CN114585892A - 传感器装置 - Google Patents

Abstract

一种传感器装置，包括：光发射单元，光发射单元朝向第一镜或者朝向第二镜发射光，第二镜与第一镜面对并且被设置成能够改变相对于第一镜的朝向；以及光接收单元，光接收单元接收由对从光发射部发射的光进行反射的第一镜和第二镜产生的反射光。

Description

传感器装置

技术领域

本公开内容涉及传感器装置。

背景技术

近来，已经提出了以各种方法检测施加至对象的外力的大小的传感器(例如，参见专利文献1)。例如，已经提出了通过光学地或电磁地检测对象的变形来检测施加至对象的外力的大小的传感器。

引用列表

专利文献

专利文献1：日本未审查专利申请公布第H10-274573号

发明内容

期望用于检测施加至对象的外力或者检测对象由外力引起的变形的传感器装置具有高灵敏度和高刚性。

因此，期望提供具有高灵敏度和高刚性的传感器装置。

根据本公开内容的一个实施方式的传感器装置包括：光发射部，光发射部向第一镜或第二镜输出光，第二镜与第一镜面对并且被配置成改变相对于第一镜的朝向；以及光接收部，光接收部接收从光发射部输出的光的、从第一镜和第二镜反射的反射光。

根据本公开内容的一个实施方式的传感器装置，在第一镜与第二镜之间，第二镜与第一镜面对并且被配置成改变相对于第一镜的朝向，从光发射部输出光，并且由光接收部接收从光发射部输出的光的、从第一镜和第二镜反射的反射光。因此，可以通过例如第一镜与第二镜之间的多次反射使从光发射部到光接收部的光路长度变长。因此，可以增大由于第二镜的位移而引起的光接收部中的光接收位置的位移，而不增大第一镜与第二镜之间的距离。

附图说明

[图1]图1是示意性地示出根据本公开内容的第一实施方式的传感器装置的基本构造的说明图。

[图2]图2是示出光学应变传感器的检测原理的示意图。

[图3A]图3A是示出在没有反射的情况下光从光发射部到光接收部的入射路径的示意图。

[图3B]图3B是示出在一次反射的情况下光从光发射部到光接收部的入射路径的示意图。

[图3C]图3C是示出在两次反射的情况下光从光发射部到光接收部的入射路径的示意图。

[图3D]图3D是示出在三次反射的情况下光从光发射部到光接收部的入射路径的示意图。

[图4A]图4A是示出反射光在彼此面对的第一镜与第二镜处的反射位置的示意图。

[图4B]图4B是示出反射光在彼此面对的第一镜与第二镜处的反射位置的示意图。

[图5A]图5A是示出第一镜或第二镜的修改示例的示意图。

[图5B]图5B是示出第一镜或第二镜的修改示例的示意图。

[图5C]图5C是示出第一镜或第二镜的修改示例的示意图。

[图6A]图6A是示出根据实施方式的传感器装置的第一具体示例的一种模式的示意图。

[图6B]图6B是示出根据实施方式的传感器装置的第一具体示例的一种模式的示意图。

[图7]图7是示出根据实施方式的传感器装置的第一具体示例的详细构造的透视图。

[图8]图8是示出根据实施方式的传感器装置的第一具体示例的详细构造的透视图。

[图9]图9是示出根据实施方式的传感器装置的第一具体示例的详细构造的透视图。

[图10A]图10A是示出根据实施方式的传感器装置的第二具体示例的一种模式的示意图。

[图10B]图10B是示出根据实施方式的传感器装置的第二具体示例的一种模式的示意图。

[图11]图11是示出根据实施方式的传感器装置的第三具体示例的详细构造的透视图。

[图12A]图12A是示出第一构件的附接面侧的构造的透视图。

[图12B]图12B是示出第二构件的附接面侧的构造的透视图。

[图13A]图13A是示出更具体地由第一镜、第二镜、光发射部和光接收部构成的传感器装置的构造的截面图。

[图13B]图13B是示出更具体地由第一镜、第二镜、光发射部和光接收部构成的传感器装置的构造的截面图。

[图14A]图14A是示意性地示出根据本公开内容的第二实施方式的传感器装置的基本构造的透视图。

[图14B]图14B是在从光接收部到光发射部的方向上的平面图中观看图14A所示的传感器装置的前视图。

[图14C]图14C在从第三镜的平面图中观看图14A所示的传感器装置的侧视图。

[图15]图15是示出使用三个反射镜的传感器装置的基本结构的示意图。

[图16A]图16A是示出在图15所示的传感器装置中发生变形的区域的变化的示意图。

[图16B]图16B是示出在图15所示的传感器装置中发生变形的区域的变化的示意图。

[图16C]图16C是示出在图15所示的传感器装置中发生变形的区域的变化的示意图。

[图17]图17是示出使用四个反射镜的传感器装置的基本结构的示意图。

[图18A]图18A是示出在图17所示的传感器装置中发生变形的区域的变化的示意图。

[图18B]图18B是示出在图17所示的传感器装置中发生变形的区域的变化的示意图。

[图18C]图18C是示出在图17所示的传感器装置中发生的变形的区域的变化的示意图。

[图18D]图18D是示出在图17所示的传感器装置中发生变形的区域的变化的示意图。

具体实施方式

在下文中，将参照附图详细描述本公开内容的实施方式。下面要描述的实施方式是本公开内容的具体示例，并且根据本公开内容的技术不限于以下实施方式。另外，本公开内容的各个部件的布置、尺寸、尺寸比例等不限于各个附图中示出的实施方式。

应当注意，将按照以下顺序给出描述。

1.第一实施方式

1.1.基本构造

1.2.作用和效果

1.3.修改示例

1.4.具体示例

2.第二实施方式

3.结论

<1.第一实施方式>

(1.1.基本构造)

首先，将参照图1描述根据本公开内容的第一实施方式的传感器装置1的基本构造。图1是示意性地示出根据本公开内容的第一实施方式的传感器装置1的基本构造的说明图。

参照图1，根据本实施方式的传感器装置1包括光发射部21和光接收部22。光发射部21和光接收部22设置在彼此面对的第一镜11和第二镜12的相应端部侧。例如，光发射部21可以设置在第一镜11和第二镜12中的一个的端部，并且光接收部22可以设置在第一镜11和第二镜12中的所述一个的所述端部的相对侧的另一端部。传感器装置1可以被设置为包括如上所述的光发射部21和光接收部22并且不包括第一镜11和第二镜12的传感器，或者传感器装置1可以被设置为包括光发射部21、光接收部22、第一镜11和第二镜12的传感器。

从光发射部21输出的光30在彼此面对的第一镜11与第二镜12之间来回反射多次，随后光30被光接收部22接收。根据本实施方式的传感器装置1可以通过检测光在光接收部22中的光接收位置的位移来检测施加至传感器装置1的外力。

第一镜11和第二镜12是设置成彼此面对的一对反射镜。具体地，第一镜11和第二镜12可以被设置为具有在彼此相同的一个方向上延伸的纵向形状。例如，第一镜11和第二镜12可以被设置为具有在从光发射部21输出光30的方向侧延伸的纵向形状。利用这种构造，第一镜11和第二镜12可以使光30在相互相对的空间中连续经受多次反射。第一镜11和第二镜12可以被设置为传感器装置1的构造部件，或者可以被设置为与传感器装置1分离的构造部件。

第一镜11用作用于检测施加至传感器装置1的外力的参考构件，并且在位置和朝向上是固定的。另一方面，第二镜12用作检测施加至传感器装置1的外力的检测构件，并且被配置成改变相对于第一镜的朝向。具体地，根据施加至传感器装置1的外力的大小而变形的应变产生构件等耦接至第二镜12，并且第二镜12被配置成根据应变产生构件的变形来改变相对于第一镜11的朝向。利用这种构造，第二镜可以通过根据施加至传感器装置1的外力改变相对于第一镜11的朝向来改变在第一镜11与第二镜12之间经受了多次反射的光30的光路和反射位置。因此，根据本实施方式的传感器装置1可以经由应变产生构件和第二镜12检测施加至传感器装置1的外力的大小作为光接收部22的光接收位置的位移。

光发射部21包括光源，光源发射属于任意波段的光并且朝向第一镜11和第二镜12中的一个输出光30。例如，光发射部21可以包括发射属于可见光带的颜色的光的LED(发光二极管)光源、红外LED光源或激光光源。LED光源或红外LED光源易于处理且便宜，使得可以降低传感器装置1的制造成本。激光光源由于难以通过第一镜11和第二镜12调节光路并且容易生成热，因此激光光源难以处理，但是激光光源容易检测光点，使得可以进一步提高传感器装置1的灵敏度和精度。

光接收部22包括使得可以检测从光发射部21输出的光30的传感器，并且接收已经经受了第一镜11和第二镜12的多次反射的光30。例如，光接收部22可以包括RGB(红、绿、蓝)摄像机、红外摄像机、事件摄像机或光位置传感器(位置敏感检测器：PSD)。RGB摄像机或红外摄像机是所谓的成像装置，并且可以容易地检测光30的光接收位置。事件摄像机是检测亮度变化并输出检测到的亮度变化的传感器。事件摄像机仅输出亮度已经改变的像素的数据，使得可以以极高的帧速率检测从光发射部21输出的光30。

光发射部21和光接收部22可以相对于第一镜11和第二镜12设置在同一侧。在这种情况下，在传感器装置1中，可以将到光发射部21和光接收部22的电力布线、信号布线等共同设置在同一侧，从而进一步简化传感器装置1的结构。例如，光发射部21和光接收部22可以设置在第一镜11所在的一侧。因为光发射部21和光接收部22是与传感器装置1的感测相关的构造部件，因此可以通过将光发射部21和光接收部22设置在位置固定的第一镜11侧来提高传感器装置1的感测精度。另外，在光发射部21和光接收部22设置在第一镜11侧的情况下，可以避免由于用于光发射部21和光接收部22的布线而产生的作用在作为检测构件的第二镜12上的应力的风险。

尽管未示出，但是根据本实施方式的传感器装置1可以包括力检测部，力检测部基于光在光接收部22中的光接收位置的位移来检测施加至传感器装置1的外力的大小。例如，力检测部可以使用从光发射部21输出的到光接收部22的光30的反射模型得出耦接至第二镜12的应变产生构件的变形量，并且可以根据应变产生构件的变形量得出施加至传感器装置1的外力的大小。可替选地，力检测部可以通过基于在预定外力施加至传感器装置1时光30在光接收部22中的光接收位置的位移量执行校准来得出施加至传感器装置1的外力的大小。应当注意，力检测部可以设置在传感器装置1的外部。

应当注意，根据本实施方式的传感器装置1可以被设置为例如MEMS(微机电系统)或半导体器件。利用这种构造，根据本实施方式的传感器装置1可以更容易地实现小型化。

(1.2.作用和效果)

接下来，将参照图2至图4B来描述根据本实施方式的传感器装置1的作用和效果。首先，参照图2，将描述光学应变传感器的检测原理。图2是示出光学应变传感器的检测原理的示意图。

光学应变传感器可以通过将光施加至由外力引起应变或变形的应变产生构件并检测由应变产生构件反射的光的位置来检测应变产生构件的应变或变形。光学应变传感器还可以根据应变产生构件的应变或变形的大小来确定施加至应变产生构件的外力。

例如，如图2所示，第二镜12被设置成通过向其施加外力的应变产生构件的应变或变形而相对于第一镜11转动。在这种情况下，在第二镜12由于应变产生构件的应变或变形而向左旋转的情况下，由光接收部22在更远离光发射部21的位置处接收到由第二镜12反射的光30。另一方面，在第二镜12由于应变产生构件的应变或变形而向右旋转的情况下，由光接收部22在更靠近光发射部21的位置处接收到由第二镜12反射的光30。

此处，为了以高灵敏度检测第二镜12的转动，重要的是增大由光接收部22接收由第二镜12反射的光30的位置的位移。

例如，在第二镜12相对于第一镜11以角度θ旋转的情况下，入射在第二镜12上的光30以其被第二镜反射的角度改变2θ。因此，当由第二镜12反射的光30到达光接收部22时，光30在光接收部22中的光接收位置以第一镜11与第二镜12之间的距离乘以sin2θ的距离移位。即，可以随着第一镜11与第二镜12之间的距离(即，从光发射部21到光接收部22的光路长度)增大而增大光30在光接收部22中的光接收位置的位移。

然而，增大第一镜11与第二镜12之间的距离导致传感器装置1的尺寸增大，这增大了传感器装置1要安装在其上的装置的负荷。

因此，根据本实施方式的传感器装置1通过使光30在第一镜11与第二镜12之间经受多次反射来延长从光发射部21到光接收部22的光路长度。利用这种配置，根据本实施方式的传感器装置1即使利用较小的结构也可以以高灵敏度检测应变产生构件的变形。

在下文中，将参照图3A至图3D描述由第一镜11与第二镜12之间的多次反射引起的位移的放大。图3A是示出在没有反射的情况下光30从光发射部21到光接收部22的入射路径的示意图。图3B是示出在一次反射的情况下光30从光发射部21到光接收部22的入射路径的示意图。图3C是示出在两次反射的情况下光30从光发射部21到光接收部22的入射路径的示意图。图3D是示出在三次反射的情况下光30从光发射部21到光接收部22的入射路径的示意图。

在图3A中，假设第二镜12相对于第一镜11绕设置在第一镜11上的光发射部21与设置在第二镜12上的光接收部22之间的中点以角度θ转动。此外，在图3B至图3D中，参考从光发射部21输出的光30垂直入射在第二反射镜12上的情况，假设第二镜12相对于第一镜11以角度θ转动。

如图3A所示，在没有反射的情况下，第二镜12旋转了角度θ。因此，在存在于距第二镜12的转动中心半径为R的位置处的光接收部22中，光接收位置响应于第二镜12的转动而移位了Rsinθ。

另一方面，如图3B所示，在一次反射的情况下，来自光发射部21的光30被第二镜12以角度2θ反射。因此，在设置在第一镜11侧的光接收部22中，与从光发射部21输出的光30被第二镜12垂直反射的情况相比，光30的光接收位置移位了Lsin(2θ)(其中L≈2R)。在θ足够小的情况下，可以认为sinθ大体上等于θ；因此，一次反射的情况下光接收部22中的光接收位置的位移量是没有反射的情况下的位移量(Rsinθ)的大约4倍。

另外，如图3C所示，在两次反射的情况下，从光发射部21输出的光30被第二镜12和第一镜11依次反射，并且如图3A和图3B所示的情况一样进入光接收部22。因为此时光30在光接收部22中的光接收位置被认为是图3A所示的情况和图3B所示的情况的相加，因此光30的光接收位置移位了Rsinθ+2Lsin(2θ)。因此，两次反射的情况下的光接收部22中的光接收位置的位移量是没有反射的情况下的位移量(Rsinθ)的大约9倍。

此外，如图3D所示，在三次反射的情况下，从光发射部21输出的光被第二镜12、第一镜11和第二镜12依次反射，并且如图3A至图3C所示的情况一样进入光接收部22。因为此时光30在光接收部22中的光接收位置被认为是图3B所示情况的两倍的相加，考虑到由于反射次数的增加而引起的入射角的增大，光30的光接收位置移位了2Lsin(2θ)+Lsin(4θ)。因此，三次反射的情况下的光接收部22中的光接收位置的位移量是没有反射的情况下的位移量(Rsinθ)的大约16倍。

以这种方式，根据第一镜11与第二镜12之间的反射次数N，从光发射部21输出的光在光接收部22中的光接收位置被放大(N+1)²倍。因此，根据本实施方式的传感器装置1可以通过使用第一镜11与第二镜12之间的多次反射，在不增大装置的尺寸的情况下使从光发射部21到光接收部22的光路长度变长。

现在参照图4A和图4B描述通过多次反射引起的反射位置的位移量增大的图像。图4A和图4B分别是示出反射光31在彼此面对的第一镜11第二镜12处的反射位置的示意图。图4A示出了在第二镜12与第一镜11直接相对(即，不倾斜)的情况下的反射光31的图像，并且图4B示出了在第二反射镜12以与图直接相对的方式向右倾斜的情况下的反射光31的图像。

在图4A和图4B中，光发射部21以与图直接相对的方式设置在近侧，并且光接收部22以与图直接相对的方式设置在后侧。因此，在图4A和图4B中，与图直接相对的后侧的反射位置的反射光31的反射次数大于近侧的反射位置的反射光31的反射次数。

如图4A所示，在第二镜12与第一镜11直接相对(即，不倾斜)的情况下，反射光31在第一镜11上的反射位置存在于大体直线上。另一方面，如图4B所示，在施加负荷使得第二镜12向右倾斜的情况下，反射光31在第一镜11上的反射位置在向右弯曲的曲线上移位。即，在图4B中可以看出，相对于图4A所示的反射光31的反射位置，与图直接相对的后侧的反射位置的反射光31比近侧的反射位置的反射光31移位得更多。

因此，根据本实施方式的传感器装置1可以通过使用第一镜11与第二镜12之间的多次反射，使要被光接收部22检测的光的位置的位移量增大。利用这种配置，根据本实施方式的传感器装置1可以在不增大结构的尺寸的情况下提高关于应变产生构件的应变或变形的感测的灵敏度和精度。因此，根据本实施方式的传感器装置1可以以更高的灵敏度和更高的精度检测施加至应变产生构件的外力。

根据本实施方式的传感器装置1可以检测应变产生构件的较小应变或较小变形，从而允许应变产生构件由较高刚性的材料或结构形成。因此，传感器装置1允许高刚性，并且因此允许适当地附接至靠近机器人臂的基部的、需要支承大质量的部分，或者附接至机器人的腿的、要施加大的外力的地面连接部分，或者附接至机器人臂的端部执行器部分。

(1.3.修改示例)

接下来，将参照图5A至图5C等描述根据本实施方式的传感器装置1的修改示例。

参照图5A至图5C，在根据本实施方式的传感器装置1中，第一镜11和第二镜12可以采用除了具有在一个方向上延伸的纵向形状的平板之外的各种形式。图5A至图5C分别是示出第一镜11或第二镜12的修改示例的示意图。

例如，如图5A所示，第二镜12A可以被设置为具有其中平板形状的一部分被弯曲的形状。具体地，第二镜12A可以被设置为具有弯曲的平板形状，使得第一镜11与第二镜12A之间的距离在光接收部22侧更宽，其中与光发射部21和光接收部22的阵列方向正交的直线是折叠线。

另外，如图5B所示，第二镜12B可以被设置为具有其中反射表面变成弯曲表面的弯曲形状。具体地，第二镜12B可以被设置为具有弯曲的平板形状，使得第一镜11与第二镜12A之间的距离在光接收部22侧更宽。

此外，如图5C所示，第二镜12C可以由多个分割镜12C1和12C2构成，每个分割镜具有平板形状。具体地，第二镜12C可以由具有平板形状并且相对于第一镜11彼此协同转动的分割镜12C1和分割镜12C2构成。另外，相比于分割镜12C1设置在更靠近光接收部22侧的分割镜12C2可以被设置地比分割镜12C1更远离第一镜11，使得第一镜11与第二镜12A之间的距离在光接收部22侧更宽。

根据图5A至图5C所示的修改示例，传感器装置1可以通过部分地增大第一镜11与第二镜12之间的距离来增大从光发射部21输出的光30的光路长度。因此，传感器装置1可以使光接收部22中的光接收位置的位移量更大。特别地，通过在远离光发射部21的一侧增大第一镜11与第二镜12之间的距离，可以使光接收部22中的光接收位置的位移量更大。

图5A至图5C所示的修改示例是在设置第一镜11和第二镜12的空间有限的情况下例如通过有效地利用该空间来部分地增大第一镜11与第二镜12之间的距离的修改示例。利用这种构造，传感器装置1可以通过使光接收部22中的光接收位置的位移量更大而进一步提高感测的灵敏度和精度。

此外，在根据本实施方式的传感器装置1中，光发射部21还可以包括多个光源。通过包括多个光源，光发射部21可以提高传感器装置1的灵敏度和精度，并且可以提高对光源故障的抵抗力。

光发射部21可以包括输出属于不同波段的光的多个光源。利用这种配置，传感器装置1可以通过由光接收部22检测属于不同波段的光30来以更高的精度检测第二镜12的状态。特别地，传感器装置1可以在装置激活之后立即以较高的精度检测第一镜11与第二镜12之间的位置关系。

例如，包括在光发射部21中的光源可以被配置成调节要输出的光30的光量。具体地，光发射部21可以设置有用于调节要从光源输出的光30的光量的控制电路或可变电阻器。利用这种配置，传感器装置1可以响应于要由光接收部22接收的光30的大小和光量来优化要从光发射部21输出的光30的光量。因此，例如，在已经经受了第一镜11和第二镜12的多次反射的光30的各个光点较大并且难以将它们彼此分离的情况下，可以减小要从光发射部21输出的光30的光量。另外，在由光接收部22接收的光30的光量太小的情况下，可以增大要从光发射部21输出的光30的光量。

此外，在根据本实施方式的传感器装置1中，光接收部22还可以包括多个传感器。

例如，光接收部22可以包括多个RGB摄像机(例如CMOS图像传感器)。利用这种配置，传感器装置1可以通过由所述多个RGB摄像机对不同区域进行成像来检测更宽范围内的反射光。可替选地，传感器装置1还可以通过由所述多个RGB摄像机对同一区域进行成像来以更高的精度检测反射光。

例如，光接收部22可以包括各种不同类型的传感器，包括RGB摄像机和事件摄像机。利用这种配置，传感器装置1可以针对各个传感器执行角色划分，例如在激活之后立即执行校准或者由RGB摄像机周期性地执行校准，以及在由事件摄像机感测时执行对反射光的检测。

应当注意，光接收部22可以仅包括事件摄像机。由于事件摄像机是检测亮度变化并且输出检测到的亮度变化的传感器，因此可以通过使光发射部21的光源闪烁来检测第一镜11和第二镜12的静止状态。

此外，传感器装置1可以包括用于保持总体温度恒定的机构。例如，在传感器装置1的温度由于来自光发射部21的发热而波动的情况下，第一镜11与第二镜12之间的距离可能由于热膨胀而波动，并且光30在光接收部22中的光接收位置可能波动。因此，传感器装置1可以包括用于保持总体温度恒定的机构，以提高感测的精度和稳定性。在这种情况下，优选地，针对第一镜11和第二镜12中的每一个设置用于保持温度恒定的机构。

(1.4.具体示例)

(第一具体示例)

接下来，将参照图6A至图9描述根据本实施方式的传感器装置1的第一具体示例。图6A和图6B分别是示出传感器装置1的第一具体示例的一种模式的示意图。图7至图9分别是示出传感器装置1的第一具体例的详细构造的透视图。传感器装置1的第一具体示例是传感器装置1用作扭矩传感器的情况的具体示例。

参照图6A，作为第一具体示例的一种模式，传感器装置100A可以由例如外轮部141、内轮部142、应变产生构件部150、第一镜111、第二镜112、光发射部121和光接收部222构成。

外轮部141和内轮部142各自被设置成具有同心圆的圆形形状。内轮部142具有其直径小于外轮部141的直径的圆形形状，并且经由在圆形形状的径向方向上延伸的应变产生构件部150耦接至外轮部141。应变产生构件部150被设置为与外轮部141和内轮部142相比容易变形的构件，并且当将圆形形状的中心为旋转轴的扭矩施加至外轮部141或内轮部142时该应变产生构件部变形。

第一镜111被设置成例如从内轮部142延伸到外轮部141。第二镜112被设置成以与第一镜111对置的方式从外轮部141延伸到内轮部142。光发射部121设置在第一镜111的内轮部142侧的端部，并且光接收部222设置在第一镜111的外轮部141侧的端部。从光发射部121输出的光经受彼此面对的第一镜111和第二镜112多次反射，随后光被光接收部222接收。在光发射部121设置在内轮部142侧且光接收部222设置在外轮部141侧的情况下，传感器装置100A可以使光在光接收部222中的光接收位置的位移量更大。

在传感器装置100A中，例如，在内轮部142的圆形形状的中心为旋转轴的扭矩施加至内轮部142的情况下，应变产生构件部150变形以改变第二镜112相对于第一镜111的角度。这改变了来自光发射部121的光在光接收部222中的光接收位置，使得传感器装置100A可以检测施加至内轮部142的扭矩。传感器装置100A不涉及通过应变产生构件部150的变形引起的第二镜112相对于第一镜111的距离的变化，并且因此在光发射部121包括激光光源的情况下，使得可以防止第一镜111与第二镜112之间的距离偏离激光光源的焦距。

此外，参照图6B，作为第一具体示例的另一模式，传感器装置100B可以由例如外轮部141、内轮部142、突出部143、应变产生构件部150、第一镜111、第二镜112、光发射部121和光接收部222构成。

外轮部141和内轮部142各自被设置成具有同心圆的圆形形状。内轮部142具有其直径小于外轮部141的直径的圆形形状，并且经由在圆形形状的径向方向上延伸的应变产生构件部150耦接至外轮部141。应变产生构件部150被设置为与外轮部141和内轮部142相比容易变形的构件，并且当将以圆形形状的中心为旋转轴的扭矩施加至外轮部141或内轮部142时该应变产生构件部变形。

第二镜112例如被设置成以平面连接外轮部141的圆弧的两个点。第一镜111被设置成在突出部143的尖端处面对第二镜112，突出部143在内轮部142的径向方向上从内轮部142向外轮部141突出。光发射部121设置在第一镜111的一个端部，并且光接收部222设置在第一镜111的另一端部。从光发射部121输出的光经受彼此面对的第一镜111和第二镜112的多次反射，随后光被光接收部222接收。

在传感器装置100B中，例如，在将内轮部142的中心为旋转轴的扭矩施加至内轮部142的情况下，应变产生构件部150变形以改变第二镜112相对于第一镜111的角度和距离。这改变了来自光发射部121的光在光接收部222中的光接收位置，使得传感器装置100B可以检测施加至内轮部分142的扭矩。传感器装置100B可以通过应变产生构件部150的变形来改变第二镜112相对于第一镜111的角度和距离，使得可以进一步提高感测的灵敏度。

此外，参照图7，作为第一具体示例的详细构造，传感器装置1000可以由例如基部侧附接部1410、尖端侧附接部1420、应变产生构件部1500、突出部1430和感测部1100构成。

基部侧附接部1410被设置成具有圆形形状，并且通过螺钉等附接至感测的目标对象的一部分。尖端侧附接部1420设置在基部侧附接部1410的圆形形状的中心，并且通过螺钉等附接至感测的目标对象的另一部分。应变产生构件部1500被设置为将尖端侧附接部1420和基部侧附接部1410耦接的梁状结构。应变产生构件部1500被设置为与尖端侧附接部1420和基部侧附接部1410相比容易变形的构件。应变产生构件部1500的变形改变了尖端侧附接部1420与基部侧附接部1410之间的角度。

感测部1100包括：设置在基部侧附接部1410上的第一镜1111；设置在从尖端侧附接部1420向基部侧附接部1410突出的突出部1430的尖端的第二镜1112；以及设置在基部侧附接部1410内部的未示出的光发射部和未示出的光接收部。将参照图8描述感测部1100的构造。图8是以部分截面示出图7的感测部1100的透视图。

参照图8，第一镜1111是沿基部侧附接部1410的圆形形状的内圆周表面设置的。此外，光发射部1121包括诸如LED的光源，并且设置在基部侧附接部1410的内部。光接收部1122包括诸如CMOS图像传感器的成像装置，并且设置在光发射部1121的相对侧的基部侧附接部1410的内部，其中，第一镜1111插入在光发射部1121与光接收部1122之间。第二镜1112经由突出部1130耦接至尖端侧附接部1420，并且被设置成与第一镜1111、光发射部1121和光接收部1222对置。从光发射部1121输出到第二镜1112的光在第二镜1112与第一镜1111之间相互反射，随后光被光接收部1222接收。

在传感器装置1000中，例如，在将基部侧附接部1410的圆形形状的中心为旋转轴的扭矩施加至尖端侧附接部1420的情况下，使具有将基部侧附接部1410和尖端侧附接部1420耦接的梁状结构的应变产生构件部1500变形。因此，设置在基部侧附接部1410的第一镜1111与设置在尖端侧附接部1420的第二镜1112之间的角度改变，从而由光接收部1222检测到已经在第一镜与第二镜之间经受了多次反射的光的光接收位置的位移。因此，传感器装置1000可以检测施加至尖端侧附接部1420的扭矩。

应当注意，在第一镜1111与第二镜1112之间光的反射次数多的情况下，存在由于反射光的各个光点之间的距离变小而不可能使反射光的各个光点彼此分离的可能性。例如，在反射光的各个光点如图4A所示出现在大体上直线上的情况下，反射光的各个光点之间的距离趋于变小，并且相应地存在不可能如上所述地使反射光的各个光点彼此分离的可能性。另一方面，在反射光的各个光点如图4B所示出现在曲线上的情况下，反射光的各个光点之间的距离趋于变大，并且相应地反射光的各个光点很可能彼此分离。

因此，例如，使第一镜1111和第二镜1112在相对于光的多次反射进行的方向垂直的方向上相对于彼此倾斜，使得可以如图4B所示使反射光的各个光点出现在曲线上。利用这种配置，传感器装置1000可以抑制由于反射光的各个光点的相互交叠而引起的检测灵敏度的降低。

另外，传感器装置1000可以通过在光接收部1222上进一步设置另一构造部件，提高感测的灵敏度或精度。

例如，参照图9，在传感器装置1000中，可以在光接收部1222上设置半反射镜1123。半反射镜1123是如下光学元件：例如反射入射光的一部分(例如，约50％)并且允许入射光的其余部分透射通过。例如，在光接收部1222较大的情况下，设置第一镜1111的区域减小，并且存在第一镜1111与第二镜1112之间的反射次数减少的可能性。在光接收部1222上设置半反射镜1123使得可以进一步在半反射镜1123与第二镜1112之间反射光，同时使光进入光接收部1222。利用这种配置，无论光接收部1222的尺寸和位置如何，传感器装置1000都可以确保多次反射的反射次数。

此外，在传感器装置1000中，可以在光接收部1222上设置放大镜。放大镜可以通过放大由第二镜1112反射的光的光点组来提高对由光接收部1222检测的光的光点组的灵敏度。然而，在由第二镜1112反射的光的光点组被放大镜放大的情况下，各个光点的尺寸被放大，增大了各个光点彼此不分离的可能性。在这种情况下，光接收部122可以仅检测第二镜1112的一部分，以防止各个光点变得彼此不可分离。

(第二具体示例)

接下来，将参照图10A和图10B描述根据本实施方式的传感器装置1的第二具体示例。图10A和图10B分别是示出传感器装置1的第二具体示例的一种模式的示意图。传感器装置1的第二具体示例是在传感器装置1用作负荷传感器或单轴力传感器的情况下的具体示例。

参照图10A，作为第二具体示例的一种模式，传感器装置210可以由例如壳体260、第一弹性部261、第二弹性部262、应变产生构件部250、负荷部270、光发射部221、光接收部222、第一镜211和第二镜212构成。传感器装置210例如用作负荷传感器，负荷传感器检测施加至负荷部270的负荷。

壳体260包含传感器装置210的各个部分。第一镜211、光发射部221和光接收部222固定在壳体260的下面侧。另一方面，第二镜212设置在壳体260的上表面侧以与第一镜211对置，并且经由应变产生构件部250耦接至壳体260。从光发射部221输出的光经受彼此面对的第一镜211和第二镜212的多次反射，随后光被光接收部222接收。在将负荷施加至设置在壳体260的上面的负荷部270的情况下，应变产生构件部250变形，从而改变第一镜211相对于第二镜212的角度。因此，来自光发射部221的光在光接收部222中的光接收位置改变，使得传感器装置210可以检测施加至负荷部270的负荷的大小。

应当注意，第二镜212和壳体260还通过第一弹性部261和第二弹性部262耦接。第一弹性部261和第二弹性部262均可以是例如弹簧。利用这种构造，当去除负荷部270上的负荷时，第二镜212可以通过第一弹性部261和第二弹性部262的弹力返回到其初始状态。

此外，参照图10B，作为第二具体示例的一种模式，传感器装置220可以由例如壳体260、第一弹性部261、第二弹性部262、应变产生构件部250、力作用部271和力作用部272、光发射部221、光接收部222、第一镜211以及第二镜212构成。传感器装置210例如用作单轴力传感器。

图10B所示的传感器装置220的构造大体上类似于图10A所示的传感器装置210的构造。虽然图10A所示的传感器装置210仅检测来自设置在壳体260的上面的负荷部270的沿压缩方向的力，但是图10B所示的传感器装置220检测来自分别设置在壳体260的上面的作用部271和下面的作用部272的沿压缩方向的力和沿拉伸方向的力中的每一个。

具体地，从光发射部221输出的光经受彼此面对的第一镜211和第二镜212的多次反射，随后光被光接收部222接收。在将力沿压缩方向(使力作用部271与力作用部272之间的距离收缩的方向)或沿拉伸方向(使力作用部271与力作用部272之间的距离扩大的方向)施加至设置在壳体260的上面和下面的力作用部271和力作用部272的情况下，应变产生构件部250变形，从而改变第二镜212相对于第一镜211的角度。因此，来自光发射部221的光在光接收部222中的光接收位置改变，使得传感器装置220可以检测施加至力作用部271和力作用部272的力的方向和大小。

(第三具体示例)

接下来，将参照图11至图13B描述根据本实施方式的传感器装置1的第三具体示例。图11是示出传感器装置1的第三具体示例的详细构造的透视图。图12A是示出第一构件300A的附接面侧的构造的透视图，并且图12B是示出第二构件300B的附接面侧的构造的透视图。传感器装置1的第三具体示例是在传感器装置1用作六轴力传感器的情况下的具体示例。

参照图11，可以通过经由紧固部301旋拧第一构件300A和第二构件300B并将它们彼此附接来构造传感器装置300。在第一构件300A与第二构件300B之间局部地设置低刚性的、易于变形的应变产生构件部(未示出)，并且应变产生构件部的变形改变第一构件300A与第二构件300B之间的附接。如稍后将描述的，传感器装置300可以通过检测在设置在第一构件300A上的第一镜与设置在第二构件300B上的第二镜之间经受了多次反射的光的光接收位置的位移来检测施加至传感器装置300的力。

参照图12A，第一构件300A设置有：在彼此不同的三个方向上延伸的第一镜311、以及设置在第一镜311的延伸方向上的两侧的光发射部321和光接收部322。此外，参照图12B，第二构件300B设置有在彼此不同的三个方向上延伸的第二镜312，以便与设置在第一构件300A上的第一镜311对置。第一构件300A和第二构件300B彼此附接，由此使得可以检测两个自由度的变形的传感器装置由第一镜311、第二镜312、光发射部321和光接收部322构成。因此，可以通过提供第一镜311和第二镜312的三个组来配置六轴力传感器，第一镜311和第二镜312的三个组在彼此不同的延伸方向和对置方向上构造传感器装置。应当注意，第一镜311和第二镜312的三个组相对于彼此均匀地进行设置，使得传感器装置300的感测灵敏度均匀且更容易地制造传感器装置300。

此处，将参照图13A和图13B更具体地描述由第一镜311、第二镜312、光发射部321和光接收部322构成的传感器装置的构造。图13A和图13B分别是更具体地示出由第一镜311、第二镜312、光发射部321和光接收部322构成的传感器装置的构造的截面图。图13A示出了沿图12A所示的切割线A-AA截取的截面，并且图13B示出了沿图12A所示的切割线B-BB截取的截面。

参照图13A和图13B，通过将第一构件300A和第二构件300B彼此附接，将第一镜311和第二镜312设置成彼此面对。第一镜311和第二镜312可以设置成使得第一镜311与第二镜312之间的距离在光接收部322侧逐渐变宽，以允许来自光发射部321的光到达光接收部322。

光发射部321包括诸如LED的光源，并且设置在第一镜311的一个端部侧。光接收部322包括诸如CMOS图像传感器的成像装置，并且设置在第一镜311的另一端部侧。从光发射部321输出的光在第一镜311与第二镜312之间经受了多次反射，随后光被光接收部322接收。

此处，其中设置有第一镜311、第二镜312、光发射部321和光接收部322的空间可以通过光进入防止结构302遮蔽光，使得光不从外部进入。利用这种构造，可以降低传感器装置300由于来自外部的光而发生故障的可能性。光进入防止结构302可以是例如通过诸如台阶的结构来遮蔽来自外部的光的结构。

此外，其中设置有第一镜311、第二镜312、光发射部321和光接收部322的空间可以包括具有低光反射性的结构构件，以抑制环境光的影响。例如，其中设置有第一镜311、第二镜312、光发射部321和光接收部322的空间的内侧可以用黑色镀层、黑色处理、黑化处理或黑色涂覆处理来进行处理。此外，对于与从光发射部321输出的光的反射无关的任何部分，可以用上述黑色镀层、黑色处理、黑化处理、黑色涂覆处理等来处理第一镜311和第二镜312。

<2.第二实施方式>

下面参照图14A至图18D描述根据本公开内容的第二实施方式的传感器装置的基本构造。图14A是示意性地示出根据本公开内容的第二实施方式的传感器装置2的基本构造的透视图。图14B是在从光接收部22到光发射部21的方向上的平面图中观看图14A所示的传感器装置2的正视图。图14C是从第三镜13的平面图中观看图14A所示的传感器装置2的侧视图。

参照图14A至图14C，根据本实施方式的传感器装置2包括彼此面对的第一镜11、第二镜12和第三镜13、以及光发射部21和光接收部22。第一镜11、第二镜12和第三镜13彼此面对以设置在与三棱柱的各个侧表面相对应的位置处。

在传感器装置2中，从光发射部21输出的光30A和光30B分别经由彼此不同的光路被第一镜11、第二镜12和第三镜13反射，随后这些光被光接收部22接收。根据本实施方式的传感器装置2可以通过检测光在光接收部22中的光接收位置的位移来检测施加至传感器装置2的外力。

在根据第二实施方式的传感器装置2中，在组合了三个或更多个反射镜的结构内部从光发射部21输出光，并且从光发射部21输出的光穿过各种光路以被光接收部22接收。在这种情况下，由光接收部22观测从光发射部21输出的光作为光点组，在该光点组中，光点的数目相对于光源的数目被放大。包括在光点组中的每个光点在包括关于各个光路中的反射表面的信息的同时被移位。因此，即使光点组是由从一个光源输出的光引起的，也可以将通过光接收部22观测到的反射光的光点组在整体上视为三维信息(如果包括位置和姿态，则为关于六个自由度的信息)。利用这种配置，通过组合三个或更多个反射镜，即使在使用包括一个光源的光发射部21的情况下，传感器装置2也可以用作六轴力传感器。

与例如用作参照图11至图13B描述的六轴力传感器的传感器装置300相比，传感器装置2结构简单，使得可以增大装置的制造容易性和可靠性。

另外，由于对通过第一镜11、第二镜12和第三镜13反射的光的光点组的观测结果的信息量随着包括在光点组中的光点数目的增加而增加，因此传感器装置2可以进一步提高感测结果的灵敏度和精度。此外，因为与参照图11至图13B描述的传感器装置300相比，传感器装置2的结构简单，因此可以减少制造误差等并且简化布线等。此外，在传感器装置2中，与参照图11至图13B描述的传感器装置300相比，仅设置一个光接收部22，与设置多个光接收部22的情况相比，消除了在各个光接收部22之间执行同步的必要性。从这个角度来看，传感器装置2可以进一步提高感测结果的灵敏度和精度。

传感器装置2例如通过对反射光的光点的点组相对于在第二镜12或第三镜13处产生的位移的位移进行机器学习，可以检测施加至与这些构造部件耦接的第二镜12、第三镜13或应变产生构件(未示出)的力的方向和大小。

现在参照图15至图16C，将描述传感器装置2中发生由应变产生构件引起的位移的区域的变化。图15是示出使用三个反射镜的传感器装置2的基本结构的示意图。图16A至图16C分别是示出在图15所示的传感器装置2中发生位移的区域的变化的示意图。

例如，参照图15，例示了第一镜11设置有光发射部21和光接收部22并且第二镜12和第三镜13被设置成与第一镜11一起构成三棱柱的各侧面的情况。

在这种情况下，参照图16A，传感器装置2可以被设置成使得以分开的方式设置第一镜11、第二镜12和第三镜13，并且使得第二镜12和第三镜13的倾斜通过耦接的应变产生构件(未示出)而移位。

另外，参照图16B，传感器装置2可以被设置成使得以分开的方式设置第一镜11、第二镜12和第三镜13，并且使得第三镜13的倾斜通过耦接的应变产生构件(未示出)而移位。

此外，参照图16C，传感器装置2可以被设置成使得分别以分开的方式设置第一镜11、第二镜12和第三镜13，并且使得第二镜12和第三镜13各自的倾斜通过耦接的应变产生构件(未示出)而彼此独立地移位。

类似地，还可以考虑使用四个反射镜的传感器装置3发生位移的区域的变化。

参照图17至图18D，将描述其中在使用四个反射镜的传感器装置3中发生由应变产生构件引起的位移的区域的变化。图17是示出使用四个反射镜的传感器装置3的基本结构的示意图。图18A至图18D分别是示出在图17所示的传感器装置3中发生位移的区域的变化的示意图。

例如，参照图17，例示了第一镜11设置有光发射部21和光接收部22并且第二镜12、第三镜13和第四镜14被设置成与第一镜11一起构成四棱柱的各侧面的情况。

在这种情况下，参照图18A，传感器装置3可以被设置成使得以分开的方式设置第一镜11和第三镜13与第二镜12和第四镜14，并且使得第二镜12和第四镜14的倾斜通过耦接的应变产生构件(未示出)而移位。

另外，参照图18B，传感器装置3可以被设置成使得以分开的方式设置第一镜11、第三镜13和第四镜14与第二镜12，并且使得第二镜12的倾斜通过耦接的应变产生构件(未示出)而移位。

另外，参照图18C，传感器装置3可以被设置成使得分别以分开的方式设置第一镜11和第三镜13、第二镜12与第四镜14，并且使得第二镜12和第四镜14各自的倾斜通过耦接的应变产生构件(未示出)而彼此独立地移位。

此外，参照图18D，传感器装置3可以被设置成使得分别以分开的方式设置第一镜11和第二镜12、第三镜13与第四镜14，并且使得第二镜12、第三镜13和第四镜14各自的倾斜通过耦接的应变产生构件(未示出)而彼此独立地移位。

应当注意，在根据第二实施方式的传感器装置2中，反射镜的数目不限于以上示例。在传感器装置2中，只要反射镜被设置成在其中具有空间并构成多边形棱柱的各侧面，反射镜的数目可以是三个或四个或更多，例如五个或六个。然而，从结构的复杂性和制造的容易性的观点来看，包括在传感器装置中的反射镜的数目可以是六个或更少。

<3.结论>

如上所述，根据本公开内容的一个实施方式的传感器装置具有简化的结构并且因此允许形成具有高刚性。另外，根据本实施方式的传感器装置可以以高灵敏度和高精度检测应变或力。

可以将根据本公开内容的一个实施方式的传感器装置用作例如负荷传感器、扭矩传感器或多轴力传感器。还可以将根据本公开内容的一个实施方式的传感器装置应用于要被安装在工业用途等的机器人的臂的腕、踝、手指等上的负荷传感器、扭矩传感器或多轴力传感器。此外，还可以将根据本公开内容的一个实施方式的传感器装置应用于各种应用中的负荷传感器、扭矩传感器或多轴力传感器，各种应用例如为流体测量、用于安装下肢矫形器的力传感器、精密压力机的行为监测、点焊的电极压力监测、线缆端子压接力监测或螺栓紧固轴向力测量。

上面已经参考第一方式和第二实施方式以及修改示例描述了根据本公开内容的技术。然而，根据本公开内容的技术不限于上述实施方式，并且可以进行各种修改。

另外，也可以将以上第一实施方式中描述的修改示例彼此组合。

此外，并非在各个实施方式中描述的所有构造和操作都是本公开内容的构造和操作所必需的。例如，在各个实施方式中的元件中，未在基于本公开内容的最一般性构思的独立权利要求中描述的元件应被理解为可选部件。

贯穿本说明书和所附权利要求书使用的术语应被解释为“非限制性”术语。例如，术语“包括(including)”或“被包括(included)”应被解释为“不限于其被描述为包括的实施方式”。术语“具有”应被解释为“不限于其被描述为具有的实施方式”。

本说明书中使用的术语仅为了便于描述而使用，并且包括不用于限制构造和操作的目的的术语。例如，诸如“右”、“左”、“上”和“下”的术语仅指示所参照的附图中的方向。此外，术语“内”和“外”仅分别指示朝向关注元件的中心的方向和远离关注元件的中心的方向。这类似地适用于与这些术语类似的术语和具有类似含义的术语。

应当注意，根据本公开内容的技术可以具有以下配置。根据具有以下配置的本公开内容的技术，通过使从光发射部输出的光在第一镜与第二镜之间经受多次反射，传感器装置可以通过第二镜的位移使反射光的光接收位置的位移更大。因此，传感器装置允许形成为具有高刚性并且使得可以以更高的灵敏度和更高的精度检测外力或由外力引起的对象的变形。由根据本公开内容的技术施加的效果不必限于本文描述的效果，并且可以是本公开内容中描述的效果中的任何效果。

(1)

一种传感器装置，包括：

光发射部，其朝向第一镜或第二镜发射光，所述第二镜与所述第一镜面对并且被配置成能够改变相对于所述第一镜的朝向；以及

光接收部，其接收从所述光发射部发射的所述光的、被所述第一镜和所述第二镜反射的反射光。

(2)

根据(1)所述的传感器装置，其中，所述光接收部接收从所述光发射部发射并且已经被所述第一镜和所述第二镜多次反射的所述光。

(3)

根据(1)或(2)所述的传感器装置，其中，所述光接收部检测所述反射光到所述光接收部的入射位置。

(4)

根据(3)所述的传感器装置，还包括力检测部，所述力检测部基于由所述光接收部检测到的所述反射光的所述入射位置的位移来确定改变所述第二镜的朝向的外力的大小。

(5)

根据(1)至(4)中任一项所述的传感器装置，其中，所述光发射部和所述光接收部相对于所述第一镜和所述第二镜设置在同一侧。

(6)

根据(5)所述的传感器装置，其中，所述光发射部和所述光接收部相对于所述第二镜设置在所述第一镜所在的一侧。

(7)

根据(1)至(6)所述的传感器装置，其中，所述第一镜和所述第二镜具有在一个方向上延伸的纵向形状。

(8)

根据(7)所述的传感器装置，其中，

所述光发射部设置在所述纵向形状的纵向方向上的一个第一端处，并且

所述光接收部设置在所述纵向方向上的与所述第一端对置的第二端处。

(9)

根据(1)至(8)所述的传感器装置，还包括：

所述第一镜；以及

所述第二镜。

(10)

根据(9)所述的传感器装置，其中，

所述第一镜和所述第二镜经由应变产生构件部连接；并且

所述第二镜通过所述应变产生构件部的变形改变相对于所述第一镜的朝向。

(11)

根据(10)所述的传感器装置，其中，所述第二镜通过由所述应变产生构件部的变形导致的在圆的圆周方向上的绕轴旋转来改变相对于所述第一镜的朝向，在所述圆中，垂直于所述第一镜的延伸方向的方向是径向方向。

(12)

根据(1)至(11)中任一项所述的传感器装置，其中，所述光发射部包括多个光源。

(13)

根据(12)所述的传感器装置，其中，所述光发射部包括所述多个光源，所述多个光源发射波段彼此不同的光。

(14)

根据(1)至(13)中任一项所述的传感器装置，其中，所述光接收部包括被配置成能够检测光的多个传感器。

(15)

根据(14)所述的传感器装置，其中，所述光接收部包括RGB摄像机、红外摄像机以及事件摄像机中的至少任意一者。

(16)

根据(1)至(15)中任一项所述的传感器装置，其中，所述第一镜和所述第二镜中的至少任意一者是：弯曲镜或曲面镜，或彼此间隔开的多个镜。

(17)

根据(9)至(11)中任一项所述的传感器装置，还包括第三镜，所述第三镜与所述第一镜和所述第二镜中的每一个面对并且与所述第一镜和所述第二镜一起构成三棱柱的各侧面。

(18)

根据(17)所述的传感器装置，其中，所述光接收部检测从所述光发射部发射并且已经被所述第一镜、所述第二镜和所述第三镜多次反射的所述光的光点组。

(19)

根据(17)或(18)所述的传感器装置，其中，所述第三镜被配置成能够与所述第二镜一体地或者独立于所述第二镜地改变相对于所述第一镜的朝向。

(20)

根据(9)至(11)中任一项所述的传感器装置，还包括第三镜和第四镜，所述第三镜和第四镜与所述第一镜和所述第二镜中的每一个面对并且与所述第一镜和所述第二镜一起构成四棱柱的各侧面。

本申请要求于2019年10月31日向日本专利局提交的日本优先权专利申请JP2019-198483的权益，其全部内容通过引用并入本文。

本领域技术人员应当理解，根据设计要求和其他因素可以出现各种修改、组合、子组合和变更，只要这些修改、组合、子组合和变更在所附权利要求或其等同物的范围内。

Claims (20)

1.一种传感器装置，包括：

光发射部，其朝向第一镜或第二镜发射光，所述第二镜与所述第一镜面对并且被配置成能够改变相对于所述第一镜的朝向；以及

光接收部，其接收从所述光发射部发射的所述光的、被所述第一镜和所述第二镜反射的反射光。

2.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述光接收部接收从所述光发射部发射并且已经被所述第一镜和所述第二镜多次反射的所述光。

3.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述光接收部检测所述反射光到所述光接收部的入射位置。

4.根据权利要求3所述的传感器装置，还包括力检测部，所述力检测部基于由所述光接收部检测到的所述反射光的所述入射位置的位移来确定改变所述第二镜的朝向的外力的大小。

5.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述光发射部和所述光接收部相对于所述第一镜和所述第二镜设置在同一侧。

6.根据权利要求5所述的传感器装置，其中，所述光发射部和所述光接收部相对于所述第二镜设置在所述第一镜所在的一侧。

7.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述第一镜和所述第二镜具有在一个方向上延伸的纵向形状。

8.根据权利要求7所述的传感器装置，其中，

所述光发射部设置在所述纵向形状的纵向方向上的一个第一端处，并且

所述光接收部设置在所述纵向方向上的与所述第一端对置的第二端处。

9.根据权利要求1所述的传感器装置，还包括：

所述第一镜；以及

所述第二镜。

10.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，

所述第一镜和所述第二镜经由应变产生构件部连接；并且

所述第二镜通过所述应变产生构件部的变形改变相对于所述第一镜的朝向。

11.根据权利要求10所述的传感器装置，其中，所述第二镜通过由所述应变产生构件部的变形导致的在圆的圆周方向上的绕轴旋转来改变相对于所述第一镜的朝向，在所述圆中，垂直于所述第一镜的延伸方向的方向是径向方向。

12.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述光发射部包括多个光源。

13.根据权利要求12所述的传感器装置，其中，所述光发射部包括所述多个光源，所述多个光源发射波段彼此不同的光。

14.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述光接收部包括被配置成能够检测光的多个传感器。

15.根据权利要求14所述的传感器装置，其中，所述光接收部包括RGB摄像机、红外摄像机以及事件摄像机中的至少任意一者。

16.根据权利要求1所述的传感器装置，其中，所述第一镜和所述第二镜中的至少任意一者是：弯曲镜或曲面镜，或彼此间隔开的多个镜。

17.根据权利要求9所述的传感器装置，还包括第三镜，所述第三镜与所述第一镜和所述第二镜中的每一个面对并且与所述第一镜和所述第二镜一起构成三棱柱的各侧面。

18.根据权利要求17所述的传感器装置，其中，所述光接收部检测从所述光发射部发射并且已经被所述第一镜、所述第二镜和所述第三镜多次反射的所述光的光点组。

19.根据权利要求17所述的传感器装置，其中，所述第三镜被配置成能够与所述第二镜一体地或者独立于所述第二镜地改变相对于所述第一镜的朝向。

20.根据权利要求9所述的传感器装置，还包括第三镜和第四镜，所述第三镜和第四镜与所述第一镜和所述第二镜中的每一个面对并且与所述第一镜和所述第二镜一起构成四棱柱的各侧面。

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