CN114324369A - 双极板表面划痕检测系统及方法 - Google Patents

双极板表面划痕检测系统及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN114324369A
CN114324369A CN202210234835.8A CN202210234835A CN114324369A CN 114324369 A CN114324369 A CN 114324369A CN 202210234835 A CN202210234835 A CN 202210234835A CN 114324369 A CN114324369 A CN 114324369A
Authority
CN
China
Prior art keywords
bipolar plate
detection
polaroid
optical imaging
light beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202210234835.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN114324369B (zh
Inventor
齐志刚
陈国飞
龚钦
曾爱军
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Xinyan Chuangneng Technology Co ltd
Nanjing Institute of Advanced Laser Technology
Original Assignee
Beijing Xinyan Chuangneng Technology Co ltd
Nanjing Institute of Advanced Laser Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Xinyan Chuangneng Technology Co ltd, Nanjing Institute of Advanced Laser Technology filed Critical Beijing Xinyan Chuangneng Technology Co ltd
Priority to CN202210234835.8A priority Critical patent/CN114324369B/zh
Publication of CN114324369A publication Critical patent/CN114324369A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN114324369B publication Critical patent/CN114324369B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02EREDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E60/00Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
    • Y02E60/30Hydrogen technology
    • Y02E60/50Fuel cells

Abstract

本发明涉及划痕检测技术领域,提供了一种双极板表面划痕检测系统及方法,该检测系统包括:光源组件、第一偏振片、第二偏振片、成像组件和控制单元;光源组件用于发射偏振光;第一偏振片布置在光源组件与待测双极板之间;第二偏振片布置在预设检测区域上方;成像组件布置在第二偏振片远离待测双极板的一侧,用于采集透射光束的光学成像信息。本发明通过合理布置第一偏振片和第二偏振片的位置对光学光路进行优化设计,从而得到划痕区域曝光被增强、其他区域曝光被减弱的光学图像,利用成像组件将双极板上的划痕凸显出来,使控制单元能够快速准确的判断出划痕的存在,从而提高划痕的检测精度,避免出现漏检和误检的问题。

Description

双极板表面划痕检测系统及方法
技术领域
本发明涉及划痕检测技术领域,尤其是涉及一种双极板表面划痕检测系统及方法。
背景技术
氢能是公认的清洁能源。近年来,我国加快在氢能的布局和发展规划,已在氢能领域取得多方面进展。氢燃料电池是一种将氢的化学能转换为电能的发电装置,具有零碳排放、无污染、工作温度低、噪声低等优势,一直被认为是利用氢能解决未来人类能源危机的终极方案。
双极板是氢燃料电池的核心元件,主要用于将燃料和空气分配到两个电极表面以及用于电池堆的散热。双极板由两块极板组成,通过密封胶或者焊接的方式进行组合。
不锈钢和钛合金是制备极板的一种主要材料。金属双极板制作完成后,需要通过如物理气相沉积等方法进行镀膜,将一层薄膜镀到金属双极板的两个表面。而金属极板和/或金属双极板在生产过程中,表面形成的划痕会影响镀膜的膜层厚度、均匀性、附着力、耐久性等,从而影响燃料电池的性能和寿命。因此,在镀膜之前,对金属双极板表面进行划痕检测是非常必要的。此外,石墨是制备极板的另一种主要材料,石墨双极板表面有划痕的话,会影响双极板的机械强度,甚至导致石墨双极板在组装电堆施压过程中破裂、或在电堆运行过程中由于反应气或冷却液的压力而破裂,从而严重影响燃料电池的性能和寿命。
目前,在实际生产工艺中,大多还是人工抽查排查的方法,非常容易漏检。即使有部分公司提出用相机拍照的方法进行在线检测,但在实施过程中,由于双极板表面形状复杂、且划痕较细较浅,目前人工智能很难准确判断出划痕,仍然需要人工对图像进行排查判断,同样会存在漏检、误检等现象。
发明内容
本发明的目的在于提供一种双极板表面划痕检测系统及方法,以解决现有划痕检测方式精度不高、容易出现漏检和误检的问题。
第一个方面,本发明实施例提供了一种双极板表面划痕检测系统,包括:光源组件、第一偏振片、第二偏振片、成像组件和控制单元;
所述光源组件用于发射偏振光,所述偏振光包括水平偏振光和垂直偏振光;所述第一偏振片布置在所述光源组件与待测双极板之间,用于使所述水平偏振光或者垂直偏振光透过,以形成入射光束,所述入射光束射向所述待测双极板的预设检测区域,并形成反射光束;所述第二偏振片布置在所述预设检测区域上方,用于使所述反射光束中与所述第二偏振片的透光方向一致的光线通过,并形成透射光束;其中,所述第一偏振片的透光方向与所述第二偏振片的透光方向始终维持第一预设夹角;所述成像组件布置在所述第二偏振片远离所述待测双极板的一侧,用于采集所述透射光束的光学成像信息;所述控制单元与所述成像组件电连接,用于获取所述透射光束的光学成像信息,并根据所述透射光束的光学成像信息确定所述预设检测区域是否存在划痕。
可选地,所述双极板表面划痕检测系统还包括:第一转动机构和第二转动机构;所述第一偏振片安装在所述第一转动机构上,所述第二偏振片安装在所述第二转动机构上;所述控制单元分别与所述第一转动机构和所述第二转动机构电连接,用于驱动所述第一转动机构和所述第二转动机构同步转动,以获取所述透射光束亮度最高的光学成像信息,并根据所述透射光束亮度最高的光学成像信息确定所述预设检测区域是否存在划痕。
可选地,所述成像组件包括成像镜头和检测相机,所述成像镜头安装在所述检测相机上,以使得所述透射光束经所述成像镜头之后被所述检测相机捕获。
可选地,所述成像镜头为远心镜头,所述远心镜头用于增加所述透射光束的成像景深;和/或,所述检测相机包括集成有若干硅传感器的面阵探测器,所述面阵探测器正对所述成像镜头,并与所述成像镜头之间保持预设间距,用于将获取到的所述光学成像信息发送至所述控制单元。
可选地,所述光源组件包括:光源模块和投射镜头;所述投射镜头设置在所述光源模块与所述第一偏振片之间,用于所述偏振光的准直。
可选地,所述偏振光为窄带宽LED光源或者激光光源;和/或,所述偏振光的光谱范围为200nm~1100nm。
可选地,所述第一偏振片所在的平面与所述待测双极板所在的平面之间具有第二预设夹角;和/或,所述第二偏振片所在的平面与所述待测双极板所在的平面平行。
可选地,所述第一预设夹角为90度。
可选地,所述双极板表面划痕检测系统还包括:检测支架和检测平台;所述光源组件、所述第一转动机构和所述第二转动机构和所述成像组件均安装在所述检测支架上;所述待测双极板置于所述检测平台上,所述检测支架或者所述检测平台底部设置有移动机构,所述移动机构与所述用于带动所述检测支架或者所述检测平台移动。
第二个方面,本发明实施例还提供了一种双极板表面划痕检测方法,基于第一个方面所述的双极板表面划痕检测系统,包括:
控制光源组件向第一偏振片发射偏振光,使得透过所述第一偏振片的入射光束射向所述待测双极板的预设检测区域并反射形成反射光束;
获取所述反射光束通过第二偏振片后所述形成的透射光束的光学成像信息,并根据所述光学成像信息确定所述预设检测区域是否存在划痕。
可选地,所述获取所述反射光束通过第二偏振片后所述形成的透射光束的光学成像信息,并根据所述光学成像信息确定所述预设检测区域是否存在划痕,包括:
控制所述第一偏振片和所述第二偏振片同步转动至预设位置,以使得所述成像组件采集到亮度最高的所述光学成像信息;
获取亮度最高的所述光学成像信息,根据亮度最高的所述光学成像信息确定所述预设检测区域是否存在划痕。
本发明实施例至少具有以下技术效果:
本发明实施例提供的双极板表面划痕检测系统及方法,通过合理布置第一偏振片和第二偏振片的位置对光学光路进行优化设计,从而得到划痕区域曝光被增强、其他区域曝光被减弱的光学图像,将双极板上的划痕凸显出来,使控制单元能够快速准确的判断出划痕的存在,从而提高划痕的检测精度,避免出现漏检和误检的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种双极板表面划痕检测系统的分布示意图;
图2为本发明实施例提供的一种双极板表面划痕检测系统的具体结构示意图;
图3为本发明实施例提供的另一种双极板表面划痕检测系统的结构示意图;
图4为本发明实施例提供的一种双极板表面划痕检测方法的流程示意图;
图5为本发明实施例提供的一种双极板表面划痕检测方法的步骤S200的具体流程示意图。
图标:100-光源组件;110-光源模块;120-投射镜头;200-第一偏振片;300-待测双极板;310-预设检测区域;400-第二偏振片;500-成像组件;510-检测相机;520-成像镜头;600-控制单元;700-检测平台;800-检测支架。
具体实施方式
下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本技术领域技术人员可以理解,除非另外定义,这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语),具有与本发明所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是,诸如通用字典中定义的那些术语,应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义,除非这里被特定定义。
本技术领域技术人员可以理解,除非特意声明,这里使用的单数形式 “一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是,本发明的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、步骤、操作、元件和/或组件,但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组合。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的全部或任一单元和全部组合。
结合图1和图2所示,本发明实施例提供了一种双极板表面划痕检测系统,包括:光源组件100、第一偏振片200、第二偏振片400、成像组件500和控制单元600。其中,光源组件100用于发射偏振光,该偏振光包括水平偏振光和垂直偏振光,水平偏振光和垂直偏振片的偏振方向垂直。
具体地,第一偏振片200布置在光源组件100与待测双极板300之间,第一偏振片200仅设置一种透偏方向,仅使得水平偏振光或者垂直偏振光中的其中一种光线透过,透过之后的偏振光形成入射光束。入射光束射向待测双极板300的预设检测区域310,经双极板300表面反射之后形成反射光束。同时,第二偏振片400布置在预设检测区域310上方,用于使反射光束中与第二偏振片400的透光方向一致的光线通过,并形成透射光束。其中,第一偏振片200的透光方向与第二偏振片400的透光方向始终维持第一预设夹角α。
进一步地,成像组件500布置在第二偏振片400远离待测双极板300的一侧,用于采集透射光束的光学成像信息。控制单元600与光源组件100和成像组件500电连接,用于控制成像组件500采集透射光束的光学成像信息,以及获取透射光束的光学成像信息,并根据透射光束的光学成像信息确定预设检测区域310是否存在划痕。
需要说明的是,假设第一预设夹角α为90度,即第一偏振片200的透光方向和第二偏振片400的透光方向垂直,例如:第一偏振片200仅允许水平偏振光透过,第二偏振片400仅允许垂直偏振光透过。若待测双极板300表面没有划痕,则反射回去的反射光束的偏振态不变,在经过第二偏振片400时,由于第二偏振片400的方向只允许垂直偏振态的光线通过。因此,水平偏振态的反射光束经过第二偏振片400后全部被过滤,没有光线可以透过,此时成像组件500中观察到一片黑暗(可以看作是没有对应的光学成像信息)。若极板表面存在划痕,则照射在划痕处的水平偏振态的光线会发生偏振状态的改变,致使反射光束中包含一部分垂直偏振态的光线,这样在经过第二偏振片400后,划痕的成像位置就会由于垂直偏振态的光线透过第二偏振片400形成透射光束,透射光束到达成像组件500而产生了亮点,这样便可简单快速的检测双极板表面划痕的存在与否。此外,第一预设夹角α还可以根据双极板表面的结构和材质特性进行适当调整。
本发明提供的双极板表面划痕检测系统,通过合理布置第一偏振片200和第二偏振片400的位置对光学光路进行优化设计,从而得到划痕区域曝光被增强、其他区域曝光被减弱的光学图像,利用成像组件500将双极板上的划痕凸显出来,使控制单元600能够快速准确的判断出划痕的存在,从而提高划痕的检测精度,避免出现漏检和误检的问题。
在一个可选的实施例中,继续参阅图1,本实施例提供的双极板表面划痕检测系统还包括:第一转动机构和第二转动机构。
具体地,第一偏振片200安装在第一转动机构上,通过第一转动机构带动第一偏振片200转动;第二偏振片400安装在第二转动机构上,通过第二转动机构带动带动第二偏振片400转动。
进一步地,控制单元600分别与第一转动机构和第二转动机构电连接,用于驱动第一转动机构和第二转动机构同步转动,第一转动机构和第二转动机构转动时分别带动第一偏振片200和第二偏振片400同步转动,使得第一偏振片200的透光方向和第二偏振片400的透光方向之间的第一预设夹角α维持不变,当第一偏振片200和第二偏振片400转动至某一角度状态下时,成像组件500采集到透射光束亮度最高的光学成像信息。控制单元600获取到该亮度最高的光学成像信息之后,即可根据该亮度最高的光学成像信息确定预设检测区域310是否存在划痕,从而更精确、且更容易地识别出双极板表面的划痕。
可选地,第一转动机构和第二转动机构均包括转动架,转动架的中间为镂空结构,第一偏振片200和第二偏振片400的边缘结构安装在对应的转动架上以实现转动,并且不会影响透光效果。
本实施例提供的双极板表面划痕检测系统,通过设置相应的转动机构分别带动第一偏振片200和第二偏振片400同步转动,使得成像组件500可以采集到透射光束亮度最高的光学成像信息,这样便于控制单元600对光学成像信息进行处理和识别,有利于提高划痕的检测精度。
在一个可选的实施例中,如图2所示,成像组件500还包括成像镜头520和检测相机510,成像镜头520安装在检测相机510上,以使得透射光束经成像镜头520之后被检测相机510捕获。
可选地,本实施例中的成像镜头520采用远心镜头,远心镜头成像的光线平行于镜头,在一定物距范围内移动物体时成像不变,也就是放大倍率不变的情况下增加透射光束的成像景深。
可选地,检测相机510包括集成有若干硅传感器的面阵探测器,面阵探测器正对成像镜头520,并与成像镜头520之间保持预设间距,用于将获取到的光学成像信息发送至控制单元。需要说明的是,本实施例中采用的面阵探测器对偏振光的光谱有较好的响应,具有较好的成像质量,便于识别双极板表面的划痕。
在一个可选的实施例中,继续参阅图2,本实施例中的光源组件100包括:光源模块110和投射镜头120。其中,投射镜头120设置在光源模块110与第一偏振片200之间,主要用于对偏振光进行准直和扩束,从而将光源模块110发出的偏振光调整至合适的照明尺寸,以满足不同预设检测区域310的检测需求。
可选地,本实施例中的偏振光包括窄带宽LED光源或者激光光源,从而具有较好的聚焦性。此外,窄带宽LED光源或者激光光源的光谱范围选择在200nm~1100nm,该波段光谱的光源容易被成像组件500获取,从而容易识别出双极板表面是否存在划痕。
在一个可选的实施例中,继续参阅图1,第一偏振片200所在的平面与待测双极板300所在的平面之间具有第二预设夹角β,这样偏振光更容易使划痕区域产生漫反射,而且漫反射之后的反射光束容易被成像组件500接收。优选地,第二预设夹角β位于30°~60°之间,以保证划痕区域的漫反射效果。
可选地,第二偏振片400所在的平面与待测双极板300所在的平面平行,即第二偏振片400位于预设检测区域310的正上方,当待测双极板300的预设检测区域310存在划痕时,垂直于待检测双极板的反射光束中的部分光线即可通过第二偏振片400到达成像组件500,成像组件500采集到该透射光束的光学成像信息并发送至控制单元600,控制单元600根据获取的光学成像信息即可确定出双极板表面是否存在划痕。需要说明的是,若成像组件500能够采集到光学成像信息即表明存在划痕。
在一个可选的实施例中,如图3所示,本实施例提供双极板表面划痕检测系统还包括:检测支架800和检测平台700。
具体地,检测支架700作为整个双极板表面划痕检测系统的载体,主要用于安装光源组件100、第一转动机构和第二转动机构和成像组件500,通过将第一转动机构和第二转动机构安装在检测支架上,从而间接将第一偏振片200和第二偏振片400安装在检测支架上。检测平台800作为待测双极板300的载体,主要用于待测双极板300的支撑和定位,保证检测的准确性。
进一步地,为了便于对双极板表面划痕的全部区域进行检测,本实施例可在检测支架800或者检测平台700上设置相应的移动机构,通过该移动机构带动检测支架或者检测平台移动。
可选地,本实施例中的移动机构主要包括设置在底座上的第一移动组件、第二移动组件和第三移动组件。其中,第一移动组件用于带动检测平台700沿X方向移动(图3中垂直于直面的方向)。第二移动组件呈龙门结构,用于带动第三移动组件沿Y方向移动(图3中的水平方向),第三移动组件与检测支架800连接,用于带动检测支架800沿着Z方向移动(图3中的竖直方向)。通过第一移动组件、第二移动组件以及第三移动组件的配合,可实现偏振光与待测双极板300之间的相对移动,可以通过控制单元600控制第一移动组件、第二移动组件以及第三移动组件,进而对待测双极板300不同区域依次进行扫描检测,并且每次检测的区域可以根据偏振光度的照射范围进行调整,保证对待测双极板300上的检测范围全覆盖。
本实施例中,通过设置移动机构可以实现检测平台或者检测支架的移动,从而实现偏振光的照射区域与待测双极板300之间的相对移动,利用控制单元600对第一移动组件和第二移动组件的控制,即可实现整个待测双极板300的全面扫描检测。
基于同一发明构思,如图4所示,本发明实施例还提供一种双极板表面划痕检测方法,基于本发明实施例中前述的双极板表面划痕检测系统,双极板表面划痕检测系统的具体结构不再详细赘述。该双极板表面划痕检测方法主要包括以下步骤:
S100,控制光源组件向第一偏振片发射偏振光,使得透过第一偏振片的入射光束射向待测双极板的预设检测区域并反射形成反射光束。
具体地,入射光束射向待测双极板300的预设检测区域310,经双极板300表面反射之后形成反射光束,由于划痕位置为漫反射,反射光束可能向四面八方进行反射。
S200,获取反射光束通过第二偏振片后形成的透射光束的光学成像信息,并根据光学成像信息确定预设检测区域是否存在划痕。
具体地,控制单元通过获取成像组件500采集的光学成像信息,即可判断预设检测区域310是否存在划痕。若光学成像信息包含有亮点,则表明预设检测区域310存在划痕,若光学成像信息为全黑图像,则表明预设检测区域310不存在划痕。
本实施例提供的双极板表面划痕检测方法,基于前述实施例中的双极板表面划痕检测系统,该检测方法通过合理布置第一偏振片200和第二偏振片400的位置对光学光路进行优化设计,从而得到划痕区域曝光被增强、其他区域曝光被减弱的光学图像,利用成像组件500将双极板上的划痕凸显出来,使控制单元600能够快速准确的判断出划痕的存在,从而提高划痕的检测精度,避免出现漏检和误检的问题。
在一个可选的实施例中,如图5所示,上述实施例中的步骤S200进一步包括:
S210,控制第一偏振片和第二偏振片同步转动至预设位置,以使得成像组件采集到亮度最高的光学成像信息。
具体地,控制单元600通过驱动第一转动机构和第二转动机构同步转动,分别带动第一偏振片200和第二偏振片400同步转动,使得二者之间的透光方向之间的第一预设夹角α维持不变,当第一偏振片200和第二偏振片400转动至某一角度状态下时,成像组件500采集到透射光束亮度最高的光学成像信息。
S220,获取亮度最高的光学成像信息,根据亮度最高的光学成像信息确定预设检测区域是否存在划痕。
具体地,控制单元600根据获取亮度最高的光学成像信息,即可快速地确定待测双极板300表面是否存在划痕,从而提高检测效率。
本技术领域技术人员可以理解,本发明中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案可以被交替、更改、组合或删除。进一步地,具有本发明中已经讨论过的各种操作、方法、流程中的其他步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。进一步地,现有技术中的具有与本发明中公开的各种操作、方法、流程中的步骤、措施、方案也可以被交替、更改、重排、分解、组合或删除。
在本发明的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体状况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本说明书的描述中,具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
应该理解的是,虽然附图的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示,但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明,这些步骤的执行并没有严格的顺序限制,其可以以其他的顺序执行。而且,附图的流程图中的至少一部分步骤可以包括多个子步骤或者多个阶段,这些子步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成,而是可以在不同的时刻执行,其执行顺序也不必然是依次进行,而是可以与其他步骤或者其他步骤的子步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。
最后应说明的是:以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (11)

1.一种双极板表面划痕检测系统,其特征在于,包括:
光源组件,所述光源组件用于发射偏振光,所述偏振光包括水平偏振光和垂直偏振光;
第一偏振片,所述第一偏振片布置在所述光源组件与待测双极板之间,用于使所述水平偏振光或者垂直偏振光透过,以形成入射光束,所述入射光束射向所述待测双极板的预设检测区域,并形成反射光束;
第二偏振片,所述第二偏振片布置在所述预设检测区域上方,用于使所述反射光束中与所述第二偏振片的透光方向一致的光线通过,并形成透射光束;其中,所述第一偏振片的透光方向与所述第二偏振片的透光方向始终维持第一预设夹角;
成像组件,所述成像组件布置在所述第二偏振片远离所述待测双极板的一侧,用于采集所述透射光束的光学成像信息;
控制单元,所述控制单元与所述成像组件电连接,用于获取所述透射光束的光学成像信息,并根据所述透射光束的光学成像信息确定所述预设检测区域是否存在划痕。
2.根据权利要求1所述的双极板表面划痕检测系统,其特征在于,还包括:第一转动机构和第二转动机构;所述第一偏振片安装在所述第一转动机构上,所述第二偏振片安装在所述第二转动机构上;
所述控制单元分别与所述第一转动机构和所述第二转动机构电连接,用于驱动所述第一转动机构和所述第二转动机构同步转动,以获取所述透射光束亮度最高的光学成像信息,并根据所述透射光束亮度最高的光学成像信息确定所述预设检测区域是否存在划痕。
3.根据权利要求1所述的双极板表面划痕检测系统,其特征在于,所述成像组件包括成像镜头和检测相机,所述成像镜头安装在所述检测相机上,以使得所述透射光束经所述成像镜头之后被所述检测相机捕获。
4.根据权利要求3所述的双极板表面划痕检测系统,其特征在于,所述成像镜头为远心镜头,所述远心镜头用于增加所述透射光束的成像景深;
和/或,所述检测相机包括集成有若干硅传感器的面阵探测器,所述面阵探测器正对所述成像镜头,并与所述成像镜头之间保持预设间距,用于将获取到的所述光学成像信息发送至所述控制单元。
5.根据权利要求1所述的双极板表面划痕检测系统,其特征在于,所述光源组件包括:光源模块和投射镜头;
所述投射镜头设置在所述光源模块与所述第一偏振片之间,用于所述偏振光的准直。
6.根据权利要求5所述的双极板表面划痕检测系统,其特征在于,所述偏振光为窄带宽LED光源或者激光光源;和/或,所述偏振光的光谱范围为200nm~1100nm。
7.根据权利要求1所述的双极板表面划痕检测系统,其特征在于,所述第一偏振片所在的平面与所述待测双极板所在的平面之间具有第二预设夹角;
和/或,所述第二偏振片所在的平面与所述待测双极板所在的平面平行。
8.根据权利要求1所述的双极板表面划痕检测系统,其特征在于,所述第一预设夹角为90度。
9.根据权利要求2所述的双极板表面划痕检测系统,其特征在于,还包括:检测支架和检测平台;所述光源组件、所述第一转动机构和所述第二转动机构和所述成像组件均安装在所述检测支架上;
所述待测双极板置于所述检测平台上,所述检测支架或者所述检测平台上设置有移动机构,所述移动机构与所述用于带动所述检测支架或者所述检测平台移动。
10.一种双极板表面划痕检测方法,基于权利要求1至9中任一项所述的双极板表面划痕检测系统,其特征在于,包括:
控制光源组件向第一偏振片发射偏振光,使得透过所述第一偏振片的入射光束射向所述待测双极板的预设检测区域并反射形成反射光束;
获取所述反射光束通过第二偏振片后所述形成的透射光束的光学成像信息,并根据所述光学成像信息确定所述预设检测区域是否存在划痕。
11.根据权利要求10所述的双极板表面划痕检测方法,其特征在于,所述获取所述反射光束通过第二偏振片后所述形成的透射光束的光学成像信息,并根据所述光学成像信息确定所述预设检测区域是否存在划痕,包括:
控制所述第一偏振片和所述第二偏振片同步转动至预设位置,以使得所述成像组件采集的所述光学成像信息的亮度最高;
获取亮度最高的所述光学成像信息,根据亮度最高的所述光学成像信息确定所述预设检测区域是否存在划痕。
CN202210234835.8A 2022-03-11 2022-03-11 双极板表面划痕检测系统及方法 Active CN114324369B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210234835.8A CN114324369B (zh) 2022-03-11 2022-03-11 双极板表面划痕检测系统及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210234835.8A CN114324369B (zh) 2022-03-11 2022-03-11 双极板表面划痕检测系统及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN114324369A true CN114324369A (zh) 2022-04-12
CN114324369B CN114324369B (zh) 2022-06-07

Family

ID=81033242

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210234835.8A Active CN114324369B (zh) 2022-03-11 2022-03-11 双极板表面划痕检测系统及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114324369B (zh)

Citations (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1424576A (zh) * 2001-12-04 2003-06-18 株式会社拓普康 表面检查装置
CN1532518A (zh) * 2003-03-26 2004-09-29 ������������ʽ���� 缺陷检查装置、缺陷检查方法和孔图形的检查方法
JP2005527958A (ja) * 2002-05-27 2005-09-15 コミツサリア タ レネルジー アトミーク 螺旋形の構造を有する燃料電池のための基本セル、該セルの製造方法および複数の基本セルを備える燃料電池
CN101086483A (zh) * 2006-06-09 2007-12-12 富士胶片株式会社 用于检查膜缺陷的设备和方法
EP2041331A1 (de) * 2006-07-19 2009-04-01 Oerlikon Trading AG, Trübbach Verfahren zum abscheiden elektrisch isolierender schichten
CN104899890A (zh) * 2015-06-23 2015-09-09 上海一雅实业有限公司 基于偏振光成像技术的检测方法
TW201602548A (zh) * 2014-06-02 2016-01-16 橫河電機股份有限公司 使用偏振光的檢查設備
CN109060659A (zh) * 2018-08-08 2018-12-21 西安工业大学 一种光学元件表面疵病三维信息的检测系统及检测方法
CN109313008A (zh) * 2016-04-21 2019-02-05 诺威量测设备股份有限公司 用于样本测量的光学系统和方法
CN109580638A (zh) * 2018-12-07 2019-04-05 华中科技大学 一种小型光面注塑件的外观检测系统及方法
CN109916909A (zh) * 2019-03-25 2019-06-21 西安工业大学 光学元件表面形貌及亚表面缺陷信息的检测方法及其装置
CN110441309A (zh) * 2019-07-08 2019-11-12 中国科学院上海光学精密机械研究所 显微散射偏振成像表面缺陷测量装置和测量方法
US20200323819A1 (en) * 2009-12-04 2020-10-15 Sunovion Pharmaceuticals Inc. Multicyclic compounds and methods of use thereof
CN112198169A (zh) * 2020-12-07 2021-01-08 紫创(南京)科技有限公司 一种晶圆检测装置及线上成套设备
CN112697800A (zh) * 2020-12-09 2021-04-23 上海御微半导体技术有限公司 一种缺陷检测装置及方法
CN112903539A (zh) * 2021-03-29 2021-06-04 清华大学深圳国际研究生院 一种液流电池电解液扩散系数的成像检测装置及方法
CN113125436A (zh) * 2021-04-22 2021-07-16 华中科技大学 基于光学暗场显微技术的检测系统和方法
CN213933620U (zh) * 2020-09-22 2021-08-10 珠海市运泰利自动化设备有限公司 偏振光源和表面缺陷检测装置
CN113381036A (zh) * 2020-03-10 2021-09-10 莱茵兹密封垫有限公司 具有纳米至微米范围内的周期性表面结构的隔板
JP2021136073A (ja) * 2020-02-24 2021-09-13 ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツングRobert Bosch Gmbh 検査システム、検査方法、燃料電池及び電解質膜
CN113454428A (zh) * 2019-01-08 2021-09-28 开米美景公司 隐蔽识别系统和方法

Patent Citations (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1424576A (zh) * 2001-12-04 2003-06-18 株式会社拓普康 表面检查装置
JP2005527958A (ja) * 2002-05-27 2005-09-15 コミツサリア タ レネルジー アトミーク 螺旋形の構造を有する燃料電池のための基本セル、該セルの製造方法および複数の基本セルを備える燃料電池
CN1532518A (zh) * 2003-03-26 2004-09-29 ������������ʽ���� 缺陷检查装置、缺陷检查方法和孔图形的检查方法
CN101086483A (zh) * 2006-06-09 2007-12-12 富士胶片株式会社 用于检查膜缺陷的设备和方法
EP2041331A1 (de) * 2006-07-19 2009-04-01 Oerlikon Trading AG, Trübbach Verfahren zum abscheiden elektrisch isolierender schichten
US20200323819A1 (en) * 2009-12-04 2020-10-15 Sunovion Pharmaceuticals Inc. Multicyclic compounds and methods of use thereof
TW201602548A (zh) * 2014-06-02 2016-01-16 橫河電機股份有限公司 使用偏振光的檢查設備
CN104899890A (zh) * 2015-06-23 2015-09-09 上海一雅实业有限公司 基于偏振光成像技术的检测方法
CN109313008A (zh) * 2016-04-21 2019-02-05 诺威量测设备股份有限公司 用于样本测量的光学系统和方法
CN109060659A (zh) * 2018-08-08 2018-12-21 西安工业大学 一种光学元件表面疵病三维信息的检测系统及检测方法
CN109580638A (zh) * 2018-12-07 2019-04-05 华中科技大学 一种小型光面注塑件的外观检测系统及方法
CN113454428A (zh) * 2019-01-08 2021-09-28 开米美景公司 隐蔽识别系统和方法
CN109916909A (zh) * 2019-03-25 2019-06-21 西安工业大学 光学元件表面形貌及亚表面缺陷信息的检测方法及其装置
CN110441309A (zh) * 2019-07-08 2019-11-12 中国科学院上海光学精密机械研究所 显微散射偏振成像表面缺陷测量装置和测量方法
JP2021136073A (ja) * 2020-02-24 2021-09-13 ロベルト・ボッシュ・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツングRobert Bosch Gmbh 検査システム、検査方法、燃料電池及び電解質膜
CN113381036A (zh) * 2020-03-10 2021-09-10 莱茵兹密封垫有限公司 具有纳米至微米范围内的周期性表面结构的隔板
CN213933620U (zh) * 2020-09-22 2021-08-10 珠海市运泰利自动化设备有限公司 偏振光源和表面缺陷检测装置
CN112198169A (zh) * 2020-12-07 2021-01-08 紫创(南京)科技有限公司 一种晶圆检测装置及线上成套设备
CN112697800A (zh) * 2020-12-09 2021-04-23 上海御微半导体技术有限公司 一种缺陷检测装置及方法
CN112903539A (zh) * 2021-03-29 2021-06-04 清华大学深圳国际研究生院 一种液流电池电解液扩散系数的成像检测装置及方法
CN113125436A (zh) * 2021-04-22 2021-07-16 华中科技大学 基于光学暗场显微技术的检测系统和方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN114324369B (zh) 2022-06-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5867412B2 (ja) 表面検査装置及びその方法
CN103454070B (zh) 一种基于ccd探测的x射线组合折射透镜聚焦性能测试方法
JP4583722B2 (ja) ピンホール検出方法及びメンブレインエレクトロードアッセンブリの生産方法
KR20120060320A (ko) 연료전지 스택 부품 핀홀 검출 시스템
US20100167431A1 (en) Laser processing apparatus
CN110231344A (zh) 一种膜电极缺陷快速筛拣方法及设备
CN218917225U (zh) 检测系统
CN114324369B (zh) 双极板表面划痕检测系统及方法
CN1244022C (zh) 曝光装置
CN113899766A (zh) 用于检测极片翻折的方法及极片翻折检测平台
US20130120762A1 (en) Diaphragm position measuring method, diaphragm position measuring apparatus, diaphragm positioning method and diaphragm positioning apparatus
CN110618138B (zh) 一种利用等厚干涉原理检测显示屏中缺陷的方法
CN110231345B (zh) 一种膜电极缺陷在线检测方法及设备
JP5659711B2 (ja) 極端紫外光光源装置における照度分布の検出方法および極端紫外光光源装置
CN116884872A (zh) 晶圆表面曲率半径检测装置、方法及薄膜应力检测方法
CN108398450B (zh) 基于组合x射线毛细管的微束x射线荧光分析方法
CN217505161U (zh) 一种自聚焦透镜数值孔径测试装置
US20130010282A1 (en) Illuminance distribution detection method in extreme ultraviolet light source apparatus and positioning method of light focusing optical means
JP2008292216A (ja) 創薬スクリーニング装置
CN207164366U (zh) 一种影像扫描系统的光学扫描装置
CN207164364U (zh) 影像扫描系统及其激光光束模组
CN216309796U (zh) 一种可快速切换光学模块的荧光成像装置
CN220752377U (zh) 透镜基座调节装置
CN115513020B (zh) 对中调节工装、电子束束斑检测装置及对中调节方法
US8785893B2 (en) Extreme ultraviolet light source and positioning method of light focusing optical means

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant