CN114280896B - 一种掩膜版交接工位的标定方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩膜版交接工位的标定方法及装置，包括如下步骤：将版叉移动到第一位置并记录该第一位置的坐标，其中所述第一位置与交接入口位无干涉，且版叉至少部分伸入交接入口位；在所述第一位置，执行交接入口位的位置标定，以获取所述交接入口位的第一标定坐标；以及在纵向上距离所述第一位置指定距离的第二位置，执行交接末端位的位置标定，以获取交接末端位的第二标定坐标；基于所述第一标定坐标和第二标定坐标确定所述交接工位的坐标位置。本公开的方法可以有效的提高掩模版精确标定的效率，提高交接工位标定的精度以及标定过程中的安全性，尤其显著提高成批量的掩模传输精确标定工作效率。

Description

一种掩膜版交接工位的标定方法及装置

技术领域

本发明涉及芯片测试技术领域，尤其涉及一种掩膜版交接工位的标定方法及装置。

背景技术

掩模板作为大型半导体工艺设备的核心物料，其传输方式要求具有精度高、安全可靠、稳定性高等特点。掩模传输系统结构紧凑，安全交接是掩模传输的一项核心指标在精确标定机械手交接工位过程中，由于空间尺寸及工况限制，常规方法标定较为繁琐。

在精确标定机械手交接工位过程中，由于空间尺寸及工况限制，常规方法标定较为繁琐、精度无法保障，并且在精确标定过程中无法保证人为造成的安全隐患。

常规的掩模板传输交接工位标定需要手动控制机械手微动步进，实时观察交接的间隙及接触情况，会耗费大量的人力物力，整个标定过程耗时较长、效率较低。

同时常规的掩模板传输交接工位标定过程需要手动控制机械手，因此需要断开机械手的防碰撞互锁装置，人工操作难免发生意外情况，会对掩模板及结构造成较大的安全隐患。

并且利用人工手动完成的标定，即使同一台设备两次标定也无法做到交接工位完全一致，成批量设备更无法保证交接工位的一致性。

发明内容

本发明实施例提供一种掩膜版交接工位的标定方法及装置，可以通过软件算法控制采集第一标定坐标和第二标定坐标，从而有效的提高掩模版精确标定的效率，提高交接工位标定的精度以及标定过程中的安全性，尤其显著提高成批量的掩模传输精确标定工作效率。

本公开提出一种掩膜版交接工位的标定方法，包括如下步骤：将版叉移动到第一位置并记录该第一位置的坐标，其中所述第一位置与交接入口位无干涉，且版叉至少部分伸入交接入口位；在所述第一位置，执行交接入口位的位置标定，以获取所述交接入口位的第一标定坐标；以及在纵向上距离所述第一位置指定距离的第二位置，执行交接末端位的位置标定，以获取交接末端位的第二标定坐标；基于所述第一标定坐标和第二标定坐标确定所述交接工位的坐标位置。

在一些实施例中，在所述第一位置，执行交接入口位的位置标定，以获取所述交接入口位的第一标定坐标包括：

所述第一位置，控制所述版叉在X向进行标定，以确定所述版叉与X向正负方向限位件接触时的第一横坐标和第二横坐标；

回归所述第一位置，控制所述版叉在Z向进行标定，以确定所述版叉与Z向正负方向限位件接触时的第一竖坐标和第二竖坐标。

在一些实施例中，控制所述版叉在Z向进行标定之后，所述标定方法还包括：回归所述第一位置，控制所述版叉在Y向正方向移动，在与限位件接触后，沿Y向负方向回退所述指定距离来确定第二纵坐标；

将所述第二纵坐标对应为位置作为所述第二位置。

在一些实施例中，在纵向上距离所述第一位置指定距离的第二位置，执行交接末端位的位置标定，以获取交接末端位的第二标定坐标包括：

在所述第二位置，控制所述版叉在X向进行标定，以确定所述版叉与X向正负方向限位件接触时的第三横坐标和第四横坐标；

回归所述第二位置，控制所述版叉在Z向进行标定，以确定所述版叉与Z向正负方向限位件接触时的第三竖坐标和第四竖坐标。

在一些实施例中，基于所述第一标定坐标和第二标定坐标确定所述交接工位的坐标位置包括：

基于所述第一横坐标的绝对值与所述第二横坐标的绝对值做差确定第一差值，以及，基于所述第三横坐标的绝对值与所述第四横坐标的绝对值做差确定第二差值，并根据所述第一差值的绝对值以及所述第二差值的绝对值所确定的第一均值来确定所述坐标位置的横坐标；

所述交接工位的坐标位置的纵坐标为所述第二位置的纵坐标；

基于所述第一竖坐标的绝对值与所述第二竖坐标的绝对值做差确定第三差值，以及，基于所述第三竖坐标的绝对值与所述第四竖坐标的绝对值做差确定第四差值，并根据所述第三差值的绝对值以及所述第四差值的绝对值所确定的第二均值来确定所述坐标位置的竖坐标。

在一些实施例中，基于所述第一标定坐标和第二标定坐标确定所述交接工位的坐标位置还包括：

在所述第一横坐标的绝对值与所述第一位置的横坐标的绝对值的差值的绝对值大于所述第二横坐标的绝对值与所述第一位置的横坐标的绝对值的差值的绝对值的情况下，所述坐标位置的横坐标为所述第一位置的横坐标与所述第一均值之和；

在所述第一横坐标的绝对值与所述第一位置的横坐标的绝对值的差值的绝对值小于等于所述第二横坐标的绝对值与所述第一位置的横坐标的绝对值的差值的绝对值的情况下，所述坐标位置的横坐标为所述第一位置的横坐标与所述第一均值之差；

在所述第一竖坐标的绝对值与所述第一位置的竖坐标的绝对值的差值的绝对值大于所述第二竖坐标的绝对值与所述第一位置的竖坐标的绝对值的差值的绝对值的情况下，所述坐标位置的竖坐标为所述第一位置的竖坐标与所述第二均值之和；

在所述第一竖坐标的绝对值与所述第一位置的竖坐标的绝对值的差值的绝对值小于等于所述第二竖坐标的绝对值与所述第一位置的竖坐标的绝对值的差值的绝对值的情况下，所述坐标位置的竖坐标为所述第一位置的竖坐标与所述第二均值之差。

在一些实施例中，所述第一均值满足：

其中，x₀₁表示第一横坐标，x₀₂表示第二横坐标，x₁₀表示第三横坐标，x₂₀表示第四横坐标；

其中，z₀₁表示第一竖坐标，z₀₂表示第二竖坐标，z₁₀表示第三竖坐标，z₂₀表示第四竖坐标。

本公开还提出一种掩膜版交接工位的标定装置，包括处理器和存储器，所述存储器中存储有计算机程序，在所述处理器调用所述计算机程序时实现本公开各实施例所述的掩膜版交接工位的标定方法。

本公开的方法可以对机械手版叉的XYZ三个方向坐标值实现补偿，从而确定出精确的安全交接工位的坐标位置。相比较于人工标定，本公开的方法可以有效的提高掩模版精确标定的效率，提高交接工位标定的精度以及标定过程中的安全性，尤其显著提高成批量的掩模传输精确标定工作效率。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本发明的具体实施方式。

附图说明

通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本发明的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：

图1为本公开的掩膜版交接工位结构示意图；

图2为本公开的标定方法的基本流程图；

图3、图4为本公开的标定方法对交接入口位的标定示意图；

图5、图6为本公开的标定方法对交接末端位的标定示意图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

本公开提出一种掩膜版交接工位的标定方法，所述掩膜版交接工位上设置有多个方位的限位组件，并且各限位组件连接至信号传感器，以通过所述信号传感器检测所述版叉在各方位上的接触。图1示出了掩膜版交接工位的整体结构示意图，如图1中掩膜版交接工位用于放置掩膜版5，E型导向槽1，X向限位块2，掩模板盒支架3，Y向限位块6，Z向导向安全销7，信号传感器8，固定基板9，其中机械手版叉4可以伸入掩膜版交接工位的空间中来获取掩膜版5，并将掩膜版5传送到指定的位置。

其中，E型导向槽1，固定在固定基板9的一端，带有E型的导向槽结构，可以为安装在机械手版叉4上的Z向导向安全销7提供Z向导向槽，分别为机械手版叉4取放掩模板5过程提供安全导向，并且为机械手版叉4提供X向限位。E型导向槽1采用金属导电材料制成，与信号传感器8负极端导通互联。当机械手版叉4向X正向自适应行程与E型导线槽接触会触发信号传感器8产生信号反馈。

X向限位块2：固定在固定基板9另一端，为机械手版叉4提供X向限位，采用金属导电材料制成。通过固定基板9与E型导向槽1导通互联，当机械手版叉4向X负向自适应行程与X向限位块2接触会触发信号传感器8产生信号反馈。

掩模板盒支架3：安装定位在固定基板9上，为掩模板5提供支撑放置平台结构。

Y向限位块6：固定在X向限位块2上，为机械手版叉4提供Y向限位，采用金属导电材料制成。通过固定基板9与E型导向槽1导通互联，当机械手版叉4向Y向自适应行程与Y向限位块接触6会触发信号传感器8产生反馈信号。

基于此本公开的掩膜版交接工位的标定方法，如图2所示，包括如下步骤：

在步骤S201中，将版叉移动到第一位置并记录该第一位置的坐标，其中所述第一位置与交接入口位无干涉，且版叉至少部分伸入交接入口位。第一位置与交接入口位无干涉也即此时机械手版叉4不接触任一方向的壁面，且至少部分深入交接入口位中，具体的伸入位置可以根据传送掩模板5的需求来设定，在此不做限定。此步骤可以通过手动调整完成，也可以通过程序来完成，在移动到第一位置后，可以通过后台程序记录此时的坐标位置。

在步骤S202中，在所述第一位置，执行交接入口位的位置标定，以获取所述交接入口位的第一标定坐标。在步骤S202中进行接口为的位置标定，例如可以基于X向限位块、Y向限位块、Z向导向安全销以及信号传感器来完成位置标定，本公开中交接入口位与交接末端位的标定并非固定的先后顺序，也可以先执行交接末端位的标定，再执行交接入口位的标定，具体的顺序在此不做限定。在该步骤中通过信号传感器来完成机械手版叉在交接入口位的位置标定，具体可以通过后台程序记录交接入口位的第一标定坐标。

在步骤S203中，在纵向上距离所述第一位置指定距离的第二位置，执行交接末端位的位置标定，以获取交接末端位的第二标定坐标。本示例中，在纵向(Y向)上距离第一位置指定距离的第二位置，从而可以确定出交接末端位的第二标定坐标。在该步骤中也可以通过信号传感器来完成机械手版叉在交接末端位的位置标定，具体也可以通过后台程序记录交接末端位的第二标定坐标。

在步骤S204中，基于所述第一标定坐标和第二标定坐标确定所述交接工位的坐标位置。在前述记录了交接入口位的第一标定坐标以及交接末端位的第二标定坐标的基础上，可以通过后台程序的软件算法来确定交接工位的坐标位置。

本公开的方法可以对机械手版叉的XYZ三个方向坐标值实现补偿，从而确定出精确的安全交接工位的坐标位置。相比较于人工标定，本公开的方法可以有效的提高掩模版精确标定的效率，提高交接工位标定的精度以及标定过程中的安全性，尤其显著提高成批量的掩模传输精确标定工作效率。

在一些实施例中，在所述第一位置，执行交接入口位的位置标定，以获取所述交接入口位的第一标定坐标包括：

在所述第一位置，控制所述版叉在X向进行标定，以确定所述版叉与X向正负方向限位件接触时的第一横坐标和第二横坐标；

回归所述第一位置，控制所述版叉在Z向进行标定，以确定所述版叉与Z向正负方向限位件接触时的第一竖坐标和第二竖坐标。

具体的，本公开中进一步说明执行交接入口位的位置标定的一种手段，具体的执行标定步骤的顺序在此不做限定，例如也可以先执行Z向的标定，再执行X向的标定。在一些实施例中，将所述第一位置的坐标作为坐标原点。如图3、图4所示，在所述第一位置(x₀₀,y₀₀,z₀₀)，控制所述版叉在X向进行标定，确定所述版叉与X向正负方向限位件接触触发触发信号传感器的第一横坐标(x₀₁,y₀₀,z₀₀)和第二横坐标(x₀₂,y₀₀,z₀₀)。然后回归所述第一位置(x₀₀,y₀₀,z₀₀)，控制所述版叉在Z向进行标定，以确定所述版叉与Z向正负方向限位件接触触发信号传感器的第一竖坐标(x₀₀,y₀₀,z₀₁)和第二竖坐标(x₀₀,y₀₀,z₀₂)。

在一些实施例中，控制所述版叉在Z向进行标定之后，所述标定方法还包括：回归所述第一位置，控制所述版叉在Y向正方向移动，在与限位件接触后，沿Y向负方向回退所述指定距离来确定第二纵坐标，将所述第二纵坐标对应为位置作为所述第二位置。具体的，本公开的标定方法在前述实施例中完成了交接入口位的位置标定，本示例中，进一步执行交接末端位的位置标定，在交接末端位的位置标定之前，本公开的方法先控制机械手版叉回归所述第一位置(x₀₀,y₀₀,z₀₀)，接着控制所述版叉在Y向正方向移动。当与Y正向限位块接触时，触发信号传感器，根据后台程序设定的自适应反向沿Y负向回退指定距离L，程序记录当前机械手版叉的坐标(x₀₀,y₀₁,z₀₀)，即为第二位置，再基于该第二位置执行标定。

在一些实施例中，在纵向上距离所述第一位置指定距离的第二位置，执行交接末端位的位置标定，以获取交接末端位的第二标定坐标包括：

在所述第二位置，控制所述版叉在X向进行标定，以确定所述版叉与X向正负方向限位件接触时的第三横坐标和第四横坐标；

回归所述第二位置，控制所述版叉在Z向进行标定，以确定所述版叉与Z向正负方向限位件接触时的第三竖坐标和第四竖坐标。

类似于第一位置的标定，如图5、图6所示，标定出第三横坐标(x₁₀,y₀₁,z₀₀)和第四横坐标(x₂₀,y₀₁,z₀₀)，以及第三竖坐标(x₀₀,y₀₁,z₁₀)和第四竖坐标(x₀₀,y₀₁,z₂₀)。

在一些实施例中，基于所述第一标定坐标和第二标定坐标确定所述交接工位的坐标位置包括：基于所述第一横坐标的绝对值与所述第二横坐标的绝对值做差确定第一差值，以及，基于所述第三横坐标的绝对值与所述第四横坐标的绝对值做差确定第二差值，并根据所述第一差值的绝对值以及所述第二差值的绝对值所确定的第一均值来确定所述坐标位置的横坐标；所述交接工位的坐标位置的纵坐标为所述第二位置的纵坐标；基于所述第一竖坐标的绝对值与所述第二竖坐标的绝对值做差确定第三差值，以及，基于所述第三竖坐标的绝对值与所述第四竖坐标的绝对值做差确定第四差值，并根据所述第三差值的绝对值以及所述第四差值的绝对值所确定的第二均值来确定所述坐标位置的竖坐标。

在一些实施例中，基于所述第一标定坐标和第二标定坐标确定所述交接工位的坐标位置还包括：在所述第一横坐标的绝对值与所述第一位置的横坐标的绝对值的差值的绝对值大于所述第二横坐标的绝对值与所述第一位置的横坐标的绝对值的差值的绝对值的情况下，所述坐标位置的横坐标为所述第一位置的横坐标与所述第一均值之和。

在所述第一横坐标的绝对值与所述第一位置的横坐标的绝对值的差值的绝对值小于等于所述第二横坐标的绝对值与所述第一位置的横坐标的绝对值的差值的绝对值的情况下，所述坐标位置的横坐标为所述第一位置的横坐标与所述第一均值之差。

在所述第一竖坐标的绝对值与所述第一位置的竖坐标的绝对值的差值的绝对值大于所述第二竖坐标的绝对值与所述第一位置的竖坐标的绝对值的差值的绝对值的情况下，所述坐标位置的竖坐标为所述第一位置的竖坐标与所述第二均值之和。

在所述第一竖坐标的绝对值与所述第一位置的竖坐标的绝对值的差值的绝对值小于等于所述第二竖坐标的绝对值与所述第一位置的竖坐标的绝对值的差值的绝对值的情况下，所述坐标位置的竖坐标为所述第一位置的竖坐标与所述第二均值之差。

在一些实施例中，所述第一均值满足：

其中，x₀₁表示第一横坐标，x₀₂表示第二横坐标，x₁₀表示第三横坐标，x₂₀表示第四横坐标；

其中，z₀₁表示第一竖坐标，z₀₂表示第二竖坐标，z₁₀表示第三竖坐标，z₂₀表示第四竖坐标。

具体的确定交接工位的坐标位置(x_p,y_p,z_p)的方式可以采用如下方式：

若||x₀₁|-|x₀₀||＞||x₀₂|-|x₀₀||则：

若||x₀₁|-|x₀₀||≤||x₀₂|-|x₀₀||则：

y_p＝y₀₁

若||z₀₁|-|z₀₀||＞||z₀₂|-|z₀₀||则：

若||z₀₁|-|z₀₀||≤||z₀₂|-|z₀₀||则：

完成标定后，交接工位的精确的坐标位置为(x_p,y_p,z_p)。

本公开的精确标定过程为软件程序控制机械手版叉自适应运动行程，当到达限位触发信号传感器电机停止运动并记录瞬时坐标值，电机的响应时间小于30ms，例如设定机械手版叉标定运动速度为0.1mm/S，则电机响应停止行程为0.003mm，如果降低精确标定速度，标定精度会更高。因此本公开的标定方法可以满足掩模传输的精度要求。

本公开的方法精确标定并且过程简单便捷，只需要将机械手运行至标定理论计算位置坐标，运行后台程序，机械手即可实现自适应运动行程，自动完成整个精确标定工序，中间过程无需人工干预，可有效提高整个精确标定工序的效率。对于成批量的掩模传输设备，提高精确标定效率更为明显。

本公开的方法中间过程没有人为干预，整个精确标定过程机械手防碰撞互锁系统始终处于工作状态，避免了手动控制过程断开互锁系统人工手动操作造成的意外情况，降低安全隐患。

本公开的方法可有效降低精确标定过程精度尺寸累计误差，精确标定的精度由电机的响应时间与信号传感器的触发条件决定，去除机械结构重复性误差，精确标定的结果一致性高。

本公开还提出一种掩膜版交接工位的标定装置，包括处理器和存储器，所述存储器中存储有计算机程序，在所述处理器调用所述计算机程序时实现本公开各实施例所述的掩膜版交接工位的标定方法。

需要说明的是，在本文中，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者装置不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者装置所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括该要素的过程、方法、物品或者装置中还存在另外的相同要素。

上述本发明实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣。

通过以上的实施方式的描述，本领域的技术人员可以清楚地了解到上述实施例方法可借助软件加必需的通用硬件平台的方式来实现，当然也可以通过硬件，但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质(如ROM/RAM、磁碟、光盘)中，包括若干指令用以使得一台终端(可以是计算机或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述的方法。

上面结合附图对本发明的实施例进行了描述，但是本发明并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本发明的启示下，在不脱离本发明宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，这些均属于本发明的保护之内。

Claims (8)

1.一种掩膜版交接工位的标定方法，其特征在于，包括如下步骤：

将版叉移动到第一位置并记录该第一位置的坐标，其中所述第一位置与交接入口位无干涉、版叉不接触任一方向的壁面，且版叉至少部分伸入交接入口位；

在所述第一位置，执行交接入口位的位置标定，以获取所述交接入口位的第一标定坐标；以及

在纵向上距离所述第一位置指定距离的第二位置，执行交接末端位的位置标定，以获取交接末端位的第二标定坐标；

基于所述第一标定坐标和第二标定坐标确定所述交接工位的坐标位置；在所述第一位置，执行交接入口位的位置标定，以获取所述交接入口位的第一标定坐标包括：

在所述第一位置，控制所述版叉在X向进行标定，以确定所述版叉与X向正负方向限位件接触时的第一横坐标和第二横坐标；

回归所述第一位置，控制所述版叉在Z向进行标定，以确定所述版叉与Z向正负方向限位件接触时的第一竖坐标和第二竖坐标；

控制所述版叉在Z向进行标定之后，所述标定方法还包括：

回归所述第一位置，控制所述版叉在Y向正方向移动，在与限位件接触后，沿Y向负方向回退所述指定距离来确定第二纵坐标；

将所述第二纵坐标对应位置作为所述第二位置。

2.如权利要求1所述的掩膜版交接工位的标定方法，其特征在于，在纵向上距离所述第一位置指定距离的第二位置，执行交接末端位的位置标定，以获取交接末端位的第二标定坐标包括：

在所述第二位置，控制所述版叉在X向进行标定，以确定所述版叉与X向正负方向限位件接触时的第三横坐标和第四横坐标；

回归所述第二位置，控制所述版叉在Z向进行标定，以确定所述版叉与Z向正负方向限位件接触时的第三竖坐标和第四竖坐标。

3.如权利要求2所述的掩膜版交接工位的标定方法，其特征在于，基于所述第一标定坐标和第二标定坐标确定所述交接工位的坐标位置包括：

基于所述第一横坐标的绝对值与所述第二横坐标的绝对值做差确定第一差值，以及，基于所述第三横坐标的绝对值与所述第四横坐标的绝对值做差确定第二差值，并根据所述第一差值的绝对值以及所述第二差值的绝对值所确定的第一均值来确定所述坐标位置的横坐标；

所述交接工位的坐标位置的纵坐标为所述第二位置的纵坐标；

基于所述第一竖坐标的绝对值与所述第二竖坐标的绝对值做差确定第三差值，以及，基于所述第三竖坐标的绝对值与所述第四竖坐标的绝对值做差确定第四差值，并根据所述第三差值的绝对值以及所述第四差值的绝对值所确定的第二均值来确定所述坐标位置的竖坐标。

4.如权利要求3所述的掩膜版交接工位的标定方法，其特征在于，基于所述第一标定坐标和第二标定坐标确定所述交接工位的坐标位置还包括：

在所述第一横坐标的绝对值与所述第一位置的横坐标的绝对值的差值的绝对值大于所述第二横坐标的绝对值与所述第一位置的横坐标的绝对值的差值的绝对值的情况下，所述坐标位置的横坐标为所述第一位置的横坐标与所述第一均值之和；

在所述第一横坐标的绝对值与所述第一位置的横坐标的绝对值的差值的绝对值小于等于所述第二横坐标的绝对值与所述第一位置的横坐标的绝对值的差值的绝对值的情况下，所述坐标位置的横坐标为所述第一位置的横坐标与所述第一均值之差；

在所述第一竖坐标的绝对值与所述第一位置的竖坐标的绝对值的差值的绝对值大于所述第二竖坐标的绝对值与所述第一位置的竖坐标的绝对值的差值的绝对值的情况下，所述坐标位置的竖坐标为所述第一位置的竖坐标与所述第二均值之和；

在所述第一竖坐标的绝对值与所述第一位置的竖坐标的绝对值的差值的绝对值小于等于所述第二竖坐标的绝对值与所述第一位置的竖坐标的绝对值的差值的绝对值的情况下，所述坐标位置的竖坐标为所述第一位置的竖坐标与所述第二均值之差。

5.如权利要求4所述的掩膜版交接工位的标定方法，其特征在于，所述第一均值满足：

其中，x₀₁表示第一横坐标，x₀₂表示第二横坐标，x₁₀表示第三横坐标，x₂₀表示第四横坐标；

其中，z₀₁表示第一竖坐标，z₀₂表示第二竖坐标，z₁₀表示第三竖坐标，z₂₀表示第四竖坐标。

6.如权利要求3所述的掩膜版交接工位的标定方法，其特征在于，基于所述第一标定坐标和第二标定坐标确定所述交接工位的坐标位置还包括：将所述第一位置的坐标作为坐标原点。

7.如权利要求1所述的掩膜版交接工位的标定方法，其特征在于，所述掩膜版交接工位上设置有多个方位的限位组件，并且各限位组件连接至信号传感器，以通过所述信号传感器检测所述版叉在各方位上的接触。

8.一种掩膜版交接工位的标定装置，其特征在于，包括处理器和存储器，所述存储器中存储有计算机程序，在所述处理器调用所述计算机程序时实现如权利要求1-7任一项所述的掩膜版交接工位的标定方法。