CN114388568A - 柔性显示装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了柔性显示装置，柔性显示装置包括：有源层；源极电极，配置于所述有源层上，并通过第一接触孔与所述有源层连接；漏极电极，在与所述源极电极相同的层中与所述源极电极向第一方向隔开配置，并通过第二接触孔与所述有源层连接；第一像素电极，配置于所述漏极电极上，并包括与所述漏极电极的上面接触而与所述漏极电极电连接的下面；以及通孔绝缘层，配置于源极电极与第一像素电极之间，漏极电极贯通通孔绝缘层而与第一像素电极电连接。

Description

柔性显示装置
技术领域
本发明涉及一种柔性显示装置，更详细地，涉及一种发光效率得到改善的柔性显示装置。
背景技术
最近，柔性显示装置使用于智能手机、平板电脑、笔记本电脑、家电设备等各种电子设备。由此，正在进行用于提高所述柔性显示装置的发光效率的研究。
所述柔性显示装置可以包括晶体管、配置于所述晶体管上的绝缘层以及与所述晶体管连接的发光元件。为了连接所述晶体管和所述发光元件，需要形成连接所述晶体管的漏极电极和所述发光元件的阳极电极的接触孔。所述接触孔可以蚀刻所述绝缘层而形成。此时，所述绝缘层的上面的平坦性可能因蚀刻而降低。由此，配置于所述绝缘层上的所述阳极电极可能无法平坦地配置。由此，所述柔性显示装置的发光效率下降。
因此，正在进行用于平坦地配置所述阳极电极的研究。
发明内容
本发明的技术课题是从这一点着眼的，本发明的目的在于提供一种发光效率得到改善的柔性显示装置。
但是，本发明要解决的课题不限定于所述提及的课题，在不超出本发明的构思以及领域的范围中可以进行各种扩展。
根据用于实现所述的本发明的目的的实施例的柔性显示装置可以包括：有源层；源极电极，配置于所述有源层上，并通过第一接触孔与所述有源层连接；漏极电极，在与所述源极电极相同的层中与所述源极电极向第一方向隔开配置，并通过第二接触孔与所述有源层连接；第一像素电极，配置于所述漏极电极上，并包括在与所述漏极电极的上面接触的同时与所述漏极电极电连接的下面；以及通孔绝缘层，配置于所述源极电极与所述第一像素电极之间。可以是，所述漏极电极贯通所述通孔绝缘层并与所述第一像素电极电连接。
在实施例中，可以是，所述源极电极向垂直于所述第一方向的第二方向具有第一厚度，所述漏极电极向所述第二方向具有第二厚度，所述第二厚度比所述第一厚度厚。
在实施例中，可以是，所述通孔绝缘层使所述漏极电极的所述上面暴露。
在实施例中，可以是，所述漏极电极的所述上面和所述通孔绝缘层的上面配置于相同线上。
在实施例中，可以是，所述源极电极的上面与所述通孔绝缘层的上面之间的最短距离为至少3000埃。
在实施例中，可以是，所述柔性显示装置还包括：发光层，配置于所述第一像素电极上；以及第二像素电极，配置于所述发光层上。
根据用于实现所述的本发明的目的的实施例的柔性显示装置可以包括：有源层；源极电极，配置于所述有源层上，并通过第一接触孔与所述有源层连接；漏极电极，配置于所述有源层上，并通过第二接触孔与所述有源层连接；第一连接电极，配置于所述源极电极上，并通过第三接触孔与所述源极电极连接；第二连接电极，配置于与所述第一连接电极相同的层，并通过第四接触孔与所述漏极电极连接；第一像素电极，配置于所述第二连接电极上，并包括与所述第二连接电极的上面接触的下面；以及通孔绝缘层，配置于所述第一连接电极与所述第一像素电极之间。可以是，所述第二连接电极贯通所述通孔绝缘层并与所述第一像素电极电连接。
在实施例中，可以是，所述第一连接电极向垂直于第一方向的第二方向具有第一厚度，所述第二连接电极向所述第二方向具有第二厚度，所述第二厚度比所述第一厚度厚。
在实施例中，可以是，所述源极电极的向所述第二方向的厚度与所述漏极电极的向所述第二方向的厚度相同。
在实施例中，可以是，所述通孔绝缘层使所述第二连接电极的所述上面暴露。
在实施例中，可以是，所述第二连接电极的所述上面和所述通孔绝缘层的上面配置于相同线上。
在实施例中，可以是，所述第一连接电极的上面与所述通孔绝缘层的上面之间的最短距离为至少3000埃。
在实施例中，可以是，所述柔性显示装置还包括：发光层，配置于所述第一像素电极上；以及第二像素电极，配置于所述发光层上。
根据用于实现所述的本发明的目的的实施例的柔性显示装置可以包括：有源层；源极电极，配置于所述有源层上，并通过第一接触孔与所述有源层连接；漏极电极，配置于所述有源层上，并通过第二接触孔与所述有源层连接；第一连接电极，配置于所述源极电极上，并通过第三接触孔与所述源极电极连接；第二连接电极，配置于所述漏极电极上，并通过第四接触孔与所述漏极电极连接；第三连接电极，配置于所述第一连接电极上，并通过第五接触孔与所述第一连接电极连接；第四连接电极，配置于与所述第三连接电极相同的层，并通过第六接触孔与所述第二连接电极连接；第一像素电极，配置于所述第四连接电极上，并包括与所述第四连接电极的上面接触的下面；以及通孔绝缘层，配置于所述第三连接电极与所述第一像素电极之间。可以是，所述第四连接电极贯通所述通孔绝缘层并与所述第一像素电极电连接。
在实施例中，可以是，所述第三连接电极向垂直于第一方向的第二方向具有第一厚度，所述第四连接电极向所述第二方向具有第二厚度，所述第二厚度比所述第一厚度厚。
在实施例中，可以是，所述源极电极的向所述第二方向的厚度与所述漏极电极的向所述第二方向的厚度相同，所述第一连接电极的向所述第二方向的厚度与所述第二连接电极的向所述第二方向的厚度相同。
在实施例中，可以是，所述通孔绝缘层使所述第四连接电极的所述上面暴露。
在实施例中，可以是，所述第四连接电极的所述上面和所述通孔绝缘层的上面配置于相同线上。
在实施例中，可以是，所述第三连接电极的上面与所述通孔绝缘层的上面之间的最短距离为至少3000埃。
在实施例中，可以是，所述柔性显示装置还包括：发光层，配置于所述第一像素电极上；以及第二像素电极，配置于所述发光层上。
根据本发明的实施例的柔性显示装置可以包括：有源层；源极电极，配置于所述有源层上，并通过第一接触孔与所述有源层连接；漏极电极，在与所述源极电极相同的层中与所述源极电极向第一方向隔开配置，并通过第二接触孔与所述有源层连接；第一像素电极，配置于所述漏极电极上，并包括与所述漏极电极的上面接触而与所述漏极电极电连接的下面；以及通孔绝缘层，配置于所述源极电极与所述第一像素电极之间。所述漏极电极可以贯通所述通孔绝缘层而与所述第一像素电极电连接。
即，所述第一像素电极可以不形成接触孔并与所述漏极电极连接。通过此，能够防止形成接触孔时发生的通孔绝缘层的平坦性的降低。因此，能够改善所述柔性显示装置的发光效率。
但是，本发明的效果不限定于所述效果，在不超出本发明的构思以及领域的范围中可以进行各种扩展。
附图说明
图1是示出根据本发明的实施例的柔性显示装置的平面图。
图2是示出沿着图1的I-I’线截取的实施例的截面图。
图3是示出沿着图1的I-I’线截取的实施例的截面图。
图4是示出沿着图1的I-I’线截取的实施例的截面图。
图5a至图5e是示出制造图1的柔性显示装置的过程的图。
(附图标记说明)
PE1：第一像素电极
PE2：第二像素电极
CE1：第一连接电极
CE2：第二连接电极
CE3：第三连接电极
CE4：第四连接电极
CE5：第五连接电极
CE6：第六连接电极
TFT1：第一晶体管
TFT2：第二晶体管
VIA1：第一通孔绝缘层
VIA2：第二通孔绝缘层
VIA3：第三通孔绝缘层
CL：导电层
CP1：第一导电图案
CP2：第二导电图案
CP3：第三导电图案
PR1：第一光刻胶图案
PR2：第二光刻胶图案
具体实施方式
以下，参照所附的附图，更详细地说明本发明的实施例。针对附图中的相同的构成要件，使用相同的附图标记，并省略关于相同构成要件的重复说明。以下叙述的显示装置可以意指柔性显示装置。
图1是示出根据本发明的实施例的显示装置的平面图。
参照图1，所述显示装置可以包括显示面板DP、数据驱动部DDV，栅极驱动部GDV以及时序控制部CON。
在实施例中，所述显示面板DP可以一体地形成。另外，在实施例中，所述显示面板DP可以包括多个子显示面板。
所述显示面板DP可以包括多个像素P。所述多个像素P可以包括各个发光元件。所述显示面板DP可以通过所述发光元件显示图像。例如，所述发光元件可以包括有机发光二极管(organic light emitting diode；OLED)、量子点有机发光二极管(quantum-dotorganic light emitting diode；QDOLED)、量子点纳米发光二极管(quantum-dot nanolight emitting diode；QNED)中的任一个。另外，所述显示装置可以是液晶显示装置。
所述时序控制部CON可以基于从外部提供的控制信号CTRL以及输入图像数据IDAT而生成栅极控制信号GCTRL、数据控制信号DCTRL以及输出图像数据ODAT。例如，所述控制信号CTRL可以包括垂直同步信号、水平同步信号、输入数据使能信号、主时钟信号等。例如，所述输入图像数据IDAT可以是包括红色图像数据、绿色图像数据以及蓝色图像数据的RGB数据。另外，所述输入图像数据IDAT也可以包括品红色图像数据、青色图像数据、黄色图像数据。
所述栅极驱动部GDV可以基于从所述时序控制部CON提供的所述栅极控制信号GCTRL而生成栅极信号。例如，所述栅极控制信号GCTRL可以包括垂直起始信号、时钟信号等。
所述栅极驱动部GDV可以与所述显示面板DP电连接，并依次输出所述栅极信号。各个所述像素P可以根据各个所述栅极信号的控制，接收数据电压的提供。
所述数据驱动部DDV可以基于从所述时序控制部CON提供的所述数据控制信号DCTRL以及所述输出图像数据ODAT而生成所述数据电压。例如，所述数据控制信号DCTRL可以包括输出数据使能信号、水平起始信号、负载信号等。
所述数据驱动部DDV可以与所述显示面板DP电连接，并生成多个数据电压。各个所述像素P可以接收关于与各个所述数据电压相应的亮度的信号而显示图像。
图2是示出沿着图1的I-I’线截取的实施例的截面图。
参照图2，所述显示装置可以包括基板SUB、缓冲层BUF、栅极绝缘层GI、层间绝缘层ILD、第一通孔绝缘层VIA1、像素界定膜PDL、有机发光二极管OLED以及第一晶体管TFT1。在实施例中，所述有机发光二极管OLED可以包括第一像素电极PE1、发光层EL以及第二像素电极PE2。在实施例中，所述第一晶体管TFT1可以包括有源层ACT、栅极电极GATE、源极电极SE以及第一漏极电极DE1。
所述基板SUB可以包含塑料等。在实施例中，所述基板SUB可以包含塑料，由此所述显示装置可以具有柔性特性。在这种情况下，所述基板SUB可以具有至少一个有机膜层以及至少一个阻挡层交替堆叠的结构。例如，所述有机膜层可以使用聚酰亚胺之类的有机物质形成，所述阻挡层可以使用无机物质形成。
所述缓冲层BUF可以配置于所述基板SUB上。所述缓冲层BUF能够防止金属原子或杂质从所述基板SUB向所述有源层ACT扩散的现象。另外，所述缓冲层BUF能够在用于形成所述有源层ACT的结晶化工艺期间调节热的提供速度，由此，所述有源层ACT能够均匀地形成。
所述有源层ACT可以配置于所述缓冲层BUF上。在实施例中，所述有源层ACT可以包含氧化物类半导体物质。例如，所述氧化物类半导体物质可以包括从锌氧化物(ZnOx)、锡氧化物(SnOx)、铟氧化物(InOx)、铟锌氧化物(Indium Zinc Oxide；IZO)、铟镓氧化物(IndiumGallium Oxide；IGO)、锌锡氧化物(ZnSnxOy)以及铟镓锌氧化物(Indium Gallium ZincOxide；IGZO)中选择的至少一种。
另外，在实施例中，所述有源层ACT可以包含硅类半导体物质。例如，所述硅类半导体物质可以包括非晶硅、多晶硅等。
所述栅极绝缘层GI可以在所述缓冲层BUF上覆盖所述有源层ACT并配置。所述栅极绝缘层GI可以包含硅氧化物(SiOx)、硅氮化物(SiNx)、硅氮氧化物(SiNxOy)等。
所述栅极电极GATE可以配置于所述栅极绝缘层GI上。所述栅极电极GATE可以包含导电性物质。例如，所述栅极电极GATE可以包含金属、合金、导电性金属氧化物、透明导电性物质等。例如，所述栅极电极GATE可以包含银(Ag)、含有银的合金、钼(Mo)、含有钼的合金、铝(Al)、含有铝的合金、氮化铝(AlN)、钨(W)、氮化钨(WN)、铜(Cu)、镍(Ni)、铬(Cr)、氮化铬(CrN)、钛(Ti)、钽(Ta)、铂(Pt)、钪(Sc)、氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)等。
所述层间绝缘层ILD可以覆盖所述栅极电极GATE并配置于所述栅极绝缘层GI上。所述层间绝缘层ILD可以包含硅化合物、金属氧化物等。例如，所述层间绝缘层ILD可以包含硅氧化物(SiOx)、硅氮化物(SiNx)、硅氮氧化物(SiNxOy)等。
所述源极电极SE以及所述第一漏极电极DE1可以配置于所述层间绝缘层ILD上。所述源极电极SE以及所述第一漏极电极DE1可以包含金属、合金、导电性金属氧化物、透明导电性物质等。所述源极电极SE以及所述第一漏极电极DE1可以分别通过接触孔连接于所述有源层ACT。传递至所述源极电极SE的信号可以通过所述有源层ACT向所述第一漏极电极DE1传递。
在实施例中，所述第一漏极电极DE1可以与所述源极电极SE向第一方向DR1隔开配置。所述源极电极SE可以通过第一接触孔CNT1连接于所述有源层ACT。所述第一漏极电极DE1可以通过第二接触孔CNT2连接于所述有源层ACT。
所述源极电极SE可以向垂直于所述第一方向DR1的第二方向DR2具有厚度。所述第一漏极电极DE1可以具有向所述第二方向DR2的厚度。在实施例中，所述第一漏极电极DE1的向所述第二方向DR2的厚度可以比所述源极电极SE的向所述第二方向DR2的厚度厚。
所述第一通孔绝缘层VIA1可以覆盖所述源极电极SE并配置于所述层间绝缘层ILD上。在实施例中，所述第一通孔绝缘层VIA1可以由聚酰亚胺(PI)等之类的有机绝缘物质形成。
所述第一通孔绝缘层VIA1可以包括使所述第一漏极电极DE1暴露的开口。即，所述第一漏极电极DE1可以填充所述第一通孔绝缘层VIA1的开口。所述第一漏极电极DE1可以贯通所述第一通孔绝缘层VIA1而与所述第一像素电极PE1接触。通过此，所述第一漏极电极DE1可以与所述第一像素电极PE1连接。所述第一通孔绝缘层VIA1的向所述第二方向DR2的高度可以与所述第一漏极电极DE1的向所述第二方向DR2的高度实质上相同。
在实施例中，所述源极电极SE与所述第一像素电极PE1之间的最短距离可以是3000埃以上。通过此，能够防止在所述源极电极SE与所述第一像素电极PE1之间产生寄生电容。即，所述第一通孔绝缘层VIA1的上面与所述源极电极SE的上面之间的最短距离可以为至少3000埃。
所述第一像素电极PE1可以配置于所述第一通孔绝缘层VIA1上。所述第一像素电极PE1可以与所述第一漏极电极DE1接触。由于所述第一漏极电极DE1的向所述第二方向DR2的高度与所述第一通孔绝缘层VIA1的向所述第二方向DR2的高度实质上相同，因此所述第一像素电极PE1的下面可以与所述第一漏极电极DE1的上面直接接触。所述第一像素电极PE1可以包含金属、合金、导电性金属氧化物、透明导电性物质等。所述第一像素电极PE1可以通过所述第一漏极电极DE1接收信号的施加。在实施例中，所述第一像素电极PE1可以是阳极电极。
如此，通过将所述第一漏极电极DE1的向所述第二方向DR2的厚度形成得厚，所述第一漏极电极DE1与所述第一像素电极PE1可以没有另外的接触孔而直接接触。通过此，能够防止因形成接触孔的工艺而所述第一通孔绝缘层VIA1的平坦度降低。由此，所述有机发光二极管OLED平坦地配置，从而能够改善所述显示装置的发光效率。
所述像素界定膜PDL可以覆盖所述第一像素电极PE1的两端部，并配置于所述第一通孔绝缘层VIA1上。所述像素界定膜PDL可以包括使所述第一像素电极PE1的至少一部分暴露的开口。所述像素界定膜PDL可以执行划分多个像素的隔壁作用。在实施例中，所述像素界定膜PDL可以包含有机绝缘物质。例如，所述像素界定膜PDL可以包含聚酰亚胺(PI)、六甲基二硅氧烷(hexamethyldisiloxane)等之类的有机绝缘物质。
所述发光层EL可以配置于所述第一像素电极PE1上。即，所述发光层EL可以配置于通过所述像素界定膜PDL形成的开口。所述发光层EL可以发出光。为此，所述发光层EL可以包括空穴注入层、空穴传输层、有机发光层、电子传输层以及电子注入层。
所述第二像素电极PE2可以配置于所述发光层EL上。所述第二像素电极PE2可以包含金属、合金、导电性金属氧化物、透明导电性物质等。在实施例中，所述第二像素电极PE2可以是阴极电极。在实施例中，所述第二像素电极PE2可以覆盖所述像素界定膜PDL以及所述发光层EL并配置。所述第二像素电极PE2可以是整体将电压施加于显示装置的公共电极。
图3是示出沿着图1的I-I’线截取的实施例的截面图。除了层间绝缘层ILD以及第一像素电极PE1之间的结构之外，图3可以与图2实质上相同。因此将省略重复的结构。
参照图3，所述显示装置可以包括所述基板SUB、所述缓冲层BUF、所述栅极绝缘层GI、所述层间绝缘层ILD、所述第一通孔绝缘层VIA1、第一连接电极CE1、第二连接电极CE2、第二通孔绝缘层VIA2、所述像素界定膜PDL、所述有机发光二极管OLED以及第二晶体管TFT2。在实施例中，所述第二晶体管TFT2可以包括所述有源层ACT、所述栅极电极GATE、所述源极电极SE以及第二漏极电极DE2。
所述源极电极SE以及所述第二漏极电极DE2可以配置于所述层间绝缘层ILD上。所述第二漏极电极DE2可以与所述源极电极SE向所述第一方向DR1隔开配置。所述第二漏极电极DE2和所述源极电极SE可以具有实质上相同的厚度。
所述第一通孔绝缘层VIA1可以覆盖所述源极电极SE以及所述第二漏极电极DE2并配置于所述层间绝缘层ILD上。在实施例中，所述第一通孔绝缘层VIA1可以由聚酰亚胺(PI)等之类的有机绝缘物质形成。
所述第一连接电极CE1以及所述第二连接电极CE2可以配置于所述第一通孔绝缘层VIA1上。所述第一连接电极CE1以及所述第二连接电极CE2可以包含金属、合金、导电性金属氧化物、透明导电性物质等。
所述第一连接电极CE1可以通过第三接触孔CNT3与所述源极电极SE连接。通过此，通过所述第一连接电极CE1流动的信号可以向所述源极电极SE传递。所述第二连接电极CE2可以通过第四接触孔CNT4连接于所述第二漏极电极DE2。通过此，通过所述第一连接电极CE1流动的信号可以通过所述源极电极SE、所述有源层ACT以及所述第二漏极电极DE2向所述第二连接电极CE2传输。
在实施例中，所述第二连接电极CE2的向所述第二方向DR2的厚度可以比所述第一连接电极CE1的向所述第二方向DR2的厚度厚。
所述第二通孔绝缘层VIA2可以覆盖所述第一连接电极CE1并配置于所述第一通孔绝缘层VIA1上。在实施例中，所述第二通孔绝缘层VIA2可以由聚酰亚胺(PI)等之类的有机绝缘物质形成。
所述第二通孔绝缘层VIA2可以包括使所述第二连接电极CE2暴露的开口。即，所述第二连接电极CE2可以填充所述第二通孔绝缘层VIA2的开口。所述第二连接电极CE2可以贯通所述第二通孔绝缘层VIA2而与所述第一像素电极PE1接触。通过此，所述第二连接电极CE2可以与所述第一像素电极PE1连接。所述第二通孔绝缘层VIA2的向所述第二方向DR2的高度可以与所述第二连接电极CE2的向所述第二方向DR2的高度实质上相同。
在实施例中，所述第一连接电极CE1与所述第一像素电极PE1之间的最短距离可以是3000埃以上。通过此，能够防止在所述第一连接电极CE1与所述第一像素电极PE1之间产生寄生电容。即，所述第二通孔绝缘层VIA2的上面与所述第一连接电极CE1的上面之间的最短距离可以为至少3000埃。
所述第一像素电极PE1可以配置于所述第二通孔绝缘层VIA2上。所述第一像素电极PE1可以与所述第二连接电极CE2接触。由于所述第二连接电极CE2的向所述第二方向DR2的高度与所述第二通孔绝缘层VIA2的向所述第二方向DR2的高度实质上相同，因此所述第一像素电极PE1的下面可以与所述第二连接电极CE2的上面直接接触。所述第一像素电极PE1可以包含金属、合金、导电性金属氧化物、透明导电性物质等。所述第一像素电极PE1可以通过所述第二连接电极CE2接收信号的施加。在实施例中，所述第一像素电极PE1可以是阳极电极。
如此，通过将所述第二连接电极CE2的向所述第二方向DR2的厚度形成得厚，所述第二连接电极CE2与所述第一像素电极PE1可以没有另外的接触孔而直接接触。通过此，能够防止因形成接触孔的工艺而所述第二通孔绝缘层VIA2的平坦度降低，从而所述有机发光二极管OLED无法平坦地配置。由此，能够改善所述显示装置的发光效率。
图4是示出沿着图1的I-I’线截取的实施例的截面图。除了层间绝缘层ILD以及第一像素电极PE1之间的结构之外，图4可以与图2实质上相同。因此将省略重复的结构。
参照图4，所述显示装置可以包括所述基板SUB、所述缓冲层BUF、所述栅极绝缘层GI、所述层间绝缘层ILD、所述第一通孔绝缘层VIA1、第三连接电极CE3、第四连接电极CE4、第五连接电极CE5、第六连接电极CE6、所述第二通孔绝缘层VIA2、第三通孔绝缘层VIA3、所述像素界定膜PDL、所述有机发光二极管OLED以及所述第二晶体管TFT2。
所述源极电极SE以及所述第二漏极电极DE2可以配置于所述层间绝缘层ILD上。所述第二漏极电极DE2可以与所述源极电极SE向所述第一方向DR1隔开配置。所述第二漏极电极DE2和所述源极电极SE可以具有实质上相同的厚度。
所述第一通孔绝缘层VIA1可以覆盖所述源极电极SE以及所述第二漏极电极DE2并配置于所述层间绝缘层ILD上。在实施例中，所述第一通孔绝缘层VIA1可以由聚酰亚胺(PI)等之类的有机绝缘物质形成。
所述第三连接电极CE3以及所述第四连接电极CE4可以配置于所述第一通孔绝缘层VIA1上。所述第四连接电极CE4可以与所述第三连接电极CE3向所述第一方向DR1隔开配置。所述第三连接电极CE3以及所述第四连接电极CE4可以具有实质上相同的厚度。在实施例中，所述第三连接电极CE3可以通过第五接触孔CNT5与所述源极电极SE连接。所述第四连接电极CE4可以通过第六接触孔CNT6连接于所述第二漏极电极DE2。
所述第二通孔绝缘层VIA2可以覆盖所述第三连接电极CE3以及所述第四连接电极CE4并配置于所述第一通孔绝缘层VIA1上。在实施例中，所述第二通孔绝缘层VIA2可以由聚酰亚胺(PI)等之类的有机绝缘物质形成。
所述第五连接电极CE5以及所述第六连接电极CE6可以配置于所述第二通孔绝缘层VIA2上。所述第五连接电极CE5以及所述第六连接电极CE6可以包含金属、合金、导电性金属氧化物、透明导电性物质等。
所述第五连接电极CE5可以通过第七接触孔CNT7与所述第三连接电极CE3连接。通过此，通过所述第五连接电极CE5流动的信号可以向所述第三连接电极CE3以及所述源极电极SE传递。所述第六连接电极CE6可以通过第八接触孔CNT8连接于所述第四连接电极CE4以及所述第二漏极电极DE2。通过此，通过所述第五连接电极CE5流动的信号可以通过所述第三连接电极CE3、所述源极电极SE、所述有源层ACT、所述第二漏极电极DE2以及所述第四连接电极CE4向所述第六连接电极CE6传递。
在实施例中，所述第六连接电极CE6的向所述第二方向DR2的厚度可以比所述第五连接电极CE5的向所述第二方向DR2的厚度厚。
所述第三通孔绝缘层VIA3可以覆盖所述第五连接电极CE5并配置于所述第二通孔绝缘层VIA2上。在实施例中，所述第三通孔绝缘层VIA3可以由聚酰亚胺(PI)等之类的有机绝缘物质形成。
所述第三通孔绝缘层VIA3可以包括使所述第六连接电极CE6暴露的开口。即，所述第六连接电极CE6可以填充所述第三通孔绝缘层VIA3的开口。所述第六连接电极CE6可以贯通所述第三通孔绝缘层VIA3而与所述第一像素电极PE1接触。通过此，所述第六连接电极CE6可以与所述第一像素电极PE1连接。所述第三通孔绝缘层VIA3的向所述第二方向DR2的高度可以与所述第六连接电极CE6的向所述第二方向DR2的高度实质上相同。
在实施例中，所述第五连接电极CE5和所述第一像素电极PE1之间的最短距离可以是3000埃以上。通过此，能够防止在所述第五连接电极CE5与所述第一像素电极PE1之间产生寄生电容。即，所述第三通孔绝缘层VIA3的上面与所述第五连接电极CE5的上面之间的最短距离可以为至少3000埃。
所述第一像素电极PE1可以配置于所述第三通孔绝缘层VIA3上。所述第一像素电极PE1可以与所述第六连接电极CE6接触。由于所述第六连接电极CE6的向所述第二方向DR2的高度与所述第三通孔绝缘层VIA3的向所述第二方向DR2的高度实质上相同，因此所述第一像素电极PE1的下面可以与所述第六连接电极CE6的上面直接接触。所述第一像素电极PE1可以包含金属、合金、导电性金属氧化物、透明导电性物质等。所述第一像素电极PE1可以通过所述第六连接电极CE6接收信号的施加。在实施例中，所述第一像素电极PE1可以是阳极电极。
如此，通过将所述第六连接电极CE6的向所述第二方向DR2的厚度形成得厚，所述第六连接电极CE6与所述第一像素电极PE1可以没有另外的接触孔而直接接触。通过此，能够防止因形成接触孔的工艺降低而所述第三通孔绝缘层VIA3的平坦度降低，从而所述有机发光二极管OLED无法平坦地配置。由此，能够改善所述显示装置的发光效率。
图5a至图5e是示出制造图1的显示装置的过程的图。
参照图5a，可以配置导电层CL。所述导电层CL可以配置于绝缘层上。例如，所述导电层CL可以配置于图2的层间绝缘层ILD上。另外，所述导电层CL也可以配置于图2的第一通孔绝缘层VIA1或图2的第二通孔绝缘层VIA2上。在实施例中，所述导电层CL可以包含金属、合金、导电性金属氧化物、透明导电性物质等。
参照图5b，可以在所述导电层CL上配置第一光刻胶图案PR1以及第二光刻胶图案PR2。所述第二光刻胶图案PR2可以比所述第一光刻胶图案PR1厚。由此，可以利用所述第一光刻胶图案PR1以及第二光刻胶图案PR2作为掩模，蚀刻所述导电层CL。在实施例中，由于所述第一光刻胶图案PR1以及第二光刻胶图案PR2的厚度不同，因此所述导电层CL按照部分蚀刻的程度可以不同。
另外，在实施例中，可以对所述导电层CL利用掩模和半色调掩模按照部分不同地进行曝光后，进行蚀刻。在这种情况下，所述导电层CL的按照部分蚀刻的程度也可以不同。
参照图5c，可以通过蚀刻形成第一导电图案CP1以及第二导电图案CP2。所述第二导电图案CP2的厚度可以比所述第一导电图案CP1的厚度厚。
在实施例中，可以是，所述第一导电图案CP1对应于图2的源极电极SE，所述第二导电图案CP2对应于图2的第一漏极电极DE1。另外，在实施例中，可以是，所述第一导电图案CP1对应于图3的第一连接电极CE1，所述第二导电图案CP2对应于图3的第二连接电极CE2。另外，在实施例中，可以是，所述第一导电图案CP1对应于图4的第五连接电极CE5，所述第二导电图案CP2对应于图4的第六连接电极CE6。
参照图5d，可以在所述第一导电图案CP1以及第二导电图案CP2上配置绝缘层IL。在实施例中，所述绝缘层IL可以对应于图2的第一通孔绝缘层VIA1。另外，在实施例中，所述绝缘层IL可以对应于图3的第二通孔绝缘层VIA2。另外，在实施例中，所述绝缘层IL可以对应于图4的第三通孔绝缘层VIA3。
所述绝缘层IL可能无法具有平坦的上面。因此，可以在绝缘层IL的上面进行平坦化工艺。例如，通过化学机械抛光(chemical-mechanical polishing，CMP)工艺，所述绝缘层IL的上面可以平坦化。此时，可以进行所述平坦化工艺，以使所述第二导电图案CP2可以暴露于外部。在这种情况下，配置于所述第二导电图案CP2上的导电图案等可以没有另外的接触孔而与所述第二导电图案CP2连接。即，所述第二导电图案CP2和所述导电图案可以没有接触孔而电连接。
参照图5e，可以配置第三导电图案CP3以与所述绝缘层IL以及所述第二导电图案CP2接触。如此，所述第三导电图案CP3不通过接触孔可以与所述第二导电图案CP2直接接触并配置。由此，能够防止在形成所述接触孔的过程中所述绝缘层IL的平坦性降低而所述第三导电图案CP3无法平坦地配置。
在实施例中，所述第三导电图案CP3可以对应于图2至图4的第一像素电极PE1。在这种情况下，所述有机发光二极管OLED平坦地配置，从而能够改善所述显示装置的发光效率。
如上所述，尽管参照本发明的示例性实施例进行了说明，但是在本技术领域中具有通常的知识的人将理解在不脱离下面的权利要求书中记载的本发明的构思以及领域的范围内可以对本发明进行各种修改以及变更。
(工业上可利用性)
本发明可以应用于柔性显示装置。例如，所述柔性显示装置可以包括智能电话、平板电脑、笔记本电脑、显示器、电视机(TV)等。
以上，尽管参照本发明的示例性实施例进行了说明，但是在本技术领域中具有通常的知识的人将可以理解在不脱离下面的权利要求书中记载的本发明的构思以及领域的范围内可以对本发明进行各种修改以及变更。

Claims (10)

1.一种柔性显示装置，其特征在于，包括：
有源层；
源极电极，配置于所述有源层上，并通过第一接触孔与所述有源层连接；
漏极电极，在与所述源极电极相同的层中与所述源极电极向第一方向隔开配置，并通过第二接触孔与所述有源层连接；
第一像素电极，配置于所述漏极电极上，并包括在与所述漏极电极的上面接触的同时与所述漏极电极电连接的下面；以及
通孔绝缘层，配置于所述源极电极与所述第一像素电极之间，
所述漏极电极贯通所述通孔绝缘层并与所述第一像素电极电连接。
2.根据权利要求1所述的柔性显示装置，其特征在于，
所述源极电极向垂直于所述第一方向的第二方向具有第一厚度，
所述漏极电极向所述第二方向具有第二厚度，
所述第二厚度比所述第一厚度厚。
3.根据权利要求1所述的柔性显示装置，其特征在于，
所述通孔绝缘层使所述漏极电极的所述上面暴露。
4.根据权利要求3所述的柔性显示装置，其特征在于，
所述漏极电极的所述上面和所述通孔绝缘层的上面配置于相同线上。
5.根据权利要求1所述的柔性显示装置，其特征在于，
所述柔性显示装置还包括：
发光层，配置于所述第一像素电极上；以及
第二像素电极，配置于所述发光层上。
6.一种柔性显示装置，其特征在于，包括：
有源层；
源极电极，配置于所述有源层上，并通过第一接触孔与所述有源层连接；
漏极电极，配置于所述有源层上，并通过第二接触孔与所述有源层连接；
第一连接电极，配置于所述源极电极上，并通过第三接触孔与所述源极电极连接；
第二连接电极，配置于与所述第一连接电极相同的层，并通过第四接触孔与所述漏极电极连接；
第一像素电极，配置于所述第二连接电极上，并包括与所述第二连接电极的上面接触的下面；以及
通孔绝缘层，配置于所述第一连接电极与所述第一像素电极之间，
所述第二连接电极贯通所述通孔绝缘层并与所述第一像素电极电连接。
7.根据权利要求6所述的柔性显示装置，其特征在于，
所述第一连接电极向垂直于第一方向的第二方向具有第一厚度，
所述第二连接电极向所述第二方向具有第二厚度，
所述第二厚度比所述第一厚度厚。
8.一种柔性显示装置，其特征在于，包括：
有源层；
源极电极，配置于所述有源层上，并通过第一接触孔与所述有源层连接；
漏极电极，配置于所述有源层上，并通过第二接触孔与所述有源层连接；
第一连接电极，配置于所述源极电极上，并通过第三接触孔与所述源极电极连接；
第二连接电极，配置于所述漏极电极上，并通过第四接触孔与所述漏极电极连接；
第三连接电极，配置于所述第一连接电极上，并通过第五接触孔与所述第一连接电极连接；
第四连接电极，配置于与所述第三连接电极相同的层，并通过第六接触孔与所述第二连接电极连接；
第一像素电极，配置于所述第四连接电极上，并包括与所述第四连接电极的上面接触的下面；以及
通孔绝缘层，配置于所述第三连接电极与所述第一像素电极之间，
所述第四连接电极贯通所述通孔绝缘层并与所述第一像素电极电连接。
9.根据权利要求8所述的柔性显示装置，其特征在于，
所述第三连接电极向垂直于第一方向的第二方向具有第一厚度，
所述第四连接电极向所述第二方向具有第二厚度，
所述第二厚度比所述第一厚度厚。
10.根据权利要求9所述的柔性显示装置，其特征在于，
所述源极电极的向所述第二方向的厚度与所述漏极电极的向所述第二方向的厚度相同，
所述第一连接电极的向所述第二方向的厚度与所述第二连接电极的向所述第二方向的厚度相同。
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