CN114540772A - 一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，包括加工箱，所述加工箱中固定连接有分层板，所述加工箱位于分层板上层空间设置为加工腔，所述加工腔中设置有蒸镀箱，所述蒸镀箱连接有运输加工结构，所述加工箱位于分层板下层空间设置为加热腔，所述加热腔中固定设置有加热箱，所述加热箱中装有蒸镀原料，所述加热箱的外侧壁设由内至外分别设置有加热层和隔热层，所述加热箱的顶部连通设置有出料管，所述出料管密封贯穿分层板并且密封连接有单向阀，所述加热腔位于加热箱外的部分设置有进料结构。优点在于：更好的起到节能的效果，避免热量流失。

Description

一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备
技术领域
本发明涉及电容器加工技术领域，尤其涉及一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备。
背景技术
真空蒸镀，简称蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。
经检索，中国授权专利公开号为CN110205601B公开了一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，旨在解决传统的蒸镀装置在对薄膜进行蒸镀时，蒸发源的受热不均，会导致蒸镀的厚度不一致、层次不均匀，且蒸镀效率较慢，影响薄膜电容器生产效率的问题，包括外箱、外箱下端安装的多个支撑脚和外箱前壁上安装的箱门，经过分析，该现有技术虽然解决了部分蒸镀效率较慢，影线薄膜电容器生产效率的问题，但是现在实际使用时，分别通过冷却组件和蒸镀组件进行使用时，在使得蒸镀后薄膜快速成型的同时，冷却水将热量散失，使得大部分蒸镀的热量将产生流失，一方面需要大剂量的冷却水满足冷却循环，另一方面需要耗费更多的电量进行发热，造成能量的浪费，基于此，本发明设计一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中的问题，而提出的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备。
一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，包括加工箱，所述加工箱中固定连接有分层板，所述加工箱位于分层板上层空间设置为加工腔，所述加工腔中设置有蒸镀箱，所述蒸镀箱连接有运输加工结构，所述加工箱位于分层板下层空间设置为加热腔，所述加热腔中固定设置有加热箱，所述加热箱中装有蒸镀原料，所述加热箱的外侧壁设由内至外分别设置有加热层和隔热层，所述加热箱的顶部连通设置有出料管，所述出料管密封贯穿分层板并且密封连接有单向阀，所述加热腔位于加热箱外的部分设置有进料结构。
所述运输加工结构包括设置在分层板中的传送带，所述传送带的两端分别配合连接有传送轮，一侧的所述传送轮的回转中心与驱动电机固定连接，所述蒸镀箱的两侧分别设置有一个转动门，每个所述转动门电连接有电控组件和控制系统，所述控制系统控制转动门转动从而开启或关闭，所述传送带等距离设置有多个导体挡块，每个所述导体挡块均与转动门和电控组件电连接。
进一步，所述进料结构包括设置在加热箱内侧壁的套筒，所述套筒中滑动连接有连接轴，所述连接轴密封贯穿加热箱的侧壁，所述连接轴靠近加热箱外的一侧设置有隔热块，所述隔热块与隔热层配合并均采用气凝胶材料，所述连接轴通过导线与驱动电机电连接，所述加热腔中装有比热容较高的缓冲液体。
进一步，所述蒸镀箱的侧壁连通设置有抽气管，所述抽气管与出料管位于同一侧，所述驱动电机通过同步轮和同步带结构连接有长轴，所述长轴位于加工箱的内侧，所述长轴的一端连接有凹槽，所述凹槽开设在分层板上，所述长轴位于凹槽内的部分通过斜齿轮结构连接有连接杆，所述连接杆连接有支流管。
进一步，所述支流管固定设置在凹槽中并且位于抽气管和出料管的侧面，所述连接杆密封贯穿支流管，所述连接杆位于支流管内的部分固定连接有往复丝杠，所述往复丝杠的两端均通过轴承与支流管固定连接，所述往复丝杠螺纹连接有活塞块。
进一步，所述活塞块贯穿开设有气流通道，所述支流管靠近出料管的一端开设有送气口，所述送气口、气流通道和支流管分别与出料管和抽气管的两个连接处共同密封连接有阀门系统，所述阀门系统受控于电控组件和控制系统。
进一步，所述驱动电机的输出轴与长轴之间的连接处采用电磁铁结构，所述缓冲液体采用离子液体，所述连接轴采用半导体材料制成，所述蒸镀箱中设置有检测系统，所述加工箱的两侧均开设有连接口，一侧的所述连接口的顶部设置有清理毛刷。
与现有的技术相比，本发明优点在于：
1：设置独立的加热箱，并且通过设置气凝胶材料的隔热层，具有极大的保温抗散热的效果，这样的好处在于，相对于现有技术，不仅隔绝了加热蒸镀和冷却成型过程，更隔绝了加热过程时对外界的热量流失，提高了对热量的保存，起到了节省电能的效果；
2：通过在加热箱设置的套筒、连接轴、压缩弹簧和与隔热层配合的隔热块可以对加热箱内部温度进行物理检测，相比于温度传感器来说，采用半导体材料的连接轴和受高温产生形变的记忆金属会在产生位移中自身充当电源给传送带连接的驱动电机供电，这样的好处在于，可以在蒸镀最佳温度时进行传送并加工，并通过温差发电实现节能的效果，从而省去额外的电能损耗；
3：由于在加工过程中，整个加热箱对外的热量传导仅由连接轴的轴端进行，因此一方面散热速度较低，这样的好处在于减少热量散失而减少加热电能，另一方面加工箱内部对外散热的速度大于加热箱对加工箱内部传热速度，因此可以长期维持加工箱和加热箱内两端温差，因此仅需补充加工箱的加热电流即可满足驱动传动带进行蒸镀过程的能量；
4、通过设置的支流管、往复丝杠、活塞以及配套的阀门系统，使得在驱动电机的工作下，既可以将蒸镀箱内的空气抽去，又可以加快加热箱内蒸镀原料蒸汽进入蒸镀箱的速度，从而加快蒸镀速度，在蒸镀时，也可以将外界气体抽入蒸镀箱中，实现快速散热的效果，方便使用。
附图说明
图1为本发明提出的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备的外视图；
图2为本发明提出的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备中的内视图；
图3为本发明提出的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备中的剖视图；
图4为本发明提出的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备中传送带和分层板的结构示意图；
图5为本发明提出的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备中加热箱的剖视图；
图6为本发明提出的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备中支流管的剖视图；
图7为本发明提出的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备中A部分的放大示意图。
图中：1加工箱、2操作台、3分层板、41加工腔、42加热腔、 5加热箱、6加热层、7隔热层、8出料管、9传送带、10传送轮、11 连接口、12蒸镀箱、13转动门、14导体挡块、15套筒、16连接轴、 17隔热块、18连接杆、19支流管、20往复丝杠、21活塞块、22气流通道、23送气口、24长轴、25凹槽、26压缩弹簧、27毛刷、28 抽气管、29第一斜齿轮、30第二斜齿轮。
具体实施方式
参照图1-4，一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，包括加工箱1和操作台2，加工箱1中固定连接有分层板3，加工箱1位于分层板3上层空间设置为加工腔41，加工腔41中设置有蒸镀箱12，蒸镀箱12连接有运输加工结构，加工箱1位于分层板3下层空间设置为加热腔42，加热腔42中固定设置有加热箱5，加热箱5中装有蒸镀原料，加热箱5的外侧壁设由内至外分别设置有加热层6和隔热层7，加热箱5的顶部连通设置有出料管8，出料管8密封贯穿分层板3并且密封连接有单向阀，加热腔42位于加热箱5外的部分设置有进料结构。
参考图2-5，运输加工结构包括设置在分层板3中的传送带9，传送带9的两端分别配合连接有传送轮10，一侧的传送轮10的回转中心与驱动电机固定连接，蒸镀箱12的两侧分别设置有一个转动门 13，每个转动门13电连接有电控组件和控制系统，控制系统控制转动门13转动从而开启或关闭，传送带9等距离设置有多个导体挡块 14，每个导体挡块14均与转动门13和电控组件电连接，进料结构包括设置在加热箱5内侧壁的套筒15，套筒15中滑动连接有连接轴16，连接轴16密封贯穿加热箱5的侧壁，连接轴16靠近加热箱5外的一侧设置有隔热块17，隔热块17与隔热层7配合并均采用气凝胶材料，连接轴16通过导线与驱动电机电连接，加热腔42中装有比热容较高的缓冲液体，连接轴16位于加热箱5内的一端固定连接有压缩弹簧 26，压缩弹簧26采用记忆金属材料。
参考图3-7，蒸镀箱12的侧壁连通设置有抽气管28，抽气管28 与出料管8位于同一侧，驱动电机通过同步轮和同步带结构连接有长轴24，长轴24位于加工箱1的内侧，长轴24的一端连接有凹槽25，凹槽25开设在分层板3上，长轴24位于凹槽25内的部分通过斜齿轮结构连接有连接杆18，通过第一斜齿轮29和第二斜齿轮30的啮合传动，使得处于垂直状态的长轴24和连接杆18可以同时转动，连接杆18连接有支流管19，支流管19固定设置在凹槽25中并且位于抽气管28和出料管8的侧面，连接杆18密封贯穿支流管19，连接杆18位于支流管19内的部分固定连接有往复丝杠20，往复丝杠20 的两端均通过轴承与支流管19固定连接，往复丝杠20螺纹连接有活塞块21，在往复丝杠20的转动作用下，活塞块21会进行往复移动。
活塞块21贯穿开设有气流通道22，支流管19靠近出料管8的一端开设有送气口23，送气口23、气流通道22和支流管19分别与出料管8和抽气管28的两个连接处共同密封连接有阀门系统，阀门系统受控于电控组件和控制系统，阀门系统包括多个环向电磁阀，通过控制环向电磁阀对气体流动方向的控制，使得分别可以进行对蒸镀箱12的抽气工作、对蒸镀箱12的散热工作，以及加速加热箱5内蒸镀原料蒸汽进入蒸镀箱12的速度，驱动电机的输出轴与传送轮10之间的连接处采用电磁铁结构，在电磁铁通电时将带动传送轮10和传送带9运动，当电磁铁断电时将不带动传送带9运动，这样在传送带 9停止时，依旧可以带动长轴24和往复丝杠20转动工作，驱动电机将保持与长轴24的连接，缓冲液体采用离子液体，具有较高的热稳定性以及在热量输入时温度变化量较低，连接轴16采用半导体材料制成，具有两端处于不同温度下产生温差电的特点，使得产生的电流供给驱动电机工作，从而实现节省电能的效果，蒸镀箱12中设置有检测系统，加工箱1的两侧均开设有连接口11，一侧的连接口11的顶部设置有清理毛刷27，在传送带9输入时，对待加工金属表面进行清理工作。
开始工作时，驱动电机同时对传送轮10和长轴24作用，这样一方面将待加工金属表面通过毛刷27进行清理，另一方面关闭出料管 8、打开抽气管28和送气口23，这样在传送带9运输的同时，将蒸镀箱12内的气体抽出，实现真空蒸镀的效果，而此时，加热箱5中的加热层6持续加热，使得记忆金属材料的压缩弹簧26发生形变并将连接轴16推出加热箱5，在该状态下，隔热块17将最终不与隔热层7共同隔热，使得连接轴16两端处于较大温差环境中，从而产生温差电并供给电控组件和驱动电机，由于气凝胶材料的超强隔热性能，因此整个加热箱5对外的热量传导仅由连接轴16的轴端进行，一方面散热速度较低，这样的好处在于减少热量散失而减少加热电能，另一方面加工箱1内部对外散热的速度大于加热箱5对加工箱1 内部传热速度，因此可以长期维持加工箱1和加热箱5内两端温差，因此仅需补充加热箱5的加热电流即可满足驱动传动带进行蒸镀过程的能量。
在使用中，两个导体挡块14之间的距离恰好为蒸镀箱12的内宽度，这样当两个导体挡块14与两个转动门13的内侧相抵连接时，处于蒸镀工作状态，在抽完空气后，将导通出料管8、关闭抽气管28 和送气口23并解除驱动电机与传送轮10的连接，这样通过往复丝杠20的转动工作下，将加速出料管8的进料速度，而当结束蒸镀工作时，改变抽气管28的气流方向，使得将外界气体输入至蒸镀箱12内，由于隔热层7的保温效果，因此外界气体温度较低，从而较好的对蒸镀箱12内进行散热，方便进行下一次的工作。

Claims (7)

1.一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，包括加工箱(1)和操作台(2)，其特征在于，所述加工箱(1)中固定连接有分层板(3)，所述加工箱(1)位于分层板(3)上层空间设置为加工腔(41)，所述加工腔(41)中设置有蒸镀箱(12)，所述蒸镀箱(12)连接有运输加工结构，所述加工箱(1)位于分层板(3)下层空间设置为加热腔(42)，所述加热腔(42)中固定设置有加热箱(5)，所述加热箱(5)中装有蒸镀原料，所述加热箱(5)的外侧壁设由内至外分别设置有加热层(6)和隔热层(7)，所述加热箱(5)的顶部连通设置有出料管(8)，所述出料管(8)密封贯穿分层板(3)并且密封连接有单向阀，所述加热腔(42)位于加热箱(5)外的部分设置有进料结构。
2.根据权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述运输加工结构包括设置在分层板(3)中的传送带(9)，所述传送带(9)的两端分别配合连接有传送轮(10)，一侧的所述传送轮(10)的回转中心与驱动电机固定连接，所述蒸镀箱(12)的两侧分别设置有一个转动门(13)，每个所述转动门(13)电连接有电控组件和控制系统，所述控制系统控制转动门(13)转动从而开启或关闭，所述传送带(9)等距离设置有多个导体挡块(14)，每个所述导体挡块(14)均与转动门(13)和电控组件电连接。
3.根据权利要求2所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述进料结构包括设置在加热箱(5)内侧壁的套筒(15)，所述套筒(15)中滑动连接有连接轴(16)，所述连接轴(16)密封贯穿加热箱(5)的侧壁，所述连接轴(16)靠近加热箱(5)外的一侧设置有隔热块(17)，所述隔热块(17)与隔热层(7)配合并均采用气凝胶材料，所述连接轴(16)通过导线与驱动电机电连接，所述加热腔(42)中装有比热容较高的缓冲液体，所述连接轴(16)位于加热箱(5)内的一端固定连接有压缩弹簧(26)，所述压缩弹簧(26)采用记忆金属材料。
4.根据权利要求3所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀箱(12)的侧壁连通设置有抽气管(28)，所述抽气管(28)与出料管(8)位于同一侧，所述驱动电机通过同步轮和同步带结构连接有长轴(24)，所述长轴(24)位于加工箱(1)的内侧，所述长轴(24)的一端连接有凹槽(25)，所述凹槽(25)开设在分层板(3)上，所述长轴(24)位于凹槽(25)内的部分通过斜齿轮结构连接有连接杆(18)，所述连接杆(18)连接有支流管(19)。
5.根据权利要求4所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述支流管(19)固定设置在凹槽(25)中并且位于抽气管(28)和出料管(8)的侧面，所述连接杆(18)密封贯穿支流管(19)，所述连接杆(18)位于支流管(19)内的部分固定连接有往复丝杠(20)，所述往复丝杠(20)的两端均通过轴承与支流管(19)固定连接，所述往复丝杠(20)螺纹连接有活塞块(21)。
6.根据权利要求5所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述活塞块(21)贯穿开设有气流通道(22)，所述支流管(19)靠近出料管(8)的一端开设有送气口(23)，所述送气口(23)、气流通道(22)和支流管(19)分别与出料管(8)和抽气管(28)的两个连接处共同密封连接有阀门系统，所述阀门系统受控于电控组件和控制系统。
7.根据权利要求6所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于，所述驱动电机的输出轴与传送轮(10)之间的连接处采用电磁铁结构，所述缓冲液体采用离子液体，所述连接轴(16)采用半导体材料制成，所述蒸镀箱(12)中设置有检测系统，所述加工箱(1)的两侧均开设有连接口(11)，一侧的所述连接口(11)的顶部设置有清理毛刷(27)。
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