CN114819778B

CN114819778B - 进入工艺流程时机生成方法、装置、设备及可读存储介质

Info

Publication number: CN114819778B
Application number: CN202210764372.6A
Authority: CN
Inventors: 朱东和; 李�杰; 刘斌; 郭宇翔; 傅慧初
Original assignee: Exxon Industries Guangdong Co ltd
Current assignee: Ax Industries Ltd
Priority date: 2022-07-01
Filing date: 2022-07-01
Publication date: 2022-11-11
Anticipated expiration: 2042-07-01
Also published as: CN114819778A

Abstract

本发明公开了一种进入工艺流程时机生成方法、装置、设备及可读存储介质，其中，所述进入工艺流程时机生成方法的步骤包括：当第一工作单元进入工艺流程后，生成第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻，判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡；若发生过泡，则生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度，将所述当前进入时刻与所述步进长度相加生成所述当前进入时刻，执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤；若未发生过泡，则将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机。本发明步进长度更加科学，降低计算时长提高了产品产量。

Description

进入工艺流程时机生成方法、装置、设备及可读存储介质

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种进入工艺流程时机生成方法、装置、设备及可读存储介质。

背景技术

近些年来，电子消费类产品逐渐普及人们生活的方方面面，半导体材料作为这些产品的基础，促使半导体这一行业成为世界各国重点聚焦产业。

晶圆制造是半导体制造过程中自动化程度最高，工艺最复杂的生产过程。晶圆制造包括沉积、涂胶、曝光、显影、刻蚀等工艺。在完成上述工艺后，常常需要进行一道清洗工序，进而保障晶圆的质量。清洗工序是半导体芯片制造过程中非常重要的一个加工环节。这也导致清洗工序作业时间的长短是制约半导体芯片产量的关键因素之一。清洗设备有三部分组成：前端存储区域，传输区域，工艺区域。在不同的区域中，设备配置了机械手用于传输晶圆产品。其中，在工艺区域中，有多个湿槽，它可以用来放置酸等各种化学液体，晶圆产品通过多个不同的湿槽完成清洗过程。需要注意的是晶圆在各湿槽中的清洗工艺存在过泡时长约束，也就是晶圆产品在湿槽中加工完必须立即或在一定的时间内从湿槽中取出。

例如清洗设备的工艺区域配备了一个机械手，用于完成晶圆产品在不同湿槽间的传输动作。由于清洗工艺具有过泡时长约束，且清洗设备可以多个晶圆产品，一旦出现两个晶圆产品同时需要被取出，那么就极有可能违反过泡时长约束。为此，控制算法的通常做法是通过延迟第二个Job（工作组，工作组中包括多个晶圆）进入工艺区的时间，从而避免两个晶圆产品同时争夺机械手资源的情况，此时对第二个Job设置多少延迟时间成为一个必须解决的问题。传统的做法是采用步进的方式寻找第二个Job进入工艺区的合适时间，当确定初始时间t后再一步一步累加固定时间对进入时间进行尝试，直到找到最早的可以进入工艺区的时间。此做法的主要问题在于如果最早的合适进入的时间远大于最初的时间，那么算法需要耗费大量的时间去寻找合适的进入时间，如果有多个待进入工艺区的Job，其累计的总的寻找进入工艺区的时间将变得不可接受。故而传统计算进入工艺流程时间的算法存在计算次数过多导致计算时间过长的技术问题。

上述内容仅用于辅助理解本发明的技术方案，并不代表承认上述内容是现有技术。

发明内容

本发明的主要目的在于提供一种进入工艺流程时机生成方法，旨在解决传统计算进入工艺流程时间的算法存在计算次数过多导致计算时间过长的技术问题。

为实现上述目的，本发明提供一种进入工艺流程时机生成方法，所述进入工艺流程时机生成方法包括以下步骤：

当第一工作单元进入工艺流程后，生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻，判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡；

若发生过泡，则生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度，将所述当前进入时刻与所述步进长度相加生成新的所述当前进入时刻，执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤；

若未发生过泡，则将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机。

进一步的，在所述将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机的步骤之前，包括：

判断所述步进长度是否大于预设允许误差；

若所述步进长度大于所述预设允许误差，则将所述当前进入时刻输入至预设二分计算公式得到新的所述当前进入时刻；

所述预设二分计算公式为：

T1=T2-S/2

其中，T2为输入所述预设二分计算公式前的当前进入时刻、T1为所述预设二分计算公式输出的新的当前进入时刻、S为步进长度；

执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤。

进一步的，在所述判断所述步进长度是否大于预设允许误差的步骤之后，包括：

若所述步进长度小于或者等于所述预设允许误差，则执行所述将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机的步骤。

进一步的，在所述将所述当前进入时刻输入至预设二分计算公式得到所述当前进入时刻的步骤之后，包括：

判断历史进入时刻列表中是否包含所述当前进入时刻，其中，所述历史进入时刻列表用于记录参与过判断所述第二工作单元是否会发生过泡的步骤的所述当前进入时刻；

若所述历史进入时刻列表中未包含所述当前进入时刻，则执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤。

进一步的，所述生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻的步骤包括：

根据所述第一工作单元进入所述工艺流程的进入时刻以及预设操作间隔确定所述第二工作单元的所述当前进入时刻。

进一步的，所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤包括：

模拟所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后所述工艺流程的操作过程；

判断所述第二工作单元的工艺处理时间是否会超过预设处理时间阈值；

若所述工艺处理时间超过所述预设处理时间阈值，则判定会发生过泡；

若所述工艺处理时间未超过所述预设处理时间阈值，则判定不会发生过泡。

进一步的，所述生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度的步骤包括：

根据所述操作过程中模拟的所述第二工作单元的所述工艺处理时间和所述预设处理时间阈值生成所述过泡时长，将所述过泡时长作为所述步进长度。

此外，为实现上述目的，本发明还提供一种进入工艺流程时机生成装置，所述进入工艺流程时机生成装置包括：

判断模块，用于当第一工作单元进入工艺流程后，生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻，判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡；

循环模块，用于若发生过泡，则生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度，将所述当前进入时刻与所述步进长度相加生成所述当前进入时刻，执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤；

生成模块，用于若未发生过泡，则将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机。

此外，为实现上述目的，本发明还提供一种进入工艺流程时机生成设备，所述进入工艺流程时机生成设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的进入工艺流程时机生成程序，所述进入工艺流程时机生成程序被所述处理器执行时实现如上述的进入工艺流程时机生成方法的步骤。

此外，为实现上述目的，本发明还提供一种可读存储介质，所述可读存储介质上存储有进入工艺流程时机生成程序，所述进入工艺流程时机生成程序被处理器执行时实现如上述的进入工艺流程时机生成方法的步骤。

本发明实施例提出的一种进入工艺流程时机生成方法，当第一工作单元进入工艺流程后，生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻，判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡；若发生过泡，则生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度，将所述当前进入时刻与所述步进长度相加生成所述当前进入时刻，执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤；若未发生过泡，则将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机。相比现有技术采用固定的步进长度，本发明将会基于模拟计算过程中得到的过泡时长生成每次的步进长度，使得步进长度设置更加科学合理，减少了工作单元的当前进入时刻的迭代计算次数，降低了计算时长从而提高产品的产量。

附图说明

图1是本发明实施例方案涉及的硬件运行环境的设备结构示意图；

图2为本发明进入工艺流程时机生成方法的第一实施例的流程示意图；

图3为本发明进入工艺流程时机生成方法的第二实施例的流程示意图；

图4为本发明进入工艺流程时机生成方法的第三实施例的流程示意图；

图5为本发明进入工艺流程时机生成方法的第四实施例的流程示意图。

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

如图1所示，图1是本发明实施例方案涉及的硬件运行环境的设备结构示意图。

本发明实施例设备可以是自动化设备，也可以是智能手机、PC、平板电脑、便携计算机等具有数据接收、数据处理、数据发送功能的电子终端设备。

如图1所示，该设备可以包括：处理器1001，例如CPU，网络接口1004，用户接口1003，存储器1005，通信总线1002。其中，通信总线1002用于实现这些组件之间的连接通信。用户接口1003可以包括显示屏（Display）、输入单元比如键盘（Keyboard），可选用户接口1003还可以包括标准的有线接口、无线接口。网络接口1004可选的可以包括标准的有线接口、无线接口（如WI-FI接口）。存储器1005可以是高速RAM存储器，也可以是稳定的存储器（non-volatile memory），例如磁盘存储器。存储器1005可选的还可以是独立于前述处理器1001的存储装置。

可选地，设备还可以包括摄像头、RF（Radio Frequency，射频）电路，传感器、音频电路、WiFi模块等等。其中，传感器比如光传感器、运动传感器以及其他传感器。具体地，光传感器可包括环境光传感器及接近传感器，其中，环境光传感器可根据环境光线的明暗来调节显示屏的亮度，接近传感器可在移动终端移动到耳边时，关闭显示屏和/或背光。作为运动传感器的一种，重力加速度传感器可检测各个方向上（一般为三轴）加速度的大小，静止时可检测出重力的大小及方向，可用于识别移动终端姿态的应用（比如横竖屏切换、相关游戏、磁力计姿态校准）、振动识别相关功能（比如计步器、敲击）等；当然，移动终端还可配置陀螺仪、气压计、湿度计、温度计、红外线传感器等其他传感器，在此不再赘述。

本领域技术人员可以理解，图1中示出的设备结构并不构成对设备的限定，可以包括比图示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件布置。

如图1所示，作为一种计算机存储介质的存储器1005中可以包括操作系统、网络通信模块、用户接口模块以及进入工艺流程时机生成程序。

在图1所示的终端中，网络接口1004主要用于连接后台服务器，与后台服务器进行数据通信；用户接口1003主要用于连接客户端（用户端），与客户端进行数据通信；而处理器1001可以用于调用存储器1005中存储的进入工艺流程时机生成程序，并执行以下操作：

进一步地，处理器1001可以调用存储器1005中存储的进入工艺流程时机生成程序，还执行以下操作：

在所述将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机的步骤之前，包括：

判断所述步进长度是否大于预设允许误差；

所述预设二分计算公式为：

T1=T2-S/2

在所述判断所述步进长度是否大于预设允许误差的步骤之后，包括：

在所述将所述当前进入时刻输入至预设二分计算公式得到所述当前进入时刻的步骤之后，包括：

所述生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻的步骤包括：

所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤包括：

所述生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度的步骤包括：

参照图2，本发明进入工艺流程时机生成方法的第一实施例，所述进入工艺流程时机生成方法包括：

步骤S10，当第一工作单元进入工艺流程后，生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻，判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡；

在本实施例中，上述工作单元指晶圆或者晶圆组，工作单元将被工艺区的机械手抓取完成工艺区的工艺流程。工艺区配备了多个湿槽，不同的湿槽存在有用于清洗晶圆的化学液体，工艺流程则为机械臂抓取晶圆放入装有不同化学液体的湿槽完成清洗工作。而工作单元的第一或者第二（第一工作单元和第二工作单元）是指进入工艺流程的先后顺序，即第一工作单元进入工艺流程后，下一个待进入工艺流程的工作单元为第二工作单元。

进一步的，所述生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻的步骤包括：根据所述第一工作单元进入所述工艺流程的进入时刻以及预设操作间隔确定所述第二工作单元的所述当前进入时刻。

具体的，当第一工作单元进入工艺流程后，第一工作单元的进入时刻既可以确定，将第一工作单元的进入时刻与预设操作间隔相加即可得到第二工作单元的当前进入时刻（此时为初始的当前进入时刻）。其中，预设操作间隔为机械手抓取第一工作单元放入第一个湿槽后回位到可抓取第二工作单元的时间。

步骤S110，模拟所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后所述工艺流程的操作过程；

步骤S120，判断所述第二工作单元的工艺处理时间是否会超过预设处理时间阈值；

步骤S121，若所述工艺处理时间超过所述预设处理时间阈值，则判定会发生过泡；

步骤S122，若所述工艺处理时间未超过所述预设处理时间阈值，则判定不会发生过泡。

具体的，当得到第二工作单元的当前放入时间后，模拟第二工作单元以此时的当前放入时间进入工艺流程后工艺区的工作情况，以判断是否会发生过泡。需要说明的是，在本实施例中的描述中仅出现第一工作单元和第二工作单元，但是实际工艺流程中，工艺区正在进行清洗或者浸泡的工作单元数量将大于两个。为清楚的说明模拟过程，此处仅以第一工作单元和第二工作单元为例进行说明，确定第二工作单元的当前放入时间后，此时第一工作单元已经在工艺区进行清洗或者浸泡处理。而可以理解的是，晶圆各个湿槽中处理时间设定有预设处理时间阈值（即在湿槽中最长的浸泡时间，若超过该时间则会发生过泡），机械手从一个湿槽中抓取工作单元放入另一个湿槽的时间也可以依据测试或者技术人员经验得到，因此，当一个工作单元进入工艺区的时间确定后，即可模拟出该工作单元在整个工艺流程中被机械手操作的过程。而工作单元被机械手抓取时，认为该工作单元将占用该机械手的操作资源，模拟过程中也可能出现不同工作单元需要占用机械手的时间存在重叠情况，即发生操作资源冲突。例如，第一工作单元在一湿槽中达到对应的预设处理时间阈值（或者达到预设处理时间阈值前的可取出时间段，例如某预设处理时间阈值是60s，则在处理55s和60s之间的时间段均可将该工作元件取出），此时需要占用机械手将第一工作单元从该湿槽中转移至下一湿槽，而这一转移时间需要占用机械手10秒，而在这10秒的时间段中，若第二工作单元在湿槽也达到预设的处理时间阈值（或者达到预设处理时间阈值前的可取出时间段），因此也需要进行转移操作，则出现对机械手使用资源的冲突，且发生冲突时机械手需要先完成第一工作单元的转移操作后，再进行第二单元的转移操作，此时第二工作单元在湿槽中的工艺处理时间会超过预设处理时间阈值，则判定第二工作单元将发生过泡，（需要说明的是，若操作资源冲突过短也可能不会发生过泡现象，如设定工作单元可取出的时间为一时间段，从而为发生操作资源冲突时提供了缓冲）。反之，若模拟过程中第二工作单元为超过所述预设时间阈值，则不会发生过泡。

步骤S20，若发生过泡，则生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度，将所述当前进入时刻与所述步进长度相加生成新的所述当前进入时刻，执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤；

具体的，根据模拟的结果判断出若第二工作单元以当前进入时刻进入工艺流程，则工艺区正在进行清洗或者浸泡处理的工作单元会发生过泡。根据过泡时长生成步进长度。

进一步的，所述生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度的步骤包括：根据所述操作过程中模拟的所述第二工作单元的所述工艺处理时间和所述预设处理时间阈值生成所述过泡时长，将所述过泡时长作为所述步进长度。

具体的，虽然不同的湿槽中设定有不同的预设处理时间阈值，但是工作单元在湿槽中实际处理可能超过对应的处理时间阈值。同样基于上述例子，10点37分18秒时刻第一工作单元在的在一湿槽中达到预设处理时间阈值，第一工作单元占用机械手从该湿槽中转移至下一湿槽，而这一转移时间需要占用机械手10S，即在10点37分28秒时刻完成转移操作，而在10点37分21秒时刻第二工作单元在湿槽也达到对应的预设处理时间阈值也需要进行转移操作，当10点37分28秒时刻第一工作单元完成转移操作后，再对第二工作单元进行转移操作，则第二工作单元至少过泡7秒（若包括机械手的移动时间则会超过7秒），即得到过泡时长为7秒，将7秒直接作为所述步进长度（通常情况下也可以在7秒再加上过渡时间，如机械手的移动时间）。可以理解的是，上述过泡时长是基于第二工作单元第一次发生过泡时的过泡时长得到的，而在实际的应用中，也可以是模拟第二工作单元完成整个工艺流程后，选取发生的所有过泡的过泡时长中最长的过泡时长生成步进长度。可以理解的是，若根据第二工作单元过泡时长得到步进长度7秒时，将当前进入时刻再加上7秒得到新的当前进入时刻，相当于第二工作单元在原来进入时刻基础上晚进入工艺流程7秒，而这晚进入的7秒刚好可以与第一工作单元错开使用机械手，从而达到避免过泡的效果。

当得到步进长度后，将步进长度与当前进入时刻相加得到新的当前进入时刻。如当前进入时刻为T、步进长度为S，模拟出发生过泡且得到S，则对当前进入时刻T进行迭代更新即T=T+S。当得到新的当前进入时刻T后，又将基于新的当前进入时刻，对第二工作单元进入工艺流程后的操作过程进行模拟，即再次执行步骤S110至步骤S122。同理，若再次判定发生过泡，则根据过泡时长对当前进入时刻T进行迭代更新。

步骤S30，若未发生过泡，则将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机。

具体的，当根据模拟的结果判断出第二工作单元以当前进入时刻进入工艺流程不会发生过泡时，则将此时的当前进入时刻作为第二工作单元进入所述工艺流程的时机。

在本实施例中，当第一工作单元进入工艺流程后，生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻，判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡；若发生过泡，则生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度，将所述当前进入时刻与所述步进长度相加生成所述当前进入时刻，执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤；若未发生过泡，则将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机。相比现有技术采用固定的步进长度，本发明将会基于模拟计算过程中得到的过泡时长生成每次的步进长度，使得步进长度设置更加科学合理，减少了工作单元的当前进入时刻的迭代计算次数，降低了计算时长从而提高产品的产量。

进一步的，参照图3，基于本发明进入工艺流程时机生成方法第一实施例提出本发明进入工艺流程时机生成方法的第二实施例：

在所述将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机的步骤之前还包括：

步骤S310，判断所述步进长度是否大于预设允许误差；

具体的，比较步进长度与预设允许误差之间的大小。而上述步进长度实际上也相当于对第二工作单元的当前进入时刻调整的精度，即步进长度越大对当前进入时刻调整的精度越小，但其对应的调整效率也越大。而预设允许误差将用于限制步进长度的大小（通常情况下步进长度被设置为1秒），以确保调整的精度提高最终得到的当前进入时刻的最优性（使得最终确定的当前进入时刻尽可能与第一工作单元的进入时刻相接近）。

步骤S320,若所述步进长度大于所述预设允许误差，则将所述当前进入时刻输入至预设二分计算公式得到新的所述当前进入时刻；

具体的，所述预设二分计算公式为：

T1=T2-S/2

其中，T2为输入所述预设二分计算公式前的当前进入时刻、T1为所述预设二分计算公式输出的新的当前进入时刻、S为步进长度；执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤。即当步进长度大于预设允许误差时，则将当前进入时刻减去二分之一的步进长度得到第二工作单元新的当前进入时刻，再次基于新的当前进入时刻模拟第二工作单元在工艺流程中的操作过程判断是否发生过泡，即再次执行步骤S110至步骤S122。例如，假设初始的当前进入时刻为Ta=0，模拟计算发生过泡，且过泡时长为100则步进长度S=100，得到新的当前进入时刻（Ta+S）Tb=100，进行模拟计算不发生过泡，而S大于预设允许误差，得到新的当前进入时刻（Tb-S/2）Tc=50，再次进行模拟计算。以此进行生成当前进入时刻的循环计算。

步骤S330，若所述步进长度小于或者等于所述预设允许误差，则执行所述将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机的步骤。

具体的，若此时当前进入时刻所对应的步进长度小于或者等于预设允许误差时，即可判定此时的当前进入时刻即为第二工作单元进入工艺流程的时机。

在本实施例中，通过判断步进长度与预设允许误差之间的大小，且通过二分步进长度的方式来控制步进长度，以对当前进入时刻进行调整，避免步进长度过大导致第二工作单元进入工艺流程的时间过度推迟影响到产品产量。

进一步的，参照图4，基于本发明进入工艺流程时机生成方法第二实施例提出发明进入工艺流程时机生成方法的第三实施例：

在所述将所述当前进入时刻输入至预设二分计算公式得到所述当前进入时刻的步骤之后包括：

步骤S321,判断历史进入时刻列表中是否包含所述当前进入时刻，其中，所述历史进入时刻列表用于记录参与过判断所述第二工作单元是否会发生过泡的步骤的所述当前进入时刻；

具体的，当通过预设二分计算公式计算得到新的当前进入时刻后，还将判断在这之前是否生成过与此时的当前进入时刻相同的当前进入时刻。如判断历史进入时刻列表中是否包含了此时的当前进入时刻。而历史进入时刻列表用于记录参与过判断所述第二工作单元是否会发生过泡的步骤的所述当前进入时刻。例如，假设第二工作单元最初的当前进入时刻为Ta=0，判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻（Ta=0）进入所述工艺流程后是否会发生过泡，且将Ta=0记录于历史进入时刻列表中（历史进入时刻列表：0），判断发生过泡，则生成过泡时长（100）并根据所述过泡时长得到步进长度（S=100），将所述当前进入时刻与所述步进长度相加生成所述当前进入时刻（Tb=100），且将Tb=100记录于历史进入时刻列表中（历史进入时刻列表：0、100），判断未发生过泡，进一步判断进长度是否大于预设允许误差，若所述步进长度大于所述预设允许误差，则将所述当前进入时刻输入至预设二分计算公式得到所述当前进入时刻（Tc=50），此时的历史进入时刻列表记录了0和100，未包含50，因此，历史进入时刻列表中未否包含此时的当前进入时刻。

步骤S322,若所述历史进入时刻列表中未包含所述当前进入时刻，则执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤;

具体的，若历史进入时刻列表中未否包含此时的当前进入时刻，则再次基于该当前进入时刻模拟第二工作单元进入工艺流程后操作过程判断是否发生过泡，即再次执行步骤S110至步骤S122。

步骤S323，若所述历史进入时刻列表中包含所述当前进入时刻，则将输入至所述预设二分计算公式前的所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机。

具体的，历史进入时刻列表中未否包含此时的当前进入时刻，则将输入至预设二分计算公式前的当前进入时刻作为第二工作单元进入工艺流程的时机。如预设二分计算公式为T1=T2-S/2，T2为输入所述预设二分计算公式前的当前进入时刻、T1为所述预设二分计算公式输出的当前进入时刻，若T2=100、T1=50，且历史进入时刻列表：50，历史进入时刻列表包含了得到的当前进入时刻T1=50，则跳出循环将T2=100作为第二工作单元进入所述工艺流程的时机。

可以理解的是，在本实施例中，对通过预设二分计算公式得到的当前进入时刻还将判断其在之前的循环迭代更新中是否出现过，避免重复的当前进入时刻参与到循环迭代更新中，导致循环迭代更新过程最终无法得到结果。

参照图5，本发明进入工艺流程时机生成方法的第四实施例，所述进入工艺流程时机生成方法包括：

步骤S1,当第一工作单元进入工艺流程后，生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻;

步骤S2，判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡；

步骤S3，若发生过泡，则生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度，将所述当前进入时刻与所述步进长度相加生成新的所述当前进入时刻，并执行步骤S2；

步骤S4，若未发生过泡，则判断所述步进长度是否大于预设允许误差；

步骤S5,若所述步进长度小于或者等于所述预设允许误差，则将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机；

步骤S6，若所述步进长度大于所述预设允许误差，则将所述当前进入时刻输入至预设二分计算公式得到新的所述当前进入时刻；

步骤S7,判断历史进入时刻列表中是否包含所述当前进入时刻，其中，所述历史进入时刻列表用于记录参与过判断所述第二工作单元是否会发生过泡的步骤的所述当前进入时刻;

步骤S8，若所述历史进入时刻列表中未包含所述当前进入时刻，则执行步骤S2；

步骤S9,若所述历史进入时刻列表中包含所述当前进入时刻,则输入至所述预设二分计算公式前的所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机。

此外，本实施例还提供一种进入工艺流程时机生成装置，所述进入工艺流程时机生成装置包括：

循环模块，用于若发生过泡，则生成过泡时长并根据所述过泡时长得到步进长度，将所述当前进入时刻与所述步进长度相加生成新的所述当前进入时刻，执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤；

可选地，所述生成模块还用于：

判断所述步进长度是否大于预设允许误差；

所述预设二分计算公式为：

T1=T2-S/2

可选地，所述生成模块还用于：

可选地，所述判断模块还用于：

可选地，所述循环模块还用于：

本发明提供的进入工艺流程时机生成装置，采用上述实施例中的进入工艺流程时机生成方法，解决传统计算进入工艺流程时间的算法存在计算次数过多导致计算时间过长的技术问题。与现有技术相比，本发明实施例提供的进入工艺流程时机生成装置的有益效果与上述实施例提供的进入工艺流程时机生成方法的有益效果相同，且该进入工艺流程时机生成装置中的其他技术特征与上述实施例方法公开的特征相同，在此不做赘述。

此外，本实施例还提供一种进入工艺流程时机生成设备，所述进入工艺流程时机生成设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的进入工艺流程时机生成程序，所述进入工艺流程时机生成程序被所述处理器执行时实现如上述的进入工艺流程时机生成方法的步骤。

本发明进入工艺流程时机生成设备的具体实施方式与上述进入工艺流程时机生成新方法各实施例基本相同，在此不再赘述。

此外，本实施例还提供一种可读存储介质，所述可读存储介质上存储有进入工艺流程时机生成程序，所述进入工艺流程时机生成程序被处理器执行时实现如上述的进入工艺流程时机生成方法的步骤。

本发明介质具体实施方式与上述进入工艺流程时机生成新方法各实施例基本相同，在此不再赘述。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者系统不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者系统所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者系统中还存在另外的相同要素。

上述本发明实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到上述实施例方法可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件，但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在如上所述的一个存储介质(如ROM/RAM、磁碟、光盘)中，包括若干指令用以使得一台终端设备(可以是手机，计算机，服务器，自动化控制设备，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述的方法。

以上仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims

1.一种进入工艺流程时机生成方法，其特征在于，所述进入工艺流程时机生成方法包括以下步骤：

若发生过泡，则生成过泡时长并将所述过泡时长作为步进长度，将所述当前进入时刻与所述步进长度相加生成新的所述当前进入时刻，执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤；

2.如权利要求1所述的进入工艺流程时机生成方法，其特征在于，在所述将所述当前进入时刻作为所述第二工作单元进入所述工艺流程的时机的步骤之前，包括：

判断所述步进长度是否大于预设允许误差；

所述预设二分计算公式为：

T1=T2-S/2

其中，T2为输入所述预设二分计算公式前的当前进入时刻、T1为所述预设二分计算公式输出的当前进入时刻、S为步进长度；

3.如权利要求2所述的进入工艺流程时机生成方法，其特征在于，在所述判断所述步进长度是否大于预设允许误差的步骤之后，包括：

4.如权利要求2所述的进入工艺流程时机生成方法，其特征在于，在所述将所述当前进入时刻输入至预设二分计算公式得到新的所述当前进入时刻的步骤之后，包括：

5.如权利要求1所述的进入工艺流程时机生成方法，其特征在于，所述生成加工时序在所述第一工作单元之后的第二工作单元进入所述工艺流程的当前进入时刻的步骤包括：

6.如权利要求1所述的进入工艺流程时机生成方法，其特征在于，所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤包括：

7.如权利要求6所述的进入工艺流程时机生成方法，其特征在于，所述生成过泡时长并将所述过泡时长作为步进长度的步骤包括：

8.一种进入工艺流程时机生成装置，其特征在于，所述进入工艺流程时机生成装置包括：

循环模块，用于若发生过泡，则生成过泡时长并将所述过泡时长作为步进长度，将所述当前进入时刻与所述步进长度相加生成新的所述当前进入时刻，执行所述判断所述第二工作单元以所述当前进入时刻进入所述工艺流程后是否会发生过泡的步骤；

9.一种进入工艺流程时机生成设备，其特征在于，所述进入工艺流程时机生成设备包括：存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的进入工艺流程时机生成程序，所述进入工艺流程时机生成程序被所述处理器执行时实现如权利要求1至7中任一项所述的进入工艺流程时机生成方法的步骤。

10.一种可读存储介质，其特征在于，所述可读存储介质上存储有进入工艺流程时机生成程序，所述进入工艺流程时机生成程序被处理器执行时实现如权利要求1至7中任一项所述的进入工艺流程时机生成方法的步骤。