CN114440775A - 特征尺寸的偏移误差计算方法及装置、存储介质、终端 - Google Patents
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Abstract
一种特征尺寸的偏移误差计算方法及装置、存储介质、方法包括：获取待测量版图中的待测量位置点，并基于待测量位置点的位置确定多个起始位置点；计算每一个起始位置点的特征尺寸，并基于特征尺寸的值确定第一起始点和第二起始点；以第一起始点和第一迭代准则进行迭代，获得第一目标位置点；以第二起始点和第二迭代准则进行迭代，获得第二目标位置点；基于第一目标位置点的特征尺寸和第二目标位置点的特征尺寸计算待测量版图的偏移误差。通过本发明技术方案能够提升偏移误差计算的效率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种特征尺寸的偏移误差计算方法及装置、存储介质、终端。
背景技术
在光学邻近校正(Optical Proximity Correction,OPC)的计算过程中，信号的采样是离散的，采样点之间的信号需要通过插值算法来得到，因此多边形边(polygon edge)的信号值大多数时候都是插值计算的结果。其中，采样点是指仿真计算特征尺寸(criticalDimension,CD)所使用的矩形框位置，具体可以采用矩形框中心点位置来表示；采样点的特征尺寸是指采用仿真矩形框计算出来的线段(gauge)长度。各个采样点处特征尺寸变化的范围，称之为偏移误差(shift variance)。偏移误差是评判模型(model)的稳定性和OPC结果一致性的重要指标之一。
对于单个的多边形，现有技术是对阵列位置进行采样并计算多个阵列位置处的特征尺寸，从而得到偏移误差。
但是，为了计算特征尺寸，要进行大量的计算，当需要测试的多边形的数量很大的情况下，计算时间会变得很长，计算效率较低。
发明内容
本发明实施例提供一种特征尺寸的偏移误差计算方法及装置、存储介质、终端，能够提升偏移误差计算的效率。
为解决上述技术问题，第一方面，本发明实施例提供一种特征尺寸的偏移误差计算方法，特征尺寸的偏移误差计算方法包括：获取待测量版图中的待测量位置点，并基于所述待测量位置点的位置确定多个起始位置点；计算每一个起始位置点的特征尺寸，并基于特征尺寸的值确定第一起始点和第二起始点，所述第一起始点为所述多个起始位置点中特征尺寸最大值所对应的位置点，所述第二起始点为所述多个起始位置点中特征尺寸最小值所对应的位置点；以所述第一起始点和第一迭代准则进行迭代，获得第一目标位置点，所述第一目标位置点为迭代过程中特征尺寸最大值对应的位置点；以所述第二起始点和第二迭代准则进行迭代，获得第二目标位置点，所述第二目标位置点为迭代过程中特征尺寸最小值对应的位置点；基于所述第一目标位置点的特征尺寸和所述第二目标位置点的特征尺寸计算所述待测量版图的偏移误差。
可选的，所述以所述第一起始点和第一迭代准则进行迭代，获得第一目标位置点的步骤，包括：确定所述第一起始点相邻的待测量位置点为第一相邻位置点；基于所确定的第一相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸；在所计算的特征尺寸值存在第一特征尺寸的情况下，将所述第一特征尺寸所对应的位置点作为第三起始点；并以第三起始点进行下一次迭代，直至所计算的特征尺寸值不满足第一迭代准则的情况获得所述第一目标位置点；其中，所述第一特征尺寸为所述第一相邻位置点中特征尺寸的最大值，且该最大值大于所述第一起始点所对应的特征尺寸。
可选的，所述方法还包括：在所计算的特征尺寸值不存在所述第一特征尺寸的情况下，将所述第一起始点作为所述第一目标位置点。
可选的，所述以所述第二起始点和第二迭代准则进行迭代包括：确定所述第二起始点相邻的待测量位置点为第二相邻位置点；基于所确定的第二相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸；在所计算的特征尺寸值存在第二特征尺寸的情况下，将所述第二特征尺寸所对应的位置点作为第四起始点；并以第四起始点进行下一次迭代，直至所计算的特征尺寸值不满足第二迭代准则的情况获得所述第二目标位置点；其中，所述第二特征尺寸为所述第二相邻位置点中特征尺寸的最小值，且该最小值小于所述第二起始点所对应的特征尺寸。
可选的，所述方法还包括：在所计算的特征尺寸值不存在所述第二特征尺寸的情况下，将所述第二起始点作为所述第二目标位置点。
可选的，所述以所述第一起始点和第一迭代准则进行迭代包括：确定所述第一起始点在第一预设方向上相邻的待测量位置点为第三相邻位置点；基于所确定的第三相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸；在所计算的特征尺寸值存在第三特征尺寸的情况下，将所述第三特征尺寸所对应的位置点作为第三起始点；并以第三起始点进行下一次迭代，直至所计算的特征尺寸值不满足第一迭代准则；确定目标起始点在第二预设方向上相邻的待测量位置点为第四相邻位置点，所述目标起始点为所述第一预设方向上迭代结束时的起始点；基于所确定的第四相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸；在所计算的特征尺寸值存在第四特征尺寸的情况下，将所述第四特征尺寸所对应的位置点作为第四起始点；并以第四起始点进行下一次迭代，直至所计算的特征尺寸值不满足第一迭代准则的情况获得所述第一目标位置点；其中，所述第三特征尺寸为所述第三相邻位置点中特征尺寸的最大值，且该最大值大于所述第一起始点所对应的特征尺寸，所述第四特征尺寸为所述第四相邻位置点中特征尺寸的最大值，且该最大值大于所述目标起始点所对应的特征尺寸。
可选的，所述以所述第二起始点和第二迭代准则进行迭代包括：确定所述第二起始点在第一预设方向上相邻的待测量位置点为第五相邻位置点；基于所确定的第五相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸；在所计算的特征尺寸值存在第五特征尺寸的情况下，将所述第五特征尺寸所对应的位置点作为第五起始点；并以第五起始点进行下一次迭代，直至所计算的特征尺寸值不满足第二迭代准则；确定目标起始点在第二预设方向上相邻的待测量位置点为第六相邻位置点，所述目标起始点为所述第一预设方向上迭代结束时的起始点；基于所确定的第六相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸；在所计算的特征尺寸值存在第六特征尺寸的情况下，将所述第六特征尺寸所对应的位置点作为第六起始点；并以第六起始点进行下一次迭代，直至所计算的特征尺寸值不满足第二迭代准则的情况获得所述第二目标位置点；其中，所述第五特征尺寸为所述第五相邻位置点中特征尺寸的最小值，且该最小值小于所述第二起始点所对应的特征尺寸，所述第六特征尺寸为所述第六相邻位置点中特征尺寸的最小值，且该最小值小于所述目标起始点所对应的特征尺寸。
可选的，所述计算每一个起始位置点的特征尺寸之后还包括：在所述多个起始位置点中确定第一起始位置点；计算所述第一起始位置点与第二起始位置点的第一差值，以及所述第一起始位置点与第三起始位置点的第二差值，所述第二起始位置点与所述第一起始位置点处于横向方向上，所述第三起始位置点与所述第一起始位置点处于纵向方向上；如果所述第一差值大于所述第二差值，则选取所述第一预设方向为横向方向，所述第二预设方向为纵向方向，否则选取所述第一预设方向为纵向方向，所述第二预设方向为横向方向。
可选的，在所计算的特征尺寸值不满足第一迭代准则的情况获得所述第一目标位置点包括：如果本次迭代所计算的特征尺寸的最大值小于本次迭代开始时的起始点的特征尺寸，则将本次迭代开始时的起始点作为所述第一目标位置点。
可选的，在所计算的特征尺寸值不满足第二迭代准则的情况获得所述第二目标位置点包括：如果本次迭代所计算的特征尺寸的最小值大于本次迭代开始时的起始点的特征尺寸，则将本次迭代开始时的起始点作为所述第二目标位置点。
可选的，所述基于所述待测量位置点的位置确定多个起始位置点包括：将所述待测量位置点所形成的位置点矩阵均匀地划分为四个象限区域，并分别在每个象限区域内选取一个起始位置点，以得到所述多个起始位置点。
可选的，每一起始位置点具有四个相邻位置点。
可选的，所述位置点矩阵为N×N的矩阵，所述多个起始位置点包括第一位置点、第二位置点、第三位置点和第四位置点，所述第一位置点的坐标为(1,1)，所述第二位置点的坐标为(1，N-1)，所述第三位置点的坐标为(N-1，1)，所述第四位置点的坐标为(N-1，N-1)，N为大于1的正整数。
可选的，所述待测量版图的类型为1D类型或2D类型。
可选的，所述计算各个位置点的特征尺寸包括：基于所述版图中目标几何图形的形状和尺寸设定仿真框，其中，所述仿真框沿所述目标几何图形的宽度方向上的尺寸大于所述目标几何图形的宽度；将每一起始位置点作为所述仿真框的中心点，并基于所述仿真框内的图形信息计算得到每一起始位置点的特征尺寸。
可选的，所述计算所述最大值起点的相邻位置点的特征尺寸包括：移动所述仿真框至所述最大值起点的每一相邻位置点，并基于所述仿真框内的图形信息计算得到每一相邻位置点的特征尺寸；所述计算所述最小值起点的相邻位置点的特征尺寸包括：移动所述仿真框至所述最小值起点的每一相邻位置点，并基于所述仿真框内的图形信息计算得到每一相邻位置点的特征尺寸。
第二方面，本发明实施例还公开了一种特征尺寸的偏移误差计算装置，偏移误差计算装置包括：位置点获取模块，用于获取待测量版图中的待测量位置点，并基于所述待测量位置点的位置确定多个起始位置点；特征尺寸计算模块，用于计算每一个起始位置点的特征尺寸，并基于特征尺寸的值确定第一起始点和第二起始点，所述第一起始点为所述多个起始位置点中特征尺寸最大值所对应的位置点，所述第二起始点为所述多个起始位置点中特征尺寸最小值所对应的位置点；第一迭代模块，用于以所述第一起始点和第一迭代准则进行迭代，获得第一目标位置点，所述第一目标位置点为迭代过程中特征尺寸最大值对应的位置点；第二迭代模块，用于以所述第二起始点和第二迭代准则进行迭代，获得第二目标位置点，所述第二目标位置点为迭代过程中特征尺寸最小值对应的位置点；偏移误差计算模块，用于基于所述第一目标位置点的特征尺寸和所述第二目标位置点的特征尺寸计算所述待测量版图的偏移误差。
第三方面，本发明实施例还公开了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行所述偏移误差计算方法的步骤。
第四方面，本发明实施例还公开了一种终端，包括存储器和处理器，所述存储器上存储有可在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器运行所述计算机程序时执行所述偏移误差计算方法的步骤。
与现有技术相比，本发明实施例的技术方案具有以下有益效果：
本发明技术方案中，通过在多个起始位置点中选取特征尺寸最大的第一起始点和特征尺寸最小的第二起始点，并以此为起始点执行迭代计算过程，获得特征尺寸最大的第一目标位置点和特征尺寸最小的第二目标位置点。结合起始点的选取以及迭代计算的过程，可以避免对非起始点以及不满足迭代条件的位置点计算特征尺寸，能够大幅度地降低计算量，提升偏移误差的计算效率。
进一步地，本发明技术方案先在第一预设方向上执行迭代，完成后再在第二预设方向上执行迭代，能够进一步减少需要计算特征尺寸的位置点的数量，进一步提升偏移误差的计算效率。
进一步地，将所述待测量位置点所形成的位置点矩阵均匀地划分为四个象限区域，并分别在每个象限区域内选取一个起始位置点，以得到所述多个起始位置点。本发明技术方案中，第一目标位置点和第二目标位置点通常位于四个象限区域中，那么通过在四个象限区域选取起始位置点来进行迭代，能够保证通过迭代找到的第一目标位置点和第二目标位置点为所有位置点的特征尺寸中的最大值和最小值，从而保证偏移误差计算的精准度。
附图说明
图1是本发明实施例提供的一种特征尺寸的偏移误差计算方法的流程图；
图2是本发明实施例提供的一种具体应用场景的示意图；
图3是本发明实施例提供的一种偏移误差计算方法的具体流程图；
图4是本发明实施例提供的另一种移误差计算方法的具体流程图；
图5是本发明实施例计算量与现有技术计算量的对比示意图；
图6是本发明实施例提供的一种特征尺寸的偏移误差计算装置的结构示意图。
具体实施方式
如背景技术中所述，为了计算特征尺寸，要进行大量的计算，当需要测试的多边形的数量很大的情况下，计算时间会变得很长，计算效率较低。
本发明技术方案中，通过在多个起始位置点中选取特征尺寸最大的第一起始点和特征尺寸最小的第二起始点，并以此为起始点执行迭代计算过程，获得特征尺寸最大的第一目标位置点和特征尺寸最小的第二目标位置点。结合起始点的选取以及迭代计算的过程，可以避免对非起始点以及不满足迭代条件的位置点计算特征尺寸，能够大幅度地降低计算量，提升偏移误差的计算效率。
本发明实施例中所称特征尺寸，也可以称为关键维度(critical Dimension,CD)、重要维度，或者其他任意可实施的名称，本发明实施例对此不作限制。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
图1是本发明实施例一种特征尺寸的偏移误差计算方法的流程图。
本发明实施例中的特征尺寸的偏移误差计算方法可以用于终端设备中，也即可以由终端设备执行所述方法的各个步骤，也可以由终端设备中的芯片或芯片模组执行所述方法的各个步骤。终端设备具体可以是手机、计算机、平板电脑等。
具体地，特征尺寸的偏移误差计算方法可以包括以下步骤：
步骤101：获取待测量版图中的待测量位置点，并基于所述待测量位置点的位置确定多个起始位置点；
步骤102：计算每一个起始位置点的特征尺寸，并基于特征尺寸的值确定第一起始点和第二起始点，所述第一起始点为所述多个起始位置点中特征尺寸最大值所对应的起始点，所述第二起始点为所述多个起始位置点中特征尺寸最小值所对应的起始点；
步骤103：以所述第一起始点和第一迭代准则进行迭代，获得第一目标位置点，所述第一目标位置点为迭代过程中特征尺寸最大值对应的位置点；
步骤104：以所述第二起始点和第二迭代准则进行迭代，获得第二目标位置点，所述第二目标位置点为迭代过程中特征尺寸最小值对应的位置点；
步骤105：基于所述第一目标位置点的特征尺寸和所述第二目标位置点的特征尺寸计算所述待测量版图的偏移误差。
需要指出的是，本实施例中各个步骤的序号并不代表对各个步骤的执行顺序的限定。
可以理解的是，在具体实施中，所述特征尺寸的偏移误差计算方法可以采用软件程序的方式实现，该软件程序运行于芯片或芯片模组内部集成的处理器中。该方法也可以采用软件结合硬件的方式实现，本申请不作限制。
本发明实施例能够适用于1D类型或2D类型的待测量版图。1D类型的版图是指长边大于或者远远大于短边的四边形，1D类型的版图中各个位置点的特征尺寸矩阵具有一定的规律，比如位于同一列位置点的特征尺寸几乎不变，特征尺寸的值按列往左右方向变化；而2D类型的版图中各个位置点的特征尺寸矩阵会在行列方向同时变化。但是，在2D类型的版图和1D类型的版图中，第一目标位置点和第二目标位置点(也即特征尺寸最大的位置点和特征尺寸最小的位置点)出现的规律是一致的，故而可以采用本发明实施例在上述两种类型的版图中计算偏移误差。
待测量版图中的待测量位置点所处的位置是预先确定好的，故而可以在步骤101的具体实施中获取所有待测量位置点，并从中选取多个起始位置点。起始位置点的数量可以是两个，也可以是三个或者四个。
在步骤102的具体实施中，计算每一个起始位置点的特征尺寸，并根据多个起始位置点的特征尺寸的值确定第一起始点和第二起始点。多个起始位置点的特征尺寸中必然存在一个最大值和一个最小值，那么可以确定多个起始位置点中特征尺寸最大值所对应的位置点为第一起始点，多个起始位置点中特征尺寸最小值所对应的位置点为第二起始点。
需要说明的是，位置点的特征尺寸的计算过程可以参照现有技术，本发明实施例在此不做限制。
在一个非限制性的实施例中，将所述待测量位置点所形成的位置点矩阵均匀地划分为四个象限区域，并分别在每个象限区域内选取一个起始位置点，以得到所述多个起始位置点。
具体请参照图2，待测量位置点形成位置点矩阵，位置点矩阵为N×N的矩阵。下面以N＝9为例进行说明。
本申请通过对大量版图的位置点的特征尺寸分析得到以下结论：所有位置点的特征尺寸的最大值和最小值分布在位置点矩阵的四个象限内。如图2所示，左上区域阴影部分所示为第二象限，如图2中附图标记2所示，右下区域阴影部分所示为第四象限，如图2中附图标记4所示，右上区域为第一象限，如图2中附图标记1所示，左下区域为第三象限，如图2中附图标记3所示。假设，特征尺寸的最大值位于第一象限，那么特征尺寸的最小值则位于其他三个象限中的一个象限内。
因此，为了保证能够准确地找到所有位置点的特征尺寸的最大值和最小值，可以在每个象限区域内选取一个起始位置点，并从中选取迭代的起始点。
例如，起始位置点可以是位置点(0,0)，(0,8)，(8,0)和(8,8)。起始位置点还可以是(1,1)，(1,7)，(7,1)和(7,7)。
需要说的是，起始位置点还可以是各个象限区域内任意可实施的位置点，本发明实施例在此不再赘述。
进一步地，每一起始位置点具有四个相邻位置点。
本实施例中，由于迭代过程会计算参与迭代的位置点的相邻位置点的特征尺寸，相邻位置点的数量越多，找到最大值或最小值的概率就越大，准确性就越高，因此在选取起始位置点时，需要保证起始位置点具有四个相邻位置点。
例如，位置点(0,0)周围只有两个相邻位置点(0,1)和(1,0)；而位置点(1,1)周围有四个相邻位置点(0,1)，(1,0)，(1,2)和(2,1)，因此位置点(1,1)可以选取为起始位置点。
进一步地，所述位置点矩阵为N×N的矩阵，所述多个起始位置点包括第一位置点、第二位置点、第三位置点和第四位置点，所述第一位置点的坐标为(1,1)，所述第二位置点的坐标为(1，N-1)，所述第三位置点的坐标为(N-1，1)，所述第四位置点的坐标为(N-1，N-1)，N为大于1的正整数。
本实施例中，为了保证搜索的深度(也即逐渐向矩阵内部缩小搜索，同时保证位于矩阵边缘的位置点的特征尺寸也有机会参与迭代，因此起始位置点的可以尽可能地靠近位置点矩阵的边缘，且保证起始位置点具有四个相邻位置点。在这种情况下，可以确定起始位置点分别为(1,1)，(1，N-1)，(N-1，1)和(N-1，N-1)。
例如，在N＝9的情况下，起始位置点分别为(1,1)，(1,7)，(7,1)和(7,7)。
继续参照图1，在步骤103和步骤104的具体实施中，以第一起始点为起点，按照第一迭代准则进行迭代，可以获得特征尺寸最大值对应的位置点，也即第一目标位置点。以第二起始点为起点，按照第二迭代准则进行迭代，可以获得特征尺寸最小值对应的位置点，也即第二目标位置点。
在步骤105的具体实施中，可以计算第一目标位置点的特征尺寸和第二目标位置点的特征尺寸的差值，作为偏移误差。
本发明实施例通过结合起始点的选取以及迭代计算的过程，可以避免对非起始点以及不满足迭代条件的位置点计算特征尺寸，能够大幅度地降低计算量，提升偏移误差的计算效率。
在一个非限制性的实施例中，以所述第一起始点和第一迭代准则进行迭代的具体步骤可以参照图3。
在步骤301中，确定所述第一起始点相邻的待测量位置点为第一相邻位置点。具体地，第一相邻位置点可以是指第一起始点周围四个相邻的位置点。以图2中位置点(1,1)为第一起始点为例，第一相邻位置点为(0,1)，(1,0)，(1,2)和(2,1)。
在步骤302中，基于所确定的第一相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸。
在步骤303中，判断所计算的特征尺寸值是否存在第一特征尺寸，如果是，则执行步骤304；否则执行步骤307。其中，第一特征尺寸为所述第一相邻位置点中特征尺寸的最大值，且该最大值大于所述第一起始点所对应的特征尺寸。
在步骤304中，将所述第一特征尺寸所对应的位置点作为第三起始点。
在步骤305中，以新的起始点进行下一次迭代。
也就是说，如果第一起始点的相邻位置点中存在特征尺寸比第一起始点的特征尺寸更大的位置点，则选取相邻位置点中特征尺寸最大值对应的位置点作为新的起始点进行下一次迭代。
在步骤306中，判断所计算的特征尺寸值是否不满足第一迭代准则，如果是，则执行步骤307，否则继续执行步骤305。其中，不满足迭代的情况(也即不满足第一迭代准则)是指起始点的相邻位置点的特征尺寸均小于该起始点的特征尺寸。不满足迭代的情况也即迭代结束的条件。
在步骤307中，获得所述第一目标位置点。
本实施例中，通过在每次迭代过程中选取特征尺寸比起始点的特征尺寸更大的位置点，直至迭代结束。通过至少一次迭代过程可以找到所有位置点的特征尺寸的最大值。
进一步地，在所计算的特征尺寸值不存在所述第一特征尺寸的情况下，也即第一起始点周围不存在特征尺寸比第一起始点的特征尺寸更大的位置点，则可以将所述第一起始点作为所述第一目标位置点。
本发明实施例可以运用梯度算法可以只计算很少的位置点的特征尺寸就能找到最大值、最小值，或者所找到的特征尺寸非常接近最大值、最小值，通过减少计算量来提升计算效率。
在另一个非限制性的实施例中，以所述第二起始点和第二迭代准则进行迭代的具体过程与图3所示步骤类似。
本实施例中，步骤301可以替换为确定所述第二起始点相邻的待测量位置点为第二相邻位置点。
步骤302可以替换为基于所确定的第二相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸。
步骤303可以替换为判断所计算的特征尺寸值是否存在第二特征尺寸，第二特征尺寸为所述第二相邻位置点中特征尺寸的最小值，且该最小值小于所述第二起始点所对应的特征尺寸。
步骤304可以替换为将所述第二特征尺寸所对应的位置点作为第四起始点。
步骤306可以替换为判断所计算的特征尺寸是否不满足第二迭代准则。
步骤307可以替换为获得所述第二目标位置点。
与前述实施例不同的是，本发明实施例获得的是第二目标位置点，也即特征尺寸最大值对应的位置点；在迭代过程中的迭代条件、迭代结束条件与获得第一目标位置点的迭代条件、迭代结束条件不同。
进一步地，在所计算的特征尺寸值不存在所述第二特征尺寸的情况下，将所述第二起始点作为所述第二目标位置点。
在一个具体的例子中，一并参照图2，从第一起始点(7,1)开始，计算其上(6,2)、下(8,1)、左(7,0)、右(7,2)四个位置对应的特征尺寸，取这四个位置点中特征尺寸最大的一个，且大于第一起始点(7,1)的特征尺寸，比如是位置点(8,1)。则将位置点(8,1)作为下一次计算的起点，计算其左(8,0)、右(8,2)两个位置对应的特征尺寸。以此类推，直到某个位置点上下左右四个相邻位置点的特征尺寸都比该位置点的特征尺寸小，则不再计算。
同样，再从第二起始点(1,7)开始，计算其上(0,7)、下(2,7)、左(1,6)、右(1,8)四个位置对应的特征尺寸，取这四个位置点中特征尺寸最小的一个，且小于第一起始点(1,7)的特征尺寸，比如是位置点(2,7)。则将位置点(2,7)作为下一次计算的起点，计算其下(3,7)、左(2,6)、右(2,8)三个位置对应的特征尺寸。以此类推，直到某个位置点上下左右的值都比它大，则不再计算。
在一个非限制性的实施例中，为了进一步减小偏移误差的计算量，提升计算效率，可以先在第一预设方向上进行迭代，迭代结束后再在第二预设方向上进行迭代。第一预设方向为横向和竖向中的一种，第二预设方向为另一种。
具体地，请参照图4，以所述第一起始点和第一迭代准则进行迭代过程包括步骤401至步骤413。
在步骤401中，确定所述第一起始点在第一预设方向上相邻的待测量位置点为第三相邻位置点。具体地，第三相邻位置点的数量为两个。在第一预设方向为横向时，第三相邻位置点为位于第一起始点左右两边的位置点；在第一预设方向为竖向时，第三相邻位置点为位于第一起始点上下两边的位置点。
在步骤402中，基于所确定的第三相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸。
在步骤403中，判断所计算的特征尺寸值是否存在第三特征尺寸，如果是，则执行步骤404，否则执行步骤413。其中，第三特征尺寸为第三相邻位置点中特征尺寸的最大值，且该最大值大于第一起始点所对应的特征尺寸。
在步骤404中，将所述第四特征尺寸所对应的位置点作为第四起始点。
在步骤405中，以新的起始点进行下一次迭代。
在步骤406中，判断所计算的特征尺寸值是否不满足迭代的情况(也即不满足第一迭代准则)，如果是，则执行步骤407，否则继续执行步骤405。具体地，在步骤405的迭代过程中，始终是按照第一预设方向选取相邻位置点进行迭代。在不满足迭代的情况下，表示已经在第一预设方向上找到最大值，下一步将在第二预设方向上进行迭代，继续寻找特征尺寸最大值(也即第一目标位置点的特征尺寸)。
在步骤407中，确定目标起始点在第二预设方向上相邻的待测量位置点为第四相邻位置点，所述目标起始点为所述第一预设方向上迭代结束时的起始点。
在步骤408中，基于所确定的第四相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸。
在步骤409中，判断所计算的特征尺寸值是否存在第四特征尺寸，如果是，则执行步骤410，否则执行步骤413。
在步骤410中，将所述第四特征尺寸所对应的位置点作为第四起始点。
在步骤411中，以新的起始点进行下一次迭代。具体地，在步骤411的迭代过程中，始终是按照第二预设方向选取相邻位置点进行迭代。
在步骤412中，判断所计算的特征尺寸值是否不满足迭代的情况(也即不满足第一迭代准则)，如果是，则执行步骤413，否则继续执行步骤411。
在步骤413中，获得第一目标位置点。第一目标位置点为在第二预设方向上选取的特征尺寸最大值对应的位置点。
相较于前述实施例中在迭代过程中同时计算起始点周围四个相邻位置点的特征尺寸而言，本发明实施例先在第一预设方向上选取相邻位置点进行迭代，再在第二预设方向上选取相邻位置点进行迭代，能够进一步减小需要计算特征尺寸的位置点的数量，进一步提升计算效率。
在一个具体的实施例中，第一预设方向可以是随机选取的。
在另一具体实施例中，可以按照以下方式选取第一预设方向：在所述多个起始位置点中确定第一起始位置点；计算所述第一起始位置点与第二起始位置点的第一差值，以及所述第一起始位置点与第三起始位置点的第二差值，所述第二起始位置点与所述第一起始位置点处于横向方向上，所述第三起始位置点与所述第一起始位置点处于纵向方向上；如果所述第一差值的绝对值大于所述第二差值的绝对值，则选取所述第一预设方向为横向方向，所述第二预设方向为纵向方向，否则选取所述第一预设方向为纵向方向，所述第二预设方向为横向方向。
具体地，第一起始位置点可以是在多个起始位置点中随机选取的。
继续参照图2，以起始位置点分别为(1,1)，(1,7)，(7,1)和(7,7)为例。第一起始位置点为(1,1)，计算位置点(1,7)的特征尺寸与位置点(1,1)的特征尺寸的第一差值，以及位置点(7,1)的特征尺寸与位置点(1,1)的特征尺寸的第二差值，并比较第一差值的绝对值与第二差值的绝对值的大小关系。
在本发明另一个非限制性的实施例中，以所述第二起始点和第二迭代准则进行迭代的过程可以参照图4所示实施例，此处不再赘述。
在一个具体实施例中，第一预设方向为横向，第二预设方向为纵向。一并参照图2，从第一起始点(7,1)开始，计算其左(7,0)、右(7,2)两个位置对应的特征尺寸，取这两个位置点中特征尺寸最大的一个，且大于第一起始点(7,1)的特征尺寸，比如是位置点(8,1)。则将位置点(8,1)作为下一次计算的起点，计算其左(8,0)、右(8,2)两个位置对应的特征尺寸。以此类推，直到某个位置点左右相邻位置点的特征尺寸都比该位置点的特征尺寸小，则以该位置点在纵向方向上继续迭代。
同样，再从第二起始点(1,7)开始，计算其左(1,6)、右(1,8)两个位置对应的特征尺寸，取这两个位置点中特征尺寸最小的一个，且小于第二起始点(1,7)的特征尺寸，比如是位置点(1,6)。则将位置点(1,6)作为下一次计算的起点，计算其左(1,5)、右(1,7)两个位置点对应的特征尺寸。以此类推，直到某个位置点左右相邻位置点的特征尺寸都比该位置点的特征尺寸大，则以该位置点为起始点在纵向方向上继续迭代。
迭代结束后，可以确定所有位置点的特征尺寸最大值以及特征尺寸的最小值。
在一个具体的应用场景中，请参照图5，图5是现有技术中计算偏移误差所需要的计算量与本申请计算偏移误差所需要的计算量的对比。
如图5中左图所示，现有技术中在计算偏移误差时，需要计算位置点中矩阵中所有位置点的特征尺寸，例如N为9时，需要计算的位置点的数量为81个。
在本发明实施例中，计算四个起始位置点的特征尺寸，确定第一起始点为位置点(7,1)，第二起始点为位置点(1,7)。对于第一起始点(7,1)，在纵向方向上计算其相邻两个位置点的特征尺寸，确定第一起始点(7,1)的特征尺寸最大，再在横向方向上计算其相邻两个位置点的特征尺寸。位置点(7,2)的特征尺寸更大，则继续以位置点(7,2)为起始点，计算其在横向方向上(7,3)的特征尺寸。位置点(7,3)的特征尺寸更大，则继续以位置点(7,3)为起始点，计算其在横向方向上(7,4)的特征尺寸。位置点(7,3)的特征尺寸更大，至此，迭代结束，确定位置点(7,3)的特征尺寸1147891作为特征尺寸最大值。
相应地，对于第二起始点(1,7)，在纵向方向上计算其相邻两个位置点的特征尺寸，确定位置点(0,7)的特征尺寸最小。位置点(0,7)为边缘位置点，其在纵向方向上没有位置点，则在横向方向上计算其相邻两个位置点的特征尺寸。确定位置点(0,8)的特征尺寸最小。位置点(0,8)为边缘位置点，其在横向方向上没有位置点。至此，迭代结束，确定位置点(0,8)的特征尺寸1119718作为特征尺寸最小值。
本发明实施例中需要计算的位置点的数量为14个。相对于现有技术中需要计算81个位置点的特征尺寸而言，本发明实施在保证最终找到的最大值和最小值准确性的基础上，例明显能够提升计算效率。
进一步地，经过试验验证，现有技术中计算偏移误差需要的时间约18小时，本申请计算偏移误差需要的时间约2.5小时，降低了偏移误差的计算时间，对用户建模后快速确定模型稳定性也具有重要意义。快速确定模型稳定性的意义一方面对产品自身的优化改进具有推动作用，使得产品能够在较短时间内不断成熟，在类似产品中具有竞争优势；另一方面用户能快速看到模型的可靠性，节省用户计算资源和时间，降低用户生产成本并且提高用户体验。
请参照图6，本发明实施例还公开了一种特征尺寸的偏移误差计算装置。特征尺寸的偏移误差计算装置60可以包括：
位置点获取模块601，用于获取待测量版图中的待测量位置点，并基于所述待测量位置点的位置确定多个起始位置点；
特征尺寸计算模块602，用于计算每一个起始位置点的特征尺寸，并基于特征尺寸的值确定第一起始点和第二起始点，所述第一起始点为所述多个起始位置点中特征尺寸最大值所对应的位置点，所述第二起始点为所述多个起始位置点中特征尺寸最小值所对应的位置点；
第一迭代模块603，用于以所述第一起始点和第一迭代准则进行迭代，获得第一目标位置点，所述第一目标位置点为迭代过程中特征尺寸最大值对应的位置点；
第二迭代模块604，用于以所述第二起始点和第二迭代准则进行迭代，获得第二目标位置点，所述第二目标位置点为迭代过程中特征尺寸最小值对应的位置点；
偏移误差计算模块605，用于基于所述第一目标位置点的特征尺寸和所述第二目标位置点的特征尺寸计算所述待测量版图的偏移误差。
本发明实施例结合起始点的选取以及迭代计算的过程，可以避免对非起始点以及不满足迭代条件的位置点计算特征尺寸，能够大幅度地降低计算量，提升偏移误差的计算效率。
进一步地，第一迭代模块603包括：相邻位置点确定单元，用于确定所述第一起始点相邻的待测量位置点为第一相邻位置点；计算单元，用于基于所确定的第一相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸；迭代单元，用于在所计算的特征尺寸值存在第一特征尺寸的情况下，将所述第一特征尺寸所对应的位置点作为第三起始点；并以第三起始点进行下一次迭代，直至所计算的特征尺寸值不满足第一迭代准则的情况获得所述第一目标位置点；其中，所述第一特征尺寸为所述第一相邻位置点中特征尺寸的最大值，且该最大值大于所述第一起始点所对应的特征尺寸。
在另一个非限制性的实施例中，第一迭代模块603包括：第一确定单元，用于确定所述第一起始点在第一预设方向上相邻的待测量位置点为第三相邻位置点；第一计算单元，用于基于所确定的第三相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸；第一迭代单元，用于在所计算的特征尺寸值存在第三特征尺寸的情况下，将所述第三特征尺寸所对应的位置点作为第三起始点；并以第三起始点进行下一次迭代，直至所计算的特征尺寸值不满足第一迭代准则；第二确定单元，用于确定目标起始点在第二预设方向上相邻的待测量位置点为第四相邻位置点，所述目标起始点为所述第一预设方向上迭代结束时的起始点；第二计算单元，用于基于所确定的第四相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸；第二迭代单元，用于在所计算的特征尺寸值存在第四特征尺寸的情况下，将所述第四特征尺寸所对应的位置点作为第四起始点；并以第四起始点进行下一次迭代，直至所计算的特征尺寸值不满足第一迭代准则的情况获得所述第一目标位置点；其中，所述第三特征尺寸为所述第三相邻位置点中特征尺寸的最大值，且该最大值大于所述第一起始点所对应的特征尺寸，所述第四特征尺寸为所述第四相邻位置点中特征尺寸的最大值，且该最大值大于所述目标起始点所对应的特征尺寸。
关于所述偏移误差计算装置60的工作原理、工作方式的更多内容，可以参照图1至图5中的相关描述，这里不再赘述。
在具体实施中，上述偏移误差计算装置可以对应于终端设备中具有偏移误差计算功能的芯片，例如SOC(System-On-a-Chip，片上系统)、基带芯片等；或者对应于终端设备中包括具有偏移误差计算功能的芯片模组；或者对应于具有数据处理功能芯片的芯片模组，或者对应于终端设备。
关于上述实施例中描述的各个装置、产品包含的各个模块/单元，其可以是软件模块/单元，也可以是硬件模块/单元，或者也可以部分是软件模块/单元，部分是硬件模块/单元。例如，对于应用于或集成于芯片的各个装置、产品，其包含的各个模块/单元可以都采用电路等硬件的方式实现，或者，至少部分模块/单元可以采用软件程序的方式实现，该软件程序运行于芯片内部集成的处理器，剩余的(如果有)部分模块/单元可以采用电路等硬件方式实现；对于应用于或集成于芯片模组的各个装置、产品，其包含的各个模块/单元可以都采用电路等硬件的方式实现，不同的模块/单元可以位于芯片模组的同一组件(例如芯片、电路模块等)或者不同组件中，或者，至少部分模块/单元可以采用软件程序的方式实现，该软件程序运行于芯片模组内部集成的处理器，剩余的(如果有)部分模块/单元可以采用电路等硬件方式实现；对于应用于或集成于终端的各个装置、产品，其包含的各个模块/单元可以都采用电路等硬件的方式实现，不同的模块/单元可以位于终端内同一组件(例如，芯片、电路模块等)或者不同组件中，或者，至少部分模块/单元可以采用软件程序的方式实现，该软件程序运行于终端内部集成的处理器，剩余的(如果有)部分模块/单元可以采用电路等硬件方式实现。
本发明实施例还公开了一种存储介质，所述存储介质为计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序运行时可以执行前述方法的步骤。所述存储介质可以包括ROM、RAM、磁盘或光盘等。所述存储介质还可以包括非挥发性存储器(non-volatile)或者非瞬态(non-transitory)存储器等。
本发明实施例还公开了一种终端设备，所述终端设备可以包括存储器和处理器，所述存储器上存储有可在所述处理器上运行的计算机程序。所述处理器运行所述计算机程序时可以执行前述方法的步骤。所述终端设备包括但不限于手机、计算机、平板电脑等终端设备。
应理解，本文中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中字符“/“，表示前后关联对象是一种“或”的关系。
本申请实施例中出现的“多个”是指两个或两个以上。
本申请实施例中出现的第一、第二等描述，仅作示意与区分描述对象之用，没有次序之分，也不表示本申请实施例中对设备个数的特别限定，不能构成对本申请实施例的任何限制。
本申请实施例中出现的“连接”是指直接连接或者间接连接等各种连接方式，以实现设备间的通信，本申请实施例对此不做任何限定。
应理解，本申请实施例中，所述处理器可以为中央处理单元(central processingunit，简称CPU)，该处理器还可以是其他通用处理器、数字信号处理器(digital signalprocessor，简称DSP)、专用集成电路(application specific integrated circuit，简称ASIC)、现成可编程门阵列(field programmable gate array，简称FPGA)或者其他可编程逻辑器件、分立门或者晶体管逻辑器件、分立硬件组件等。通用处理器可以是微处理器或者该处理器也可以是任何常规的处理器等。
还应理解，本申请实施例中的存储器可以是易失性存储器或非易失性存储器，或可包括易失性和非易失性存储器两者。其中，非易失性存储器可以是只读存储器(read-only memory，简称ROM)、可编程只读存储器(programmable ROM，简称PROM)、可擦除可编程只读存储器(erasable PROM，简称EPROM)、电可擦除可编程只读存储器(electricallyEPROM，简称EEPROM)或闪存。易失性存储器可以是随机存取存储器(random accessmemory，简称RAM)，其用作外部高速缓存。通过示例性但不是限制性说明，许多形式的随机存取存储器(random access memory，简称RAM)可用，例如静态随机存取存储器(staticRAM，简称SRAM)、动态随机存取存储器(DRAM)、同步动态随机存取存储器(synchronousDRAM，简称SDRAM)、双倍数据速率同步动态随机存取存储器(double data rate SDRAM，简称DDR SDRAM)、增强型同步动态随机存取存储器(enhanced SDRAM，简称ESDRAM)、同步连接动态随机存取存储器(synchlink DRAM，简称SLDRAM)和直接内存总线随机存取存储器(direct rambus RAM，简称DR RAM)。
上述实施例，可以全部或部分地通过软件、硬件、固件或其他任意组合来实现。当使用软件实现时，上述实施例可以全部或部分地以计算机程序产品的形式实现。所述计算机程序产品包括一个或多个计算机指令或计算机程序。在计算机上加载或执行所述计算机指令或计算机程序时，全部或部分地产生按照本申请实施例所述的流程或功能。所述计算机可以为通用计算机、专用计算机、计算机网络、或者其他可编程装置。所述计算机指令可以存储在计算机可读存储介质中，或者从一个计算机可读存储介质向另一个计算机可读存储介质传输，例如，所述计算机指令可以从一个网站站点、计算机、服务器或数据中心通过有线或无线方式向另一个网站站点、计算机、服务器或数据中心进行传输。所述计算机可读存储介质可以是计算机能够存取的任何可用介质或者是包含一个或多个可用介质集合的服务器、数据中心等数据存储设备。
应理解，在本申请的各种实施例中，上述各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本申请实施例的实施过程构成任何限定。
在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的方法、装置和系统，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的；例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式；例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理包括，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用硬件加软件功能单元的形式实现。
上述以软件功能单元的形式实现的集成的单元，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。上述软件功能单元存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述方法的部分步骤。
虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
Claims (17)
1.一种特征尺寸的偏移误差计算方法，其特征在于，包括：
获取待测量版图中的待测量位置点，并基于所述待测量位置点的位置确定多个起始位置点；
计算每一个起始位置点的特征尺寸，并基于特征尺寸的值确定第一起始点和第二起始点，所述第一起始点为所述多个起始位置点中特征尺寸最大值所对应的位置点，所述第二起始点为所述多个起始位置点中特征尺寸最小值所对应的位置点；
以所述第一起始点和第一迭代准则进行迭代，获得第一目标位置点，所述第一目标位置点为迭代过程中特征尺寸最大值对应的位置点；
以所述第二起始点和第二迭代准则进行迭代，获得第二目标位置点，所述第二目标位置点为迭代过程中特征尺寸最小值对应的位置点；
基于所述第一目标位置点的特征尺寸和所述第二目标位置点的特征尺寸计算所述待测量版图的偏移误差。
2.根据权利要求1所述的特征尺寸的偏移误差计算方法，其特征在于，所述以所述第一起始点和第一迭代准则进行迭代，获得第一目标位置点的步骤，包括：
确定所述第一起始点相邻的待测量位置点为第一相邻位置点；
基于所确定的第一相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸；
在所计算的特征尺寸值存在第一特征尺寸的情况下，将所述第一特征尺寸所对应的位置点作为第三起始点；并以第三起始点进行下一次迭代，直至所计算的特征尺寸值不满足第一迭代准则的情况获得所述第一目标位置点；
其中，所述第一特征尺寸为所述第一相邻位置点中特征尺寸的最大值，且该最大值大于所述第一起始点所对应的特征尺寸。
3.根据权利要求2所述的特征尺寸的偏移误差计算方法，其特征在于，还包括：
在所计算的特征尺寸值不存在所述第一特征尺寸的情况下，将所述第一起始点作为所述第一目标位置点。
4.根据权利要求1所述的特征尺寸的偏移误差计算方法，其特征在于，所述以所述第二起始点和第二迭代准则进行迭代包括：
确定所述第二起始点相邻的待测量位置点为第二相邻位置点；
基于所确定的第二相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸；
在所计算的特征尺寸值存在第二特征尺寸的情况下，将所述第二特征尺寸所对应的位置点作为第四起始点；并以第四起始点进行下一次迭代，直至所计算的特征尺寸值不满足第二迭代准则的情况获得所述第二目标位置点；
其中，所述第二特征尺寸为所述第二相邻位置点中特征尺寸的最小值，且该最小值小于所述第二起始点所对应的特征尺寸。
5.根据权利要求4所述的特征尺寸的偏移误差计算方法，其特征在于，还包括：
在所计算的特征尺寸值不存在所述第二特征尺寸的情况下，将所述第二起始点作为所述第二目标位置点。
6.根据权利要求1所述的特征尺寸的偏移误差计算方法，其特征在于，所述以所述第一起始点和第一迭代准则进行迭代包括：
确定所述第一起始点在第一预设方向上相邻的待测量位置点为第三相邻位置点；
基于所确定的第三相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸；
在所计算的特征尺寸值存在第三特征尺寸的情况下，将所述第三特征尺寸所对应的位置点作为第三起始点；并以第三起始点进行下一次迭代，直至所计算的特征尺寸值不满足第一迭代准则；
确定目标起始点在第二预设方向上相邻的待测量位置点为第四相邻位置点，所述目标起始点为所述第一预设方向上迭代结束时的起始点；
基于所确定的第四相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸；
在所计算的特征尺寸值存在第四特征尺寸的情况下，将所述第四特征尺寸所对应的位置点作为第四起始点；并以第四起始点进行下一次迭代，直至所计算的特征尺寸值不满足第一迭代准则的情况获得所述第一目标位置点；
其中，所述第三特征尺寸为所述第三相邻位置点中特征尺寸的最大值，且该最大值大于所述第一起始点所对应的特征尺寸，所述第四特征尺寸为所述第四相邻位置点中特征尺寸的最大值，且该最大值大于所述目标起始点所对应的特征尺寸。
7.根据权利要求1所述的特征尺寸的偏移误差计算方法，其特征在于，所述以所述第二起始点和第二迭代准则进行迭代包括：
确定所述第二起始点在第一预设方向上相邻的待测量位置点为第五相邻位置点；
基于所确定的第五相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸；
在所计算的特征尺寸值存在第五特征尺寸的情况下，将所述第五特征尺寸所对应的位置点作为第五起始点；并以第五起始点进行下一次迭代，直至所计算的特征尺寸值不满足第二迭代准则；
确定目标起始点在第二预设方向上相邻的待测量位置点为第六相邻位置点，所述目标起始点为所述第一预设方向上迭代结束时的起始点；
基于所确定的第六相邻位置点，计算每一个位置点的特征尺寸；
在所计算的特征尺寸值存在第六特征尺寸的情况下，将所述第六特征尺寸所对应的位置点作为第六起始点；并以第六起始点进行下一次迭代，直至所计算的特征尺寸值不满足第二迭代准则的情况获得所述第二目标位置点；
其中，所述第五特征尺寸为所述第五相邻位置点中特征尺寸的最小值，且该最小值小于所述第二起始点所对应的特征尺寸，所述第六特征尺寸为所述第六相邻位置点中特征尺寸的最小值，且该最小值小于所述目标起始点所对应的特征尺寸。
8.根据权利要求6或7所述的偏移误差计算方法，其特征在于，所述计算每一个起始位置点的特征尺寸之后还包括：
在所述多个起始位置点中确定第一起始位置点；
计算所述第一起始位置点与第二起始位置点的第一差值，以及所述第一起始位置点与第三起始位置点的第二差值，所述第二起始位置点与所述第一起始位置点处于横向方向上，所述第三起始位置点与所述第一起始位置点处于纵向方向上；
如果所述第一差值大于所述第二差值，则选取所述第一预设方向为横向方向，所述第二预设方向为纵向方向，否则选取所述第一预设方向为纵向方向，所述第二预设方向为横向方向。
9.根据权利要求2或6所述的特征尺寸的偏移误差计算方法，其特征在于，在所计算的特征尺寸值不满足第一迭代准则的情况获得所述第一目标位置点包括：
如果本次迭代所计算的特征尺寸的最大值小于本次迭代开始时的起始点的特征尺寸，则将本次迭代开始时的起始点作为所述第一目标位置点。
10.根据权利要求4或7所述的特征尺寸的偏移误差计算方法，其特征在于，在所计算的特征尺寸值不满足第二迭代准则的情况获得所述第二目标位置点包括：
如果本次迭代所计算的特征尺寸的最小值大于本次迭代开始时的起始点的特征尺寸，则将本次迭代开始时的起始点作为所述第二目标位置点。
11.根据权利要求1所述的偏移误差计算方法，其特征在于，所述基于所述待测量位置点的位置确定多个起始位置点包括：
将所述待测量位置点所形成的位置点矩阵均匀地划分为四个象限区域，并分别在每个象限区域内选取一个起始位置点，以得到所述多个起始位置点。
12.根据权利要求11所述的偏移误差计算方法，其特征在于，每一起始位置点具有四个相邻位置点。
13.根据权利要求11所述的偏移误差计算方法，其特征在于，所述位置点矩阵为N×N的矩阵，所述多个起始位置点包括第一位置点、第二位置点、第三位置点和第四位置点，所述第一位置点的坐标为(1,1)，所述第二位置点的坐标为(1，N-1)，所述第三位置点的坐标为(N-1，1)，所述第四位置点的坐标为(N-1，N-1)，N为大于1的正整数。
14.根据权利要求1所述的偏移误差计算方法，其特征在于，所述待测量版图的类型为1D类型或2D类型。
15.一种特征尺寸的偏移误差计算装置，其特征在于，包括：
位置点获取模块，用于获取待测量版图中的待测量位置点，并基于所述待测量位置点的位置确定多个起始位置点；
特征尺寸计算模块，用于计算每一个起始位置点的特征尺寸，并基于特征尺寸的值确定第一起始点和第二起始点，所述第一起始点为所述多个起始位置点中特征尺寸最大值所对应的位置点，所述第二起始点为所述多个起始位置点中特征尺寸最小值所对应的位置点；
第一迭代模块，用于以所述第一起始点和第一迭代准则进行迭代，获得第一目标位置点，所述第一目标位置点为迭代过程中特征尺寸最大值对应的位置点；
第二迭代模块，用于以所述第二起始点和第二迭代准则进行迭代，获得第二目标位置点，所述第二目标位置点为迭代过程中特征尺寸最小值对应的位置点；
偏移误差计算模块，用于基于所述第一目标位置点的特征尺寸和所述第二目标位置点的特征尺寸计算所述待测量版图的偏移误差。
16.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器运行时执行权利要求1至14中任一项所述偏移误差计算方法的步骤。
17.一种终端，包括存储器和处理器，所述存储器上存储有可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器运行所述计算机程序时执行权利要求1至14中任一项所述偏移误差计算方法的步骤。
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Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09212539A (ja) * | 1996-02-06 | 1997-08-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 図形処理方法および図形処理装置 |
| JP2002374392A (ja) * | 2001-06-14 | 2002-12-26 | Ricoh Co Ltd | 画像位置ずれ計測装置、画像位置ずれ計測方法およびその方法によったプログラムを記憶した記憶媒体 |
| US20080270044A1 (en) * | 2007-04-26 | 2008-10-30 | Hitachi High-Technologies Corporation | Defect Review Apparatus and Method of Reviewing Defects |
| WO2013158149A1 (en) * | 2012-04-20 | 2013-10-24 | New Jersey Institute Of Technology | Measurement of clock skew between two remote hosts connected through computer networks |
| US20130342393A1 (en) * | 2012-06-20 | 2013-12-26 | Topcon Positioning Systems, Inc. | Selection of a Subset of Global Navigation Satellite System Measurements Based on Relation between Shifts in Target Parameters and Sum of Residuals |
| US20140164456A1 (en) * | 2012-12-12 | 2014-06-12 | Microsoft Corporation | Iteratively calculating standard deviation for streamed data |
| WO2020043019A1 (zh) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | 腾讯科技（深圳）有限公司 | 定位数据的处理方法及处理装置、计算设备和存储介质 |
| CN111288988A (zh) * | 2020-02-20 | 2020-06-16 | 云南电网有限责任公司电力科学研究院 | 一种架空机器人组合定位方法 |
| CN112116660A (zh) * | 2019-06-19 | 2020-12-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 视差图校正方法、装置、终端及计算机可读介质 |
| US20210319231A1 (en) * | 2020-10-23 | 2021-10-14 | Beijing Baidu Netcom Science And Technology Co., Ltd. | Method and Apparatus for Detecting Target Object, Electronic Device and Storage Medium |
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2021
- 2021-12-29 CN CN202111643956.XA patent/CN114440775A/zh active Pending
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09212539A (ja) * | 1996-02-06 | 1997-08-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 図形処理方法および図形処理装置 |
| JP2002374392A (ja) * | 2001-06-14 | 2002-12-26 | Ricoh Co Ltd | 画像位置ずれ計測装置、画像位置ずれ計測方法およびその方法によったプログラムを記憶した記憶媒体 |
| US20080270044A1 (en) * | 2007-04-26 | 2008-10-30 | Hitachi High-Technologies Corporation | Defect Review Apparatus and Method of Reviewing Defects |
| WO2013158149A1 (en) * | 2012-04-20 | 2013-10-24 | New Jersey Institute Of Technology | Measurement of clock skew between two remote hosts connected through computer networks |
| US20130342393A1 (en) * | 2012-06-20 | 2013-12-26 | Topcon Positioning Systems, Inc. | Selection of a Subset of Global Navigation Satellite System Measurements Based on Relation between Shifts in Target Parameters and Sum of Residuals |
| US20140164456A1 (en) * | 2012-12-12 | 2014-06-12 | Microsoft Corporation | Iteratively calculating standard deviation for streamed data |
| WO2020043019A1 (zh) * | 2018-08-27 | 2020-03-05 | 腾讯科技（深圳）有限公司 | 定位数据的处理方法及处理装置、计算设备和存储介质 |
| CN112116660A (zh) * | 2019-06-19 | 2020-12-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 视差图校正方法、装置、终端及计算机可读介质 |
| CN111288988A (zh) * | 2020-02-20 | 2020-06-16 | 云南电网有限责任公司电力科学研究院 | 一种架空机器人组合定位方法 |
| US20210319231A1 (en) * | 2020-10-23 | 2021-10-14 | Beijing Baidu Netcom Science And Technology Co., Ltd. | Method and Apparatus for Detecting Target Object, Electronic Device and Storage Medium |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 薛海伟 等: "一种快速的InSAR图像精配准方法", 《西安电子科技大学学报》, no. 03, 20 June 2016 (2016-06-20) * |
| 郭玥 等: "合并单元误差现场在线检测方案设计", 《电测与仪表》, no. 1, 18 August 2015 (2015-08-18) * |
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