CN114488720A - 一种光刻机用混合光源发生装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种光刻机用混合光源发生装置，包括安装轴、激光源、LED光源安装架；安装轴的底部安装有激光源，安装轴的底部设置有底环，底环的外壁与活动轴的底端活动连接，活动轴上设置有LED光源安装架，LED光源安装架上环形阵列设置有多个不同功率的LED光源，活动轴的上方套设有安装环，安装环通过活动杆与移动块连接；活动轴沿着安装轴环形阵列设置有多个；安装轴内腔的顶部设置有驱动气缸，驱动气缸的输出端与移动块连接，移动块环形阵列设置有多个限位活动块，限位活动块与活动杆活动连接；本发明的旋转机构与安装轴的调节相互配合，在多角度的情况下，可以对活动轴进行转动，调节出不同工艺要求的LED光源。

Description

一种光刻机用混合光源发生装置

技术领域

本发明属于光刻机技术领域，具体为一种光刻机用混合光源发生装置。

背景技术

光刻机是半导体产业中最关键的设备，它决定着芯片的性能、大小等最核心的地方。

中国专利CN205210510U公开了一种光刻机光源技术方案为，包括10颗以上的紫外线灯珠均匀分布在光源板正面，紫外线灯珠通过导线连接到发生器上，发生器调节光源强度。

现有技术中，光刻机一般选用半导体激光器作为曝光光源，而激光存在衰减的问题，以及现有的激光源等结构都是采用固定方式进行安装的，所以在适用于不同工艺生产时，需要将此进行拆卸，而来满足其生产，所以目前的光源存在适用性比较低的问题。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述背景技术的问题，而提出一种光刻机用混合光源发生装置，其旋转机构与安装轴的调节相互配合，在多角度的情况下，可以对活动轴进行转动，调节出不同工艺要求的LED光源。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种光刻机用混合光源发生装置，包括安装轴、激光源、LED光源安装架；

安装轴的底部安装有激光源，安装轴的底部设置有底环，底环的外壁与活动轴的底端活动连接，活动轴上设置有LED光源安装架，LED光源安装架上环形阵列设置有多个不同功率的LED光源，活动轴的上方套设有安装环，安装环通过活动杆与移动块连接；

活动轴沿着安装轴环形阵列设置有多个。

作为本发明进一步的方案：安装轴内腔的顶部设置有驱动气缸，驱动气缸的输出端与移动块连接，移动块环形阵列设置有多个限位活动块，限位活动块与活动杆活动连接。

作为本发明进一步的方案：安装轴的侧壁上设置有与限位活动块相适配的滑槽。

作为本发明进一步的方案：活动轴的顶部设置有旋转机构，旋转机构的固定箱安装在活动轴的顶端上，且固定箱的顶部设置有驱动电机，驱动电机的输出端与主转轴连接，主转轴上套设有主齿轮，主转轴的四周环形阵列设置有多个副转轴，副转轴上套设有副齿轮，主齿轮与副齿轮啮合连接；副转轴的底端通过伸缩联轴器与活动轴的顶端连接。

作为本发明进一步的方案：伸缩联轴器包括活动转轴和活动套管，活动转轴的一端与副转轴的底端活动连接，活动转轴的另一端延伸至活动套管的内腔，并与活动套管滑动连接，活动套管远离活动转轴的一端与活动轴活动连接。

作为本发明进一步的方案：LED光源安装架包括基架，基架套设在活动轴上，并间歇设置有两个，基架上环形阵列设置有多个LED光源安装杆，LED光源安装杆上安装有LED光源。

作为本发明进一步的方案：基架由多个连接杆环形阵列设置而成。

作为本发明进一步的方案：每组连接杆之间安装有一个LED光源。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明以激光源为主光源，可以同时设置有多个LED光源为辅助光源，从而形成结构简单的混合光源装置，当激光源的能量因衰减而达不到预期能量时，LED光源可对其进行补偿；

本发明的活动轴可以沿着安装轴的竖直方向进行角度转动，使得通过调节活动轴带动LED光源安装架上的LED光源进行角度调节，从而适应于不同光刻机生产的需求

本发明通过启动驱动电机工作，使得副转轴通过伸缩联轴器将带动活动轴进行转动，从而将带动LED光源安装架的LED光源进行转动，对LED光源进行调节，切换成满足于该生产工艺需要的LED光源；该旋转机构与安装轴的调节相互配合，在多角度的情况下，可以对活动轴进行转动，调节出不同工艺要求的LED光源；

拉动滑杆，带动滑动板移动，使得销轴收缩至安装腔内，然后将LED光源基座置于固定块的槽体内，释放滑杆上的外力，受弹簧的恢复力作用下，滑动板复位，并使得销轴插入到LED光源基座的销孔内，从而完成对LED光源的安装工作，该LED光源安装架可以对同时安装多个不同功率的LED光源，以及，通过安装件，方便将LED光源快速地安装在LED光源安装架上。

附图说明

为了便于本领域技术人员理解，下面结合附图对本发明作进一步的说明。

图1为本发明的结构示意图。

图2为本发明中安装轴内腔的结构示意图。

图3为本发明中旋转机构的结构示意图。

图4为本发明中LED光源安装架的结构示意图。

图5为本发明中安装结构的结构示意图。

图中：1、安装轴；2、激光源；3、底环；4、活动轴；5、LED光源安装架；6、安装环；7、活动杆；8、移动块；9、旋转机构；10、固定箱；11、驱动电机；12、主转轴；13、主齿轮；14、副转轴；15、副齿轮；16、活动转轴；17、活动套管；18、驱动气缸；19、限位活动块；20、基架；21、LED光源安装杆；22、固定块；23、销轴；24、LED光源基座；25、LED光源；26、安装腔；27、滑杆；28、弹簧；29、滑动板。

具体实施方式

下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

请参阅图1所示，一种光刻机用混合光源发生装置，包括安装轴1、激光源2、LED光源安装架5；

安装轴1的底部安装有激光源2，安装轴1的底部设置有底环3，底环3的外壁与活动轴4的底端活动连接，活动轴4上设置有LED光源安装架5，LED光源安装架5上环形阵列设置有多个不同功率的LED光源25，活动轴4的上方套设有安装环6，安装环6通过活动杆7与移动块8连接，移动块8沿安装轴1上下移动；

其中，活动轴4沿着安装轴1环形阵列设置有多个，使得以激光源2为主光源，可以同时设置有多个LED光源25为辅助光源，从而形成结构简单的混合光源装置，当激光源2的能量因衰减而达不到预期能量时，LED光源25可对其进行补偿；

活动轴4可以沿着安装轴1的竖直方向进行角度转动，使得通过调节活动轴4带动LED光源安装架5上的LED光源25进行角度调节，从而适应于不同光刻机生产的需求；

工作时，控制移动块8沿安装轴1上下移动，通过活动杆7带动活动轴4进行转动，对LED光源安装架5上的LED光源25进行角度调节；

请参阅图2所示，安装轴1的顶部为中空结构，安装轴1内腔的顶部设置有驱动气缸18，驱动气缸18的输出端与移动块8连接，移动块8环形阵列设置有多个限位活动块19，安装轴1的侧壁上设置有与限位活动块19相适配的滑槽，限位活动块19与活动杆7活动连接；

其中，移动块8为圆形结构，与安装轴1的内腔相适配；限位活动块19的数量与活动轴4的数量相适配；

使用时，控制驱动气缸18工作，带动移动块8沿着安装轴1的内腔上下移动；该驱动气缸18的位置设置，可以方便安装旋转机构9对活动轴4进行转动；

请参阅图3所示，在活动轴4的顶部设置有旋转机构，旋转机构9包括固定箱10、驱动电机11、主转轴12、主齿轮13、副转轴14、副齿轮15和伸缩联轴器，固定箱10安装在活动轴4的顶端上，且固定箱10的顶部设置有驱动电机11，驱动电机11的输出端与主转轴12连接，主转轴12上套设有主齿轮13，主转轴12的四周环形阵列设置有多个副转轴14，副转轴14上套设有副齿轮15，主齿轮13与副齿轮15啮合连接；副转轴14的底端通过伸缩联轴器与活动轴4的顶端连接；

其中，主转轴12和副转轴14均位于固定箱10内，并与固定箱10的内壁转动连接；

伸缩联轴器包括活动转轴16和活动套管17，活动转轴16的一端与副转轴14的底端活动连接，活动转轴16的另一端延伸至活动套管17的内腔，并与活动套管17滑动连接，活动套管17远离活动转轴16的一端与活动轴4活动连接；由该活动转轴16和活动套管17组成的伸缩联轴器，可以使得副转轴14在转动的过程中，带动活动轴4进行转动，并且当活动轴4的发生角度调节，以至于距离发生变化时，该旋转机构也将作出适应性改变，从而使得该旋转机构与活动轴4的角度调节相适配，满足于活动轴4多角度变化的需求；

工作时，启动驱动电机11工作，带动主转轴12转动，主转轴12通过主齿轮13和副齿轮15之间的啮合作用，带动副转轴14进行转动，然后副转轴14通过伸缩联轴器将带动活动轴4进行转动，从而将带动LED光源安装架5的LED光源25进行转动，对LED光源25进行调节，切换成满足于该生产工艺需要的LED光源25；该旋转机构与安装轴1的调节相互配合，在多角度的情况下，可以对活动轴4进行转动，调节出不同工艺要求的LED光源25；

请参阅图4所示，LED光源安装架5包括基架20、LED光源安装杆21和安装件，基架20套设在活动轴4上，并间歇设置有两个，基架20上环形阵列设置有多个LED光源安装杆21，LED光源安装杆21上通过安装件与LED光源25连接；

其中，基架20由多个连接杆环形阵列设置而成；每组连接杆之间安装有一个LED光源25，从而使得基架20可以安装有多个LED光源25；

请参阅图5所示，安装件包括固定块22、销轴23、LED光源基座24、安装腔26、滑杆27、弹簧28、滑动板29；固定块22套设在LED光源安装杆21上，在固定块22上设置有与LED光源基座24相适配的槽体，在槽体的两侧分别设置有安装腔26，安装腔26内滑动设置有滑动板29，滑动板29的一侧设置有销轴23，销轴23滑动延伸至槽体，滑动板29的另一侧设置有滑杆27，滑杆27滑动延伸出安装腔26；

其中，LED光源25安装在LED光源基座24上，LED光源基座24上设置有销轴23相适配的销孔，滑杆27上套设有弹簧28，弹簧28的两端分别与滑动板29和安装腔26的内壁连接；

安装拆卸时，拉动滑杆27，带动滑动板29移动，使得销轴23收缩至安装腔26内，然后将LED光源基座24置于固定块22的槽体内，释放滑杆27上的外力，受弹簧28的恢复力作用下，滑动板29复位，并使得销轴23插入到LED光源基座24的销孔内，从而完成对LED光源25的安装工作，该LED光源安装架5可以对同时安装多个不同功率的LED光源25，以及，通过安装件，方便将LED光源25快速地安装在LED光源安装架5上。

本发明的工作原理：以激光源2为主光源，多个LED光源25为辅助光源，从而形成结构简单的混合光源装置；控制移动块8沿安装轴1上下移动，通过活动杆7带动活动轴4进行转动，使得通过调节活动轴4带动LED光源安装架5上的LED光源25进行角度调节，从而适应于不同光刻机生产的需求；

以及，通过启动驱动电机11工作，带动主转轴12转动，主转轴12通过主齿轮13和副齿轮15之间的啮合作用，带动副转轴14进行转动，然后副转轴14通过伸缩联轴器将带动活动轴4进行转动，从而将带动LED光源安装架5的LED光源25进行转动，对LED光源25进行调节，切换成满足于该生产工艺需要的LED光源25。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (8)

1.一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，包括安装轴(1)、激光源(2)、LED光源安装架(5)；

安装轴(1)的底部安装有激光源(2)，安装轴(1)的底部设置有底环(3)，底环(3)的外壁与活动轴(4)的底端活动连接，活动轴(4)上设置有LED光源安装架(5)，LED光源安装架(5)上环形阵列设置有多个不同功率的LED光源(25)，活动轴(4)的上方套设有安装环(6)，安装环(6)通过活动杆(7)与移动块(8)连接；

活动轴(4)沿着安装轴(1)环形阵列设置有多个。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，安装轴(1)内腔的顶部设置有驱动气缸(18)，驱动气缸(18)的输出端与移动块(8)连接，移动块(8)环形阵列设置有多个限位活动块(19)，限位活动块(19)与活动杆(7)活动连接。

3.根据权利要求2所述的一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，安装轴(1)的侧壁上设置有与限位活动块(19)相适配的滑槽。

4.根据权利要求1所述的一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，活动轴(4)的顶部设置有旋转机构，旋转机构(9)的固定箱(10)安装在活动轴(4)的顶端上，且固定箱(10)的顶部设置有驱动电机(11)，驱动电机(11)的输出端与主转轴(12)连接，主转轴(12)上套设有主齿轮(13)，主转轴(12)的四周环形阵列设置有多个副转轴(14)，副转轴(14)上套设有副齿轮(15)，主齿轮(13)与副齿轮(15)啮合连接；副转轴(14)的底端通过伸缩联轴器与活动轴(4)的顶端连接。

5.根据权利要求4所述的一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，伸缩联轴器包括活动转轴(16)和活动套管(17)，活动转轴(16)的一端与副转轴(14)的底端活动连接，活动转轴(16)的另一端延伸至活动套管(17)的内腔，并与活动套管(17)滑动连接，活动套管(17)远离活动转轴(16)的一端与活动轴(4)活动连接。

6.根据权利要求5所述的一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，LED光源安装架(5)包括基架(20)，基架(20)套设在活动轴(4)上，并间歇设置有两个，基架(20)上环形阵列设置有多个LED光源安装杆(21)，LED光源安装杆(21)上安装有LED光源(25)。

7.根据权利要求6所述的一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，基架(20)由多个连接杆环形阵列设置而成。

8.根据权利要求7所述的一种光刻机用混合光源发生装置，其特征在于，每组连接杆之间安装有一个LED光源(25)。

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