光镜头通过所述第三定位部与所述第二定位板配合实现定位,其中,所述第三定位部的端面与所述第二定位板的所述第二定位面贴合;所述第三定位部的外圆周面与所述第二定位板的所述第一定位孔的圆弧面贴合。
9.根据权利要求6所述的一种太阳能电池片的光致发光检测装置,其特征在于,
所述定位装置还包括镜头座;所述镜头座包括固定板、凸台、第二定位孔;所述凸台设置为从所述固定板一侧面沿远离所述固定板的方向延伸,其中,所述凸台垂直所述固定板;所述第二定位孔设置为从固定板另一侧面穿透所述凸台和所述固定板;所述激光镜头包括第三定位部;所述固定板的一侧面与所述镜头板的所述第二定位面贴合,另一侧面与所述第三定位部的端面贴合;所述凸台与所述第一定位板的所述第一定位孔配合;所述第三定位部的外圆周面与所述第二定位孔的圆弧面贴合;所述激光镜头通过所述第三定位部与所述镜头座配合实现定位;所述第二定位孔的中轴线与所述定位槽的中心对称面重合。
10.根据权利要求9中所述的一种太阳能电池片的光致发光检测装置,其特征在于,
所述凸台远离所述固定板的端面对称设置两个凸耳;所述凸耳上设置第一调节孔;穿过一个所述第一调节孔的第一调节螺丝的端部贴合在所述激光镜头的凸起部;两个所述第一调节螺丝设置为从相同方向与两个所述第一调节孔分别对应的所述凸起部贴合。
11.根据权利要求9或10中任一所述的一种太阳能电池片的光致发光检测装置,其特征在于,
所述镜头板的所述第二定位板包括第二调节孔,其中,所述第二调节孔穿透所述第二定位板与所述固定板贴合区域内的所述第二定位面。
12.根据权利要求11中所述的一种太阳能电池片的光致发光检测装置,其特征在于,
所述检测装置还包括激光发生器、激光电源、散热装置;所述激光发生器与所述激光镜头光连接;所述激光电源与所述激光发生器电连接;所述散热装置设置在所述激光发生器和/或所述激光电源周边。
13.根据权利要求12中所述的一种太阳能电池片的光致发光检测装置,其特征在于,
所述检测装置还包括壳体;所述镜头板与所述壳体可拆卸连接;所述激光发生器、所述激光电源、所述散热装置设置在所述壳体内;所述壳体一面设置透明板;所述激光辐射空间和所述图像可采集空间穿过所述透明板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210913208.7A CN114975157B (zh) | 2022-08-01 | 2022-08-01 | 一种太阳能电池片的光致发光检测装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210913208.7A CN114975157B (zh) | 2022-08-01 | 2022-08-01 | 一种太阳能电池片的光致发光检测装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114975157A CN114975157A (zh) | 2022-08-30 |
CN114975157B true CN114975157B (zh) | 2022-10-21 |
Family
ID=82970300
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202210913208.7A Active CN114975157B (zh) | 2022-08-01 | 2022-08-01 | 一种太阳能电池片的光致发光检测装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN114975157B (zh) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7235154B2 (en) * | 2004-01-08 | 2007-06-26 | Strasbaugh | Devices and methods for optical endpoint detection during semiconductor wafer polishing |
WO2011016441A1 (ja) * | 2009-08-04 | 2011-02-10 | 国立大学法人奈良先端科学技術大学院大学 | 太陽電池の評価方法、評価装置、メンテナンス方法、メンテナンスシステム、および太陽電池モジュールの製造方法 |
TWI522609B (zh) * | 2010-01-04 | 2016-02-21 | Bt映像私人有限公司 | 用於分析半導體的方法與系統以及執行該方法與操作該系統的製造物件 |
CN102788769A (zh) * | 2011-05-18 | 2012-11-21 | 联景光电股份有限公司 | 晶圆检测装置及使用其的晶圆检测方法 |
NL2007941C2 (en) * | 2011-12-09 | 2013-06-11 | Stichting Energie | Qualification of silicon wafers for photo-voltaic cells by optical imaging. |
CN110646433A (zh) * | 2018-06-27 | 2020-01-03 | 东泰高科装备科技(北京)有限公司 | 一种电池内部缺陷在线检测方法、装置及太阳能电池生产线 |
CN110195809B (zh) * | 2019-06-21 | 2024-06-28 | 东莞威森智能科技有限公司 | 一种相机模组、电池硅片缺陷检测装置和检测方法 |
CN211374559U (zh) * | 2019-10-23 | 2020-08-28 | 内蒙古中环光伏材料有限公司 | 一种单晶硅片用可调检测装置 |
-
2022
- 2022-08-01 CN CN202210913208.7A patent/CN114975157B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114975157A (zh) | 2022-08-30 |
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PB01 | Publication | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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