CN114508996A - 一种感知复杂变形的柔性传感器 - Google Patents

一种感知复杂变形的柔性传感器 Download PDF

Info

Publication number
CN114508996A
CN114508996A CN202210092021.5A CN202210092021A CN114508996A CN 114508996 A CN114508996 A CN 114508996A CN 202210092021 A CN202210092021 A CN 202210092021A CN 114508996 A CN114508996 A CN 114508996A
Authority
CN
China
Prior art keywords
micro
flexible
channel
deformation
bending
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202210092021.5A
Other languages
English (en)
Inventor
史宝军
郑方超
李金嵘
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hebei University of Technology
Original Assignee
Hebei University of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hebei University of Technology filed Critical Hebei University of Technology
Priority to CN202210092021.5A priority Critical patent/CN114508996A/zh
Publication of CN114508996A publication Critical patent/CN114508996A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B7/00Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques
    • G01B7/16Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge
    • G01B7/18Measuring arrangements characterised by the use of electric or magnetic techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. by resistance strain gauge using change in resistance

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

本申请公开了一种感知复杂变形的柔性传感器,包括:柔性基体,其上开设有至少四个沿其轴线方向分布的微流道;任一个微流道设置在所述柔性基体的中心位置;柔性电极,设置在微流道内;导线,其与柔性电极连接,用于与所需测量电路连接。本申请设计在柔性基体中心位置开设1个微流道,其余微流道沿其轴线布置在四周,并在微流道内设置柔性电极,在柔性电极的端部连接导线,利用导线与所需测量电路连接;结合多个微流道的传感特性可检测拉伸弯曲耦合变形,并识别弯曲变形的方位角实现弯曲方向检测;实现复杂变形的感知。

Description

一种感知复杂变形的柔性传感器
技术领域
本公开一般涉及柔性传感器技术领域,具体涉及一种感知复杂变形的柔性传感器。
背景技术
柔性传感器采用柔性材料制成,与传统的刚性传感器相比,柔性传感器具有良好的柔韧性、延展性、适应性、生物相容性,柔性传感器在健康监测、运动监测、医疗康复和软机器人等方面的应用前景广阔。目前感知单一变形的柔性传感器种类很多,但是在实际工程问题中也存在很多复杂变形,例如拉伸和弯曲的耦合变形,针对复杂变形感知的问题还没有得到很好的解决。此外,现有的弯曲传感器主要以检测弯曲角度为主,忽视了弯曲方向这一种重要信息。
因此,研究一种感知复杂变形的柔性传感器是非常必要的。
发明内容
鉴于现有技术中的上述缺陷或不足,期望提供一种结构简单且易于实现的感知复杂变形的柔性传感器。
第一方面,本申请提供一种感知复杂变形的柔性传感器,包括:
柔性基体,其上开设有至少四个沿其轴线方向分布的微流道;任一个所述微流道设置在所述柔性基体的中心位置;
柔性电极,设置在所述微流道内;
导线,其与所述柔性电极连接,用于与所需测量电路连接。
根据本申请实施例提供的技术方案,所述柔性基体的截面形状为圆形、椭圆、三角形、矩形或多边形。
根据本申请实施例提供的技术方案,所述微流道的横截面形状为圆形、三角形或四边形。
根据本申请实施例提供的技术方案,所述柔性基体由聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚乙烯醇(PVA)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚酰亚胺(PI)、聚萘二甲酯乙二醇酯(PEN)、聚氨酯(PU)、水凝胶、天然橡胶、硫化橡胶或硅基橡胶制成。
根据本申请实施例提供的技术方案,所述柔性电极由导电液体形成。
根据本申请实施例提供的技术方案,所述导电液体为液态金属、离子凝胶或者离子液体。
综上所述,本申请具体公开了一种感知复杂变形的柔性传感器的具体结构。本申请柔性基体的截面形状可以为圆形、椭圆、三角形、矩形、多边形等形状,在柔性基体中心开设1个微流道,其余微流道沿其轴线方向均匀分布在四周,并在微流道内设置柔性电极,在柔性电极的端部连接导线,导线与所需测量电路连接;在传感器的柔性基体发生变形时,微流道中柔性电极电阻会发生相应变化,以此来检测变形量。中心微流道用来检测整体的拉伸变形;周边微流道与中心微流道变形量的差值用来检测弯曲角度;同时在发生弯曲变形时,各个方向上微流道变形量不同,用来检测弯曲方向;通过中心微流道与周边微流道的位置分布,可实现拉、弯耦合复杂变形的检测。
附图说明
通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述,本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显:
图1为一种感知复杂变形的柔性传感器的结构示意图。
图2为柔性传感器在拉伸变形下微流道的变化示意图。
图3为柔性传感器检测拉、弯耦合变形的原理图。
图4为制备柔性传感器的成型模具装配示意图。
图5为制备柔性传感器的成型模具装配图的侧视图。
图6为成型模具的上模具结构示意图。
图7为微流道与弯曲方位角度示意图。
图中标号:1、柔性基体;2、柔性电极;3、上模具;4、下模具;5、金属线;6、固定微孔;7、注入孔。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是,此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明,而非对该发明的限定。另外还需要说明的是,为了便于描述,附图中仅示出了与发明相关的部分。
需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
实施例一
请参考图1所示的本申请提供的一种感知复杂变形的柔性传感器的结构示意图,包括:
柔性基体1,柔性基体的截面形状可以为圆形、椭圆、三角形、矩形、多边形等形状,柔性基体1上开设有至少四个微流道,且柔性基体1中心开设1个微流道,其余微流道沿其轴线方向均匀分布在四周;
此处,柔性基体1由聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚乙烯醇(PVA)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚酰亚胺(PI)、聚萘二甲酯乙二醇酯(PEN)、聚氨酯(PU)、水凝胶、天然橡胶、硫化橡胶、硅基橡胶等制成;微流道的横截面形状为圆形、三角形、四边形等;
柔性电极2,设置在微流道内;
其中,柔性电极2由导电液体形成;此处,导电液体的类型,例如为液态金属、离子凝胶或者离子液体。
导线,其与柔性电极2连接,用于与所需测量电路连接。
本柔性传感器的制备方法如下:
如图6所示,利用3D打印技术打印出上模具3和下模具4,如图4所示,将上模具3与下模具4装配好,如图5所示,上模具3与下模具4之间形成有多个固定微孔6与一个注入孔7,并且固定微孔6环设在注入孔7周围;将金属线5插入固定微孔6,将PDMS、PVA、PI等材料通过注入孔7,浇注进模具内部,浇筑完成后将金属线5插入注入孔7,等待完全固化后,抽出金属线5,拆除上、下模具,得到具有微流道的柔性基体1,将液态金属注入微流道中,并引出导线,即可得到带有9个微流道(中心1个且周边均匀布置8个)的柔性传感器,如图1所示。
本柔性传感器可应用于人体关节处或者软体机器人领域,用来检测拉伸、弯曲、以及拉、弯耦合变形,实现复杂变形的感知。
具体地,
当本柔性传感器发生拉伸变形时,如图2所示,微流道的横截面积和长度会发生变化。注入微流道的柔性电极的体积V在变形前后不发生改变,柔性基体1发生拉伸变形时,微流道长度增加,横截面面积减小,柔性电极2的电阻会发生相应的变化。
V=L0S0=L′S′ (1)
其中,V为微流道中柔性电极的体积,L0和L′为微流道变形前后的长度,S0和S′为微流道变形前后的横截面面积。
Figure BDA0003489433390000041
其中,R为微流道中柔性电极2的电阻,ρ为柔性电极2电阻率,L为微流道长度,S为微流道横截面面积。
利用中心微流道横截面积和长度的变化,再由公式(2)可得出在任意拉伸长度下的电阻值,可以检测传感器整体的拉伸变形。
当本柔性传感器发生拉、弯耦合变形时,如图3所示,柔性传感器弯曲角度为θ,取弯曲方向的正向和反向两个微流道进行分析,定义反向弯曲方向上的弯曲半径和微流道长度分别为r1和l1,正向弯曲方向上的弯曲半径和微流道长度分别为r2和l2。因为r1>r2,由公式(3)和(4)可知,l1>l2。所以,在弯曲方向的反方向上变形量最大,电阻变化率最大;反之,在弯曲方向的正方向上变形量最小,电阻变化率最小。利用传感器发生弯曲变形时,均布在四周的微流道变形量不同,实现弯曲方向的检测。中心微流道为传感器的中性轴,传感器发生拉、弯耦合变形时,中心微流道只有拉伸变形,不发生弯曲变形,均布在四周的微流道发生拉、弯耦合变形,周边微流道变形量与中心微流道变形量的差值即为弯曲的变形量。通过测量不同弯曲角度下的电阻变化率作为参比值,选择最小的电阻变化率与参比值对照即可得到弯曲角度。因此,本传感器可以实现拉、弯耦合变形的感知,还可以检测弯曲方向。
l1=θr1 (3)
l2=θr2 (4)
其中,θ为柔性传感器弯曲角度,r1、r2为弯曲半径,l1、l2为微流道长度。
以9个微流道为例,如图7所示,设定各微流道分别为微流道0、微流道1、微流道2、微流道3、微流道4、微流道5、微流道6、微流道7、微流道8;规定微流道1的方向为弯曲方位角0°的方向,微流道0在传感器的中心位置,均匀布置的8个微流道分别对应图7中8个方位角度(0°、45°、90°、135°、180°、225°、270°、315°),即微流道1布置在0°方位上,微流道2布置在45°方位上,微流道3布置在90°方位上,微流道4布置在135°方位上,微流道5布置在180°方位上,微流道6布置在225°方位上,微流道7布置在270°方位上,微流道8布置在315°方位上;
定义微流道0~8的变形量分别为:△ε0、△ε1、△ε2、△ε3、△ε4、△ε5、△ε6、△ε7、△ε8
传感器发生弯曲变形时,以弯曲角度θ,弯曲方位角度0°为例:根据对称性,微流道3与7、微流道4与6、微流道2与8的变形量相同(△ε3=△ε7、△ε4=△ε6、△ε2=△ε8),且微流道1的变形量最小,微流道5的变形量最大;
若弯曲角度为θ,弯曲方位角度为22.5°:根据对称性,微流道1与2、微流道3与8,微流道4与7、微流道5与6变形量相同(△ε1=△ε2、△ε3=△ε8、△ε4=△ε7、△ε5=△ε6),且微流道1与2的变形量最小,微流道5与6的变形量最大;
若弯曲角度为θ,弯曲方位角度为15°:微流道1的变形量最小,微流道5的变形量最大,再根据微流道1两边的微流道2和8,微流道5两边的微流道4和6的变形量判断偏向哪一位置。弯曲方位角为15°,大小关系应为△ε2<△ε8、△ε4<△ε6,如果弯曲方位角不是15°的倍数,同样可以通过几何关系计算得到方位角。
当传感器发生拉、弯耦合变形时,通过微流道0检测传感器整体的拉伸变形,微流道1~8与微流道0变形量的差值检测弯曲角度和弯曲方向,以此来实现拉、弯耦合变形的复杂感知。
以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解,本申请中所涉及的发明范围,并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案,同时也应涵盖在不脱离所述发明构思的情况下,由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (6)

1.一种感知复杂变形的柔性传感器,其特征在于,包括:
柔性基体(1),所述柔性基体(1)上开设有至少四个沿其轴线方向分布的微流道;任一个所述微流道设置在所述柔性基体(1)的中心位置;
柔性电极(2),设置在所述微流道内;
导线,其与所述柔性电极(2)连接,用于与所需测量电路连接。
2.根据权利要求1所述的一种感知复杂变形的柔性传感器,其特征在于,所述柔性基体(1)的截面形状为圆形、椭圆、三角形、矩形或多边形。
3.根据权利要求1所述的一种感知复杂变形的柔性传感器,其特征在于,所述微流道的横截面形状为圆形、三角形或四边形。
4.根据权利要求1所述的一种感知复杂变形的柔性传感器,其特征在于,所述柔性基体(1)由聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚乙烯醇(PVA)、聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)、聚酰亚胺(PI)、聚萘二甲酯乙二醇酯(PEN)、聚氨酯(PU)、水凝胶、天然橡胶、硫化橡胶或硅基橡胶制成。
5.根据权利要求1所述的一种感知复杂变形的柔性传感器,其特征在于,所述柔性电极(2)由导电液体形成。
6.根据权利要求5所述的一种感知复杂变形的柔性传感器,其特征在于,所述导电液体为液态金属、离子凝胶或者离子液体。
CN202210092021.5A 2022-01-26 2022-01-26 一种感知复杂变形的柔性传感器 Pending CN114508996A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210092021.5A CN114508996A (zh) 2022-01-26 2022-01-26 一种感知复杂变形的柔性传感器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210092021.5A CN114508996A (zh) 2022-01-26 2022-01-26 一种感知复杂变形的柔性传感器

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN114508996A true CN114508996A (zh) 2022-05-17

Family

ID=81550432

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210092021.5A Pending CN114508996A (zh) 2022-01-26 2022-01-26 一种感知复杂变形的柔性传感器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114508996A (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6201468B1 (en) * 1997-10-14 2001-03-13 Devolpi Dean R. Deflection sensor
US20120256720A1 (en) * 2011-04-08 2012-10-11 Samsung Electronics Co., Ltd. Bending sensor and method for fabricating the same
US20120277531A1 (en) * 2011-04-28 2012-11-01 Beat Krattiger Bend sensor
WO2016123651A1 (en) * 2015-02-06 2016-08-11 Monash University Deformable sensors and method for their fabrication using ionic liquids
CN107478148A (zh) * 2017-07-13 2017-12-15 中国科学院深圳先进技术研究院 一种柔性可穿戴式电子应变传感器及其制备方法
CN108507455A (zh) * 2018-05-23 2018-09-07 浙江大学 一种多功能柔性传感器、制作方法及应用
CN110966913A (zh) * 2019-12-12 2020-04-07 西安电子科技大学 基于液态金属的柔性大应变传感器及其制备方法
US20210055179A1 (en) * 2019-04-30 2021-02-25 Korea Advanced Institute Of Science And Technology Soft pressure sensor using multi-material 3d-printed microchannel molds and method for making the sensor

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6201468B1 (en) * 1997-10-14 2001-03-13 Devolpi Dean R. Deflection sensor
US20120256720A1 (en) * 2011-04-08 2012-10-11 Samsung Electronics Co., Ltd. Bending sensor and method for fabricating the same
US20120277531A1 (en) * 2011-04-28 2012-11-01 Beat Krattiger Bend sensor
WO2016123651A1 (en) * 2015-02-06 2016-08-11 Monash University Deformable sensors and method for their fabrication using ionic liquids
CN107478148A (zh) * 2017-07-13 2017-12-15 中国科学院深圳先进技术研究院 一种柔性可穿戴式电子应变传感器及其制备方法
CN108507455A (zh) * 2018-05-23 2018-09-07 浙江大学 一种多功能柔性传感器、制作方法及应用
US20210055179A1 (en) * 2019-04-30 2021-02-25 Korea Advanced Institute Of Science And Technology Soft pressure sensor using multi-material 3d-printed microchannel molds and method for making the sensor
CN110966913A (zh) * 2019-12-12 2020-04-07 西安电子科技大学 基于液态金属的柔性大应变传感器及其制备方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
GUODONG WANG ET AL.: "A flexible microfluidic sensor based on main-channel and branch-channels for aerodynamic pressure measurement", SENSORS AND ACTUATORS A: PHYSICAL, pages 112546 *

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9797791B2 (en) Multi-axis force sensing soft artificial skin
US9645028B2 (en) Resistive pressure sensor including piezo-resistive electrode
KR101675807B1 (ko) 전도성 마이크로돔 구조 기반의 촉각센서 및 센서모듈, 센서모듈 제조방법
CN111551291B (zh) 液态金属薄膜电极的制造方法及柔性压力传感器
CN101730841A (zh) 悬式膜压力传感阵列
EP2182339A1 (en) Sensor sheet
CN113237420B (zh) 一种高灵敏度柔性电阻式应变传感器及其制备方法
CN110082012B (zh) 一种柔性压力传感器及其制作方法
US10473539B2 (en) Stretchable force sensor having undulating patterned electrodes
CN113358247B (zh) 压力-应变双模态信号同时检测的柔性传感器及制备方法
EP3373121B1 (en) Touch sensor and manufacturing method thereof
CN114508996A (zh) 一种感知复杂变形的柔性传感器
US20210356340A1 (en) Strain sensor
AU2017101883A4 (en) Flexible electronic pressure sensing device and preparation method therefor
CN113203355A (zh) 一种柔性应变传感器及其制作方法
CN114136263B (zh) 一种弯曲传感器自动、连续、均匀标定曲率的方法及系统
CN113483924B (zh) 一种基于超材料的高灵敏度压力传感器
CN111855029B (zh) 柔性压力传感器及其制备方法、电子装置
CN210154720U (zh) 一种高灵敏度电子皮肤
CN116292489A (zh) 一种具有自传感功能的柔性驱动器及控制方法
EP3494875A1 (en) Sensor device for detecting an electrical signal
KR102357704B1 (ko) 제로 포아송비 구조체 및 이 구조체가 평면에 행렬 배열된 제로 포아송비의 평면 구조체
CN215914602U (zh) 一种角度自适应解算的柔性弯曲传感器
KR101956298B1 (ko) 플렉서블 압력 측정 장치 및 이의 제조방법
CN113418553B (zh) 多模态传感器及其制备方法以及智能设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination