CN114589073A - 晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆激光low‑k设备旋转涂胶真空转接装置，该装置包括真空转动轴，真空转动轴内具有排气通道；轴承，轴承转动装配在真空转动轴的外周；轴承安装体，轴承安装体用于安装轴承和供真空转动轴穿过，轴承安装体内设置有抽吸通道，抽吸通道连通排气通道；磁性密封件，磁性密封件布置在轴承安装体内，在真空转动轴的轴线方向上，抽吸通道的一侧或两侧布置有所述磁性密封件；无磁性密封件，无磁性密封件布置在轴承安装体内，在真空转动轴的轴线方向上，抽吸通道的一侧或两侧布置有无磁性密封件，本发明有效解决了现有技术中存在的真空转接装置密封效果差、外界粉尘进入后易损坏整个设备的技术问题。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆加工设备技术领域，具体涉及一种晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置。
背景技术
晶圆MEMS芯片中高速逻辑元器件晶圆表层镀有一层low-k膜，使用使用low-k电介质作为ILD（层间介质），可以有效地降低互连线之间的分布电容，从而可使芯片总体性能提升10%左右；low-k镀膜在晶圆附着强度较低，容易产生脱落，常规刀片切割过程中，刀片对low-k膜有较大的应力，严重影响芯片成品率；通过激光在切割道中快速制造出激光凹槽，将相邻的两片晶粒间的low-k膜提前断开，然后以标准速度对晶粒切割，可有效的高成品率，同时减少或消除碎屑、分层和其他切割质量问题。随着对处理器效率要求的增加low-k晶圆在行业中的运用越来越广泛。
激光加工工程中晶圆表面需保持一层均匀稳定的涂覆层，增加表面平整度同时防止加工过程中产生的飞溅损坏邻近芯片的电路，涂胶过程中转盘需要高速的旋转，而在高速旋转的时候为了防止晶圆在离心力的作用下飞出去，需要增加真空吸附，将产品吸附在工作台上，带而现有技术中的真空转接装置密封效果较差，在提供真空吸附将产品吸附在工作台上的同时，少部分外界空气和粉尘也会被吸附进设备内，对整个设备造成损坏。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的是提供一种晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，用以解决现有技术中存在的真空转接装置密封效果差、外界粉尘进入后易损坏整个设备的技术问题。
为实现上述目的，本发明所提供的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置采用如下技术方案：
晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，包括：
真空转动轴，真空转动轴用于带动晶圆产品转动，真空转动轴内具有排气通道；
轴承，轴承转动装配在所述真空转动轴的外周；
轴承安装体，轴承安装体用于安装轴承和供真空转动轴穿过，轴承安装体内设置有抽吸通道，抽吸通道的一端连通所述排气通道，另一端用于连接抽吸装置；
磁性密封件，磁性密封件布置在所述轴承安装体内，在所述真空转动轴的轴线方向上，所述抽吸通道的一侧或两侧布置有所述磁性密封件；
无磁性密封件，无磁性密封件布置在所述轴承安装体内，在所述真空转动轴的轴线方向上，所述抽吸通道的一侧或两侧布置有无磁性密封件。
本发明所提供的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置的有益效果是：工作时，抽吸通道连接抽吸装置，通过抽吸装置提供抽吸力，从而在排气通道内形成真空环境，使得真空转动轴在高速转动的同时能够通过真空吸附保证晶圆产品的稳定性，为了避免外界空气和粉尘通过真空转动轴与轴承安装体之间的缝隙进入轴承安装体内，设置了磁性密封件和无磁性密封件两种密封结构，实现了双重密封效果，相比于现有技术，有效避免了外界空气和粉尘进入整个设备内造成损坏，保障了整个设备的稳定运行，延长了使用寿命，有效解决了现有技术中存在的真空转接装置密封效果差、外界粉尘进入后易损坏整个设备的技术问题。
进一步地，所述轴承安装体包括安装面板和安装筒，所述抽吸通道位于所述安装筒内，所述安装面板具有贯穿板厚的穿孔，所述穿孔供所述真空转动轴伸入，所述安装筒朝向所述安装面板的一端开口，所述安装筒背向所述安装面板的一端设置有封板，所述封板具有与所述穿孔相同中轴线的且贯穿板厚的过孔。
进一步地，所述无磁性密封件数量为两个，分别布置在所述安装面板和所述封板内。无磁性密封件从两个方向密封，密封效果更好。
进一步地，所述无磁性密封件为油封。油封具有结构简单、便于制造、重量轻和耗材少的优点。
进一步地，所述磁性密封件数量为两个，在所述真空转动轴的轴线方向上，所述抽吸通道的两侧各布置有一个所述磁性密封件，且每个所述磁性密封件位于所述抽吸通道和同侧的无磁性密封件之间。
进一步地，所述轴承的个数为两个，每个磁性密封件与相邻的无磁性密封件之间设置一个所述轴承。无磁性密封件保护了轴承，避免了粉尘对轴承造成损坏。
进一步地，所述安装筒的内壁与所述真空转动轴之间夹装有套筒，所述套筒的内周设置有环形放置槽，所述环形放置槽内布置有所述磁性密封件，所述套筒的轴向两端均与对应的轴承之间具有间隔，该间隔内布置有调节环，所述轴承与所述无磁性密封件之间设置有限位环。
进一步地，所述安装筒的筒壁插装有导气管，导气管内具有所述抽吸通道，所述套筒内设置有导气环，导气环与所述真空转动轴的中轴线相同，导气环的侧壁具有导气孔，所述排气通道包括竖直段和连通所述导气孔的水平段，所述抽吸通道通过所述导气孔连通所述排气通道，所述抽吸通道远离所述排气通道的一端安装有快速插头。
进一步地，所述磁性密封件包括磁铁，在所述真空转动轴的轴线方向上，所述磁铁的两侧各布置有一个磁极，两个磁极的磁性相反，每个磁极与所述真空转动轴之间的间隙内填充有磁流体。磁流体、磁极、磁铁以及真空转动轴形成了一个有效的磁路，磁场总是存在于这样一个连续的磁路中，基本上没有漏磁现象，磁路中长期稳定地保持一定的磁场强度，磁流体就会保存在间隙中，来承担动态密封的作用，也即在这个间隙中，磁流体排斥一切外来的非磁性物质（即需要密封的空气和粉尘）。
附图说明
图1是本发明所提供的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置的剖视图；
图2是图1中导气环的结构示意图；
图3是图1中磁性密封件与真空转动轴的配合示意图。
图中标号：1、真空转动轴；2、排气通道；3、轴承；4、抽吸通道；5、磁性密封件；6、无磁性密封件；7、安装面板；8、安装筒；9、封板；10、套筒；11、调节环；12、限位环；13、导气管；14、导气环；15、快速插头；16、磁铁；17、磁极；18、磁流体；19、导气孔。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1所示，一种晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，包括：
真空转动轴1，真空转动轴1用于带动晶圆产品转动，真空转动轴1内具有排气通道2；
轴承3，轴承3转动装配在所述真空转动轴1的外周；
轴承安装体，轴承安装体用于安装轴承3和供真空转动轴1穿过，轴承安装体内设置有抽吸通道4，抽吸通道4的一端连通所述排气通道2，另一端用于连接抽吸装置；具体地，抽吸装置为真空泵。
磁性密封件5，磁性密封件5布置在所述轴承安装体内，在所述真空转动轴1的轴线方向上，所述抽吸通道4的一侧或两侧布置有所述磁性密封件5；
无磁性密封件6，无磁性密封件6布置在所述轴承安装体内，在所述真空转动轴1的轴线方向上，所述抽吸通道4的一侧或两侧布置有无磁性密封件6。
为了避免外界空气和粉尘通过真空转动轴1与轴承安装体之间的缝隙进入轴承安装体内，设置了磁性密封件5和无磁性密封件6两种密封结构，实现了双重密封效果，相比于现有技术，有效避免了外界空气和粉尘进入整个设备内造成损坏，保障了整个设备的稳定运行，延长了使用寿命。
具体地，如图1所示，轴承安装体包括安装面板7和安装筒8，所述抽吸通道4位于所述安装筒8内，所述安装面板7具有贯穿板厚的穿孔，所述穿孔供所述真空转动轴1伸入，所述安装筒8朝向所述安装面板7的一端开口，所述安装筒8背向所述安装面板7的一端设置有封板9，所述封板9具有与所述穿孔相同中轴线的且贯穿板厚的过孔。将轴承安装体设置为安装面板7和安装筒8这样的分体结构具有便于装卸以及维修的优点，在其他实施例中，可以进一步将安装筒8的筒体和封板9也分体设置，这样更加方便组装。
如图1所示，无磁性密封件6数量为两个，分别布置在所述安装面板7和所述封板9内。无磁性密封件6从两个方向密封，密封效果更好。具体地，无磁性密封件6为油封。油封具有结构简单、便于制造、重量轻和耗材少的优点。在其他实施例中，油封也可以由简单的密封环代替；当然在其他实施例中，无磁性密封件6的个数也可以不是两个，而是一个、三个或者根据实际需要进行调整。
如图1所示，磁性密封件5数量为两个，在所述真空转动轴1的轴线方向上，所述抽吸通道4的两侧各布置有一个所述磁性密封件5，且每个所述磁性密封件5位于所述抽吸通道4和同侧的无磁性密封件6之间。在其他实施例中，磁性密封件的个数也可以不是两个，而是一个、三个或者根据实际需要进行调整。
在本实施例中，轴承3的个数为两个，每个磁性密封件5与相邻的无磁性密封件6之间设置一个所述轴承3。无磁性密封件6保护了轴承3，避免了粉尘对轴承3造成损坏。在其他实施例中，轴承3的个数也可以不是两个，而是一个、三个或者根据实际需要进行调整。
如图1所示，安装筒8的内壁与所述真空转动轴1之间夹装有套筒10，所述套筒10的内周设置有环形放置槽，所述环形放置槽内布置有所述磁性密封件5，所述套筒10的轴向两端均与对应的轴承3之间具有间隔，该间隔内布置有调节环11，所述轴承3与所述无磁性密封件6之间设置有限位环12。
此外，如图1和图2所示，安装筒8的筒壁插装有导气管13，导气管13内具有所述抽吸通道4，所述套筒10内设置有导气环14，导气环14与所述真空转动轴1的中轴线相同，导气环14的侧壁具有导气孔19，所述排气通道2包括竖直段和连通所述导气孔19的水平段，所述抽吸通道4通过所述导气孔19连通所述排气通道2，所述抽吸通道4远离所述排气通道2的一端安装有快速插头15。为了使得导气管13布置的更加和谐美观，导气管13的插装位置位于安装筒8的筒壁的中部，在其他实施例中，也可以调整导气管13的位置。
如图3所示，磁性密封件5包括磁铁16，在所述真空转动轴1的轴线方向上，所述磁铁16的两侧各布置有一个磁极17，两个磁极17的磁性相反，一个为N极，一个为S极，每个磁极17与所述真空转动轴1之间的间隙内填充有磁流体18。磁流体18、磁极17、磁铁16以及真空转动轴1形成了一个有效的磁路，磁场总是存在于这样一个连续的磁路中，基本上没有漏磁现象，磁路中长期稳定地保持一定的磁场强度，磁流体18就会保存在间隙中，来承担动态密封的作用，也即在这个间隙中，磁流体18排斥一切外来的非磁性物质（即需要密封的空气和粉尘）。
本发明所提供的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置的工作原理是：工作时，抽吸通道4连接抽吸装置，通过抽吸装置提供抽吸力，从而在排气通道2内形成真空环境，使得真空转动轴1在高速转动的同时能够通过真空吸附保证晶圆产品的稳定性，为了避免外界空气和粉尘通过真空转动轴1与轴承安装体之间的缝隙进入轴承安装体内，设置了磁性密封件和无磁性密封件6两种密封结构，实现了双重密封效果，相比于现有技术，有效避免了外界空气和粉尘进入整个设备内造成损坏，保障了整个设备的稳定运行，延长了使用寿命，有效解决了现有技术中存在的真空转接装置密封效果差、外界粉尘进入后易损坏整个设备的技术问题。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (9)
1.晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于，包括：
真空转动轴，真空转动轴用于带动晶圆产品转动，真空转动轴内具有排气通道；
轴承，轴承转动装配在所述真空转动轴的外周；
轴承安装体，轴承安装体用于安装轴承和供真空转动轴穿过，轴承安装体内设置有抽吸通道，抽吸通道的一端连通所述排气通道，另一端用于连接抽吸装置；
磁性密封件，磁性密封件布置在所述轴承安装体内，在所述真空转动轴的轴线方向上，所述抽吸通道的一侧或两侧布置有所述磁性密封件；
无磁性密封件，无磁性密封件布置在所述轴承安装体内，在所述真空转动轴的轴线方向上，所述抽吸通道的一侧或两侧布置有无磁性密封件。
2.根据权利要求1所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述轴承安装体包括安装面板和安装筒，所述抽吸通道位于所述安装筒内，所述安装面板具有贯穿板厚的穿孔，所述穿孔供所述真空转动轴伸入，所述安装筒朝向所述安装面板的一端开口，所述安装筒背向所述安装面板的一端设置有封板，所述封板具有与所述穿孔相同中轴线的且贯穿板厚的过孔。
3.根据权利要求2所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述无磁性密封件数量为两个，分别布置在所述安装面板和所述封板内。
4.根据权利要求3所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述无磁性密封件为油封。
5.根据权利要求3或4所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述磁性密封件数量为两个，在所述真空转动轴的轴线方向上，所述抽吸通道的两侧各布置有一个所述磁性密封件，且每个所述磁性密封件位于所述抽吸通道和同侧的无磁性密封件之间。
6.根据权利要求5所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述轴承的个数为两个，每个磁性密封件与相邻的无磁性密封件之间设置一个所述轴承。
7.根据权利要求6所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述安装筒的内壁与所述真空转动轴之间夹装有套筒，所述套筒的内周设置有环形放置槽，所述环形放置槽内布置有所述磁性密封件，所述套筒的轴向两端均与对应的轴承之间具有间隔，该间隔内布置有调节环，所述轴承与所述无磁性密封件之间设置有限位环。
8.根据权利要求7所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述安装筒的筒壁插装有导气管，导气管内具有所述抽吸通道，所述套筒内设置有导气环，导气环与所述真空转动轴的中轴线相同，导气环的侧壁具有导气孔，所述排气通道包括竖直段和连通所述导气孔的水平段，所述抽吸通道通过所述导气孔连通所述排气通道，所述抽吸通道远离所述排气通道的一端安装有快速插头。
9.根据权利要求1至4任一项所述的晶圆激光low-k设备旋转涂胶真空转接装置，其特征在于：所述磁性密封件包括磁铁，在所述真空转动轴的轴线方向上，所述磁铁的两侧各布置有一个磁极，两个磁极的磁性相反，每个磁极与所述真空转动轴之间的间隙内填充有磁流体。
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