CN114952522B - 激光系统以及用于加工陶瓷材料的装置和方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种激光系统以及用于加工陶瓷材料的装置和方法，其中激光系统包括激光器、分束器、聚焦镜组件、第一光束变向组件、第二光束变向组件和控制系统。分束器用于将激光器射出的激光分为第一光束和第二光束。聚焦镜组件包括第一聚焦镜和第二聚焦镜，第一聚焦镜用于将入射光线聚焦在砂轮上，第二聚焦镜用于将入射光线聚焦在工件上。第一光束变向组件用于调整第一光束的方向，第二光束变向组件用于调整第二光束的方向。控制系统同时与第一光束变向组件、第二光束变向组件电连接，以控制第一光束和第二光束的方向。相比于现有技术，本发明能够同时进行陶瓷材料的激光预辐照和砂轮的修整，以实现陶瓷材料的高效低损伤加工。

Description

激光系统以及用于加工陶瓷材料的装置和方法

技术领域

本发明涉及超精密复合磨削加工技术领域，特别是涉及一种激光系统以及用于加工陶瓷材料的装置和方法。

背景技术

超精密磨削具有加工精度高、表面粗糙度及表面/亚表面损伤低等优点，是目前硬脆陶瓷材料镜面加工的主流工艺。烧结的金属基超硬磨料砂轮如金刚石或立方氮化硼因其硬度高、结合强度高、成型性好、磨削性能好而成为加工硬脆陶瓷材料的特效工具。但是，由于陶瓷材料的硬脆特性，导致随着加工时长的累积，砂轮的磨粒逐渐钝化，容屑空间减小，磨削力及磨削弧区温度迅速攀升，严重影响砂轮的磨削性能，进而降低加工质量及工件表面完整性。

发明内容

本发明的目的是提供一种激光系统以及用于加工陶瓷材料的装置和方法，能够同时进行陶瓷材料的激光预辐照和砂轮的修整，以实现陶瓷材料的高效低损伤加工。

为实现上述目的，本发明提供了如下方案：

本发明公开了一种激光系统，包括：

激光器；

分束器，所述分束器用于将所述激光器射出的激光分为第一光束和第二光束；

聚焦镜组件，所述聚焦镜组件包括第一聚焦镜和第二聚焦镜，所述第一聚焦镜用于将入射光线聚焦在砂轮上，所述第二聚焦镜用于将入射光线聚焦在工件上；

第一光束变向组件，所述第一光束变向组件用于调整所述第一光束的方向，使所述第一光束能够沿所述第一聚焦镜的轴线射向所述第一聚焦镜，以通过所述第一光束对所述砂轮进行修整；

第二光束变向组件，所述第二光束变向组件用于调整所述第二光束的方向，使所述第二光束能够沿所述第二聚焦镜的轴线射向所述第二聚焦镜，以通过所述第二光束对所述工件进行预辐照，也能够在预辐照完成后使所述第二光束沿所述第一聚焦镜的轴线射向所述第一聚焦镜，以通过所述第二光束对所述砂轮进行修整；

控制系统，所述控制系统同时与所述第一光束变向组件、所述第二光束变向组件电连接，以控制所述第一光束和所述第二光束的方向。

优选地，所述第一光束变向组件包括第一反射镜和第一驱动装置；所述第一反射镜用于反射所述第一光束；所述第一驱动装置与所述第一反射镜相连，用于驱动所述第一反射镜旋转；所述第一驱动装置与所述控制系统电连接；

所述第二光束变向组件包括第二反射镜和第二驱动装置；所述第二反射镜用于反射所述第二光束；所述第二驱动装置与所述第二反射镜相连，用于驱动所述第二反射镜旋转；所述第二驱动装置与所述控制系统电连接。

优选地，还包括壳体，所述激光器和所述聚焦镜组件固定于所述壳体上，所述第一光束变向组件和所述第二光束变向组件位于所述壳体内。

优选地，所述第一聚焦镜的轴线与所述第二聚焦镜的轴线相互垂直。

优选地，还包括十字滑台，所述十字滑台安装于所述壳体上；所述十字滑台的驱动电机与所述控制系统电连接；所述十字滑台的滑块能够沿平行于所述第一聚焦镜轴线的方向和平行于所述第二聚焦镜轴线的方向移动；

所述第一反射镜包括第一反射镜Ⅰ和第一反射镜Ⅱ，所述第一反射镜Ⅱ安装于所述壳体上；所述第二反射镜包括第二反射镜Ⅰ和第二反射镜Ⅱ，所述第二反射镜Ⅱ安装于所述壳体上；所述第一驱动装置与所述第一反射镜Ⅰ相连，所述第一驱动装置安装于所述滑块上；所述第二驱动装置与所述第二反射镜Ⅰ相连，所述第二驱动装置安装于所述滑块上；所述分束器安装于所述滑块上。

优选地，所述第一驱动装置为第一电机，所述第一电机的输出轴沿所述第一反射镜的径向与所述第一反射镜相连；所述第二驱动装置为第二电机，所述第二电机的输出轴沿所述第二反射镜的径向与所述第二反射镜相连。

本发明还公开了一种用于加工陶瓷材料的装置，包括上述的激光系统，还包括：

床身；

工作台滑移系统，所述工作台滑移系统包括工作台和工作台移动组件；所述工作台用于固定工件；所述工作台移动组件与所述工作台相连，用于使所述工作台在所述床身上滑移；

磨削系统，所述磨削系统包括砂轮、砂轮旋转驱动组件和砂轮移动组件；所述砂轮旋转驱动组件与所述砂轮相连，用于驱动所述砂轮旋转；所述砂轮移动组件同时与所述砂轮、所述砂轮旋转驱动组件相连，用于调整所述砂轮及所述砂轮旋转驱动组件与所述工作台的距离；

立板滑移系统，所述立板滑移系统包括立板和立板移动组件；所述立板竖直设置，所述立板的法线平行于所述砂轮的轴线；所述立板移动组件与所述立板相连，用于使所述立板在所述床身上沿所述立板的法线方向滑移；

壳体移动组件，所述壳体移动组件用于使所述激光器和所述聚焦镜组件沿竖直方向同步移动；所述壳体移动组件和所述砂轮均安装于所述立板上；

其中，所述第一聚焦镜的轴线水平设置且垂直于所述砂轮的轴线，所述第二聚焦镜的轴线竖直设置。

优选地，还包括吹屑系统，所述吹屑系统包括气枪和第一压力控制装置；所述气枪用于清理所述砂轮在修整过程和所述工件在磨削过程产生的碎屑；所述第一压力控制装置与所述气枪相连，用于向所述气枪输送气体；所述控制系统与所述第一压力控制装置电连接，用于调整所述第一压力控制装置向所述气枪输送气体的气压。

优选地，还包括工件吸附系统，所述工件吸附系统包括真空吸盘和第二压力控制装置；所述真空吸盘安装于所述工作台上，用于吸附所述工件；所述第二压力控制装置与所述真空吸盘相连，用于抽取所述真空吸盘内的空气；所述控制系统与所述第二压力控制装置相连，用于控制所述第二压力控制装置的抽气过程。

本发明还公开了一种用于加工陶瓷材料的方法，使用上述的激光系统，并包括如下步骤：

S1、通过第一光束变向组件调整第一光束的方向，使所述第一光束能够沿所述第一聚焦镜的轴线射向所述第一聚焦镜；通过第二光束变向组件调整第二光束的方向，使所述第二光束能够沿所述第二聚焦镜的轴线射向所述第二聚焦镜；

S2、调整激光系统、砂轮、工件的位置关系，使第一光束经第一聚焦镜聚焦后照射在砂轮的侧面，第二光束经第二聚焦镜聚焦后照射在工件的待加工面上；

S3、旋转砂轮，第一光束对砂轮进行修整；同时，使激光系统与工件相对运动，第二光束按照预设的磨削轨迹在待加工面上预辐照；

S4、通过第二光束变向组件调整第二光束的方向，使所述第二光束能够沿所述第一聚焦镜的轴线射向所述第一聚焦镜，第一光束和第二光束共同对砂轮进行修整；

S5、砂轮按照预设的磨削轨迹在工件的待加工面上进行磨削加工，直至磨削完成。

本发明相对于现有技术取得了以下技术效果：

本发明的激光系统在使用时，可在工件磨削前对工件进行预辐照，使得陶瓷材料发生氧化、等离子去除、气化等现象，在待加工表面制备表面微结构，一方面可以改善热交换条件，另一方面可以降低陶瓷材料硬度及断裂韧性，减小陶瓷材料的损伤。另一方面，通过在工件磨削前和磨削时对砂轮进行修整，可以解决因砂轮过度磨损而损伤工件的问题，减小陶瓷材料的损伤。而且，通过对激光分束，第一光束对砂轮的修整和第二光束对工件的预辐照可同时进行，并在预辐照完成后可同时通过第一光束和第二光束修整砂轮，从而实现陶瓷材料的高效加工。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实施例用于加工陶瓷材料的装置是示意图；

图2为本实施例激光系统的示意图；

图3为本实施例激光系统的原理图；

附图标记说明：1-床身；2-壳体移动组件；3-激光器；4-十字滑台；5-计算机控制系统；6-激光系统；7-真空吸盘；8-底座；9-工作台移动组件；10-砂轮；11-立板移动组件；12-砂轮移动组件；13-伺服电机控制系统；14-立板；15-气枪；16-第一压力控制装置；17-壳体；18-滑块；19-分束器；20-丝杠；21-驱动装置支杆；22-第二电机；23-第二反射镜Ⅰ；24-反射镜支杆；25-第二聚焦镜；26-第二反射镜Ⅱ；27-第一反射镜Ⅰ；28-第一反射镜Ⅱ；29-第一聚焦镜；30-第一光束；31-第二光束；33-工件。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

本发明的目的是提供一种激光系统以及用于加工陶瓷材料的装置和方法，能够同时进行陶瓷材料的激光预辐照和砂轮的修整，以实现陶瓷材料的高效低损伤加工。

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步详细的说明。本实施例中，工件可以全部为陶瓷材质，也可以部分为陶瓷材质。当部分为陶瓷材质时，本实施例所指的预辐照和磨削加工均是对其陶瓷部分的加工。

参照图1～图3，本实施例提供一种激光系统，包括激光器3、分束器19、聚焦镜组件、第一光束变向组件、第二光束变向组件和控制系统。

其中，分束器19用于将激光器3射出的激光分为第一光束30和第二光束31。聚焦镜组件包括第一聚焦镜29和第二聚焦镜25，第一聚焦镜29用于将入射光线聚焦在砂轮10上，第二聚焦镜25用于将入射光线聚焦在工件33上。第一光束变向组件用于调整第一光束30的方向，使第一光束30能够沿第一聚焦镜29的轴线射向第一聚焦镜29，以通过第一光束30对砂轮10进行修整。第二光束变向组件用于调整第二光束31的方向，使第二光束31能够沿第二聚焦镜25的轴线射向第二聚焦镜25，以通过第二光束31对工件33进行预辐照，也能够在预辐照完成后使第二光束31沿第一聚焦镜29的轴线射向第一聚焦镜29，以通过第二光束31对砂轮10进行修整。控制系统同时与第一光束变向组件、第二光束变向组件电连接，以控制第一光束30和第二光束31的方向。第二光束31对工件33预辐照时，工件33上第二光束31的轨迹应为砂轮10的预设磨削轨迹。激光系统6与工件33的相对运动可通过激光系统6和工件33的单独动作实现，也可通过两者的共同动作实现。

该激光系统6在使用时，可在工件33磨削前对工件33进行预辐照，使得陶瓷材料发生氧化、等离子去除、气化等现象，在待加工表面制备表面微结构，一方面可以改善热交换条件，另一方面可以降低陶瓷材料硬度及断裂韧性，减小陶瓷材料的损伤。另一方面，通过在工件33磨削前和磨削时对砂轮10进行修整，可以解决因砂轮10过度磨损而损伤工件33的问题，减小陶瓷材料的损伤。而且，通过对激光分束，第一光束30对砂轮10的修整和第二光束31对工件33的预辐照可同时进行，并在预辐照完成后可同时通过第一光束30和第二光束31修整砂轮10，从而实现陶瓷材料的高效加工。

作为一种可能的示例，第一光束变向组件包括第一反射镜和第一驱动装置。第一反射镜用于反射第一光束30。第一驱动装置与第一反射镜相连，用于驱动第一反射镜旋转。第一驱动装置与控制系统电连接，从而在控制系统的控制下做出相应动作。

作为一种可能的示例，第二光束变向组件包括第二反射镜和第二驱动装置。第二反射镜用于反射第二光束31。第二驱动装置与第二反射镜相连，用于驱动第二反射镜旋转。第二驱动装置与控制系统电连接，从而在控制系统的控制下做出相应动作。

作为一种可能的示例，激光系统6还包括壳体17，激光器3和聚焦镜组件固定于壳体17上，第一光束变向组件和第二光束变向组件位于壳体17内。壳体17可对其内部的第一光束变向组件和第二光束变向组件进行保护，并且通过壳体17的移动即可实现激光系统6的整体移动。

作为一种可能的示例，第一聚焦镜29的轴线与第二聚焦镜25的轴线相互垂直。然而，实际实施方式不限于此。例如，第一聚焦镜29的轴线与第二聚焦镜25的轴线夹角为85度，只要能够使聚焦后的第一光束30投射在砂轮10上、聚焦后的第二光束31投射在工件33上即可。

作为一种可能的示例，激光系统6还包括十字滑台4，十字滑台4安装于壳体17上。十字滑台4包括丝杠20和滑块18，可从市场上购得，此处不再赘述。十字滑台4的驱动电机与控制系统电连接，以通过控制系统控制十字滑台4的动作。十字滑台4的滑块18能够沿平行于第一聚焦镜29轴线的方向和平行于第二聚焦镜25轴线的方向移动。第一反射镜包括第一反射镜Ⅰ27和第一反射镜Ⅱ28，第一反射镜Ⅱ28安装于壳体17上。第二反射镜包括第二反射镜Ⅰ23和第二反射镜Ⅱ26，第二反射镜Ⅱ26安装于壳体17上。第一驱动装置与第一反射镜Ⅰ27相连，第一驱动装置安装于滑块18上。第二驱动装置与第二反射镜Ⅰ23相连，第二驱动装置安装于滑块18上。分束器19安装于滑块18上。通过滑块18的移动，可同时调整分束器19、第一反射镜Ⅰ27和第二反射镜Ⅰ23的位置，从而调整第一光束30和第二光束31的路径。第一反射镜Ⅱ28和第二反射镜Ⅱ26可分别固定在对应的反射镜支杆24上，并将反射镜支杆24固定在壳体17上。同样的，第一驱动装置和第二驱动装置可分别固定在对应的驱动装置支杆21上，并将驱动装置支杆21固定在滑块18上。

作为一种可能的示例，第一驱动装置为第一电机，第一电机的输出轴沿第一反射镜的径向与第一反射镜相连。第二驱动装置为第二电机22，第二电机22的输出轴沿第二反射镜的径向与第二反射镜相连。

参照图1～图3，本实施例还提供一种用于加工陶瓷材料的装置，包括上述的激光系统6，还包括床身1、工作台滑移系统、磨削系统、立板滑移系统和壳体移动组件2。工作台滑移系统包括工作台和工作台移动组件9。工作台用于固定工件33，例如通过夹具固定工件33。工作台移动组件9与工作台相连，用于使工作台在床身1上滑移，以实现工件33与激光系统6的相对运动，同样也可通过工作台的滑移实现工件33与砂轮10的相对运动。磨削系统包括砂轮10、砂轮旋转驱动组件和砂轮移动组件12。砂轮旋转驱动组件与砂轮10相连，用于驱动砂轮10旋转。砂轮移动组件12同时与砂轮10、砂轮旋转驱动组件相连，用于调整砂轮10及砂轮旋转驱动组件与工作台的距离。立板滑移系统包括立板14和立板移动组件11。立板14竖直设置，立板14的法线平行于砂轮10的轴线。立板移动组件11与立板14相连，用于使立板14在床身1上沿立板14的法线方向滑移。壳体移动组件2用于使激光器3和聚焦镜组件沿竖直方向同步移动，通常情况下，壳体移动组件2与壳体17相连。壳体移动组件2和砂轮10均安装于立板14上，当立板移动组件11移动立板14时，可实现砂轮10和激光系统6沿立板14法线方向的同步移动。第一聚焦镜29的轴线水平设置且垂直于砂轮10的轴线，第二聚焦镜25的轴线竖直设置。对于图1中的三维坐标系，X轴平行于第一聚焦镜29的轴线，Y轴平行于立板14的法线，Z轴平行于第二聚焦镜25的轴线，X轴、Y轴、Z轴两两相互垂直。

该用于加工陶瓷材料的装置通过将激光系统6与床身1、工作台滑移系统、磨削系统、立板滑移系统和壳体移动组件2配合使用，不仅能够实现陶瓷材料的激光预辐照和砂轮10的修整，还能够实现工件33的磨削加工。

作为一种可能的示例，用于加工陶瓷材料的装置还包括吹屑系统，吹屑系统包括气枪15和第一压力控制装置16。气枪15用于清理砂轮10在修整过程和工件33在磨削过程产生的碎屑。第一压力控制装置16与气枪15相连，用于向气枪15输送气体。控制系统与第一压力控制装置16电连接，用于调整第一压力控制装置16向气枪15输送气体的气压。第一压力控制装置16可以包括储气瓶和位于储气瓶瓶口的压力控制阀，压力控制阀与控制系统电连接。然而，实际实施方式不限于此。

作为一种可能的示例，用于加工陶瓷材料的装置还包括工件吸附系统，工件吸附系统包括真空吸盘7和第二压力控制装置。真空吸盘7安装于工作台上，用于吸附工件33。第二压力控制装置与真空吸盘7相连，用于抽取真空吸盘7内的空气。控制系统与第二压力控制装置相连，用于控制第二压力控制装置的抽气过程。第二压力控制装置可以是吸气泵，吸气泵与控制系统电连接。然而，实际实施方式不限于此。

作为一种可能的示例，床身1包括底座8和侧板，底座8水平设置，侧板竖直设置于底座8上方，侧板的下部与底座8固定相连。侧板包括两个，两个侧板相互平行，立板移动组件11安装于侧板的顶部。

作为一种可能的示例，工作台移动组件9用于使工作台在床身1上沿X轴方向和Y轴方向滑移。

作为一种可能的示例，控制系统包括伺服电机控制系统13和计算机控制系统，伺服电机控制系统13与计算机控制系统电连接。砂轮移动组件12、工作台移动组件9、立板移动组件11、壳体移动组件2等各组件中的伺服电机均与伺服电机控制系统13电连接，由伺服电机控制系统13直接控制，由计算机控制系统间接控制。第一压力控制装置16和第二压力控制装置均与计算机控制系统电连接，由计算机控制系统直接控制。

参照图1～图3，本实施例还提供一种用于加工陶瓷材料的方法，使用如上述的激光系统6，并包括如下步骤：

S1、通过第一光束变向组件调整第一光束30的方向，使第一光束30能够沿第一聚焦镜29的轴线射向第一聚焦镜29。通过第二光束变向组件调整第二光束31的方向，使第二光束31能够沿第二聚焦镜25的轴线射向第二聚焦镜25。

S2、调整激光系统6、砂轮10、工件33的位置关系，使第一光束30经第一聚焦镜29聚焦后照射在砂轮10的侧面，第二光束31经第二聚焦镜25聚焦后照射在工件33的待加工面上。

S3、旋转砂轮10，第一光束30对砂轮10进行修整。同时，使激光系统6与工件33相对运动，第二光束31按照预设的磨削轨迹在待加工面上预辐照。

S4、通过第二光束变向组件调整第二光束31的方向，使第二光束31能够沿第一聚焦镜29的轴线射向第一聚焦镜29，第一光束30和第二光束31共同对砂轮10进行修整。

S5、砂轮10按照预设的磨削轨迹在工件33的待加工面上进行磨削加工，直至磨削完成。

通常情况下，砂轮10的修整可分为粗修整和精修整，粗修整和精修整均可包括修锐和整形。

作为一种可能的示例，激光器3为皮秒脉冲激光器。皮秒脉冲激光器在粗修整阶段：修锐时，设定皮秒脉冲激光器的输出功率为30-40W，重复频率为50-60kHz；整形时，设定皮秒脉冲激光器的输出功率为40-50W，重复频率为30-40kHz。皮秒脉冲激光器在精修整阶段：修锐时，设定皮秒脉冲激光器的输出平均功率为15-20W，激光光斑重复率为35-45％；整形时，设定皮秒脉冲激光器的输出平均功率为25-30W，重复频率为50-60kHz。

作为一种可能的示例，第一压力控制装置16的输出气压在修锐时(包括粗修整阶段和精修整阶段)为0.2-0.4Mpa，在整形时(包括粗修整阶段和精修整阶段)为0.2-0.5Mpa。

作为一种可能的示例，修锐砂轮10时(包括粗修整阶段和精修整阶段)，砂轮10的转速设定为50-100r/min；整形砂轮10时(包括粗修整阶段和精修整阶段)，砂轮10的转速设定为50-80r/min。

本说明书中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (4)

1.一种用于加工陶瓷材料的装置，其特征在于，包括激光系统，所述激光系统包括：

激光器；

分束器，所述分束器用于将所述激光器射出的激光分为第一光束和第二光束；

聚焦镜组件，所述聚焦镜组件包括第一聚焦镜和第二聚焦镜，所述第一聚焦镜用于将入射光线聚焦在砂轮上，所述第二聚焦镜用于将入射光线聚焦在工件上；

第一光束变向组件，所述第一光束变向组件用于调整所述第一光束的方向，使所述第一光束能够沿所述第一聚焦镜的轴线射向所述第一聚焦镜，以通过所述第一光束对所述砂轮进行修整；

第二光束变向组件，所述第二光束变向组件用于调整所述第二光束的方向，使所述第二光束能够沿所述第二聚焦镜的轴线射向所述第二聚焦镜，以通过所述第二光束对所述工件进行预辐照，也能够在预辐照完成后使所述第二光束沿所述第一聚焦镜的轴线射向所述第一聚焦镜，以通过所述第二光束对所述砂轮进行修整；

控制系统，所述控制系统同时与所述第一光束变向组件、所述第二光束变向组件电连接，以控制所述第一光束和所述第二光束的方向；

所述用于加工陶瓷材料的装置还包括：

床身；

工作台滑移系统，所述工作台滑移系统包括工作台和工作台移动组件；所述工作台用于固定工件；所述工作台移动组件与所述工作台相连，用于使所述工作台在所述床身上滑移；

磨削系统，所述磨削系统包括砂轮、砂轮旋转驱动组件和砂轮移动组件；所述砂轮旋转驱动组件与所述砂轮相连，用于驱动所述砂轮旋转；所述砂轮移动组件同时与所述砂轮、所述砂轮旋转驱动组件相连，用于调整所述砂轮及所述砂轮旋转驱动组件与所述工作台的距离；

立板滑移系统，所述立板滑移系统包括立板和立板移动组件；所述立板竖直设置，所述立板的法线平行于所述砂轮的轴线；所述立板移动组件与所述立板相连，用于使所述立板在所述床身上沿所述立板的法线方向滑移；

壳体移动组件，所述壳体移动组件用于使所述激光器和所述聚焦镜组件沿竖直方向同步移动；所述壳体移动组件和所述砂轮均安装于所述立板上；

其中，所述第一聚焦镜的轴线水平设置且垂直于所述砂轮的轴线，所述第二聚焦镜的轴线竖直设置。

2.根据权利要求1所述的用于加工陶瓷材料的装置，其特征在于，还包括吹屑系统，所述吹屑系统包括气枪和第一压力控制装置；所述气枪用于清理所述砂轮在修整过程和所述工件在磨削过程产生的碎屑；所述第一压力控制装置与所述气枪相连，用于向所述气枪输送气体；所述控制系统与所述第一压力控制装置电连接，用于调整所述第一压力控制装置向所述气枪输送气体的气压。

3.根据权利要求2所述的用于加工陶瓷材料的装置，其特征在于，还包括工件吸附系统，所述工件吸附系统包括真空吸盘和第二压力控制装置；所述真空吸盘安装于所述工作台上，用于吸附所述工件；所述第二压力控制装置与所述真空吸盘相连，用于抽取所述真空吸盘内的空气；所述控制系统与所述第二压力控制装置相连，用于控制所述第二压力控制装置的抽气过程。

4.一种用于加工陶瓷材料的方法，其特征在于，使用如权利要求1-3任意一项所述的用于加工陶瓷材料的装置，并包括如下步骤：

S1、通过第一光束变向组件调整第一光束的方向，使所述第一光束能够沿所述第一聚焦镜的轴线射向所述第一聚焦镜；通过第二光束变向组件调整第二光束的方向，使所述第二光束能够沿所述第二聚焦镜的轴线射向所述第二聚焦镜；

S2、调整激光系统、砂轮、工件的位置关系，使第一光束经第一聚焦镜聚焦后照射在砂轮的侧面，第二光束经第二聚焦镜聚焦后照射在工件的待加工面上；

S3、旋转砂轮，第一光束对砂轮进行修整；同时，使激光系统与工件相对运动，第二光束按照预设的磨削轨迹在待加工面上预辐照；

S4、通过第二光束变向组件调整第二光束的方向，使所述第二光束能够沿所述第一聚焦镜的轴线射向所述第一聚焦镜，第一光束和第二光束共同对砂轮进行修整；

S5、砂轮按照预设的磨削轨迹在工件的待加工面上进行磨削加工，直至磨削完成。