CN114894364B - 一种微小型组合式多维力传感器结构 - Google Patents

一种微小型组合式多维力传感器结构 Download PDF

Info

Publication number
CN114894364B
CN114894364B CN202210443754.9A CN202210443754A CN114894364B CN 114894364 B CN114894364 B CN 114894364B CN 202210443754 A CN202210443754 A CN 202210443754A CN 114894364 B CN114894364 B CN 114894364B
Authority
CN
China
Prior art keywords
vertical
horizontal
main beam
beams
floating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202210443754.9A
Other languages
English (en)
Other versions
CN114894364A (zh
Inventor
宋爱国
徐菁菁
杨述焱
徐宝国
李会军
马如奇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Southeast University
Original Assignee
Southeast University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Southeast University filed Critical Southeast University
Priority to CN202210443754.9A priority Critical patent/CN114894364B/zh
Priority to US18/025,186 priority patent/US11920993B1/en
Priority to PCT/CN2022/092466 priority patent/WO2023206610A1/zh
Publication of CN114894364A publication Critical patent/CN114894364A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN114894364B publication Critical patent/CN114894364B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/18Measuring force or stress, in general using properties of piezo-resistive materials, i.e. materials of which the ohmic resistance varies according to changes in magnitude or direction of force applied to the material
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L5/00Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes
    • G01L5/16Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force
    • G01L5/161Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using variations in ohmic resistance
    • G01L5/1627Apparatus for, or methods of, measuring force, work, mechanical power, or torque, specially adapted for specific purposes for measuring several components of force using variations in ohmic resistance of strain gauges
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01LMEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
    • G01L1/00Measuring force or stress, in general
    • G01L1/20Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress
    • G01L1/22Measuring force or stress, in general by measuring variations in ohmic resistance of solid materials or of electrically-conductive fluids; by making use of electrokinetic cells, i.e. liquid-containing cells wherein an electrical potential is produced or varied upon the application of stress using resistance strain gauges
    • G01L1/2206Special supports with preselected places to mount the resistance strain gauges; Mounting of supports

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)

Abstract

本发明公开了一种微小型组合式多维力传感器结构,包括传感器主体与外壳一、外壳二;2个水平主梁与2个垂直主梁呈十字形布设在内圆台的外周;水平主梁与垂直主梁的末端均连接一垂直浮动梁,水平浮动梁由2根薄壁弧形梁组成;水平浮动梁两端均通过环形台与外圆台连接,所述传感器主体设置在外壳一与外壳二之间,应变片粘贴于水平主梁和垂直主梁上,形成2组惠斯通电桥;当力/力矩作用于十字梁时,传感器发生形变,相应位置的应变片组织发生变化,使得对应电桥的输出电压改变,通过测量电压的变化量即可获得力/力矩的值。本发明具有高灵敏度和低维间耦合的优点,结构简单,体积小,安装方便,适用于医学领域的多维力测量。

Description

一种微小型组合式多维力传感器结构
技术领域
本发明属于传感器技术领域,具体涉及一种微小型组合式多维力传感器结构。
背景技术
多维力传感器可同时感知空间多个维度的力分量和力矩分量,从而获取复杂系统中完整的力信息,广泛应用于智能机器人、航空航天、汽车及医疗等领域。由于医疗行业的多数医疗设备体积都较小,对力感知设备尺寸有着严苛的要求。目前,针灸学现代化发展及遥操作手术机器人均对小型多维力传感器研究和应用提出了迫切的需求,因此小型化成为医用多维力传感器面临的首要难题。
基于十字梁结构的电阻应变式多维力传感器目前应用最为广泛,通过应变片将传感器受力产生的形变转化为电压变化,实现力分量和力矩分量的测量。由于目前研制的微小型多维力传感器大多采用MEMS加工及集成应变计,导致成本较高,因此从结构上进行改进具有重要的现实意义。
发明内容
为解决上述问题,本发明公开了一种微小型组合式多维力传感器结构,具有高灵敏度和低维间耦合等优点,适用于医学领域的多维力测量。
为达到上述目的,本发明的技术方案如下:
一种微小型组合式多维力传感器结构,包括传感器主体与外壳一、外壳二;所述传感器主体包括水平主梁、垂直主梁、水平浮动梁、垂直浮动梁、内圆台、外圆台、应变片;
所述水平主梁由2根矩形薄壁梁组成;薄壁梁横截面呈矩形;水平主梁的末端下表面中心轴线处均连接一垂直浮动梁;
所述垂直主梁由2根矩形薄壁梁组成;薄壁梁横截面呈矩形;垂直主梁的末端顶面均连接一垂直浮动梁;4根主梁呈十字形布设在内圆台的外周;
所述水平浮动梁由2根薄壁弧形梁组成;水平浮动梁两端均通过一环形台与外圆台连接;
所述垂直浮动梁由4根矩形薄壁梁组成;其中2根垂直浮动梁连接一水平主梁,底端连接水平浮动梁环形台;其余2根垂直浮动梁内面连接一垂直主梁,底端连接水平浮动梁;主梁与垂直浮动梁构成“T”型;
所述内圆台为一中空圆柱结构,其截面为圆环;中空结构用于针灸针过盈穿过连接;力和力矩通过中空结构作用于十字梁;内圆台的四周连接主梁,应变片粘贴于水平主梁和垂直主梁表面;
所述外圆台为一中空圆柱结构,其截面为圆环;中空圆柱的侧壁有4个固定孔一,传感器主体通过固定孔一固定在外壳一、外壳二之间;所述圆筒形外壳一、外壳二的侧壁有2个与所述固定孔一相对应的固定孔二;外壳二下方设有延长筒。
所述二维力传感器的测量原理在于:将8个应变片粘贴于水平主梁和垂直主梁上,形成2组惠斯通电桥。水平主梁上下表面粘贴4个应变片,组成敏感上下阻力Fz的电桥电路;垂直主梁侧表面粘贴4个应变片,组成敏感扭转力矩Mz的电桥电路。当力/力矩作用于十字梁时,传感器发生形变,相应位置的应变片组织发生变化,使得对应电桥的输出电压改变,通过测量电压的变化量即可获得力/力矩的值。
本发明的有益效果为:
(1)本发明所设计的微小型组合式二维力传感器基于电阻应变原理,敏感部分采用矩形薄壁梁结构,弯曲形变量大,有效提高了测量灵敏度;
(2)本发明所设计的微小型组合式二维力传感器采用垂直主梁和水平主梁组合式结构,力分量感应和力矩分量感应在不同的主梁上,有效降低了维间耦合误差,具有较好的测量精度;
(3)本发明所设计的微小型组合式二维力传感器结构简单,体积小,安装方便。
附图说明
图1为本发明的未加外壳时的结构示意图。
图2为本发明的加上外壳时的结构示意图。
图3为本发明的应变片贴片位置示意图。
图4为本发明中两组电桥电路示意图。
附图标识列表:
1、外圆台,2、水平浮动梁,3、垂直浮动梁,4、水平主梁,5、内圆台,6、垂直主梁,7、应变片,8、固定孔一,9、外壳一,10、外壳二,11、固定孔二,12、延长筒。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式,进一步阐明本发明,应理解下述具体实施方式仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围。
为方便描述方向,建立一个如图1所示的空间笛卡尔坐标系。
本发明提出了一种微小型组合式二维力传感器,包括传感器主体与外壳一9、外壳二10;所述传感器主体包括水平主梁4、垂直主梁6、水平浮动梁2、垂直浮动梁3、内圆台5、外圆台1;所述水平主梁4由2根矩形薄壁梁组成;薄壁梁横截面呈矩形;水平主梁4的末端下表面中心轴线处均连接一垂直浮动梁3;所述垂直主梁6由2根矩形薄壁梁组成;薄壁梁横截面呈矩形;垂直主梁6的末端顶面均连接一垂直浮动梁3(两组垂直浮动梁方向不一样);4根主梁呈十字形布设在中心凸台的外周;所述水平浮动梁2由2根薄壁弧形梁组成;水平浮动梁2两端均通过一环形台与外圆台1连接;所述垂直浮动梁3由4根矩形薄壁梁组成;其中2根垂直浮动梁3连接一水平主梁4,底端连接水平浮动梁2环形台;其余2根垂直浮动梁3内面连接一垂直主梁6,底端连接水平浮动梁2;主梁与垂直浮动梁构成“T”型;所述内圆台5为一中空圆柱结构,其截面为圆环;中空结构用于针灸针过盈穿过连接;力和力矩通过中空结构作用于十字梁;内圆台5的四周连接主梁;所述外圆台1为一中空圆柱结构,其截面为圆环;中空圆柱的侧壁有4个固定孔一8,传感器主体通过固定孔一8固定在外壳一9、外壳二10之间;所述圆筒形外壳一9、外壳二10的侧壁有2个与所述固定孔一8相对应的固定孔二11;外壳二10下方设有延长筒(内部有线路,使用时为手握处)。
图3所示为本发明所述共8个应变片的贴片位置及对应编号R1至R8。所有应变片除编号外完全相同,即具有相同的初始阻值,在收缩时组织减小,在延展时组织增大。应变片粘贴于各个主梁受力时应变最大的位置。应变片R1、R2粘贴于水平主梁位于X正方向矩形薄壁梁的上下表面,应变片R3、R4粘贴于水平主梁位于X负方向矩形薄壁梁的上下表面,应变片R5、R6粘贴于垂直主梁位于Y负方向矩形薄壁梁的左右侧壁,应变片R7、R8粘贴于垂直主梁位于Y正方向矩形薄壁梁的左右侧壁,所有应变片均粘贴于各个梁受力时应变最大的位置。
图4所示为2个通道的应变片组成的2组惠斯通电桥。应变片R1、R2、R3、R4组成测量Z方向作用力Fz的惠斯通电桥;应变片R5、R6、R7、R8组成测量Z方向作用力矩Mz的惠斯通电桥。
所述二维力传感器的测量原理在于:某一维度的输入力/力矩通过内圆台5的中空结构作用于由水平主梁4和垂直主梁6组成的十字梁中心,使得传感器产生形变,相应位置的应变片阻值发生变化,进而使得对应电桥的输出电压发生改变。于此同时,由于结构的设计,其余维度的输出电压并不会明显改变,有效降低了维间耦合干扰,从而提高了传感器的测量精度。因此,在使用过程中,只需测量全部2个通道的电压变化量即可获得各个维度力/力矩的数值。设R0表示应变片的零位电阻值,
Figure BDA0003615689000000031
分别表示在Fz、Mz作用下应变片的阻值变化量。则各通道输出电压的变化量如下式:
Figure BDA0003615689000000032
Figure BDA0003615689000000033
需要说明的是,以上内容仅仅说明了本发明的技术思想,不能以此限定本发明的保护范围,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰均落入本发明权利要求书的保护范围之内。

Claims (2)

1.一种微小型组合式多维力传感器结构,其特征在于:包括传感器主体与外壳一(9)、外壳二(10);所述传感器主体包括水平主梁(4)、垂直主梁(6)、水平浮动梁(2)、垂直浮动梁(3)、内圆台(5)、外圆台(1)、应变片(7);
所述水平主梁(4)与垂直主梁(6)呈十字梁,所述水平主梁(4)水平设置,水平主梁(4)与内圆台(5)的轴线垂直,垂直主梁(6)垂直设置,垂直主梁(6)与内圆台(5)的轴线平行;
所述水平主梁(4)由2根矩形薄壁梁组成;薄壁梁横截面呈矩形;水平主梁(4)的末端下表面中心轴线处均连接一垂直浮动梁(3);
所述垂直主梁(6)由2根矩形薄壁梁组成;薄壁梁横截面呈矩形;垂直主梁(6)的末端顶面均连接一垂直浮动梁(3);4根主梁(4和6)呈十字形布设在内圆台的外周;
所述水平浮动梁(2)由2根薄壁弧形梁组成;水平浮动梁(2)两端均通过一环形台与外圆台(1)连接;
所述垂直浮动梁(3)由4根矩形薄壁梁组成;其中2根垂直浮动梁(3)连接一水平主梁(4),底端连接水平浮动梁环形台;其余2根垂直浮动梁(3)内面连接一垂直主梁(6),底端连接水平浮动梁;主梁(4和6)与垂直浮动梁(3)构成“T”型;
所述内圆台(5)为一中空圆柱结构,其截面为圆环;中空结构用于针灸针过盈穿过连接;力和力矩通过中空结构作用于十字梁;内圆台(5)的四周连接主梁(4和6);应变片(7)粘贴于水平主梁(4)和垂直主梁(6)表面;
所述外圆台(1)为一中空圆柱结构,其截面为圆环;中空圆柱的侧壁有4个固定孔一(8),
传感器主体通过固定孔一(8)固定在外壳一(9)、外壳二(10)之间;所述圆筒形外壳一(9)、外壳二(10)的侧壁有2个与所述固定孔一(8)相对应的固定孔二(11);外壳二(10)下方设有延长筒(12)。
2.根据权利要求1所述的一种微小型组合式多维力传感器结构的测量原理,其特征在于: 8个应变片粘贴于水平主梁和垂直主梁上,形成2组惠斯通电桥;水平主梁上下表面粘贴4个应变片,组成敏感上下阻力
Figure DEST_PATH_IMAGE002
的电桥电路;垂直主梁侧表面粘贴4个应变片,组成敏感扭转力矩
Figure DEST_PATH_IMAGE004
的电桥电路;当力/力矩作用于十字梁时,传感器发生形变,相应位置的应变片组织发生变化,使得对应电桥的输出电压改变,通过测量电压的变化量即可获得力/力矩的值。
CN202210443754.9A 2022-04-26 2022-04-26 一种微小型组合式多维力传感器结构 Active CN114894364B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210443754.9A CN114894364B (zh) 2022-04-26 2022-04-26 一种微小型组合式多维力传感器结构
US18/025,186 US11920993B1 (en) 2022-04-26 2022-05-12 Miniature combined multi-axis force sensor structure
PCT/CN2022/092466 WO2023206610A1 (zh) 2022-04-26 2022-05-12 一种微小型组合式多维力传感器结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210443754.9A CN114894364B (zh) 2022-04-26 2022-04-26 一种微小型组合式多维力传感器结构

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN114894364A CN114894364A (zh) 2022-08-12
CN114894364B true CN114894364B (zh) 2023-01-31

Family

ID=82719984

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210443754.9A Active CN114894364B (zh) 2022-04-26 2022-04-26 一种微小型组合式多维力传感器结构

Country Status (3)

Country Link
US (1) US11920993B1 (zh)
CN (1) CN114894364B (zh)
WO (1) WO2023206610A1 (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020041662A (ko) * 2000-11-28 2002-06-03 김갑순 고정밀 6축 힘/모멘트 감지센서
CN103698076A (zh) * 2014-01-03 2014-04-02 东南大学 一种用于实现量程扩展的六维力和力矩传感器
CN109238528A (zh) * 2018-11-16 2019-01-18 合肥工业大学 一种六维力传感器
CN209878197U (zh) * 2019-06-21 2019-12-31 清华大学深圳研究生院 一种基于惠斯通四分之一电桥的六维力传感器
CN111272328A (zh) * 2020-02-25 2020-06-12 东南大学 一种高灵敏度低维间耦合的六维力传感器

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2165435Y (zh) * 1993-09-08 1994-05-18 中国科学院合肥智能机械研究所 六自由度力和力矩传感器
CN1168964C (zh) * 2003-01-15 2004-09-29 东南大学 直接输出型机器人四维力与力矩传感器
CN103076131B (zh) * 2012-12-31 2014-12-17 东南大学 用于测量大型机械臂大力与小力矩的六维力与力矩传感器
CN107782482A (zh) * 2017-11-17 2018-03-09 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 多维力/力矩传感器
CN110514341B (zh) 2019-08-30 2021-04-06 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种航天机械臂用具有容错能力的六维力和力矩传感器
JP7343450B2 (ja) 2020-06-29 2023-09-12 トヨタ自動車株式会社 力覚センサ
CN113561163B (zh) 2021-07-27 2023-06-27 苏州艾利特机器人有限公司 双通道多维力传感器及机器人

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20020041662A (ko) * 2000-11-28 2002-06-03 김갑순 고정밀 6축 힘/모멘트 감지센서
CN103698076A (zh) * 2014-01-03 2014-04-02 东南大学 一种用于实现量程扩展的六维力和力矩传感器
CN109238528A (zh) * 2018-11-16 2019-01-18 合肥工业大学 一种六维力传感器
CN209878197U (zh) * 2019-06-21 2019-12-31 清华大学深圳研究生院 一种基于惠斯通四分之一电桥的六维力传感器
CN111272328A (zh) * 2020-02-25 2020-06-12 东南大学 一种高灵敏度低维间耦合的六维力传感器

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
新型六维腕力传感器;茅晨等;《南京信息工程大学学报(自然科学版)》;20111028(第05期);全文 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN114894364A (zh) 2022-08-12
WO2023206610A1 (zh) 2023-11-02
US11920993B1 (en) 2024-03-05
US20240094072A1 (en) 2024-03-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106124113B (zh) 一种新型六维力和力矩传感器
CN103698076B (zh) 一种用于实现量程扩展的六维力和力矩传感器
CN111272328B (zh) 一种高灵敏度低维间耦合的六维力传感器
CN103076131A (zh) 用于测量大型机械臂大力与小力矩的六维力与力矩传感器
CN103941041B (zh) 一种三框架结构的单质量块三轴mems加速度计
CN102435775B (zh) 应变式三维加速度传感器
CN205449351U (zh) 一种小型三维力传感器
CN108981987B (zh) 一种小维间耦合弹性梁六维力传感器
CN102778583A (zh) 一种硅基四梁结构石英谐振加速度传感器芯片
Tian et al. The novel structural design for pressure sensors
JPH0534615B2 (zh)
CN103196526A (zh) 具有偏载隔离功能的测力称重传感器及其隔离测量方法
CN114894364B (zh) 一种微小型组合式多维力传感器结构
CN2603934Y (zh) 电子弹簧秤
KR100347334B1 (ko) 고정밀 6축 힘/모멘트 감지센서
CN1220037C (zh) 微型全平面六维力、力矩传感器
CN115628840B (zh) 一种压力传感器和电子设备
CN103017948A (zh) 一种压阻式压力传感器
JP2010112864A (ja) 力センサー
CN109186819B (zh) 一种mems压力传感器模组
CN112798169A (zh) 一种具有抗高过载能力的高压传感器
CN116358752A (zh) 一种可实现溅射工艺的六维力传感器申字梁弹性体结构
CN213631961U (zh) 多自由度电阻式位移传感器的应变片组件
CN217111269U (zh) 一种三维压力测量装置
CN116337291A (zh) 一种可实现溅射工艺的组合式高精度六维力传感器结构

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant