CN114915208A - 一种纵切复合压电电机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种纵切复合压电电机，包括定子、作为输出装置的动子和预压调节装置；定子由纵振压电振子和剪切压电振子组成；纵振压电振子由纵振压电叠堆、纵向柔性铰链、第一氧化铝垫片、第二氧化铝垫片和纵向预紧螺栓组成；剪切压电振子由剪切压电陶瓷、剪切柔性铰链和剪切预紧螺栓组成；动子为交叉滚柱滑台，固定在一维微位移平台上，通过与定子相互接触产生的摩擦耦合实现运动输出；本发明可以工作在低频准静态、高频谐振态和直流静态下，有利于实现高速和高分辨率兼顾的跨尺度输出，利用压电陶瓷剪切振动模式和纵向振动模式组合驱动，使压电电机结构紧凑，体积小，剪切压电陶瓷采用螺栓预紧的夹心结构形式，提升了压电振子承受剪切力的能力。
Description
技术领域
本发明涉及压电电机技术领域，具体是一种纵切复合压电电机。
背景技术
压电电机是当前新型驱动器的研究热点，利用压电材料的逆压电效应，在交流电压激励下使定子产生微幅振动，通过定动子之间的摩擦作用将定子微幅振动转换为动子的宏观运动，实现电能到机械能的转化。与电磁电机相比，压电电机具有结构紧凑、响应速度快、位移分辨率高、低速大转矩等优势。压电电机按工作状态不同可分为准静态电机和谐振型电机。准静态压电电机工作频率远低于谐振频率，一般直接利用压电材料的变形或者使用放大元件放大压电材料的变形来实现驱动。准静态压电电机可分为尺蠖式电机、冲击式电机、直接驱动型电机，位移分辨率高但速度较低。谐振型压电电机以超声电机居多，利用压电材料的变形激励弹性复合体在超声频段的机械振动，通过摩擦耦合驱动动子，其工作频率高，速度高、推力大但分辨率相对较低。
随着精密驱动和定位系统的发展，对压电电机的性能要求逐渐提高，很多领域都需要兼备高速和高分辨率的跨尺度驱动技术。目前的准静态压电电机分辨率相对较高，谐振态压电电机速度快，但均难以兼顾高速和高分辨率特性。
本发明提供一种纵切复合压电电机纵切复合压电电机，可以工作在低频准静态、高频谐振态和直流静态下，同时实现高速和高分辨率输出。
发明内容
本发明的目的在于提供一种纵切复合压电电机，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种纵切复合压电电机，包括定子、作为输出装置的动子和预压调节装置，所述定子由剪切压电振子和纵振压电振子组成，通过螺栓固定于定子座上；所述定子座设计为带凹槽的承载座，定子座固定于整体底板上，整体底板设计为带铣槽的定位板；
所述纵振压电振子由纵振压电叠堆、纵向柔性铰链、第一氧化铝垫片、第二氧化铝垫片和纵向预紧螺栓组成；纵向柔性铰链由带有两组平行柔性铰链的第一级纵振柔性铰链和第二级纵振柔性铰链组成，中间设计为空心框架结构，纵振压电叠堆通过纵向预紧螺栓、第一氧化铝垫片和第二氧化铝垫片预紧固定在柔性铰链的中空架构中；
所述剪切压电振子由方环形剪切压电陶瓷、剪切柔性铰链和剪切预紧螺栓组成；剪切柔性铰链为带有两组平行柔性铰链的直梁型柔性铰链，底部设由螺纹孔；所述方环形剪切压电陶瓷通过剪切预紧螺栓和剪切柔性铰链预紧固定在第二级纵振柔性铰链中间部分的通孔中；
所述纵振压电叠堆和剪切压电陶瓷通过螺栓预紧工作在受压状态下；
所述动子为交叉滚柱滑台，动子通过螺栓固定在转接板上，再通过转接板固定于一维微位移平台上；所述动子的前侧粘贴有第二氧化铝陶瓷片，通过摩擦界面与定子顶端进行耦合接触，利用与定子耦合接触产生的摩擦力实现运动输出；
所述预压调节装置由一维微位移平台和压簧构成，通过调节一维微位移平台的测微头，结合压簧实现对定子和动子之间的预压力调节；所述一维微位移平台为SEMX60-AC微移动平台；
所述剪切压电振子和纵振压电振子的激励信号为相差90°的正弦波激励信号，通过调节两路信号相位差调节动子的运动方向。
作为本发明的优选方案：所述两组压电振子工作在低频准静态模式时，给两组压电振子分别施加相位差为90°的两相低频正弦激励电压，以实现纵振压电振子的纵振和剪切压电振子的弯振，从而在定子顶端与动子的接触区域的质点处合成椭圆轨迹的振动，并通过定子与动子之间的摩擦耦合实现动子的运动输出；调整两相激励电压的相位差为-90°，可以使定子顶端形成反向椭圆振动轨迹，从而驱动动子反向运动；所述低频准静态模式能够实现纳米尺度分辨力、低速的步进输出。
所述两组压电振子工作在高频谐振态模式时，剪切压电振子的弯振模态和纵振压电振子的纵振模态的激励频率相等；给所述两组压电振子分别施加频率相等、相位差为90°的两相高频正弦激励电压，激励出纵振压电振子的纵振模态和剪切压电振子的弯振模态；压电振子工作在高频谐振状态时，机械振动振幅的放大比远远大于压电振子工作在准静态时的放大比；在所述纵振压电振子的振动激励下，第二级纵振柔性铰链处于一阶纵振模态，实现竖直方向振幅放大；在所述剪切压电振子的振动激励下，剪切柔性铰链处于一阶弯振模态，实现水平方向振幅放大；通过两个压电振子正交振动模态的复合，从而在定子顶端与动子的接触区域的质点处产生椭圆轨迹的振动，并通过定子与动子之间的摩擦耦合实现动子的运动输出；调整两相激励电压的相位差为-90°，可以使定子顶端形成反向椭圆振动轨迹，从而驱动动子反向运动；所述高频谐振态模式能够实现高速、大位移及大推力的运动输出。
所述两组压电振子工作在直流静态模式时，剪切压电振子和纵振压电振子的激励信号为直流电压信号，调节两路激励信号的相位差实现反向驱动动子。
作为本发明再进一步的优选方案：所述纵向柔性铰链由带有两组平行柔性铰链的第一级纵振柔性铰链和第二级纵振柔性铰链组成，其材料为65Mn；所述第一级纵振柔性铰链与纵向预紧螺栓、第一氧化铝垫片和第二氧化铝垫片相互配合，为纵振压电叠堆提供纵向预紧力。
作为本发明再进一步的优选方案：所述第一级纵振柔性铰链可等效为弹簧，其刚度小于纵振压电叠堆刚度的十分之一，避免其刚度过大限制压电叠堆振动位移输出。
作为本发明再进一步的优选方案：所述第二级纵振柔性铰链中间部分设计有通孔，所述方环形剪切压电陶瓷由剪切预紧螺栓和剪切柔性铰链预紧配合固定在第二级纵振柔性铰链中间部分的通孔中；采用螺栓预紧的夹心结构形式，提升了压电陶瓷承受剪切力的能力，从而提高电机的输出能力。
作为本发明再进一步的优选方案：所述定子座设计有U型凹槽，通过四个螺栓将定子嵌装于U型凹槽内，U型槽末端设计抵挡块限制定子的末端输出，并在U型凹槽侧壁上设有螺纹孔，通过螺栓对定子进行进一步紧固，防止定子在水平方向产生偏摆。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、本发明提供的纵切复合压电电机可以通过跨频段激励，工作在低频准静态和高频谐振态下，使得压电电机在准静态下完成高分辨率驱动，在谐振下完成快速粗定位，实现兼顾高速和高分辨率的跨尺度输出，并且当电机工作在直流静态模式下时，也能够实现高精度微定位。
2、本发明利用压电陶瓷剪切振动模式和纵向振动模式组合驱动，使压电电机结构紧凑，体积小；
3、本发明的剪切压电陶瓷采用螺栓预紧的夹心结构形式，提升了压电振子承受剪切力的能力，从而提高电机的输出能力。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明中定子结构示意图；
图3为本发明中动子及预压调节装置结构示意图；
图4为本发明中激励信号图；
图5为本发明中定子的纵振模态图；
图6为本发明中定子的弯振模态图；
图7为本发明在t1时刻定子和电机运动位置示意图；
图8为本发明在t2时刻定子和电机运动位置示意图；
图9为本发明在t3时刻定子和电机运动位置示意图；
图10为本发明在t4时刻定子和电机运动位置示意图；
图中：1-第一氧化铝陶瓷片、2-剪切柔性铰链、3-剪切压电陶瓷、4-剪切预紧螺栓、5-纵向柔性铰链、6-纵振压电叠堆、7-纵向预紧螺栓、8-定子座、9-交叉滚柱滑台、10-转接板、11-压簧、12-一维微位移平台、13-整体底板、14-第一氧化铝垫片、15-第二氧化铝垫片、16-第一级纵振柔性铰链、17-第二级纵振柔性铰链、18-第二氧化铝陶瓷片。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
请参阅图1-3，本发明实施例中，一种纵切复合压电电机，包括定子、作为输出装置的动子9和预压调节装置，定子通过螺栓固定于定子座8上；所述定子座8为带凹槽的承载座，定子座8固定于整体底板13上，整体底板13为带铣槽的定位板，定子座8具有U型凹槽，定子通过四个螺栓嵌装于U型凹槽内，U型槽末端与定子底部接触配合，限制定子的末端输出，同时在U型槽末端设有缺口槽，为纵向预紧螺栓7预留装配空间；定子座8的U型凹槽侧壁上设有螺纹孔，通过螺栓对定子进行进一步紧固，限制定子8在水平方向的偏摆。
所述定子由剪切压电振子和纵振压电振子组成；纵振压电振子由纵振压电叠堆6、纵向柔性铰链5、第一氧化铝垫片14、第二氧化铝垫片15和纵向预紧螺栓组成；纵向柔性铰链5由带有两组平行柔性铰链的第一级纵振柔性铰链16和第二级纵振柔性铰链17组成，材料为65Mn；第一级纵振柔性铰链16中间为空心框架结构，纵振压电叠堆6通过纵向预紧螺栓7、第一氧化铝垫片14和第二氧化铝垫片15预紧固定在柔性铰链的中空架构中；第一级纵振柔性铰链16可等效为弹簧，其输入刚度小于纵振压电叠堆6输出刚度的十分之一，保证压电叠堆的振动位移输出能够有效传递到定子输出端；
剪切压电振子由方环形剪切压电陶瓷3、剪切柔性铰链2和剪切预紧螺栓4组成；剪切柔性铰链2为带有两组平行柔性铰链的直梁型柔性铰链，底部设有螺纹孔；第二级纵振柔性铰链17中间部分设计有通孔，方环形剪切压电陶瓷3由剪切预紧螺栓4和剪切柔性铰链预紧2配合固定在第二级纵振柔性铰链17的中间部分。定子的输出端为剪切柔性铰链2顶端的方形驱动足，驱动足表面粘贴有第一氧化铝陶瓷片1，充当定子和动子之间的摩擦面之一。
参照图3，动子9为交叉滚柱滑台，动子9通过螺栓固定在转接板10上，再通过转接板10固定于一维微位移平台12上；所述一维微位移平台12和压簧11构成预压调节装置；动子9表面粘贴有第二氧化铝陶瓷片18，通过与定子相互接触产生的摩擦耦合相互接触产生摩擦力实现运动输出；
本发明的工作原理详细说明如下：
在具体实施过程中，给纵振压电振子和剪切压电振子分别施加两路正弦电压激励信号S1和正弦电压激励信号S2，该两路激励信号频率相等、相位差为90°，信号波形参照图4；实验中采用位移传感器对动子的输出位移进行实时监测。
施加低频激励信号，使压电振子工作在低频准静态模式，实现低速高分辨率输出；施加高频激励信号，使压电振子工作在高频谐振态模式，实现高速输出，完成快速粗定位；施加直流激励信号，使压电振子工作在直流静态模式，实现高精度微定位；
定子工作在低频准静态模式时，给两组压电振子分别施加频率相等、相位差为90°的两相低频正弦激励电压，以实现纵振压电振子的纵向振动和剪切压电振子的弯曲振动，从而在定子顶端与动子9的接触区域的质点处合成椭圆轨迹的振动，并通过定子与动子9之间的摩擦耦合实现动子9的运动输出；调整两相激励电压的相位差为-90°，可以使定子顶端形成反向椭圆振动轨迹，从而驱动动子9反向运动。所述低频准静态模式能够实现纳米尺度分辨力、低速的步进输出；
定子工作在高频谐振态模式时，剪切压电振子的弯振模态和纵振压电振子的纵振模态的激励频率相等；给所述两组压电振子分别施加频率相等、相位差为90°的两相高频正弦激励电压，激励出纵振压电振子的纵振模态和剪切压电振子的弯振模态。压电振子工作在高频谐振状态时，机械振动振幅的放大比远远大于压电振子工作在准静态时的放大比；在纵振压电振子的振动激励下，第二级纵振柔性铰链17处于一阶纵振模态，实现竖直方向振幅放大，如图5所示，图中实线表示变形后的结构，虚线表示未变形的结构；在剪切压电振子的振动激励下，剪切柔性铰链2处于一阶弯振模态，实现水平方向振幅放大，如图6所示，图中实线表示变形后的结构，虚线表示未变形的结构。通过两个压电振子正交振动模态的复合在定子顶端与动子9的接触区域的质点处产生椭圆轨迹的振动，并通过定子与动子9之间的摩擦耦合实现动子9的运动输出；调整两相激励电压的相位差为-90°，可以使定子顶端形成反向椭圆振动轨迹，从而驱动动子9反向运动；所述高频谐振态模式能够实现高速、大位移及大推力的运动输出。
定子工作在直流静态模式时，剪切压电振子和纵振压电振子的激励信号为直流电压信号，调节两路激励信号的相位差实现反向驱动动子(9)；直流静态模式能够实现高精度微定位。
在纵振压电振子和剪切压电振子分别接入图4所示的正弦电压激励信号S1和正弦电压激励信号S2后：
t1时刻，纵振压电叠堆6通入的激励电压为正，纵振压电叠堆6为沿y轴正方向伸长状态，第一级纵振柔性铰链16和第二级纵振柔性铰链17沿y轴正方向伸长；剪切压电陶瓷3通入的激励电压为负，为沿x轴负方向形变状态，剪切柔性铰链2向x轴负方向弯曲形变，此时纵振压电振子和剪切压电振子的相对位置情况如图7所示。
t1-t2时刻，激励信号S1始终为正电压，纵振压电振子沿y轴正方向伸长；激励信号S2由负电压逐步转换到正电压，剪切压电振子由x轴负方向向x轴正方向弯曲形变。驱动足处于椭圆运动上半周，与交叉滚柱滑台9接触，通过氧化铝陶瓷片的摩擦耦合作用带动交叉滚柱滑台9的上端盖开始向x轴正方向移动。
t2时刻，纵振压电叠堆6通入的激励电压为正，纵振压电叠堆6为沿y轴正方向伸长状态，第一级纵振柔性铰链16和第二级纵振柔性铰链17沿y轴正方向伸长；剪切压电陶瓷3通入的激励电压为正，为沿x轴正方向形变状态，剪切柔性铰链2向x轴正方向弯曲形变，此时纵振压电振子和剪切压电振子的相对位置情况如图8所示。
t2-t3时刻，激励信号S1由正电压逐步转换到负电压，纵振压电振子由y轴正方向向y轴负方向收缩；激励信号S2始终为正电压，剪切压电振子保持向x轴正方向弯曲形变状态。驱动足越过椭圆轨迹最右端，进入椭圆运动下半周，驱动足与交叉滚柱滑台9脱离。
t3时刻，纵振压电叠堆6通入的激励电压为负，纵振压电叠堆6为沿y轴负方向收缩状态，第一级纵振柔性铰链16和第二级纵振柔性铰链17沿y轴负方向收缩；剪切压电陶瓷3通入的激励电压为正，为沿x轴正方向形变状态，剪切柔性铰链2向x轴正方向弯曲形变，此时纵振压电振子和剪切压电振子的相对位置情况如图9所示。
t3-t4时刻，激励信号S1始终为负电压，纵振压电振子沿y轴负方向收缩；激励信号S2由正电压逐步转换到负电压，剪切压电振子由x轴正方向向x轴负方向弯曲形变，定子顶端驱动足处于椭圆运动下半周。
t4时刻，纵振压电叠堆6通入的激励电压为负，纵振压电叠堆6为沿y轴负方向收缩状态，第一级纵振柔性铰链16和第二级纵振柔性铰链17沿y轴负方向收缩；剪切压电陶瓷3通入的激励电压为负，为向x轴负方向形变状态，剪切柔性铰链2向x轴负方向弯曲形变，此时纵振压电振子和剪切压电振子的相对位置情况如图10所示。
在图4所示的交流信号激励下，定子不断地与动子接触-脱离，实现了对动子的连续驱动，通过改变两相激励电压的相位差为-90°，可以实现定子顶端振动轨迹由顺时针向逆时针方向转化，实现反向运动输出。当在该压电电机工作时停止激励，压电振子会停止工作，由于定子动子之间的作用力，动子9也会立刻停止运动，再次激励压电振子时，无需调整动子9即可正常运动。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
Claims (9)
1.一种纵切复合压电电机，包括定子、作为输出装置的动子(9)和预压调节装置，其特征在于：
所述定子由剪切压电振子和纵振压电振子组成，通过螺栓固定于定子座(8)上；所述定子座(8)为带凹槽的承载座，定子座(8)固定于整体底板(13)上，整体底板(13)为带铣槽的定位板；
所述纵振压电振子由纵振压电叠堆(6)、纵向柔性铰链(5)、第一氧化铝垫片(14)、第二氧化铝垫片(15)和纵向预紧螺栓组成；纵向柔性铰链(5)由带有两组平行柔性铰链的第一级纵振柔性铰链(16)和第二级纵振柔性铰链(17)组成，中间为空心框架结构，纵振压电叠堆(6)通过纵向预紧螺栓(7)、第一氧化铝垫片(14)和第二氧化铝垫片(15)预紧固定在柔性铰链的中空架构中；
所述剪切压电振子由方环形剪切压电陶瓷(3)、剪切柔性铰链(2)和剪切预紧螺栓(4)组成；剪切柔性铰链(2)为带有两组平行柔性铰链的直梁型柔性铰链，底部设由螺纹孔；所述方环形剪切压电陶瓷(3)通过剪切预紧螺栓(4)和剪切柔性铰链预紧(2)固定在第二级纵振柔性铰链(17)中间部分的通孔中；
所述纵振压电叠堆(6)和剪切压电陶瓷(3)通过螺栓预紧工作在受压状态下；
所述动子(9)为交叉滚柱滑台，动子(9)通过螺栓固定在转接板(10)上，再通过转接板(10)固定于一维微位移平台(12)上；所述动子(9)的前侧粘贴有第二氧化铝陶瓷片(18)，通过摩擦界面与定子顶端进行耦合接触，利用与定子相互接触产生的摩擦力实现运动输出；
所述预压调节装置由一维微位移平台(12)和压簧(11)构成；
通过如下控制方法实现高速和高分辨率兼顾的跨尺度输出：
给定低频激励信号，使压电振子工作在低频准静态模式，实现低速高分辨率输出；
给定高频激励信号，使压电振子工作在高频谐振态模式，实现高速输出，完成快速粗定位；
给定直流激励信号，使压电振子工作在直流静态模式，实现高精度微定位。
2.根据权利要求1所述的一种纵切复合压电电机，其特征在于，在所述低频准静态模式下，给两组压电振子分别施加相位差为90°的两相低频正弦激励电压，以实现纵振压电振子的纵振和剪切压电振子的弯振，从而在定子顶端与动子(9)的接触区域的质点处合成椭圆轨迹的振动，并通过定子与动子(9)之间的摩擦耦合实现动子(9)的运动输出；调整两相激励电压的相位差为-90°，可以使定子顶端形成反向椭圆振动轨迹，从而驱动动子(9)反向运动；所述低频准静态模式能够实现纳米尺度分辨力、低速的步进输出；
在所述高频谐振态模式中，剪切压电振子的弯振模态和纵振压电振子的纵振模态的激励频率相等；给所述两组压电振子分别施加频率相等、相位差为90°的两相高频正弦激励电压，激励出纵振压电振子的纵振模态和剪切压电振子的弯振模态；压电振子工作在高频谐振状态时，机械振动振幅的放大比远远大于压电振子工作在准静态时的放大比；在所述纵振压电振子的振动激励下，第二级纵振柔性铰链(17)处于一阶纵振模态，实现竖直方向振幅放大；在所述剪切压电振子的振动激励下，剪切柔性铰链(2)处于一阶弯振模态，实现水平方向振幅放大；通过两个压电振子正交振动模态的复合，从而在定子顶端与动子(9)的接触区域的质点处产生椭圆轨迹的振动，并通过定子与动子(9)之间的摩擦耦合实现动子(9)的运动输出；调整两相激励电压的相位差为-90°，可以使定子顶端形成反向椭圆振动轨迹，从而驱动动子(9)反向运动；所述高频谐振态模式能够实现高速、大位移及大推力的运动输出；
在所述直流静态模式下，剪切压电振子和纵振压电振子的激励信号为直流电压信号，调节两路激励信号的相位差实现反向驱动动子(9)。
3.根据权利要求1所述的一种纵切复合压电电机，其特征在于，所述纵向柔性铰链(5)由带有两组平行柔性铰链的第一级纵振柔性铰链(16)和第二级纵振柔性铰链(17)组成，其材料为65Mn；所述第一级纵振柔性铰链(16)与纵向预紧螺栓(7)、第一氧化铝垫片(14)和第二氧化铝垫片(15)相互配合，为纵振压电叠堆(6)提供纵向预紧力。
4.根据权利要求1所述的一种纵切复合压电电机，其特征在于，所述第一级纵振柔性铰链(16)的刚度小于纵振压电叠堆(6)刚度的十分之一，避免其刚度过大限制压电叠堆振动位移输出。
5.根据权利要求1所述的一种纵切复合压电电机，其特征在于，所述第二级纵振柔性铰链(17)中间部分具有通孔，所述方环形剪切压电陶瓷(3)由剪切预紧螺栓(4)和剪切柔性铰链预紧(2)配合固定在第二级纵振柔性铰链(17)的中间部分。
6.根据权利要求1所述的一种纵切复合压电电机，其特征在于，所述定子座(8)具有U型凹槽，通过四个螺栓将定子嵌装于U型凹槽内，U型槽底部抵挡块限制定子的末端振动位移，并在U型凹槽侧壁上设有螺纹孔，通过螺栓对定子进行进一步紧固。
7.根据权利要求1所述的一种纵切复合压电电机，其特征在于，所述动子(9)通过转接板固定于一维微位移平台(12)上，通过调节一维微位移平台(12)的测微头，结合压簧(11)实现对定子和动子之间的预压力调节。
8.根据权利要求7所述的一种纵切复合压电电机，其特征在于，所述一维微位移平台(12)为SEMX60-AC微移动平台。
9.根据权利要求1所述的一种纵切复合压电电机，其特征在于，所述剪切压电振子和纵振压电振子的激励信号为相差90°的正弦波激励信号，通过调节两路信号相位差调节动子(9)的运动方向。
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