CN114396400A - 作动器和作动系统 - Google Patents

Abstract

本申请实施例公开了一种作动器和作动系统，所述作动器包括致动器、液压回路、模式选择阀、状态切换阀和故障检测组件，其中所述模式选择阀具有将液压回路的液压流体提供至所述致动器的第一状态以及阻断所述液压回路对所述致动器的液压流体供给的第二状态，所述状态切换阀用来将所述模式选择阀保持在所述第一状态或者所述第一状态，所述故障检测组件用来检测所述状态切换阀的故障。本申请的作动器和作动系统在模式切换进行检测，还能对切换回路进行快速隔离故障，提高作动器的健康管理能力，提高作动器的可维护性。

Description

作动器和作动系统

技术领域

本申请涉及飞行控制技术领域，特别涉及一种作动器和作动系统。

背景技术

民用飞机的舵面及舱门控制系统领域一般采用双模式电液伺服作动器，作动器的模式切换功能故障时对故障元件快速隔离，可有效提高作动器健康管理的能力，提高作动器的安全水平。

双模式作动器一般为主动工作模式与随动模式，由模式选择阀动作切换油路来实现不同模式间切换。目前，双模式伺服作动器模式状态的监测方法主要有压力监测以及模式阀阀芯位移监测。

请参考图1，为了实现对所述模式选择阀的压力监测，需要在模式选择阀810中加入一路监测油路820，该监测油路820与压力检测器件相连，利用状态切换时油路压力的不同来实现状态切换。该种方法会增加模式选择阀810的复杂性程度，工艺难度大，成本较高。

请参考图2，为了实现对所述模式选择阀910的阀芯位移监测，需要在模式检测阀910的阀芯中设置位移传感器920，利用位移传感器920检测阀芯的位移，进而实现模式检测功能。

上述两种检测方法均只能对作动器的模式切换进行监测，而无法在故障发生时，作动器无法检测出该控制回路的故障点，无法针对该故障进行元件级的有效隔离，作动器该故障的维护难度较大。

有鉴于此，实有必要开发一种作动器和作动系统，用以解决上述问题。

发明内容

本申请提供一种作动器和作动系统，在模式切换故障发生时能够快速隔离故障，提高作动器的健康管理能力，提高作动器的可维护性。

本申请提供一种作动器，包括致动器、液压回路、模式选择阀、状态切换阀和故障检测组件；

其中所述模式选择阀布置在所述液压回路和所述致动器之间并具有第一状态和第二状态，在所述第一状态，所述模式选择阀将所述液压流体提供给所述致动器，在所述第二状态，所述模式选择阀阻断所述液压回路对所述致动器的液压流体的供给；

所述状态切换阀能够选择性地将所述模式选择阀保持在所述第一状态或者所述第二状态；

所述故障检测组件用来检测所述状态切换阀的故障。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述液压回路包括用来向所述致动器提供液压流体的进液流路以及用来释放所述致动器中的液压流体的回液流路；

所述状态切换阀能够选择性地将所述进液流路或者所述回液流路中的液压流体提供至所述模式选择阀，以使所述模式选择阀保持在所述第一状态或者所述第二状态。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述故障检测组件为液压检测组件。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述状态切换阀具有与所述进液流路连通的第一端口、与所述回液流路连通的第二端口以及与所述模式选择阀连通的第三端口；

所述液压检测组件包括至少两个压力检测器件或者至少一个压差检测器件；

其中两个所述压力检测器件分别布置在所述第二端口和所述第三端口；

所述压差检测器件连接于所述第二端口和所述第三端口之间。

可选地，在本申请的一些实施例中，在所述压差检测器件和所述第三端口之间的检测流路上设置压力阻尼元件，所述压力阻尼元件用来减缓所述检测流路对所述压差检测器件的压力冲击。

可选地，在本申请的一些实施例中，在所述第一端口设置有另一压力检测器件。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述致动器包括壳体和可往复运动地设置在所述壳体中的活塞，所述活塞和所述壳体界定有第一腔室和第二腔室；

所述液压回路还包括伺服阀，所述伺服阀能够选择性地将所述进液流路液压流体提供至所述第一腔室和所述第二腔室二者中的其中一个、以及将所述第一腔室和所述第二腔室二者中的另一个中的液压流体引导至所述回液流路。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述伺服阀还能够选择性地阻断所述进液流路的液压流体进入所述致动器中，以及阻断所述致动器中的液压流体进入所述回液流路中。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述作动器还包括：

第一补偿流路，连接于所述回液流路和所述第一腔室之间，所述回液流路能通过所述第一补偿流路对所述第一腔室进行流体补偿；以及，

第二补偿流路，连接在所述回液流路和所述第二腔室之间，所述回液流路能通过所述第二补偿流路对所述第二腔室进行流体补偿。

可选地，在本申请的一些实施例中，所述第一补偿流路上设有第一抗气穴阀，所述第二补偿流路上设有第二抗气穴阀。

可选地，在本申请的一些实施例中，在所述模式选择阀中设有位移监测器，所述位移监测器用来检测所述模式选择阀的故障。

可选地，在本申请的一些实施例中，在所述第一状态，所述模式选择阀在所述进液流路和所述致动器两者之间形成流体路径、并在所述回液流路与所述致动器之间形成流体路径；

在所述第二状态，所述模式选择阀阻断所述进液流路和所述致动器两者之间的流体路径、以及所述回液流路与所述致动器两者之间的流体路径。

可选地，在本申请的一些实施例中，当所述模式选择阀处于所述第二状态时，所述第一腔室和所述第二腔室在所述模式选择阀处流体连通。

相应地，本申请还提供一种作动系统，所述作动系统包括如本所述的作动器。

与现有的作动器相比，本申请的作动器通过设置有故障检测组件能实现对所述状态切换阀的故障检测；同时，在所述模式选择阀中设置位移监测器，能实现对所述模式选择阀的故障检测，进而在故障发生时能够快速隔离故障，提高作动器的健康管理能力，提高作动器的可维护性。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本申请的一些实施例，而非对本申请的限制，其中：

图1为现有作动器中模式选择阀的压力检测方法的示意图。

图2为现有作动器中模式选择阀的位移检测方法的示意图。

图3为本申请实施例所提供的作动器的第一实施例的示意图，其中所述作动器处于随动模式。

图4为图3中作动器的在主动模式的示意图一。

图5为图3中作动器的在主动模式的示意图二。

图6为图3中作动器的在主动模式的示意图三。

具体实施方式

下面将结合本申请实施方式中的附图，对本申请实施方式中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施方式仅仅是本申请一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本申请中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。

除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本申请所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本申请专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。

在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词是相对于各附图中所示的构造进行定义的，特别地，“高度”相当于从顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸，它们是相对的概念，因此有可能会根据其所处不同位置、不同使用状态而进行相应地变化，所以，也不应当将这些或者其他的方位用于解释为限制性用语。

涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接或关系，除非以其他方式明确地说明。

本申请提供一种作动器和包括所述作动器的作动系统。请参考图3至图6，所述作动器包括液压回路100、致动器300、和切换回路200。其中液压回路100能够用于提供液压流体以控制所述致动器300，所述切换回路200具有模式选择阀30、状态切换阀40和故障检测组件50。

其中所述模式选择阀30设置在所述液压回路100和所述致动器200之间，并具有第一状态位置和第二状态，在所述第一状态，所述模式选择阀30能将所述液压回路100的液压流体提供至所述致动器300，在所述第二状态置，所述模式选择阀30阻断所述液压回路100对所述致动器300的供给，所述状态切换阀40能够选择性将所述模式选择阀保持在所述第一状态或者所述第一状态。所述故障检测组件50用来检测所述状态切换阀40的故障。

在本申请的方案中，通过故障检测组件50能实现对所述状态切换阀40的故障隔离，进而在切换功能故障时能够快速隔离故障，提高作动器的健康管理能力，提高作动器的可维护性。

在具体实施时，所述作动器可以用来控制飞机的舵面或舱门的运动。但本申请并未限定所述作动器的具体使用范围。例如，所述作动器还可以用来控制飞机舱门、螺旋桨和风扇的运动。再者，所述作动器也可以应用于车辆技术领域，例如可以用于控制车辆和机构的螺旋。

如图3和图4所示，所述液压回路100包括进液流路11、出液流路12以及伺服阀20。

其中所述进液流体11用于向所述致动器300提供液压流体(此处为高压流体)，而出液流路12用于将所述致动器300中的液压流体导出(此处为低压流体)。

如图4和图5所示，所述致动器300包括壳体310和以能轴向移动地收容在所述壳体310中的活塞320，所述活塞320与所述壳体310界定有第一腔室301和第二腔室302。该活塞320包括第一活塞杆321和第二活塞杆322，分别具有从所述壳体310伸出的自由端。该自由端能附接至一目标件上。所述目标件能跟随或者带动所述活塞320运动。

请参考图3和图4，所述伺服阀20用来控制液压流体进入所述致动器300的方向和流量，进而控制所述致动器300的运动方向。所述伺服阀20设置在所述进液流路11和所述出液流路12上，并能够在第一位置21和第二位置22之间切换。

请参考图4，在所述第一位置21中，进液流路11内的高压流体被所述伺服阀20引导到第一腔室301；所述第一腔室301的高压流体推动所述活塞320朝向使第二活塞杆322伸出的方向移动，所述第二腔室302内的低压液体被所述活塞320挤出后经由所述模式选择阀30和所述伺服阀20回流至所述回液流路12上。

请参考图5，在所述第二位置22中，进液流路11内的高压流体被所述伺服阀20引导到第二腔室302，所述第二腔室302的高压流体推动所述活塞320朝向使第一活塞杆321伸出的方向移动，所述第一腔室301内的低压流体被所述活塞320挤出并经由所述模式选择阀30和所述伺服阀20回流至所述回液流路12上。

在一些实施例中，请参考图6，所述伺服阀20还包括第三位置23，所述第三位置23为中间或关闭位置(截止位置)。当所述伺服阀20在所述第三位置23时，所述伺服阀20既不将流体供应到壳体320，也不从壳体320抽出流体。

在本实施例中，所述伺服阀20为电液伺服阀(Electro Hydraulic Servo Valve，EHSV)。所述阀伺服阀20可响应于电控制信号而在所述第一位置21、所述第二位置22和所述第三位置23之间切换。

需要指出的是，图3至图6中的伺服阀20仅为示意性实施方式。本申请的实施方式并未限定于此。在另外一些实施例中，可以通过配置包括多个阀的阀组或管路实现。

请参考图4、图5和图6，在本实施例中，所述伺服阀20为三位四通阀。所述伺服阀20包括第一端口20a、第二端口20b、第三端口20c和第四端口20d。所述伺服阀20的所述第一端口20a连接至所述进液流路11，所述第二端口20b连接至所述回液流路12，所述第三端口20c连接至所述模式选择阀30的第一端口30a，所述第四端口20d连通至所述模式选择阀30的第二端口30b。

如图4所示，当所述伺服阀20在第一位置21时，第一端口20a连通至所述第三端口20c，所述第二端口20b连通至所述第四端口20d。

如图5所示，当所述伺服阀20在第二位置22时，所述第一端口20a连通至所述第四端口20d，所述第二端口20b连通至所述第三端口20c。

如图6所示，当所述伺服阀20在第三位置23时，所述第一端口20a与所述第三端口20c和所述第四端口20d之间处于隔绝状态，所述第二端口20b与所述第三端口20c和所述第四端口20d之间处于隔绝状态。

请参考图3、图4、图5和图6，所述作动器具有主动模式和随动模式。请参考图4至图6，在所述主动模式，所述液压回路100用于提供液压流体以控制所述致动器300，此时所述致动器300能带动目标件运动。请参考图3在所述随动模式下，所述液压回路100对所述致动器300液压流体的供给被阻断，所述目标件带动所述致动器300运动。

请参考图3至图6，为了实现对所述主动模式和所述随动模式的切换，所述作动器设有切换回路200，所述切换回路200能选择性地断开或连通所述液压回路20和所述致动器起10之间的流体路径。

请参考图3至图6，所述切换回路200包括模式选择阀30、状态切换阀40和故障检测组件50。

请参考图3至图6，所述模式选择阀30在所述第一状态(即第一位置31)和所述第二状态(即第二位置32)之间切换。在所述第一状态，所述作动器处于主动模式，在所述第二状态，所述作动器处于随动模式。

请参考图4至图6，当所述模式选择阀30处于第一位置31时，所述进液流路11的高压液体能被提供至所述致动器300，所述致动器300中的低压液体能经由所述模式选择阀30和所述伺服阀20回流至所述回液流路12上。

请参考图3，当所述模式选择阀30处于第二位置32时，所述致动器300的所述第一腔室301和所述第二腔室302在所述模式选择阀30处流体连通。此时，所述模式选择阀30、所述第一腔室301和所述第二腔室302构成随动循环回路。当所述致动器300处于随动模式时，所述第一腔室301和所述第二腔室302的液体能依据所述致动器300中的活塞320的运动方向而在所述第一腔室301和所述第二腔室302之间流转。

请参考图3至图6，所述模式选择阀30为两位六通阀。所述模式选择阀30包括第一端口30a、第二端口30b、第三端口30c、第四端口30d、第五端口30e和第六端口30f。其中所述第一端口30a和第二端口30b分别连接至所述伺服阀20的端口20c，20d，所述第三端口30c连接至所述第一腔室301，所述第四端口30d连接至所述第二腔室302，所述第五端口30e和第六端口30f相连通。

如图4至图6所示，当所述模式选择阀30处于第一位置31时，所述第一端口30a和第三端口30c相连通，所述第二端口30b和所述模式选择阀30的第四端口30d相连通。

如图3所示，当所述模式选择阀30处于第二位置32时，所述第一端口30a和所述第二端口30b均与所述第三端口30c和所述第四端口30df相隔绝。此时，所述第五端口30e和所述第六端口30f相连通，所述随动循环回路打开。

优选地，在所述模式选择阀30的第五端口30e和第六端口30f之间连接有阻尼阀34，所述阻尼阀34用来在所述随动循环回路中提供液压阻尼作用。

请参考图3至图6，为了实现对所述模式选择阀30的切换，所述作动器包括状态切换阀40，所述状态切换阀40具有第一位置41和第二位置42。在所述第一位置41上，所述模式选择阀30维持在第一位置31，在所述第二位置42上，所述模式选择阀30维持在第二位置32上。

请参考图3和图4，所述状态切换阀40布置在模式选择阀30与所述进液流路11和所述回油流路12之间，所述电磁选择阀40能选择性地将所述进液流路11或者所述回油流路12中的液压流体提供至所述模式选择阀30，以使得所述模式选择阀30保持在相应的位置。

请参考图3和图6，所述状态切换阀40包括第一位置41和第二位置42。当所述状态切换阀40在第一位置41时，所述进液流路11的高压流体被提供至所述模式选择阀30，所述高压流体能抵抗所述模式选择阀30中弹性件的作用力，使得所述模式选择阀30由第二位置32切换至第一位置31。

相反地，当所述状态切换阀在第二位置42时所述回液流路12的低压流体被提供至所述模式选择阀30，所述模式选择阀30中的弹性件的作用力抵抗所述低压流体的作用，使得所述模式选择阀30由第一位置31切换至第二位置32。

在本实施例中，所述状态切换阀40为两位三通阀，其包括第一端口40a、第二端口40b和第三端口40c。所述第一端口40a连接至所述出液流路22，所述第二端口40b连接至所述进液流路11，所述第三端口40c连接至所述模式选择阀30。

请参考图4至图6，当所述状态切换阀40处于第一位置41时，所述第二端口40b连接至所述第三端口40c，此时所述进液流路11上的高压流体提供至所述模式选择阀30。

请参考图3，当所述状态切换阀40处于第二位置42时，所述第一端口40a连接至所述第三端口40c，所述回液流路12上的低压流体被提供至所述模式选择阀30。

请参考图3、图4、图5和图6，所述故障检测组件50为液压检测组件。通过采用液压检测组件对状态选择阀40的故障进行检测，能够检测状态切换阀40的液压输入状态、状态选择阀40的液压输出状态和模式选择阀30的状态均能检测，能够排除由于进液流路11或回液流路12自身压力原因模式切换的影响，防止故障误判，并且能够快速隔离故障，提高作动器的健康管理能力，提高作动器的可维护性。

在一优选实施例中，所述故障检测组件50包括压差检测器件，此时所述压差检测器件一端通过第一检测流体连接至回液流路12，所述压差检测器件的另一端通过第二检测流体连接至所述状态切换阀40和所述模式选择阀30之间。在本实施例中，所述压差检测器件能检测所述状态切换阀本身的切换是否正常。

优选地，在所述第一检测流路上设置有一压力阻尼元件43，所述压力阻尼元件43能够减缓所述第一检测流路对所述压差检测器件的压力冲击，降低故障率。

在另一些实施例中，所述故障检测组件50包括多个压力检测器件，其中一个所述传感器设置在所述状态切换阀40和所述回液流路12之间，其中另外一压力检测器件设置在所述状态切换阀40和所述模式选择阀30之间。

在另外一些实施例中，还可以在所述状态切换阀40和所述进液流路11之间的连通路径上再增设一压力检测器件。在本实施例中，通过增设对所述进液流路11的压力检测，能够排除由于进液流路11自身压力影响模式切换的情况，防止故障误判。

具体地，在所述模式选择阀30中设有位移监测器33，所述位移监测器33用来检测所述模式选择阀30的故障。所述位移监测器33用来检测所述模式选择阀30的阀芯是否在选定的位置上。

在一些实施例中，所述作动器还包括第一补偿流路和第二补偿流路，其中所述第一补偿流路由所述第一腔室301的端口处流体连接至所述回液流路12上，所述第二补偿流路由所述第二腔室302的端口处流体连接至所述回液流路12上。

其中所述第一补偿流路上设置有第一压力检测器件和第一抗气穴阀。所述第二补偿流路上设置有第二压力检测器件和第二抗气穴阀。

其中所述第一抗气穴阀和第二抗气穴阀均为液压单向阀，用来控制第一补偿流路和第二补偿流路中的液压流体的流动方向。

在本申请的实施例中，所述第一抗气穴阀允许所述回液流路12的液体进入所述第一腔室301中，所述第二抗气穴阀允许所述回液流路12上的液体进入所述第二腔室302中。

其中所述第一压力检测器件和所述第二压力检测器件用来检测所述第一补偿流路和第二补偿流路的压力，用来确定所述第一腔室301或所述第二腔室302的回油压力，进而能防止低压侧压力过小的情况发生。

显然地，通过设置所述第一补偿流路和所述第二补偿流路，能对所述活塞320的低压侧的腔室进行流体补偿，防止第一腔室301和第二腔室302之间的压差过大，导致的活塞320运动速度过快的情况发生。

这里说明的设备数量和处理规模是用来简化本申请的说明的。对本申请的应用、修改和变化对本领域的技术人员来说是显而易见的。

本文中所描述的不同实施方案的零部件可经组合以形成上文未具体陈述的其它实施例。零部件可不考虑在本文中所描述的结构内而不会不利地影响其操作。此外，各种单独零部件可被组合成一或多个个别零部件以执行本文中所描述的功能。

此外，尽管本申请的实施方案已公开如上，但其并不仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本申请的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本申请并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (14)

1.一种作动器，其特征在于，包括致动器、液压回路、模式选择阀、状态切换阀和故障检测组件；

其中所述模式选择阀布置在所述液压回路和所述致动器之间并具有第一状态和第二状态，在所述第一状态，所述模式选择阀将所述液压流体提供给所述致动器，在所述第二状态，所述模式选择阀阻断所述液压回路对所述致动器的液压流体的供给；

所述状态切换阀能够选择性地将所述模式选择阀保持在所述第一状态或者所述第二状态；

所述故障检测组件用来检测所述状态切换阀的故障。

2.如权利要求1所述的作动器，其特征在于，所述液压回路包括用来向所述致动器提供液压流体的进液流路以及用来释放所述致动器中的液压流体的回液流路；

所述状态切换阀能够选择性地将所述进液流路或者所述回液流路中的液压流体提供至所述模式选择阀，以使所述模式选择阀保持在所述第一状态或者所述第二状态。

3.如权利要求2所述的作动器，其特征在于，所述故障检测组件为液压检测组件。

4.如权利要求3所述的作动器，其特征在于，所述状态切换阀具有与所述进液流路连通的第一端口、与所述回液流路连通的第二端口以及与所述模式选择阀连通的第三端口；

所述液压检测组件包括至少两个压力检测器件或者至少一个压差检测器件；

其中两个所述压力检测器件分别布置在所述第二端口和所述第三端口；

所述压差检测器件连接于所述第二端口和所述第三端口之间。

5.如权利要求4所述的作动器，其特征在于，在所述压差检测器件和所述第三端口之间的检测流路上设置压力阻尼元件，所述压力阻尼元件用来减缓所述检测流路对所述压差检测器件的压力冲击。

6.如权利要求4所述的作动器，其特征在于，当所述故障检测组件包括至少两个压力检测器件时，在所述第一端口设置有一另一压力检测器件；

当所述故障检测组件包括至少所述压差检测器件时，在所述第三端口设置有一另一压力检测器件。

7.如权利要求2所述的作动器，其特征在于，所述致动器包括壳体和以能相对所述壳体往复运动地方式设置在所述壳体中的活塞，所述活塞和所述壳体界定有第一腔室和第二腔室；

所述液压回路还包括伺服阀，所述伺服阀能够选择性地将所述进液流路液压流体提供至所述第一腔室和所述第二腔室二者中的其中一个、以及将所述第一腔室和所述第二腔室二者中的另一个中的液压流体引导至所述回液流路。

8.如权利要求7所述的作动器，其特征在于，所述伺服阀还能够选择性地阻断所述进液流路的液压流体进入所述致动器中，以及阻断所述致动器中的液压流体进入所述回液流路中。

9.如权利要求7所述的作动器，其特征在于，所述作动器还包括：

第一补偿流路，连接于所述回液流路和所述第一腔室之间，所述回液流路能通过所述第一补偿流路对所述第一腔室进行流体补偿；以及，

第二补偿流路，连接在所述回液流路和所述第二腔室之间，所述回液流路能通过所述第二补偿流路对所述第二腔室进行流体补偿。

10.如权利要求9所述的作动器，其特征在于，所述第一补偿流路上设有第一抗气穴阀，所述第二补偿流路上设有第二抗气穴阀。

11.如权利要求1所述的作动器，其特征在于，在所述模式选择阀中设有位移监测器，所述位移监测器用来检测所述模式选择阀的故障。

12.如权利要求1至任一项11所述作动器，其特征在于，在所述第一状态，所述模式选择阀在所述进液流路和所述致动器两者之间形成流体路径、并在所述回液流路与所述致动器之间形成流体路径；

在所述第二状态，所述模式选择阀阻断所述进液流路和所述致动器两者之间的流体路径、以及所述回液流路与所述致动器两者之间的流体路径。

13.如权利要求12所述的作动器，其特征在于，当所述模式选择阀处于所述第二状态时，所述第一腔室和所述第二腔室在所述模式选择阀处流体连通。

14.一种作动系统，其特征在于，所述作动系统包括权利要求1至13中任一项所述的作动器。

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