CN114485370B - 一种位移传感器温漂修正方法、装置及存储介质 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种位移传感器温漂修正方法，包括确定位移传感器的量程范围及需要修正的温度范围，将位移传感器置于恒温试验箱，并调节位移传感器的输出，使其输出分别为不同量程，将恒温试验箱的温度从需要修正的温度范围的最小值调节至最大值，在升温过程中采集不同量程对应的输出数据，根据输出数据得到不同量程对应的差值‑温度拟合曲线函数；再根据不同量程和拟合系数得到拟合系数‑量程拟合曲线函数，由拟合系数‑量程拟合曲线函数可以计算出任一量程对应的拟合系数，最后根据计算出的拟合系数和该任一量程工作温度得到差值，即补偿值。本发明在不改变位移传感器硬件结构的基础上，采用信号处理方式进行温漂修正，易于实现，成本低。
Description
技术领域
本发明属于传感器输出修正技术领域，尤其涉及一种位移传感器温漂修正方法、装置及存储介质。
背景技术
位移传感器是一种使用非常广泛的传感器，被大量应用在各种工业现场。常用的位移传感器包括电位器式位移传感器、电感式位移传感器、电容式位移传感器、电涡流式位移传感器等。但是由于使用材料和工艺的原因，位移传感器容易受温度的影响，外界温度变化较大时，引起测量值温度漂移大，在温度较高或温度变化较大的环境内使用，位移传感器将会产生较大的误差，因此位移传感器的温漂修正一直是亟待解决的问题。
以电涡流位移传感器为例，通常电涡流位移传感器的探头是由一个扁平的线圈和固定线圈的非金属骨架组成，由于线圈和骨架通常采用普通材料，再加上制备工艺的原因，电涡流传感器容易受温度的影响。目前，基于电涡流位移传感器的温漂修正方法主要采用模拟硬件设计，即改变传感器硬件结构，改变传感器的探头材料，来降低温度对电涡流位移传感器的影响；这种方式设计复杂，且成本较大。
例如，授权公告号为CN204757913U，名称为一种基于温度在线测量的高温电涡流位移传感装置的中国专利文献，其中公开了利用前置器中的温度漂移灵敏度自动校正电路和温度漂移偏置自动校正电路对高温电涡流位移传感器在整个线性工作范围内的灵敏度和在线性工作范围内任一参考点的温度漂移进行补偿的方法，这种方法需要改变传感器硬件结构，设计复杂，成本较大。
又如，授权公告号为CN100353139C，名称为电涡流位移传感器的温度补偿方法的中国专利文献，其中公开了通过设置与感应线圈阻值相应的无感补偿线圈，对电涡流位移传感器感应线圈的温度漂移给以有效补偿，这种方法需要改变传感器硬件结构，设计复杂，成本较大。
对于其他类型的位移传感器还没有一种有效的温漂修正方法。
发明内容
本发明的目的在于提供一种位移传感器温漂修正方法、装置及存储介质，以解决现有位移传感器无法进行有效的温漂修正以及现有方法需要改变传感器硬件结构而导致设计复杂、成本大的问题；本发明在不改变位移传感器硬件结构的基础上，采用信号处理方式进行温漂修正，无需重新设计硬件电路，成本低。
本发明是通过如下的技术方案来解决上述技术问题的：一种位移传感器温漂修正方法，包括以下步骤：
步骤1：确定位移传感器的量程范围及其需要修正的温度范围，并将所述量程范围等分为N份，得到N+1个量程，其中第0个量程是指量程最小值，第N个量程是指量程最大值，第1～N-1个量程是指量程最小值与量程最大值之间的量程；
步骤2：将所述位移传感器和位移调整机构置于恒温试验箱内，所述位移传感器的输出端与数据采集单元连接，所述数据采集单元与信号处理单元连接；利用所述位移调整机构调整所述位移传感器的输出，使其输出值为第0个量程；设定恒温试验箱的温度为所述需要修正的温度范围的最小值；
步骤3：控制所述恒温试验箱的温度从所述需要修正的温度范围的最小值开始升温，升温至所述需要修正的温度范围的最大值，在升温过程中连续采集所述位移传感器的输出数据；
步骤4：确定所述输出数据的最大值和最小值，并计算所述输出数据的最大值和最小值的平均值；
步骤5：利用所述位移调整机构调整所述位移传感器的输出，使其输出值分别为第1～N个量程，重复步骤2～4，分别得到第1～N个量程对应的输出数据的最大值、最小值和平均值；
步骤6：将每个量程的输出数据减去其平均值，得到一组差值数据，根据所述差值数据及其对应的温度构建二次拟合曲线，得到每个量程对应的差值-温度拟合曲线函数y＝Aix2-Bix+Ci，其中，Ai、Bi均表示第i个量程对应的差值-温度拟合曲线的拟合系数，Ci表示第i个量程对应的差值-温度拟合曲线的常数项，i＝0，1，2，…，N，y表示差值数据变量，x表示温度变量；
步骤7：根据N+1个量程及其对应的拟合系数Ai构建五次拟合曲线，得到拟合系数A-量程拟合曲线函数y＝AAx5-BAx4+CAx3-DAx2+EAx+FA，其中，AA、BA、CA、DA、EA均表示拟合系数，FA表示常数项，y表示拟合系数A变量，x表示量程变量；
根据N+1个量程及其对应的拟合系数Bi构建五次拟合曲线，得到拟合系数B-量程拟合曲线函数y＝ABx5-BBx4+CBx3-DBx2+EBx+FB，其中，AB、BB、CB、DB、EB均表示拟合系数，FB表示常数项，y表示拟合系数B变量；
根据N+1个量程及其对应的常数项Ci构建五次拟合曲线，得到常数项C-量程拟合曲线函数y＝ACx5-BCx4+CCx3-DCx2+ECx+FC，其中，AC、BC、CC、DC、EC均表示拟合系数，FC表示常数项，y表示常数项C变量；
步骤8：利用拟合系数A-量程拟合曲线函数、拟合系数B-量程拟合曲线函数以及常数项C-量程拟合曲线函数得到量程范围内任一量程所对应的拟合系数A、拟合系数B和常数项C；
步骤9：根据所述步骤8中量程范围内任一量程所对应的拟合系数A、拟合系数B和常数项和所述步骤6中差值-温度拟合曲线函数得到不同温度对应的差值数据；
步骤10：利用不同温度对应的差值数据对位移传感器工作在对应温度时的输出数据进行补偿。
进一步地，所述步骤1中，量程范围至少被等分为3份，即N≥3。
进一步地，所述位移传感器包括电位器式位移传感器、电感式位移传感器、电容式位移传感器以及电涡流式位移传感器。
进一步地，所述位移调整机构包括测试板、支撑座以及旋杆；所述测试板设于所述旋杆的一端且与所述位移传感器相对设置；所述旋杆的另一端设有外螺纹，所述支撑座上设有与所述外螺纹匹配的内螺纹；所述旋杆的另一端与所述支撑座螺纹连接。
进一步地，所述步骤3中，输出数据的采集频率为每升高1℃至少采集一次。
本发明还提供一种位移传感器温漂修正装置，包括：
获取单元，用于在升温过程中获取位移传感器不同量程对应的输出数据；
存储器，用于存储计算机程序；
处理器，用于执行所述计算机程序时实现如上所述位移传感器温漂修正方法的步骤4、步骤6～步骤9。
本发明还提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上所述位移传感器温漂修正方法的步骤4、步骤6～步骤9。
有益效果
与现有技术相比，本发明的优点在于：
本发明所提供的一种位移传感器温漂修正方法、装置及存储介质，在不改变位移传感器硬件结构的基础上，采用信号处理方式进行温漂修正，易于实现，成本低，不影响位移传感器的原工作特性，扩大了位移传感器的温度使用范围，实验证明，本发明在需要修正的温度范围内补偿效果好，实现温度影响的有效抑制。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一个实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例中测试平台连接示意图；
图2是本发明实施例中不同量程对应的差值-温度拟合曲线图；
图3是本发明实施例中拟合系数A/B/C-量程拟合曲线图。
其中，1-位移调整机构，11-支撑座，12-旋杆，13-测试板，2-位移传感器，3-恒温试验箱。
具体实施方式
下面结合本发明实施例中的附图，对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
下面以具体地实施例对本申请的技术方案进行详细说明。下面这几个具体的实施例可以相互结合，对于相同或相似的概念或过程可能在某些实施例不再赘述。
以HTMEL品牌的MR-II型位移传感器为例，其量程为0～1mm，确定量程最小值为0mm、量程的最大值为1mm，本发明实施例所提供的一种位移传感器温漂修正方法，包括以下步骤：
步骤1：确定位移传感器的量程范围及其需要修正的温度范围，并将量程范围等分为N份，得到N+1个量程。
本实施例中，MR-II型位移传感器的量程范围为0～1mm，需要修正的温度范围为10～70℃，将量程范围等分为5份，则第0个量程是指0mm，第1个量程是指0.2mm，第2个量程是指0.4mm，第3个量程是指0.6mm，第4个量程是指0.8mm，第5个量程是指1mm。本实施例中，N等于5，N越大，修正精度越高，数据量越大，计算越复杂，可以根据需要的修正精度确定N的值，在保证修正精度的同时减少数据量和计算量。
步骤2：将位移传感器2和位移调整机构1置于恒温试验箱3内，位移传感器2的输出端与数据采集单元连接，数据采集单元与信号处理单元连接；利用位移调整机构1调整位移传感器2的输出，使其输出值为第0个量程，即为量程最小值；设定恒温试验箱3的温度为需要修正的温度范围的最小值。
如图1所示，本实施例中，位移调整机构1包括测试板13、支撑座11以及旋杆12；测试板13设于旋杆12的一端且与位移传感器2相对设置；旋杆12的另一端设有外螺纹，支撑座11上设有与外螺纹匹配的内螺纹；旋杆12的另一端与支撑座11螺纹连接。转动旋杆12可以调节位移传感器2与测试板13之间的距离，从而调节位移传感器2的输出，使位移传感器2的输出值分别为0mm、0.2mm、0.4mm、0.6mm、0.8mm、1mm。恒温试验箱3的初始温度为需要修正的温度范围的最小值，即10℃。
步骤3：控制恒温试验箱的温度从需要修正的温度范围的最小值开始升温，升温至需要修正的温度范围的最大值(例如70℃)，在升温过程中连续采集位移传感器的输出数据。
本实施例中，输出数据的采集频率为每升高1℃至少采集一次，采集频率越高，数据量越大，修正精度越高，如表1所示每升高1℃采集一次位移传感器的输出数据，得到不同量程在不同温度时的输出数据。
表1不同量程不同温度时位移传感器的部分输出数据(AD值)
步骤4：确定输出数据的最大值和最小值，并计算输出数据的最大值和最小值的平均值。
当位移传感器的输出值为量程最小值(即0mm)时，对应的输出数据的最大值为Max0，最小值为Min0，最大值和最小值的平均值为Ave0＝(Max0+Min0)/2；本实施例中，Max0＝3549，Min0＝2265.2，Ave0＝2907.1(AD值)。
当位移传感器的输出值为第1个量程(即0.2mm)时，对应的输出数据的最大值为Max1，最小值为Min1，最大值和最小值的平均值为Ave1＝(Max1+Min1)/2；本实施例中，Max1＝15158.6，Min1＝13332.2，Ave1＝14245.4(AD值)。
当位移传感器的输出值为第2个量程(即0.4mm)时，对应的输出数据的最大值为Max2，最小值为Min2，最大值和最小值的平均值为Ave2＝(Max2+Min2)/2；本实施例中，Max2＝25749.2，Min2＝23240.2，Ave2＝24494.7(AD值)。
当位移传感器的输出值为第3个量程(即0.6mm)时，对应的输出数据的最大值为Max3，最小值为Min3，最大值和最小值的平均值为Ave3＝(Max3+Min3)/2；本实施例中，Max3＝37828.4，Min3＝34464.2，Ave3＝36146.3(AD值)。
当位移传感器的输出值为第4个量程(即0.8mm)时，对应的输出数据的最大值为Max4，最小值为Min4，最大值和最小值的平均值为Ave4＝(Max4+Min4)/2；本实施例中，Max4＝47985.4，Min4＝43431.4，Ave4＝45708.4(AD值)。
当位移传感器的输出值为第5个量程(即1mm)时，对应的输出数据的最大值为Max5，最小值为Min5，最大值和最小值的平均值为Ave5＝(Max5+Min5)/2；本实施例中，Max5＝61820.8，Min5＝55372.2，Ave5＝58596.5(AD值)。
步骤5：将位移传感器的量程分别调整至第1～N个量程，重复步骤2～4，分别得到第1～N个量程对应的输出数据的最大值、最小值和平均值。
步骤6：将每个量程的输出数据减去其平均值，得到一组差值数据。
本实施例中，当位移传感器的输出值为量程最小值(即0mm)时，每个输出数据减去对应的平均值Ave0，得到一组差值数据；
当位移传感器的输出值为第1个量程(即0.2mm)时，每个输出数据减去对应的平均值Ave1，得到一组差值数据；
当位移传感器的输出值为第2个量程(即0.4mm)时，每个输出数据减去对应的平均值Ave2，得到一组差值数据；
当位移传感器的输出值为第3个量程(即0.6mm)时，每个输出数据减去对应的平均值Ave3，得到一组差值数据；
当位移传感器的输出值为第4个量程(即0.8mm)时，每个输出数据减去对应的平均值Ave4，得到一组差值数据；
当位移传感器的输出值为第5个量程(即1mm)时，每个输出数据减去对应的平均值Ave5，得到一组差值数据。具体差值数据如表2所示。
表2不同量程不同温度时位移传感器的部分差值数据
根据差值数据及其对应的温度构建二次拟合曲线，得到每个量程对应的差值-温度拟合曲线函数y＝Aix2-Bix+Ci，其中，Ai、Bi均表示第i个量程对应的差值-温度拟合曲线的拟合系数，Ci表示第i个量程对应的差值-温度拟合曲线的常数项，i＝0,1,2,…,N，y表示差值数据变量，x表示温度变量。
本实施例中，根据表2的差值数据和对应的温度得到不同量程的差值-温度拟合曲线，如图2所示。图2中，系列1表示第0个量程的差值-温度拟合曲线，第0个量程的差值-温度拟合曲线函数为y＝0.1829x2-37.618x+1086.2；系列2表示第1个量程的差值-温度拟合曲线，第1个量程的差值-温度拟合曲线函数为y＝0.2399x2-51.678x+1538.4；系列3表示第2个量程的差值-温度拟合曲线，第2个量程的差值-温度拟合曲线函数为y＝0.2122x2-60.645x+1977.9；系列4表示第3个量程的差值-温度拟合曲线，第3个量程的差值-温度拟合曲线函数为y＝0.2762x2-80.426x+2655；系列5表示第4个量程的差值-温度拟合曲线，第4个量程的差值-温度拟合曲线函数为y＝0.2827x2-100.7x+3479.9；系列6表示第5个量程的差值-温度拟合曲线，第5个量程的差值-温度拟合曲线函数为y＝0.35x2-139.41x+4923.1。R2表示拟合优度，R的取值范围是[0，1]，R的值越接近1，说明回归直线对观测值的拟合程度越好；反之，R的值越接近0，说明回归直线对观测值的拟合程度越差，由图2中的R2值可知各差值-温度拟合曲线函数的拟合程度非常好。
步骤7：根据N+1个量程及其对应的拟合系数Ai构建五次拟合曲线，得到拟合系数A-量程拟合曲线函数y＝AAx5-BAx4+CAx3-DAx2+EAx+FA，其中，AA、BA、CA、DA、EA均表示拟合系数，FA表示常数项，y表示拟合系数A变量，x表示量程变量。
根据N+1个量程及其对应的拟合系数Bi构建五次拟合曲线，得到拟合系数B-量程拟合曲线函数y＝ABx5-BBx4+CBx3-DBx2+EBx+FB，其中，AB、BB、CB、DB、EB均表示拟合系数，FB表示常数项，yB表示拟合系数B变量。
根据N+1个量程及其对应的常数项Ci构建五次拟合曲线，得到常数项C-量程拟合曲线函数y＝ACx5-BCx4+CCx3-DCx2+ECx+FC，其中，AC、BC、CC、DC、EC均表示拟合系数，FC表示常数项，y表示常数项C变量。
对于拟合系数A-量程拟合曲线，利用(0.1829，0mm)、(0.2399，0.2mm)、(0.2122，0.4mm)、(0.2762，0.6mm)、(0.2827，0.8mm)、(0.35，1mm)六组数据进行五次拟合曲线，得到拟合系数A-量程拟合曲线函数y＝12.666x5-34.776x4+34.028x3-14.007x2+2.2213x+0.1451；对拟合系数B-量程拟合曲线，利用(37.618，0mm)、(51.678，0.2mm)、(60.645，0.4mm)、(80.426，0.6mm)、(100.7，0.8mm)、(139.41，1mm)六组数据进行五次拟合曲线，得到拟合系数B-量程拟合曲线函数y＝590.88x5-1682.1x4+1760.9x3-752.09x2+173.08x+34.556；对于常数项C--量程拟合曲线，利用(1086.2，0mm)、(1538.4，0.2mm)、(1977.9，0.4mm)、(2655，0.6mm)、(3479.9，0.8mm)、(4923.1，1mm)六组数据进行五次拟合曲线，得到常数项C-量程拟合曲线函数y＝-4524.5x5+10003x4-5150.9x3+1074.7x2+2055.1x+1046.3；具体拟合曲线如图3所示。
步骤8：利用拟合系数A-量程拟合曲线函数、拟合系数B-量程拟合曲线函数以及常数项C-量程拟合曲线函数得到量程范围内任一量程所对应的拟合系数A、拟合系数B和常数项C。
示例性的，位移传感器的输出值为0.3mm，将输出值0.3mm代入到拟合系数A-量程拟合曲线函数、拟合系数B-量程拟合曲线函数以及常数项C-量程拟合曲线函数可以计算出拟合系数A、拟合系数B和常数项C，再将计算出的拟合系数A、拟合系数B、常数项C以及位移传感器的输出值为0.3mm时的工作温度代入至差值-温度拟合曲线函数中，即可得到差值，该差值即为位移传感器输出值的补偿值。
步骤9：根据步骤9中量程范围内任一量程所对应的拟合系数A、拟合系数B和常数项和步骤6中差值-温度拟合曲线函数得到不同温度对应的差值数据。
步骤10：利用不同温度对应的差值数据对位移传感器工作在对应温度时的输出数据进行补偿。
本发明实施例还提出了一种位移传感器温漂修正装置，包括获取单元、存储器、处理器以及存储在存储器中并可在处理器上运行的计算机程序，获取单元用于在升温过程中获取位移传感器不同量程对应的输出数据，所述处理器执行所述计算机程序时实现如上所述位移传感器温漂修正方法的步骤4、步骤6～步骤9。
所述位移传感器温漂修正装置可以是桌上型计算机、笔记本、掌上电脑及云端服务器等计算设备。所述设备可包括但不仅限于，获取单元、处理器、存储器。本领域技术人员可以理解，位移传感器温漂修正装置仅仅是示例，并不构成限定，可以包括比装置更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者不同的部件，例如所述装置还可以包括输入输出设备、网络接入设备、总线等。
所称处理器可以是中央处理单元(Central Processing Unit，CPU)，还可以是其他通用处理器、数字信号处理器(Digital Signal Processor，DSP)、专用集成电路(Application Specific Integrated Circuit，ASIC)、现成可编程门阵列(Field-Programmable Gate Array，FPGA)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。
所述存储器可用于存储所述计算机程序和/或模块，所述处理器通过运行或执行存储在所述存储器内的计算机程序和/或模块，以及调用存储在存储器内的数据，实现所述位移传感器温漂修正装置的各种功能。所述存储器可主要包括存储程序区和存储数据区，其中，存储程序区可存储操作系统、至少一个功能所需的应用程序(比如声音播放功能、图像播放功能等)等；存储数据区可存储根据计算机的使用所创建的数据(比如音频数据、电话本等)等。此外，存储器可以包括高速随机存取存储器，还可以包括非易失性存储器，例如单片机Flash、硬盘、内存、插接式硬盘，智能存储卡(Smart Media Card，SMC)，安全数字(Secure Digital，SD)卡，闪存卡(Flash Card)、至少一个磁盘存储器件、闪存器件、或其他易失性固态存储器件。
所述计算机程序被处理器执行时实现所述位移传感器温漂修正方法的步骤4、步骤6～步骤9。
所述位移传感器温漂修正装置集成的模块/单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明实现上述实施例方法中的全部或部分流程，也可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一计算机可读存储介质中，该计算机程序在被处理器执行时，可实现上述各方法实施例的步骤4、步骤6～步骤9。其中，所述计算机程序包括计算机程序代码，所述计算机程序代码可以为源代码形式、对象代码形式、可执行文件或某些中间形式等。所述计算机可读介质可以包括：能够携带所述计算机程序代码的任何实体或装置、记录介质、U盘、移动硬盘、磁碟、光盘、计算机存储器、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、电载波信号、电信信号以及软件分发介质等。需要说明的是，所述计算机可读介质包含的内容可以根据司法管辖区内立法和专利实践的要求进行适当的增减，例如在某些司法管辖区，根据立法和专利实践，计算机可读介质不包括电载波信号和电信信号。
以上所揭露的仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或变型，都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种位移传感器温漂修正方法，其特征在于，包括以下步骤：
步骤1：确定位移传感器的量程范围及其需要修正的温度范围，并将所述量程范围等分为N份，得到N+1个量程，其中第0个量程是指量程最小值，第N个量程是指量程最大值，第1～N-1个量程是指量程最小值与量程最大值之间的量程；
步骤2：将所述位移传感器和位移调整机构置于恒温试验箱内，所述位移传感器的输出端与数据采集单元连接，所述数据采集单元与信号处理单元连接；利用所述位移调整机构调整所述位移传感器的输出，使其输出值为第0个量程；设定恒温试验箱的温度为所述需要修正的温度范围的最小值；
步骤3：控制所述恒温试验箱的温度从所述需要修正的温度范围的最小值开始升温，升温至所述需要修正的温度范围的最大值，在升温过程中连续采集所述位移传感器的输出数据；
步骤4：确定所述输出数据的最大值和最小值，并计算所述输出数据的最大值和最小值的平均值；
步骤5：利用所述位移调整机构调整所述位移传感器的输出，使其输出值分别为第1～N个量程，重复步骤3和4，分别得到第1～N个量程对应的输出数据的最大值、最小值和平均值；
步骤6：将每个量程的输出数据减去其平均值，得到一组差值数据，根据所述差值数据及其对应的温度构建二次拟合曲线，得到每个量程对应的差值-温度拟合曲线函数y＝Aix2-Bix+Ci，其中，Ai、Bi均表示第i个量程对应的差值-温度拟合曲线的拟合系数，Ci表示第i个量程对应的差值-温度拟合曲线的常数项，i＝0,1,2,…,N，y表示差值数据变量，x表示温度变量；
步骤7：根据N+1个量程及其对应的拟合系数Ai构建五次拟合曲线，得到拟合系数A-量程拟合曲线函数y＝AAx5-BAx4+CAx3-DAx2+EAx+FA，其中，AA、BA、CA、DA、EA均表示拟合系数，FA表示常数项，y表示拟合系数A变量，x表示量程变量；
根据N+1个量程及其对应的拟合系数Bi构建五次拟合曲线，得到拟合系数B-量程拟合曲线函数y＝ABx5-BBx4+CBx3-DBx2+EBx+FB，其中，AB、BB、CB、DB、EB均表示拟合系数，FB表示常数项，y表示拟合系数B变量；
根据N+1个量程及其对应的常数项Ci构建五次拟合曲线，得到常数项C-量程拟合曲线函数y＝ACx5-BCx4+CCx3-DCx2+ECx+FC，其中，AC、BC、CC、DC、EC均表示拟合系数，FC表示常数项，y表示常数项C变量；
步骤8：利用拟合系数A-量程拟合曲线函数、拟合系数B-量程拟合曲线函数以及常数项C-量程拟合曲线函数得到量程范围内任一量程所对应的拟合系数A、拟合系数B和常数项C；
步骤9：根据所述步骤8中量程范围内任一量程所对应的拟合系数A、拟合系数B和常数项和所述步骤6中差值-温度拟合曲线函数得到不同温度对应的差值数据；
步骤10：利用不同温度对应的差值数据对位移传感器工作在对应温度时的输出数据进行补偿。
2.如权利要求1所述的位移传感器温漂修正方法，其特征在于，所述步骤1中，量程范围至少被等分为3份，即N≥3。
3.如权利要求1所述的位移传感器温漂修正方法，其特征在于，所述位移传感器包括电位器式位移传感器、电感式位移传感器、电容式位移传感器以及电涡流式位移传感器。
4.如权利要求1～3中任一项所述的位移传感器温漂修正方法，其特征在于，所述位移调整机构包括测试板、支撑座以及旋杆；所述测试板设于所述旋杆的一端且与所述位移传感器相对设置；所述旋杆的另一端设有外螺纹，所述支撑座上设有与所述外螺纹匹配的内螺纹；所述旋杆的另一端与所述支撑座螺纹连接。
5.如权利要求1所述的位移传感器温漂修正方法，其特征在于，所述步骤3中，输出数据的采集频率为每升高1℃至少采集一次。
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