CN114885264A - 一种麦克风组件及电子设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种麦克风组件及电子设备，所述麦克风组件沿层叠方向包括基底、第一振膜、背极板、以及第二振膜，所述背极板和所述第一振膜之间具有部分区域贯通的第一绝缘体，所述第二振膜与所述背极板之间具有部分区域贯通的第二绝缘体；其中，所述第一绝缘体具有设置在所述第一电极边缘的第一环形结构，所述第二绝缘体具有设置在所述第三电极边缘的第二环形结构，所述第一电极背极板之间由所述第一环形结构连接以形成第一空腔，所述背极板与所述第三电极之间由所述第二环形结构连接以形成第二空腔，形成的第一空腔和形成的第二空腔构成真空密闭空腔。本发明所提供的技术方案显著提升了麦克风的防尘效果和信噪比。

Description

一种麦克风组件及电子设备

技术领域

本发明涉及麦克风技术领域，更为具体的说涉及一种麦克风组件及电子设备。

背景技术

麦克风是一种将声压信号最终转换为电信号的压力传感器，使用微机电工艺技术制造的小型麦克风称为MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）麦克风或微麦克风。MEMS麦克风芯片一般包括衬底、振膜以及背极板。其中的振膜、背极板是MEMS麦克风芯片中的重要部件，振膜、背极板平行且间隔设置，两者构成平板电容的两个电极板，振膜用于在声波的作用下振动，导致背极板和振膜之间的相对距离发生变化，从而使得平板电容的电容值发生变化，电容值的变化经外围电路转化成电信号，实现声电的转换。

现有的MEMS麦克风大多数是由一个感应振膜以及一个刚性背极板组成，这种麦克风的线性度较低，谐波失真较大。随着MEMS麦克风应用场景的扩展（例如利用手机唱歌的应用场景等），用户对MEMS麦克风的语音质量的要求越来越高。因此，需要对现有技术进行改进。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种麦克风组件及电子设备。

本发明的目的采用以下技术方案实现：

根据本发明的一方面，提供一种麦克风组件，包括：以层叠的方式依序设置的基底、第一振膜、背极板以及第二振膜，所述背极板和所述第一振膜之间具有部分区域贯通的第一绝缘体，所述第二振膜与所述背极板之间具有部分区域贯通的第二绝缘体；所述基底具有在其厚度方向上贯通的背腔，所述第一振膜的部分区域构成第一电极，所述背极板的部分区域构成第二电极，所述第二振膜的部分区域构成第三电极，其中，在所述基底的厚度方向上，所述背腔、所述第一电极、所述第二电极、以及所述第三电极四者的投影交叠；其中，所述第一绝缘体具有设置在所述第一电极边缘的第一环形结构，所述第二绝缘体具有设置在所述第三电极边缘的第二环形结构，所述第一电极背极板之间由所述第一环形结构连接以形成第一空腔，所述背极板与所述第三电极之间由所述第二环形结构连接以形成第二空腔。

可选地，所述第一振膜具有至少一个第一镂空区域，所述至少一个第一镂空区域环绕所述第一电极；所述背极板具有至少一个第二镂空区域，所述至少一个第二镂空区域环绕所述第二电极；所述第二振膜具有至少一个第三镂空区域，所述至少一个第三镂空区域环绕所述第三电极。

可选地，形成所述第一空腔的所述第一环形结构位于所述第一电极的边缘，使得所述第二电极的中部区域悬空于所述第一电极的上方，所述第一电极与所述第二电极形成第一可变电容；形成所述第二空腔的所述第二环形结构位于所述第二电极的边缘，使得所述第三电极的中部区域悬空于所述第二电极的上方，所述第三电极与所述第二电极形成第二可变电容。

可选地，所述背极板的所述第二电极上设置有在厚度方向上贯穿所述背极板的至少一个背极板通孔，所述第一振膜和所述第二振膜之间设置有至少一个第二支撑结构，所述第二支撑结构穿设于所述至少一个背极板通孔之中，所述第一振膜和所述第二振膜通过所述第二支撑结构相联接。

可选地，所述第一振膜与设置在所述背腔中并固定在所述基底上的第一支撑结构接触。

可选地，所述第一支撑结构包括主体部和支撑部，所述主体部位于所述背腔中，并通过所述支撑部与所述背腔的侧壁固定连接；其中，所述主体部靠近所述第一振膜的一侧表面上设置有凸起部，所述凸起部与所述第一振膜接触，以支撑所述第一电极。

可选地，所述主体部位于所述背腔的中部；所述支撑部包括至少一根横梁，所述主体部通过所述至少一根横梁与所述背腔的侧壁固定连接。

可选地，所述主体部的横截面为圆形，并且所述主体部的纵剖面为梯形。

可选地，所述凸起部中包含导电介质，所述至少一根横梁中包含导电通路，所述凸起部与所述至少一根横梁电连接，以传输所述第一电极与外部电路之间的电信号；所述背极板包括至少一个第一电性引出结构，所述至少一个第一电性引出结构与所述第二电极电连接，以传输所述第二电极与外部电路之间的电信号；所述第二振膜包括至少一个第二电性引出结构，所述至少一个第二电性引出结构与所述第三电极电连接，以传输所述第三电极与外部电路之间的电信号。

可选地，所述背极板的所述第二电极之外的区域还设置有至少一个环形凸起部，所述环形凸起部呈连续的环形或断续的环形，并且所述环形凸起部朝向所述背腔方向凸起或者朝向背离所述背腔的方向凸起，其中，所述至少一个环形凸起部环绕所述第二电极。

可选地，所述背极板的所述第二镂空区域之外的部分构成背极板的第二支持部，并且所述第二镂空区域内设置有至少一个弹簧梁，所述至少一个弹簧梁将所述第二电极与所述背极板的第二支持部固定连接。

根据本发明的另一方面，还提供了一种电子设备，所述电子设备包括上述的任意实施例所述的麦克风组件。

采用本发明实施例提供的麦克风组件及电子设备显著提升了麦克风的防尘效果和信噪比。其中，所述麦克风组件沿层叠方向包括基底、第一振膜、背极板、以及第二振膜，所述背极板和所述第一振膜之间具有部分区域贯通的第一绝缘体，所述第二振膜与所述背极板之间具有部分区域贯通的第二绝缘体；其中，所述第一绝缘体具有设置在所述第一电极边缘的第一环形结构，所述第二绝缘体具有设置在所述第三电极边缘的第二环形结构，所述第一电极背极板之间由所述第一环形结构连接以形成第一空腔，所述背极板与所述第三电极之间由所述第二环形结构连接以形成第二空腔。形成的第一空腔和形成的第二空腔构成真空密闭空腔，其具有防尘效果，能够阻挡外部环境中的灰尘污染。

进一步地，本发明所提供的麦克风组件及电子设备实现了单背极板的差分电容方案，并且提升了麦克风组件的性能。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的实施方式。

图1A是根据本发明的一实施例提供的一种麦克风组件的立体示意图。

图1B是图1A中的麦克风组件的剖面结构示意图。

图1C是图1A中的第二振膜的部分俯视结构示意图。

图1D是图1A中的背极板的部分俯视结构示意图。

图1E是图1A中的第一振膜的部分俯视结构示意图。

图1F是图1A中的基底的结构示意图。

图1G是图1A中的基底和第一振膜的结构示意图。

图2A是根据本发明的又一实施例提供的一种麦克风组件的立体示意图。

图2B是图2A中的麦克风组件的剖面结构示意图。

图2C是图2A中的背极板的部分俯视结构示意图。

图3A是根据本发明的另一实施例提供的一种麦克风组件的立体示意图。

图3B是图3A中的麦克风组件的剖面结构示意图。

图3C是图3A中的背极板的部分俯视结构示意图。

具体实施方式

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本发明实施例提供了一种麦克风组件，是MEMS麦克风的核心部件，能够应用于具有声音采集功能的电子设备中，比如智能手机、平板电脑、录音笔、助听器、车载设备等。本发明实施例不限于上述应用场景。

实施例一

图1A是根据本发明的一实施例提供的一种麦克风组件的立体示意图，图1B是图1A中的麦克风组件的剖面结构示意图，图1C是图1A中的第二振膜的部分俯视结构示意图，图1D是图1A中的背极板的部分俯视结构示意图，图1E是图1A中的第一振膜的部分俯视结构示意图，图1F是图1A中的基底的结构示意图，图1G是图1A中的基底和第一振膜的结构示意图。

请参阅图1A-图1G所示，本发明实施例提供了一种麦克风组件1000，包括以层叠的方式依序设置的基底100、第一振膜200、背极板300、以及第二振膜400，所述背极板300和所述第一振膜200之间具有部分区域贯通的第一绝缘体120，所述第二振膜400与所述背极板300之间具有部分区域贯通的第二绝缘体130；所述基底100具有在其厚度方向上贯通的背腔101，所述第一振膜200的部分区域构成第一电极210，所述背极板300的部分区域构成第二电极310，所述第二振膜400的部分区域构成第三电极410，其中，在所述基底100的厚度方向上，所述背腔101、所述第一电极210、所述第二电极310、以及所述第三电极410四者的投影交叠；其中，所述第一绝缘体120具有设置在所述第一电极210边缘的第一环形结构121，所述第二绝缘体130具有设置在所述第三电极410边缘的第二环形结构131，所述第一电极210与背极板300之间由所述第一环形结构121连接以形成第一空腔501，所述背极板300与所述第三电极410之间由所述第二环形结构131连接以形成第二空腔502。

本发明实施例中，形成的第一空腔501和形成的第二空腔502构成的真空密闭空腔，其具有防尘效果，能够阻挡外部环境中的灰尘污染，并且有利于减少外部环境的噪声，从而提高了麦克风组件的信噪比。

进一步地，形成所述第一空腔501的所述第一环形结构121位于所述第一电极210的边缘，使得所述第二电极310的中部区域悬空于所述第一电极210的上方，所述第一电极210与所述第二电极310形成第一可变电容；形成所述第二空腔502的所述第二环形结构131位于所述第二电极310的边缘，使得所述第三电极410的中部区域悬空于所述第二电极310的上方，所述第三电极410与所述第二电极310形成第二可变电容。实现了背极板的差分电容方案，提升了麦克风组件的性能。

此外，形成所述第一空腔501的所述第一环形结构121位于所述第一电极210的边缘，也可以保证所述第一电极210与所述第二电极310之间具有间隙并且电性隔绝；形成所述第二空腔502的所述第二环形结构131位于所述第二电极310的边缘，也可以保证所述第二电极310与所述第三电极410之间具有间隙并且电性隔绝，防止所述第一电极210和/或所述第三电极410在潮湿环境下与所述第二电极310粘连在一起。

可选地，绝缘支撑体110支撑于所述基底100和所述第一振膜200之间，用于电性隔绝所述第一振膜200与所述基底100，并为所述第一振膜200提供支撑，使得所述第一振膜200悬空于所述背腔101的上方，并使得所述第一振膜200与所述基底100之间形成供所述第一振膜200振荡的第一振荡声腔。

可选地，所述第一绝缘体120支撑于所述第一振膜200与所述背极板300之间，用于电性隔绝所述背极板300与所述第一振膜200，并为所述背极板300提供支撑，使得所述第一振膜200和所述背极板300之间相对且间隔设置，以使得所述第一振膜200与所述背极板300之间形成供所述第一振膜200振动的第二振荡声腔。

可选地，所述第二支撑体130支撑于第二振膜400与背极板300之间，用于电性隔绝所述背极板300与所述第二振膜400，并为所述第二振膜400提供支撑，使得所述第二振膜400和所述背极板300之间相对且间隔设置，以使得所述第二振膜400与所述背极板300之间形成供所述第二振膜400振动的第三振荡声腔。

示例性地，在本发明实施例中，所述第一振膜200、所述背极板300以及所述第二振膜400均包括导电介质，该导电介质例如是多晶硅。所述绝缘支撑体110、所述第一绝缘体120、所述第三绝缘体130的材质例如可以是硅氧化物的绝缘层。

示例性地，在本发明实施例中，所述第一振膜200具有至少一个第一镂空区域201，所述至少一个第一镂空区域201环绕所述第一电极210，所述至少一个第一镂空区域201之外的区域可作为所述第一振膜200的第一支持部220；所述背极板300具有至少一个第二镂空区域301，所述至少一个第二镂空区域301环绕所述第二电极310，所述至少一个第二镂空区域301之外的区域可作为背极板300的第二支持部320；所述第二振膜400具有至少一个第三镂空区域401，所述至少一个第三镂空区域401环绕所述第三电极410，所述至少一个第三镂空区域401之外的区域可作为第二振膜400的第三支持部420。所述至少一个第一镂空区域201、所述至少一个第二镂空区域301以及所述至少一个第三镂空区域401能够便于声波气流的快速通过，用以降低所述第一振膜200与所述背极板300之间的压膜阻尼和/或降低所述第二振膜400与所述背极板300之间的压膜阻尼。

在本发明实施例中，形成的第一空腔501和形成的第二空腔502可作为一个整体悬浮在所述背腔101的上方，正常工作时的声压负载和非正常工作时受到的吹气负载均可通过所述背腔101加载至所述第一振膜200上，随后所述第一振膜200发生振动，使得所述第一空腔501和所述第二空腔502同时发生形变，所述第一电极210、所述第二电极310以及所述第三电极410作为差分电极，共同实现侦测声音信号的大小。

进一步地，所述背极板300的所述第二电极310上设置有在厚度方向上贯穿所述背极板300的至少一个背极板通孔312，所述第一振膜200和所述第二振膜400之间设置有至少一个第二支撑结构600，所述第二支撑结构600穿设于所述至少一个背极板通孔312之中，所述第一振膜200和所述第二振膜400通过所述第二支撑结构600相联接。所述第二支撑结构600一方面可以防止所述第一振膜200和所述第二振膜400与所述背极板300之间在声压作用下发生粘连的问题，另一方面还能够使得所述第一振膜200与所述第二振膜400之间产生联动作用，在入射在所述第一振膜200或者入射在所述第二振膜400一侧上的声能或者声压负载的作用下，所述第一振膜200和所述第二振膜400能够同频同幅地朝着或者背离所述背腔101的方向振动，从而导致所述第一振膜200和所述背极板300之间的距离发生变化，以及所述第二振膜400和所述背极板300之间的距离同时发生变化，进而提高了麦克风组件的信噪比。

为了提高悬浮在所述背腔101的上方的所述第一空腔501和所述第二空腔502的支撑性能，在本发明实施例中，所述第一振膜200与设置在所述背腔101中并固定在所述基底100上的第一支撑结构180接触，即由所述第一支撑结构180可提供额外的支撑力，以支撑所述第一电极210，从而保证所述第一空腔501和所述第二空腔502的支撑稳定性。

示例性地，如图1F和图1G所示，所述第一支撑结构180包括主体部181和支撑部182，所述主体部181位于所述背腔101中，并通过所述支撑部182与所述背腔101的侧壁102固定连接；其中，所述主体部181靠近所述第一振膜200的一侧表面上设置有凸起部183，所述凸起部183与所述第一振膜200接触，以支撑所述第一电极210，所述第一电极210除与所述凸起部183接触部分以外的区域悬浮于所述背腔101的上方。在本发明实施例中，所述凸起部183的个数可以为1个或者多个。优选地，所述凸起部183的个数为1个，即采用单点支撑的结构以减少所述第一支撑结构180与所述第一电极210的接触面积，使得所述第一电极210除与所述凸起部183接触部分以外的有效振动区域的面积增加，从而进一步地提高所述第一振膜200的灵敏度，进而达到提高麦克风产品的信噪比的目的。

进一步地，为了提高所述第一支撑结构180支撑所述第一电极210的支撑平衡性，所述第一支撑结构180可对应于所述第一电极210的中心位置，此时，所述第一支撑结构180的所述主体部181刚好位于所述背腔101的中部，以更平稳地承载所述第一电极210及位于所述第一电极210之上形成的第一空腔501和形成的第二空腔502。

可选地，所述支撑部182包括至少一根横梁1821，所述主体部181通过所述至少一根横梁1821与所述背腔101的侧壁102固定连接。优选地，在本发明实施例中，所述主体部181的横截面为圆形，并且所述主体部181的纵剖面为梯形，以阻挡来自外部空间的瞬间冲击气流垂直加载至所述第一振膜200的表面上。

进一步地，所述凸起部183中包含导电介质，所述至少一根横梁1821中包含导电通路，所述凸起部183与所述至少一根横梁1821电连接，以传输所述第一电极210与外部电路之间的电信号。可选地，在本发明实施例中，所述基底100为导电基底。

可选地，所述背极板300包括至少一个第一电性引出结构302，所述至少一个第一电性引出结构302与所述第二电极310电连接，以传输所述第二电极310与外部电路之间的电信号。

可选地，所述第二振膜400包括至少一个第二电性引出结构402，所述至少一个第二电性引出结构402与所述第三电极410电连接，以传输所述第三电极410与外部电路之间的电信号。

实施例二

图2A是根据本发明的又一实施例提供的一种麦克风组件的立体示意图，图2B是图2A中的麦克风组件的剖面结构示意图，图2C是图2A中的背极板的部分俯视结构示意图。

请参阅图2A-图2C所示，本发明又一实施例提供的麦克风组件2000中，所述背极板300的所述第二电极310之外的区域还设置有至少一个环形凸起部303，所述环形凸起部303呈连续的环形或者断续的环形，并且所述环形凸起部303朝向所述背腔101方向凸起或者朝向背离所述背腔101的方向凸起，用以释放所述背极板300的应力，从而提高麦克风产品的灵敏度和可靠性；其中，所述至少一个环形凸起部303环绕所述第二电极310。

具体地，呈连续的环形或者断续的环形布置的至少一个所述环形凸起部303所占的区域中设置有至少一个第二镂空区域301，以在所述第二电极310以外的区域形成具有镂空区域的褶皱槽结构，不仅便于声波气流的流通，同时还有利于应力的释放，从而提高麦克风产品的灵敏度和可靠性。

本实施例中，可通过在具有镂空区域的褶皱槽结构的上方制作有至少一个第一电性引出结构302，该第一电性引出结构302例如是铜或者多晶硅等导电介质，所述至少一个第一电性引出结构302与所述第二电极310电连接，以传输所述第二电极310与外部电路之间的电信号。

实施例三

图3A是根据本发明的另一实施例提供的一种麦克风组件的立体示意图，图3B是图3A中的麦克风组件的剖面结构示意图，图3C是图3A中的背极板的部分俯视结构示意图。

请参阅图3A-图3C所示，本发明另一实施例提供的麦克风组件3000中，所述背极板300的所述第二镂空区域301之外的部分构成背极板300的第二支持部320，并且所述第二镂空区域301内设置有至少一个弹簧梁304，所述至少一个弹簧梁304将所述第二电极310与所述背极板300的第二支持部320固定连接。

具体地，所述第二电极310通过由至少一个朝向所述背极板300的四周向外延伸的弹簧梁304支撑固定，位于所述第二镂空区域301内设置的所述至少一个弹簧梁304连接至所述背极板300的第二支持部320上，以实现所述第二电极310的支撑与固定；其中，所述至少一个弹簧梁304中的至少一个包含导电介质，以传输所述第二电极310与外部电路（图未示出）之间的电信号。

示例性地，在本发明实施例中，可通过在所述至少一个弹簧梁304中的至少一个上方制作有导电膜层，例如电镀铜等，以作为第一电性引出结构302，所述至少一个第一电性引出结构302与所述第二电极310电连接，以传输所述第二电极310与外部电路之间的电信号。

示例性地，在发明的另一本实施例中，可通过在所述至少一个弹簧梁304中的至少一个的半导体材料层中掺杂以形成N型掺杂体或者P型杂体，以传输所述第二电极310与外部电路之间的电信号。

本发明还提供了一种电子设备，所述电子设备包括如上所述任一种麦克风组件。上述麦克风组件可应用于各种电子设备中，比如智能手机、平板电脑、录音笔、助听器、车载设备等。

因此，采用本发明实施例提供的麦克风组件及电子设备显著提升了麦克风的防尘效果和信噪比。其中，所述麦克风组件沿层叠方向包括基底、第一振膜、背极板、以及第二振膜，所述背极板和所述第一振膜之间具有部分区域贯通的第一绝缘体，所述第二振膜与所述背极板之间具有部分区域贯通的第二绝缘体；其中，所述第一振膜的第一电极与所述背极板的第二电极之间由设置在所述第一电极边缘的部分所述第一绝缘体密封以形成第一空腔，所述背极板的第二电极与所述第二振膜的第三电极由设置在所述第三电极边缘的部分所述第二绝缘体密封以形成第二空腔。形成的第一空腔和形成的第二空腔作为真空密闭空腔，其具有防尘效果，能够阻挡外部环境中的灰尘污染。

进一步地，本发明所提供的麦克风组件实现了背极板的差分电容方案，并且提升了麦克风组件的性能。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (12)

1.一种麦克风组件，其特征在于，包括以层叠的方式依序设置的基底（100）、第一振膜（200）、背极板（300）、以及第二振膜（400），所述背极板（300）和所述第一振膜（200）之间具有部分区域贯通的第一绝缘体（120），所述第二振膜（400）与所述背极板（300）之间具有部分区域贯通的第二绝缘体（130）；

所述基底（100）具有在其厚度方向上贯通的背腔（101），所述第一振膜（200）的部分区域构成第一电极（210），所述背极板（300）的部分区域构成第二电极（310），所述第二振膜（400）的部分区域构成第三电极（410），其中，在所述基底（100）的厚度方向上，所述背腔（101）、所述第一电极（210）、所述第二电极（310）、以及所述第三电极（410）四者的投影交叠；

其中，所述第一绝缘体（120）具有设置在所述第一电极（210）边缘的第一环形结构（121），所述第二绝缘体（130）具有设置在所述第三电极（410）边缘的第二环形结构（131），所述第一电极（210）与背极板（300）之间由所述第一环形结构（121）连接以形成第一空腔（501），所述背极板（300）与所述第三电极（410）之间由所述第二环形结构（131）连接以形成第二空腔（502）。

2.如权利要求1所述的麦克风组件，其特征在于，

所述第一振膜（200）具有至少一个第一镂空区域（201），所述至少一个第一镂空区域（201）环绕所述第一电极（210）；

所述背极板（300）具有至少一个第二镂空区域（301），所述至少一个第二镂空区域（301）环绕所述第二电极（310）；

所述第二振膜（400）具有至少一个第三镂空区域（401），所述至少一个第三镂空区域（401）环绕所述第三电极（410）。

3.如权利要求2所述的麦克风组件，其特征在于，

形成所述第一空腔（501）的所述第一环形结构（121）位于所述第一电极（210）的边缘，使得所述第二电极（310）的中部区域悬空于所述第一电极（210）的上方，所述第一电极（210）与所述第二电极（310）形成第一可变电容；

形成所述第二空腔（502）的所述第二环形结构（131）位于所述第二电极（310）的边缘，使得所述第三电极（410）的中部区域悬空于所述第二电极（310）的上方，所述第三电极（410）与所述第二电极（310）形成第二可变电容。

4.如权利要求3所述的麦克风组件，其特征在于，

所述背极板（300）的所述第二电极（310）上设置有在厚度方向上贯穿所述背极板（300）的至少一个背极板通孔（312），所述第一振膜（200）和所述第二振膜（400）之间设置有至少一个第二支撑结构（600），所述第二支撑结构（600）穿设于所述至少一个背极板通孔（312）之中，所述第一振膜（200）和所述第二振膜（400）通过所述第二支撑结构（600）相联接。

5.如权利要求4所述的麦克风组件，其特征在于，所述第一振膜（200）与设置在所述背腔（101）中并固定在所述基底（100）上的第一支撑结构（180）接触。

6.如权利要求5所述的麦克风组件，其特征在于，所述第一支撑结构（180）包括主体部（181）和支撑部（182），所述主体部（181）位于所述背腔（101）中，并通过所述支撑部（182）与所述背腔（101）的侧壁（102）固定连接；

其中，所述主体部（181）靠近所述第一振膜（200）的一侧表面上设置有凸起部（183），所述凸起部（183）与所述第一振膜（200）接触，以支撑所述第一电极（210）。

7.如权利要求6所述的麦克风组件，其特征在于，

所述主体部（181）位于所述背腔（101）的中部；

所述支撑部（182）包括至少一根横梁（1821），所述主体部（181）通过所述至少一根横梁（1821）与所述背腔（101）的侧壁（102）固定连接。

8.如权利要求7所述的麦克风组件，其特征在于，

所述主体部（181）的横截面为圆形，并且所述主体部（181）的纵剖面为梯形。

9.如权利要求8所述的麦克风组件，其特征在于，

所述凸起部（183）中包含导电介质，所述至少一根横梁（1821）中包含导电通路，所述凸起部（183）与所述至少一根横梁（1821）电连接，以传输所述第一电极（210）与外部电路之间的电信号；

所述背极板（300）包括至少一个第一电性引出结构（302），所述至少一个第一电性引出结构（302）与所述第二电极（310）电连接，以传输所述第二电极（310）与外部电路之间的电信号；

所述第二振膜（400）包括至少一个第二电性引出结构（402），所述至少一个第二电性引出结构（402）与所述第三电极（410）电连接，以传输所述第三电极（410）与外部电路之间的电信号。

10.如权利要求9所述的麦克风组件，其特征在于，

所述背极板（300）的所述第二电极（310）之外的区域还设置有至少一个环形凸起部（303），所述环形凸起部（303）呈连续的环形或断续的环形，并且所述环形凸起部（303）朝向所述背腔（101）方向凸起或者朝向背离所述背腔（101）的方向凸起，其中，所述至少一个环形凸起部（303）环绕所述第二电极（310）。

11.如权利要求9所述的麦克风组件，其特征在于，

所述背极板（300）的所述第二镂空区域（301）之外的部分构成背极板（300）的第二支持部（320），并且所述第二镂空区域（301）内设置有至少一个弹簧梁（304），所述至少一个弹簧梁（304）将所述第二电极（310）与所述背极板（300）的第二支持部（320）固定连接。

12.一种电子设备，其特征在于，包括上述权利要求1至11中任意一项所述的麦克风组件。

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