CN114859077A - 一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计及其使用方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计及其使用方法，包括：第一谐振器和第二谐振器，并且该两个谐振器的质量相同、刚度相同、阻尼符号相反；该两个谐振器均各自连接有：驱动电极，其用于接入交流电压或者直流电压；检测电极，其用于接入直流电压，检测相应谐振器的运动信号；阻尼调节电路，其用于将与之连接的谐振器的运动信号转化为电信号，并将电信号反馈给相应的谐振器，用以调节谐振器的阻尼系数；通过调节阻尼调节电路，使得第一谐振器以及第二谐振器的阻尼系数调节至满足奇异点的条件，此时的微加速度计以一个谐振频率振动。
Description
技术领域
本发明涉及微加速度计技术领域，特别是涉及一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计及其使用方法。
背景技术
1977年，美国Standford大学率先采用微加工技术在硅片上制造出了一种开环硅加速度计并将其用于生物医学领域，标志着微加速度计的诞生。自此，微加速度计开始广泛应用于航空航天、汽车、军事、消费电子等领域。随着微加速度计的不断发展，对加速度计的测量灵敏度也提出了更高的要求，一种方法是对微加速度计的结构进行优化设计，但这种方法对工艺加工要求比较高，实现比较复杂；另一种方法就是探索提升微加速度计灵敏度的新机理，以此来达到应用场合的性能指标。
量子力学中的宇称-时间对称系统由于具有实数能谱而受到广泛关注，近些年来，越来越多的学者逐渐证明，在宇称-时间对称系统中，工作在奇异点附近的传感器的本征频率分裂量对于微小扰动有着超灵敏响应。
基于此，本发明在加速度计中构建宇称-时间对称系统，利用奇异点提升加速度计对微小扰动的灵敏度。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计及其使用方法，该方法针对目前微加速度计灵敏度低的问题，在微加速度计中构建了宇称-时间对称系统，并利用奇异点大大提高了微加速度计对微小扰动的灵敏度。
为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：
一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计，所述微加速度计包括：
第一谐振器，其质量为m1，刚度为k1，阻尼系数为-c1；
第二谐振器，其质量为m2，刚度为k2，阻尼系数为c2，其中，该第二谐振器与所述第一谐振器通过耦合梁进行串联，并且满足m1＝m2＝m，k1＝k2＝k；
其中，所述的两个谐振器均各自连接有：
驱动电极，其用于接入交流电压或者直流电压；
检测电极，其用于接入直流电压，检测相应谐振器的运动信号；
阻尼调节电路，其用于将与之连接的谐振器的运动信号转化为电信号，并将电信号反馈给相应的谐振器，用以调节谐振器的阻尼系数，其中，所述的阻尼调节电路，其输入端连接至谐振器的检测电极，其输出端连接至谐振器的驱动电极；
其中，通过调节所述的阻尼调节电路，使得所述第一谐振器以及第二谐振器的阻尼系数调节至满足奇异点的条件，此时的微加速度计以一个谐振频率振动。
进一步的，在所述的第一谐振器以及第二谐振器之间，其顶部区域以及底部区域，均设有一个耦合梁，该两个耦合梁均固定在固定于锚区之上；
所述的第一谐振器以及第二谐振器，其顶部以及底部均通过短梁连接相应区域的耦合梁。
进一步的，与所述第一谐振器相连接的驱动电极定义为第一驱动电极，该第一驱动电极设置在所述第一谐振器远离第二谐振器的一侧处，与所述第一谐振器相连接的检测电极定义为第一检测电极，该第一检测电极设置在所述第一谐振器与所述第一驱动电极之间。
进一步的，与所述第二谐振器相连接的驱动电极定义为第二驱动电极，该第二驱动电极设置在所述第二谐振器远离第一谐振器的一侧处，与所述第二谐振器相连接的检测电极定义为第二检测电极，该第二检测电极设置在所述第二谐振器与所述第二驱动电极之间。
进一步的，所述阻尼调节电路，包括依次连接的跨阻放大器，增益调节器，带通滤波器，相位调节器，其中，
所述跨阻放大器用于将谐振器的振动信号转化为电信号，增益控制器用于调整环路的增益，带通滤波器用于滤除不需要的信号，相位调节器用来控制电信号的相位。
进一步的，当所述第一谐振器和第二谐振器的阻尼系数满足c1＝c2＝c时，此时，谐振器系统的奇异点为：
其中，kc为耦合梁的刚度；
当系统存在水平方向的加速度时，第二谐振器的刚度受到扰动，刚度的变化量Δk是和加速度相关的函数；
此时，工作在奇异点处的谐振系统频率分裂量Δω的实部为
进一步的，当所述第一谐振器和第二谐振器的阻尼系数满足c1≠c2时，此时谐振器系统存在奇异点为：
其中，kc为耦合梁的刚度。
进一步的，所述的微加速度计还包括可动质量块，该可动质量块通过短梁与所述第二谐振器的检测电极的锚区固定
一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计的使用方法，该方法包括：
步骤S1、将所述的微加速度计的初始工作点调节至奇异点；
步骤S2、将该所述的微加速度计置于待测加速度环境中，其中，该环境中的加速度对第二谐振器的刚度产生扰动Δk，从而使谐振系统远离奇异点，谐振频率分裂为两个；
步骤S3、通过交流扫频信号驱动谐振系统，将谐振系统的电流转化为电信号，即可读取此时系统的谐振频率；
步骤S4、根据谐振频率的分裂量推导出此时的加速度。
进一步的，所述步骤S4具体包括：
通过检测两个谐振频率的分裂量Δω即可由下式得到由于加速度导致的刚度变化量Δk，再由刚度的变化量Δk和加速度的线性关系，即得到此时加速度的大小，
其中，kc为耦合梁的刚度。
本发明的有益效果是：
相比较现有的加速度计，对于相同的微小扰动，基于奇异点的微加速度计可以获得更大的频率分裂量，并且对于扰动具有超越线性的灵敏度。对于足够小的加速度检测，本发明提出的微加速度计相比于传统加速度计可以提升灵敏度2-4个数量级。
附图说明
图1为本发明中提供的一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计的各模块连接示意图；
图2为本发明中提供的一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计具体结构示意图；
图3为本发明中提供的阻尼调节电路的原理图；
附图中：
101-第一谐振器的阻尼模型，102-第一谐振器的刚度模型，103-第一谐振器的质量模型，104-第一谐振器和第二谐振器的耦合刚度模型，105-第二谐振器的质量模型，106-第二谐振器的阻尼模型，107-第二谐振器的刚度模型，A-第一谐振器，A1-第一检测电极，A2-第一驱动电极，AF-第一阻尼调节电路，B-第二谐振器，B1-第二检测电极，B2-第二驱动电极，BF-第二阻尼调节电路，201-耦合梁，202-锚区电极，203-可动质量块，301-输入端，302-跨阻放大器，303-增益调节器，304-带通滤波器，305-相位调节器，306-输出端。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本发明涉及的基于奇异点的微加速度计，其系统模块以及具体的结构参见图1和图2，在图1中，该系统模块包括：第一谐振器的阻尼模型101、第一谐振器的刚度模型102、第一谐振器的质量模型103、第一谐振器和第二谐振器的耦合刚度模型104、第二谐振器的质量模型105、第二谐振器的阻尼模型106以及第二谐振器的刚度模型107。
其中，第一谐振器的质量为m1，刚度为k1，阻尼系数为-c1，第二谐振器的质量为m2，刚度为k2，阻尼系数为c2，第一谐振器和第二谐振器通过刚度为kc的弹簧连接，并且满足m1＝m2＝m，k1＝k2＝k。
实施例1
具体参见图2，第一谐振器A的首尾两端通过短梁连接在固定于锚区电极202的耦合梁201上；
第一驱动电极A2被放置在第一谐振器A的左侧，用于接入交流电压和直流电压；
第一检测电极A1被放置在第一谐振器A与第一驱动电极A2之间，用于接入直流电压，检测第一谐振器A的运动信号。
第二谐振器B的首尾两端通过短梁连接在固定于锚区电极202的耦合梁201上；
第二驱动电极B2被放置在第二谐振器B的右侧，用于接入交流电压和直流电压；
第二检测电极B1被放置在第二驱动电极B2与第二谐振器B之间，用于接入直流电压，检测第二谐振器B的运动信号。
在第二检测电极B1与第二谐振器B之间，可动质量块203通过短梁与第二检测电极B1的锚区固定。
在图3中，阻尼调节电路将谐振器的运动信号转化为电信号，并将电信号反馈给谐振器，包括依次连接的输入端301，跨阻放大器302，增益调节器303，带通滤波器304，相位调节器305和输出端306。
跨阻放大器302用于将谐振器微弱的振动信号转化为电信号，增益调节器303用于调整环路的增益，带通滤波器304用于滤除不需要的信号，相位调节器305用来控制电信号的相位。
其中，第一阻尼调节电路AF的输入端301连接到第一检测电极A1，输出端306连接到第一驱动电极A2，进而调节第一谐振器的阻尼系数-c1。
第二阻尼调节电路BF的输入端301连接到第二检测电极B1，输出端306连接到第二驱动电极B2，进而调节第二谐振器的阻尼系数c2。
第一谐振器A和第二谐振器B的阻尼系数满足c1＝c2＝c时，此时谐振器系统的奇异点为：
当系统存在水平方向的加速度时，第二谐振器B的刚度受到扰动，刚度的变化量Δk是和加速度相关的函数。此时，工作在奇异点处的谐振系统频率分裂量Δω的实部为
实施例2：
第一谐振器A和第二谐振器B的阻尼系数c1≠c2时，此时谐振器系统仍然存在奇异点为：
同样可以得到上面的结论。
微加速度计的工作原理为：
已知第一谐振器A的质量为m1，刚度为k1，第二谐振器B的质量为m2，刚度为k2，并且满足m1＝m2＝m，k1＝k2＝k。
调节阻尼调节电路，将第一谐振器A和第二谐振器B的阻尼系数调节至满足奇异点的条件，此时谐振系统以一个谐振频率振动。
将谐振系统置于待测加速度环境中，待测的加速度会对第二谐振器B的刚度产生扰动Δk，从而使谐振系统远离奇异点，谐振频率分裂为两个，
通过检测两个谐振频率的分裂量Δω即可由公式(1)得到由于加速度导致的刚度变化量Δk，再由刚度的变化量Δk和加速度的线性关系，即可得到此时加速度的大小。
微加速度计的检测加速度的步骤为：
步骤S1、将谐振器系统初始工作点调节至奇异点；
步骤S2、将谐振器系统置于水平加速度环境；
步骤S3、交流扫频信号驱动谐振系统，将谐振系统的微弱电流转化为电信号，即可读取此时系统的谐振频率；
步骤S5、根据谐振频率的分裂量推导出此时的加速度。
因此，通过检测谐振系统频率的分裂量即可推导出加速度的大小，本发明提出的微加速度计可以实现对加速度的检测。
本发明未详述之处，均为本领域技术人员的公知技术。
以上详细描述了本发明的较佳具体实施例。应当理解，本领域的普通技术人员无需创造性劳动就可以根据本发明的构思作出诸多修改和变化。因此，凡本技术领域中技术人员依本发明的构思在现有技术的基础上通过逻辑分析、推理或者有限的实验可以得到的技术方案，皆应在由权利要求书所确定的保护范围内。
Claims (10)
1.一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计，其特征在于，所述微加速度计包括：
第一谐振器，其质量为m1，刚度为k1，阻尼系数为-c1；
第二谐振器，其质量为m2，刚度为k2，阻尼系数为c2，其中，该第二谐振器与所述第一谐振器通过耦合梁进行串联，并且满足m1＝m2＝m，k1＝k2＝k；
其中，所述的两个谐振器均各自连接有：
驱动电极，其用于接入交流电压或者直流电压；
检测电极，其用于接入直流电压，检测相应谐振器的运动信号；
阻尼调节电路，其用于将与之连接的谐振器的运动信号转化为电信号，并将电信号反馈给相应的谐振器，用以调节谐振器的阻尼系数，其中，所述的阻尼调节电路，其输入端连接至谐振器的检测电极，其输出端连接至谐振器的驱动电极；
其中，通过调节所述的阻尼调节电路，使得所述第一谐振器以及第二谐振器的阻尼系数调节至满足奇异点的条件，此时的微加速度计以一个谐振频率振动。
2.根据权利要求1所述的一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计，其特征在于，在所述的第一谐振器以及第二谐振器之间，其顶部区域以及底部区域，均设有一个耦合梁，该两个耦合梁均固定在固定于锚区之上；
所述的第一谐振器以及第二谐振器，其顶部以及底部均通过短梁连接相应区域的耦合梁。
3.根据权利要求1所述的一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计，其特征在于，与所述第一谐振器相连接的驱动电极定义为第一驱动电极，该第一驱动电极设置在所述第一谐振器远离第二谐振器的一侧处，与所述第一谐振器相连接的检测电极定义为第一检测电极，该第一检测电极设置在所述第一谐振器与所述第一驱动电极之间。
4.根据权利要求1所述的一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计，其特征在于，与所述第二谐振器相连接的驱动电极定义为第二驱动电极，该第二驱动电极设置在所述第二谐振器远离第一谐振器的一侧处，与所述第二谐振器相连接的检测电极定义为第二检测电极，该第二检测电极设置在所述第二谐振器与所述第二驱动电极之间。
5.根据权利要求1所述的一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计，其特征在于，所述阻尼调节电路，包括依次连接的跨阻放大器，增益调节器，带通滤波器，相位调节器，其中，
所述跨阻放大器用于将谐振器的振动信号转化为电信号，增益控制器用于调整环路的增益，带通滤波器用于滤除不需要的信号，相位调节器用来控制电信号的相位。
6.根据权利要求1所述的一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计，其特征在于，当所述第一谐振器和第二谐振器的阻尼系数满足c1＝c2＝c时，此时，谐振器系统的奇异点为：
其中，kc为耦合梁的刚度；
当系统存在水平方向的加速度时，第二谐振器的刚度受到扰动，刚度的变化量Δk是和加速度相关的函数；
此时，工作在奇异点处的谐振系统频率分裂量Δω的实部为
7.根据权利要求1所述的一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计，其特征在于，当所述第一谐振器和第二谐振器的阻尼系数满足c1≠c2时，此时谐振器系统存在奇异点为：
其中，kc为耦合梁的刚度。
8.根据权利要求1所述的一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计，其特征在于，所述的微加速度计还包括可动质量块，该可动质量块通过短梁与所述第二谐振器的检测电极的锚区固定。
9.一种如权利要求1中所述的一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计的使用方法，其特征在于，该方法包括：
步骤S1、将所述的微加速度计的初始工作点调节至奇异点；
步骤S2、将该所述的微加速度计置于待测加速度环境中，其中，该环境中的加速度对第二谐振器的刚度产生扰动Δk，从而使谐振系统远离奇异点，谐振频率分裂为两个；
步骤S3、通过交流扫频信号驱动谐振系统，将谐振系统的电流转化为电信号，即可读取此时系统的谐振频率；
步骤S4、根据谐振频率的分裂量推导出此时的加速度。
10.根据权利要求9所述的一种基于奇异点的高灵敏度微加速度计的使用方法，其特征在于，所述步骤S4具体包括：
通过检测两个谐振频率的分裂量Δω即可由下式得到由于加速度导致的刚度变化量Δk，再由刚度的变化量Δk和加速度的线性关系，即得到此时加速度的大小，
其中，kc为耦合梁的刚度。
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Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20140001984A1 (en) * | 2012-06-29 | 2014-01-02 | Murata Electronics Oy | Resonator |
| US20150128701A1 (en) * | 2013-11-14 | 2015-05-14 | Analog Devices, Inc. | Method and Apparatus for Detecting Linear and Rotational Movement |
| CN107643423A (zh) * | 2017-10-26 | 2018-01-30 | 西北工业大学 | 一种基于模态局部化效应的三自由度弱耦合谐振式加速度计 |
| US20180172723A1 (en) * | 2015-05-29 | 2018-06-21 | Massachusetts Institute Of Technology | Apparatus and Methods for Photonic Integrated Resonant Accelerometers |
| CN108519498A (zh) * | 2018-03-08 | 2018-09-11 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种谐振加速度计的自适应闭环测量系统 |
| CN109444466A (zh) * | 2017-08-30 | 2019-03-08 | 意法半导体股份有限公司 | Fm惯性传感器和用于操作fm惯性传感器的方法 |
| CN110542869A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-12-06 | 西北工业大学 | 基于模态局部化效应的微弱磁场测量装置及方法 |
| CN112986872A (zh) * | 2021-04-30 | 2021-06-18 | 东南大学 | 一种pt对称微机械磁场传感器 |
| CN113155664A (zh) * | 2021-04-26 | 2021-07-23 | 东南大学 | 一种高灵敏度的微弱气体检测装置及其检测方法 |
| CN113514666A (zh) * | 2021-04-29 | 2021-10-19 | 东南大学 | 一种基于pt对称谐振器的微机械加速度计及其检测方法 |
| CN113900053A (zh) * | 2021-09-27 | 2022-01-07 | 东南大学 | 一种基于pt对称原理的mems谐振式磁场传感器及其使用方法 |
-
2022
- 2022-05-12 CN CN202210533144.8A patent/CN114859077A/zh active Pending
Patent Citations (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104411618A (zh) * | 2012-06-29 | 2015-03-11 | 株式会社村田制作所 | 改良的共振器 |
| US20140001984A1 (en) * | 2012-06-29 | 2014-01-02 | Murata Electronics Oy | Resonator |
| US20150128701A1 (en) * | 2013-11-14 | 2015-05-14 | Analog Devices, Inc. | Method and Apparatus for Detecting Linear and Rotational Movement |
| US20180172723A1 (en) * | 2015-05-29 | 2018-06-21 | Massachusetts Institute Of Technology | Apparatus and Methods for Photonic Integrated Resonant Accelerometers |
| CN109444466A (zh) * | 2017-08-30 | 2019-03-08 | 意法半导体股份有限公司 | Fm惯性传感器和用于操作fm惯性传感器的方法 |
| CN107643423A (zh) * | 2017-10-26 | 2018-01-30 | 西北工业大学 | 一种基于模态局部化效应的三自由度弱耦合谐振式加速度计 |
| CN108519498A (zh) * | 2018-03-08 | 2018-09-11 | 北京航天控制仪器研究所 | 一种谐振加速度计的自适应闭环测量系统 |
| CN110542869A (zh) * | 2019-06-21 | 2019-12-06 | 西北工业大学 | 基于模态局部化效应的微弱磁场测量装置及方法 |
| WO2020253795A1 (zh) * | 2019-06-21 | 2020-12-24 | 西北工业大学 | 基于模态局部化效应的微弱磁场测量装置及方法 |
| CN113155664A (zh) * | 2021-04-26 | 2021-07-23 | 东南大学 | 一种高灵敏度的微弱气体检测装置及其检测方法 |
| CN113514666A (zh) * | 2021-04-29 | 2021-10-19 | 东南大学 | 一种基于pt对称谐振器的微机械加速度计及其检测方法 |
| CN112986872A (zh) * | 2021-04-30 | 2021-06-18 | 东南大学 | 一种pt对称微机械磁场传感器 |
| CN113900053A (zh) * | 2021-09-27 | 2022-01-07 | 东南大学 | 一种基于pt对称原理的mems谐振式磁场传感器及其使用方法 |
Non-Patent Citations (4)
| Title |
|---|
| CAMILLE L. M. EVERHART: "High stability thermal accelerometer based on ultrathin platinum ALD nanostructures" * |
| SEONGHUN PYO: "Development of vector hydrophone using thickness–shear mode piezoelectric single crystal accelerometer" * |
| 何江波;: "具有不对称弹性梁的梳状微加速度计的结构变形分析" * |
| 王刚: "基于压电分流技术的PT对称梁散射特性研究" * |
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