CN114441856A - 阻抗检测方法、阻抗检测器及系统 - Google Patents

阻抗检测方法、阻抗检测器及系统 Download PDF

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CN114441856A
CN114441856A CN202111615651.8A CN202111615651A CN114441856A CN 114441856 A CN114441856 A CN 114441856A CN 202111615651 A CN202111615651 A CN 202111615651A CN 114441856 A CN114441856 A CN 114441856A
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China
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current
impedance
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林伟群
乐卫平
张桂东
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Shenzhen CSL Vacuum Science and Technology Co Ltd
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Shenzhen CSL Vacuum Science and Technology Co Ltd
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Abstract

本发明涉及一种阻抗检测方法、阻抗检测器及系统,所述阻抗检测方法中,通过获取待检测电路的电信号数据;对电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据;根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据,从而实现对待检测电路的阻抗检测。通过对阻抗处理算法的改进,提高了计算精度,降低了计算量,进而提高了计算效率,同时无需采用传统的成高且体积大的硬件电路,进而能够缩小阻抗检测器的体积,在适用于射频电源应用场合的同时,能更方便的携带测量。

Description

阻抗检测方法、阻抗检测器及系统
技术领域
本发明涉及阻抗检测技术领域,特别是涉及一种阻抗检测方法、阻抗检测器及系统。
背景技术
阻抗测量技术是电子测量技术的重要组成部分,具有无创、使用简单、复杂性低等特点,广泛应用于生物医学、电化学、工控、电网控制等领域,可以满足各种参数的测量需求。目前可应用于射频电源领域的阻抗检测器主要有三种:LCR测量仪、阻抗分析仪、网络分析仪。
在实现过程中,发明人发现传统技术中至少存在如下问题:现有的阻抗检测器存在体积较大,重量较重,仅适用于实验室,无法便捷式携带等问题。另外,传统的便携式阻抗检测器仅仅只是通过电压电流的比值来计算阻抗,计算精度低,计算量大,速度慢,无法跟上射频的速度,并不适用于射频电源领域。
发明内容
基于此,有必要针对传统的阻抗检测器存在体积较大,重量较重,仅适用于实验室,无法便捷式携带等问题。另外,传统的便携式阻抗检测器仅仅只是通过电压电流的比值来计算阻抗,计算精度低,计算量大,速度慢,无法跟上射频的速度,并不适用于射频电源领域的问题,提供一种阻抗检测方法、阻抗检测器及系统。
第一方面,本申请提供一种阻抗检测方法,包括:
获取待检测电路的电信号数据;
对电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据;
根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据。
可选的,电信号数据包括电压信号数据和电流信号数据;
对电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据的步骤包括:
对电压信号数据和电流信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据。
可选的,根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据的步骤包括:
将电压实部数据与电流实部数据进行相乘处理,得到第一中间数值;将电压虚部数据与电流虚部数据进行相乘处理,得到第二中间数值;
将第一中间数值与第二中间数值进行和值处理,得到第一和值;
将电压实部数据与电流实部数据之间的差值进行平方处理,得到第一平方值;将电压虚部数据与电流虚部数据之间的差值进行平方处理,得到第二平方值;
将第一平方值与第二平方值进行和值处理,得到第二和值;
第一和值与第二和值进行比值处理,得到负载电阻值。
可选的,根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据的步骤还包括:
将电压虚部数据与电流实部数据进行相乘处理,得到第三中间数值;将电压实部数据与电流虚部数据进行相乘处理,得到第四中间数值;
将第三中间数值与第四中间数值进行差值处理,得到第一差值;
将电压实部数据与电流实部数据之间的差值进行平方处理,得到第三平方值;将电压虚部数据与电流虚部数据之间的差值进行平方处理,得到第四平方值;
将第三平方值与第四平方值进行和值处理,得到第三和值;
第一差值与第三和值进行比值处理,得到负载电抗值。
可选的,第一差值与第三和值进行比值处理,得到负载电抗值的步骤之后包括:
根据负载电阻值和负载电抗值,得到负载阻抗数据。
第二方面,本申请提供一种阻抗检测器,包括:
传感器组件,传感器组件用于连接待测电路,传感器组件被配置为采集电信号数据;
处理器,处理器连接传感器组件,处理器用于执行上述任意一项的阻抗检测方法。
可选的,阻抗检测器还包括连接处理器的显示屏。
可选的,传感器组件包括电压传感器和电流传感器;
电压传感器连接处理器,电压传感器被配置为采集电压信号数据;
电流传感器连接处理器,电流传感器被配置为采集电流信号数据。
可选的,阻抗检测器还包括连接处理器的锂电池。
第三方面,本申请提供一种阻抗检测系统,包括射频电源、阻抗匹配箱、负载和如上述任意一项的阻抗检测器;
阻抗匹配箱的输入端连接射频电源,阻抗匹配箱的输出端连接负载;阻抗检测器连接阻抗匹配箱的输出端。
上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点和有益效果:
本申请各实施例提供的阻抗检测方法中,通过获取待检测电路的电信号数据;对电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据;根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据,从而实现对待检测电路的阻抗检测。本申请通过获取待检测电路的电信号数据,并对电信号数据进行校正,然后对校正后的数据进行阻抗计算处理,进而可得到相应的负载阻抗数据,通过对阻抗处理算法的改进,提高了计算精度,降低了计算量,进而提高了计算效率,同时无需采用传统的成高且体积大的硬件电路,进而能够缩小阻抗检测器的体积,在适用于射频电源应用场合的同时,能更方便的携带测量。
附图说明
通过附图中所示的本申请的优选实施例的更具体说明,本申请的上述及其它目的、特征和优势将变得更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分,且并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图,重点在于示出本申请的主旨。
图1为本申请实施例中阻抗检测方法的应用示意图。
图2为本申请实施例中阻抗检测方法的第一流程示意图。
图3为本申请实施例中阻抗检测方法的第二流程示意图。
图4为本申请实施例中阻抗检测方法的第三流程示意图。
图5为本申请实施例中阻抗检测器的电路示意图。
图6为本申请实施例中阻抗检测系统的电路示意图。
具体实施方式
为了便于理解本申请,下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的首选实施例。但是,本申请可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供这些实施例的目的是使对本申请的公开内容更加透彻全面。
需要说明的是,当一个元件被认为是“连接”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件并与之结合为一体,或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“设置”、“一端”、“另一端”以及类似的表述只是为了说明的目的。
除非另有定义,本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的,不是旨在于限制本申请。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
本申请提供的阻抗检测方法,可以应用于如图1所示的应用环境中。其中,待检测电路包括射频电源、阻抗匹配箱和负载。阻抗检测器连接在阻抗匹配箱与负载之间,射频电源连接阻抗匹配箱的第一端,负载连接阻抗匹配箱的第二端。阻抗检测器10包括传感器组件102和处理器104,传感器组件102连接在阻抗匹配箱与负载之间,处理器104连接传感器组件102。传感器组件102用于检测连接处的电信号,得到相应的电信号数据,并检测采集到的电信号数据传输给处理器104。处理器104可获取待检测电路的电信号数据;对电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据;根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据。其中,处理器104可以但不限于是单片机、ARM或FPGA。另外,处理器104还可以是单片机、ARM或FPGA之间的组合。
在一个实施例中,如图2所示,提供了一种阻抗检测方法,以该方法应用于图1中的处理器104为例进行说明,包括:
步骤S210,获取待检测电路的电信号数据。
其中,待检测电路可以是对应射频电源的电路。例如待检测电路包括射频电路、阻抗匹配箱和负载,射频电源连接阻抗匹配箱的第一端,阻抗匹配箱的第二端连接负载,可在阻抗匹配箱与负载之间的连接处选取检测点。电信号数据可通过传感器组件进行检测得到,进而处理器可获取传感器组件传输的待检测电路的电信号数据。示例性的,电信号数据可包括电压信号数据和电流信号数据。
在一个示例中,可通过一导线将传感器组件连接在处理器可将阻抗匹配箱与负载之间选取的检测点,并通过另一导线将传感器组件与处理器建立连接,进而传感器组件可检测待检测电路的电信号,得到电信号数据,并将电信号数据传输给待处理器,进而处理器获取得到待检测电路的电信号数据。
步骤S220,对电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据。
处理器可对获取到的电信号数据进行校正处理,将电信号数据进行校正到预设大小的电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据。
示例性的,电信号数据可以是对应交流信号的信号数据。电信号数据可包括电压信号数据和电流信号数据。处理器可对电压信号数据进行校正处理,进而得到对应电压信号数据的电压实部数据和电压虚部数据。处理器还可对电流信号数据进行校正处理,进而得到对应电流信号数据的电流实部数据和电流虚部数据。
步骤S230,根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据。
处理器可基于阻抗算法,对电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据进行处理,进而得到负载阻抗数据。
示例性的,可基于阻抗算法,预先建立阻抗处理模型,处理器可将电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据输入至阻抗处理模型进行处理,进而输出得到负载阻抗数据,从而实现对待检测电路的阻抗检测。
上述实施例中,通过获取待检测电路的电信号数据;对电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据;根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据,从而实现对待检测电路的阻抗检测。通过获取待检测电路的电信号数据,并对电信号数据进行校正,然后对校正后的数据进行阻抗计算处理,进而可得到相应的负载阻抗数据,通过对阻抗处理算法的改进,提高了计算精度,降低了计算量,进而提高了计算效率,同时无需采用传统的成高且体积大的硬件电路,进而能够缩小阻抗检测器的体积,在适用于射频电源应用场合的同时,能更方便的携带测量。
在一个示例中,电信号数据包括电压信号数据和电流信号数据;对电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据的步骤包括:
对电压信号数据和电流信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据。
电信号数据可以是对应交流信号的信号数据,进而电压信号数据为对应交流电压信号的信号数据;电流信号数据为对应交流电流信号的信号数据。处理器可对电信号数据进行识别处理,进而可得到电压信号数据和电流信号数据。处理器可对电压信号数据进行校正处理,进而得到对应电压信号数据的电压实部数据和电压虚部数据。处理器还可对电流信号数据进行校正处理,进而得到对应电流信号数据的电流实部数据和电流虚部数据。
在一个示例中,如图3所示,根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据的步骤包括:
步骤S310,将电压实部数据与电流实部数据进行相乘处理,得到第一中间数值;将电压虚部数据与电流虚部数据进行相乘处理,得到第二中间数值。
步骤S320,将第一中间数值与第二中间数值进行和值处理,得到第一和值。
步骤S330,将电压实部数据与电流实部数据之间的差值进行平方处理,得到第一平方值;将电压虚部数据与电流虚部数据之间的差值进行平方处理,得到第二平方值。
步骤S340,将第一平方值与第二平方值进行和值处理,得到第二和值。
步骤S350,第一和值与第二和值进行比值处理,得到负载电阻值。
其中,处理器可预先建立乘法模块、差值模块、平方处理模块、和值模块和比值模块。处理器可基于乘法模块将电压实部数据与电流实部数据进行相乘处理,进而得到第一中间数值,还可将电压虚部数据与电流虚部数据进行相乘处理,得到第二中间数值。处理器基于和值模块,将第一中间数值与第二中间数值进行和值处理,得到第一和值。处理器可基于差值模块对电压实部数据与电流实部数据之间进行差值处理,以及对电压虚部数据与电流虚部数据之间进行差值处理。处理器可基于平方处理模块,对电压实部数据与电流实部数据之间的差值进行平方处理,得到第一平方值;以及对电压虚部数据与电流虚部数据之间的差值进行平方处理,得到第二平方值。处理器可基于和值模块,对第一平方值与第二平方值进行和值处理,得到第二和值,进而处理器可基于比值处理模块,将第一和值与第二和值进行比值处理,得到负载电阻值,实现对待检测电路的电阻数据检测。
示例性的,可基于阻抗算法,预先建立阻抗模型。其中阻抗模型包括电阻处理模型和电抗处理模型。处理器可将电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据输入电阻处理模型进行处理,进而输出得到相应的负载电阻值。
在一个示例中,电阻处理模型可通过以下函数得到:
R=(VQ*IQ+VI*II)/((VQ-IQ)2+(VI-II)2)。
其中,R为负载电阻值,VQ为电压实部数据,VI为电压虚部数据、IQ为电流实部数据,II为电流虚部数据。
在一个示例中,如图4所示,根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据的步骤还包括:
步骤S410,将电压虚部数据与电流实部数据进行相乘处理,得到第三中间数值;将电压实部数据与电流虚部数据进行相乘处理,得到第四中间数值。
步骤S420,将第三中间数值与第四中间数值进行差值处理,得到第一差值。
步骤S430,将电压实部数据与电流实部数据之间的差值进行平方处理,得到第三平方值;将电压虚部数据与电流虚部数据之间的差值进行平方处理,得到第四平方值。
步骤S440,将第三平方值与第四平方值进行和值处理,得到第三和值。
步骤S450,第一差值与第三和值进行比值处理,得到负载电抗值。
其中,处理器可预先建立乘法模块、差值模块、平方处理模块、和值模块和比值模块。处理器可基于乘法模块将电压虚部数据与电流实部数据进行相乘处理,进而得到第三中间数值,还可将电压实部数据与电流虚部数据进行相乘处理,得到第四中间数值。处理器基于差值模块,将第三中间数值与第四中间数值进行差值处理,得到第一差值。处理器可基于差值模块对电压实部数据与电流实部数据之间进行差值处理,以及对电压虚部数据与电流虚部数据之间进行差值处理。处理器可基于平方处理模块,对电压实部数据与电流实部数据之间的差值进行平方处理,得到第三平方值;以及对电压虚部数据与电流虚部数据之间的差值进行平方处理,得到第四平方值。处理器可基于和值模块,对第三平方值与第四平方值进行和值处理,得到第三和值,进而处理器可基于比值处理模块,对第一差值与第三和值进行比值处理,得到负载电抗值,实现对待检测电路的电抗数据检测。
示例性的,可基于阻抗算法,预先建立阻抗模型。其中阻抗模型包括电阻处理模型和电抗处理模型。处理器可将电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据输入电抗处理模型进行处理,进而输出得到相应的负载电抗值。
在一个示例中,电抗处理模型可通过以下函数得到:
X=(VI*IQ-VQ*II)/((VQ-IQ)2+(VI-II)2)。
其中,X为负载电抗值,VQ为电压实部数据,VI为电压虚部数据、IQ为电流实部数据,II为电流虚部数据。
在一个示例中,第一差值与第三和值进行比值处理,得到负载电抗值的步骤之后包括:
根据负载电阻值和负载电抗值,得到负载阻抗数据。
其中,处理器可基于阻抗模型,将负载电阻值和负载电抗值输入阻抗模型进行处理,进而输出得到负载阻抗数据。
示例性的,阻抗模型可通过以下函数得到;
Z=R+jX
其中,Z为负载阻抗数据,R为负载电阻数据,X为负载电抗数据。
在一个示例中,设定待检测电路的原始电压为V,原始电流为I,处理器获取到的待检测电路的电压信号数据为Vx,电流信号数据为Ix,则
Figure RE-GDA0003539377880000081
Figure RE-GDA0003539377880000082
处理器对电信号数据进行校正处理,得到的电压实部数据为VQ、电压虚部数据VI、电流实部数据IQ、电流虚部数据II;其中
Figure RE-GDA0003539377880000083
Figure RE-GDA0003539377880000084
上述实施例中,通过获取待检测电路的电信号数据,并对电信号数据进行校正,然后对校正后的数据进行阻抗计算处理,进而可得到相应的负载阻抗数据,通过对阻抗处理算法的改进,提高了计算精度,降低了计算量,进而提高了计算效率,同时无需采用传统的成高且体积大的硬件电路,进而能够缩小阻抗检测器的体积,在适用于射频电源应用场合的同时,能更方便的携带测量。
应该理解的是,虽然图2-4的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示,但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明,这些步骤的执行并没有严格的顺序限制,这些步骤可以以其它的顺序执行。而且,图2-4中的至少一部分步骤可以包括多个子步骤或者多个阶段,这些子步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成,而是可以在不同的时刻执行,这些子步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行,而是可以与其它步骤或者其它步骤的子步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。
在一个实施例中,提供一种阻抗检测装置,包括:
数据获取单元,用于获取待检测电路的电信号数据。
数据校正单元,用于对电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据。
阻抗处理单元,用于根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据。
关于阻抗检测装置的具体限定可以参见上文中对于阻抗检测方法的限定,在此不再赘述。上述阻抗检测装置中的各个模块可全部或部分通过软件、硬件及其组合来实现。上述各模块可以硬件形式内嵌于或独立于阻抗检测器中的处理器中,也可以以软件形式存储于阻抗检测器中的存储器中,以便于处理器调用执行以上各个模块对应的操作。
在一个实施例中,如图5所示,提供一种阻抗检测器,包括传感器组件510 和处理器520。传感器组件510用于连接待测电路,传感器组件510被配置为采集电信号数据;处理器520连接传感器组件510,处理器520用于执行上述任意一项的阻抗检测方法。
其中,处理器可用来进行数据处理及数据传输等。处理器可以但不限于是单片机、ARM或FPGA。另外,处理器还可以是单片机、ARM或FPGA之间的组合。传感器组件可用来检测待检测电路的电信号数据。基于传感器组件连接待测电路,处理器连接传感器组件,进而传感器组件可采集电信号数据。
示例性的,传感器组件510包括电压传感器512和电流传感器514;电压传感器512连接处理器520,电压传感器512被配置为采集电压信号数据;电流传感器514连接处理器520,电流传感器514被配置为采集电流信号数据。
处理器可用于执行以下阻抗检测方法的步骤:
获取待检测电路的电信号数据;对电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据;根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据。
上述实施例中,传感器组件采集待检测电路的电信号数据,并将采集到的电信号数据传输给处理器,进而处理器获取待检测电路的电信号数据,并对电信号数据进行校正,然后对校正后的数据进行阻抗计算处理,进而可得到相应的负载阻抗数据,通过对阻抗处理算法的改进,提高了计算精度,降低了计算量,进而提高了计算效率,同时无需采用传统的成高且体积大的硬件电路,进而能够缩小阻抗检测器的体积,在适用于射频电源应用场合的同时,能更方便的携带测量。
在一个示例中,阻抗检测器还包括连接处理器520的显示屏530。
其中,显示屏530可以但不限于是LCD显示屏或LED显示屏。
处理器520可将处理得当的负载阻抗数据传输至显示屏530,通过显示屏 530对负载阻抗数据进行实时显示,便于用户实时观察对待测检测电路的阻抗检测情况。
在一个示例中,阻抗检测器还包括连接处理器520的锂电池540。
其中锂电池540可拆卸设置在阻抗检测器内,基于锂电池540连接处理器 520,进而可向处理器520提供电源,从而方便携带测试。
在一个实施例中,如图6所示,提供一种阻抗检测系统,包括射频电源20、阻抗匹配箱30、负载40和如上述任意一项的阻抗检测器10;阻抗匹配箱30的输入端连接射频电源20,阻抗匹配箱30的输出端连接负载40;阻抗检测器10 连接阻抗匹配箱30的输出端。
其中,阻抗匹配箱30可用来对射频电源20输出的电信号进行阻抗匹配。基于阻抗匹配箱30的输入端连接射频电源20,阻抗匹配箱30的输出端连接负载40;阻抗检测器10连接阻抗匹配箱30的输出端,阻抗检测器10的传感器组件102可实时采集阻抗匹配箱30与负载40之间的连接处的电信号数据,并将检测到的电信号数据传输给处理器104。进而获取传感器组件102传输的电信号数据;对电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据;根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据,从而实现对待检测电路的阻抗检测。本申请通过获取射频电源相应检测点的电信号数据,并对电信号数据进行校正,然后对校正后的数据进行阻抗计算处理,进而可得到相应的负载阻抗数据,通过对阻抗处理算法的改进,提高了计算精度,降低了计算量,进而提高了计算效率,同时无需采用传统的成高且体积大的硬件电路,进而能够缩小阻抗检测器的体积,在适用于射频电源应用场合的同时,能更方便的携带测量。
在一个实施例中,提供了一种计算机可读存储介质,计算机可读存储介质上存储有计算机程序,计算机程序被处理器执行时实现以下步骤:
获取待检测电路的电信号数据;对电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据;根据电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据,得到负载阻抗数据。
本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程,是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成,所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中,该计算机程序在执行时,可包括如上述各方法的实施例的流程。其中,本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用,均可包括非易失性和/或易失性存储器。非易失性存储器可包括只读存储器(ROM)、可编程ROM(PROM)、电可编程 ROM(EPROM)、电可擦除可编程ROM(EEPROM)或闪存。易失性存储器可包括随机存取存储器(RAM)或者外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限, RAM以多种形式可得,诸如静态RAM(SRAM)、动态RAM(DRAM)、同步 DRAM(SDRAM)、双数据率SDRAM(DDRSDRAM)、增强型SDRAM (ESDRAM)、同步链路(Synchlink)DRAM(SLDRAM)、存储器总线(Rambus) 直接RAM(RDRAM)、直接存储器总线动态RAM(DRDRAM)、以及存储器总线动态RAM(RDRAM)等。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本申请构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本申请的保护范围。因此,本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种阻抗检测方法,其特征在于,包括:
获取待检测电路的电信号数据;
对所述电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据;
根据所述电压实部数据、所述电压虚部数据、所述电流实部数据和所述电流虚部数据,得到负载阻抗数据。
2.根据权利要求1所述的阻抗检测方法,其特征在于,所述电信号数据包括电压信号数据和电流信号数据;
所述对所述电信号数据进行校正处理,得到电压实部数据、电压虚部数据、电流实部数据和电流虚部数据的步骤包括:
对所述电压信号数据和所述电流信号数据进行校正处理,得到所述电压实部数据、所述电压虚部数据、所述电流实部数据和所述电流虚部数据。
3.根据权利要求1所述的阻抗检测方法,其特征在于,所述根据所述电压实部数据、所述电压虚部数据、所述电流实部数据和所述电流虚部数据,得到负载阻抗数据的步骤包括:
将所述电压实部数据与所述电流实部数据进行相乘处理,得到第一中间数值;将所述电压虚部数据与所述电流虚部数据进行相乘处理,得到第二中间数值;
将所述第一中间数值与所述第二中间数值进行和值处理,得到第一和值;
将所述电压实部数据与所述电流实部数据之间的差值进行平方处理,得到第一平方值;将所述电压虚部数据与所述电流虚部数据之间的差值进行平方处理,得到第二平方值;
将所述第一平方值与所述第二平方值进行和值处理,得到第二和值;
所述第一和值与所述第二和值进行比值处理,得到负载电阻值。
4.根据权利要求3所述的阻抗检测方法,其特征在于,所述根据所述电压实部数据、所述电压虚部数据、所述电流实部数据和所述电流虚部数据,得到负载阻抗数据的步骤还包括:
将所述电压虚部数据与所述电流实部数据进行相乘处理,得到第三中间数值;将所述电压实部数据与所述电流虚部数据进行相乘处理,得到第四中间数值;
将所述第三中间数值与所述第四中间数值进行差值处理,得到第一差值;
将所述电压实部数据与所述电流实部数据之间的差值进行平方处理,得到第三平方值;将所述电压虚部数据与所述电流虚部数据之间的差值进行平方处理,得到第四平方值;
将所述第三平方值与所述第四平方值进行和值处理,得到第三和值;
所述第一差值与所述第三和值进行比值处理,得到负载电抗值。
5.根据权利要求4所述的阻抗检测方法,其特征在于,所述的所述第一差值与所述第三和值进行比值处理,得到负载电抗值的步骤之后包括:
根据所述负载电阻值和所述负载电抗值,得到所述负载阻抗数据。
6.一种阻抗检测器,其特征在于,包括:
传感器组件,所述传感器组件用于连接待测电路,所述传感器组件被配置为采集电信号数据;
处理器,所述处理器连接所述传感器组件,所述处理器用于执行权利要求1至5任意一项所述的阻抗检测方法。
7.根据权利要求6所述的阻抗检测器,其特征在于,还包括连接所述处理器的显示屏。
8.根据权利要求6所述的阻抗检测器,其特征在于,所述传感器组件包括电压传感器和电流传感器;
所述电压传感器连接所述处理器,所述电压传感器被配置为采集电压信号数据;
所述电流传感器连接所述处理器,所述电流传感器被配置为采集电流信号数据。
9.根据权利要求6所述的阻抗检测器,其特征在于,还包括连接所述处理器的锂电池。
10.一种阻抗检测系统,其特征在于,包括射频电源、阻抗匹配箱、负载和如权利要求6至9任意一项所述的阻抗检测器;
所述阻抗匹配箱的输入端连接所述射频电源,所述阻抗匹配箱的输出端连接所述负载;所述阻抗检测器连接所述阻抗匹配箱的输出端。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN117452073A (zh) * 2023-12-25 2024-01-26 深圳市瀚强科技股份有限公司 负载阻抗的检测方法及装置
CN117929854A (zh) * 2024-03-22 2024-04-26 深圳市瀚强科技股份有限公司 负载阻抗检测电路以及射频电源设备

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