CN114134486B - 一种反应腔匀气结构 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种反应腔匀气结构，包括：导入管、盖板、第一匀气件和第二匀气件；所述第一匀气件上设置有第一匀气口，所述第二匀气件上设置有第二匀气口，用于反应气体通过；所述盖板和所述第一匀气件之间形成第一匀气腔体，用于一次匀气；所述第一匀气件和所述第二匀气件之间形成第二匀气腔体，用于二次匀气；所述第一匀气件与所述第二匀气件之间螺纹配合，使所述第二匀气件相对于所述第一匀气件做轴向直线运动和绕轴线的回转运动，以改变第二匀气腔体的空间大小和第二匀气口的位置，进而调节反应气体的匀气空间大小和气流路径，有利于适应不同种类反应气体和不同气体流量情况下的气体均匀性要求。

Description

一种反应腔匀气结构
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种反应腔匀气结构。
背景技术
当前采用等离子增强化学气相沉积法(PECVD)制备硅基薄膜材料已经得到广泛应用。这些工艺通常通过将前体气体或气体混合物引入到包含衬底的腔室中来实现。前体气体或气体混合物通常通过位于腔室顶部附近的喷淋板向下引导，喷出的气流均匀性需满足一定要求。
公告号为CN205529030U的中国专利提供了一种反应气体喷淋结构，通过两块带孔板形成气体缓冲腔来提高气体在反应腔内的均匀性，但其结构固定无法调节，因此无法根据反应气体种类和气体流量来调节匀气结构，以适应不同情况下的气体均匀性要求。
因此，有必要开发一种新型的反应腔匀气结构，以避免现有技术中存在的上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种反应腔匀气结构，能够调节反应气体的匀气空间大小和气流路径，以适应不同种类反应气体和不同气体流量情况下的气体均匀性要求。
为实现上述目的，本发明提供的反应腔匀气结构，包括：导入管、盖板、第一匀气件和第二匀气件；所述盖板表面设有入气口，所述导入管连接所述入气口，以导入反应气体；所述第一匀气件上设置有第一匀气口，所述第二匀气件上设置有第二匀气口，用于反应气体通过；所述盖板和所述第一匀气件之间形成第一匀气腔体，用于一次匀气；所述第一匀气件和所述第二匀气件之间形成第二匀气腔体，用于二次匀气；所述第一匀气件与所述第二匀气件之间螺纹配合，使所述第二匀气件相对于所述第一匀气件做轴向直线运动和绕轴线的回转运动。
本发明的所述反应腔匀气结构的有益效果在于：通过第一匀气件与第二匀气件之间的螺纹配合，实现第二匀气件相对于第一匀气件做轴向直线运动和绕轴线的回转运动，以改变第二匀气腔体的空间大小和第二匀气口的位置，进而调节反应气体的匀气空间大小和气流路径，有利于适应不同种类反应气体和不同气体流量情况下的气体均匀性要求。
可选的，所述第一匀气件的侧面设置有第一螺纹，所述第二匀气件包括设置于其侧面且向所述第一匀气件延伸的第二环形壁体，所述第二环形壁体上设置有第二螺纹，所述第一螺纹与所述第二螺纹之间螺纹配合。
可选的，所述第一匀气件包括设置于其侧面且向所述第二匀气件延伸的第一环形壁体，所述第一环形壁体上设置有第一螺纹，所述第二匀气件的侧面设置有第二螺纹，所述第一螺纹与所述第二螺纹之间螺纹配合。
可选的，所述第一匀气件包括设置于其侧面且向所述第二匀气件延伸的第一环形壁体，所述第一环形壁体上设置有第一螺纹，所述第二匀气件包括设置于其侧面且向所述第一匀气件延伸的第二环形壁体，所述第二环形壁体上设置有第二螺纹，所述第一螺纹与所述第二螺纹之间螺纹配合。
可选的，所述第一螺纹和所述第二螺纹为管螺纹。其有益效果在于：管螺纹结构有利于提高装置气密性。
可选的，所述第一匀气口和所述第二匀气口为圆形直通孔、方形直通孔、圆锥形孔或方锥形孔中的任意一种或多种。
可选的，所述第一匀气口和所述第二匀气口孔径为2mm至5mm。
可选的，所述第一匀气口以所述第一匀气件中心为圆心在多个半径长度的圆周方向上等间距排列。其有益效果在于：有利于提高反应气体的均匀性。
可选的，所述第二匀气口以所述第二匀气件中心为圆心在多个半径长度的圆周方向上等间距排列。其有益效果在于：有利于提高反应气体的均匀性。
可选的，所述第一匀气口和所述第二匀气口的分布位置相同或不同。其有益效果在于：有利于根据需要灵活调整气流路径。
可选的，所述反应腔匀气结构还包括弹簧片，所述弹簧片设置于所述第一匀气件与所述第二匀气件之间，并抵接于所述第二环形壁体内侧。其有益效果在于：对相互配合的螺纹结构施加作用力，有利于提升螺纹配合的紧固性，防止松脱。
可选的，所述反应腔匀气结构还包括弹簧片，所述弹簧片设置于所述第一匀气件与所述第二匀气件之间，并抵接于所述第一环形壁体内侧。其有益效果在于：对相互配合的螺纹结构施加作用力，有利于提升螺纹配合的紧固性，防止松脱。
可选的，所述第二匀气件通过设置于所述第二环形壁体的螺钉固定连接所述盖板。其有益效果在于：螺钉连接结构简单，装配方便。
可选的，所述第一匀气件通过设置于所述第一环形壁体的螺钉固定连接所述盖板。其有益效果在于：螺钉连接结构简单，装配方便。
附图说明
图1为本发明反应腔匀气结构第一实施例的结构示意图；
图2为本发明反应腔匀气结构第二实施例的结构示意图；
图3为本发明反应腔匀气结构第三实施例的结构示意图；
图4为图1或图2或图3所示的第一匀气口位置示意图；
图5为图1或图2或图3所示的第二匀气口位置示意图；
图6为图1或图2或图3所示的第一匀气口和第二匀气口位置关系变化的示意图；
图7为图1所示的反应腔匀气结构的位置示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。
为解决现有技术存在的问题，本发明实施例提供了一种反应腔匀气结构。
图1为本发明反应腔匀气结构第一实施例的结构示意图；图2为本发明反应腔匀气结构第二实施例的结构示意图；图3为本发明反应腔匀气结构第三实施例的结构示意图。
本发明一些实施例中，参照图1、图2和图3，所述反应腔匀气结构包括：导入管5、盖板1、第一匀气件2和第二匀气件3；所述盖板1表面设有入气口，所述导入管5连接所述入气口，以导入反应气体；所述第一匀气件2上设置有第一匀气口201，所述第二匀气件3上设置有第二匀气口301，用于反应气体通过。所述盖板1和所述第一匀气件2之间形成第一匀气腔体8，用于一次匀气；所述第一匀气件2和所述第二匀气件3之间形成第二匀气腔体9，用于二次匀气；所述第一匀气件2与所述第二匀气件3之间螺纹配合，使所述第二匀气件3相对于所述第一匀气件2做轴向直线运动和绕轴线的回转运动。
具体的，参照图1、图2和图3，所述盖板1的表面和所述第一匀气件2的表面之间形成所述第一匀气腔体8；所述第一匀气件2的表面和所述第二匀气件3的表面之间形成所述第二匀气腔体9。
具体的，参照图1、图2和图3，所述导入管5、所述第一匀气腔体8、所述第二匀气腔体9和所述第二匀气件3下方的喷淋区域之间通过所述入气口、所述第一匀气口201和所述第二匀气口301实现相互连通。
图4为图1或图2或图3所示的第一匀气口位置示意图；图5为图1或图2或图3所示的第二匀气口位置示意图；图6为图1或图2或图3所示的第一匀气口和第二匀气口位置关系变化的示意图。
本发明一些具体实施例中，参照图1，所述第一匀气件2的侧面设置有第一螺纹401，所述第二匀气件3包括设置于其侧面且向所述第一匀气件2延伸的第二环形壁体，所述第二环形壁体上设置有第二螺纹402，所述第一螺纹401与所述第二螺纹402之间螺纹配合。
本发明一些具体实施例中，参照图2，所述第一匀气件2包括设置于其侧面且向所述第二匀气件3延伸的第一环形壁体，所述第一环形壁体上设置有第一螺纹401，所述第二匀气件3的侧面设置有第二螺纹402，所述第一螺纹401与所述第二螺纹402之间螺纹配合。
本发明一些具体实施例中，参照图3，所述第一匀气件2包括设置于其侧面且向所述第二匀气件3延伸的第一环形壁体，所述第一环形壁体上设置有第一螺纹401，所述第二匀气件3包括设置于其侧面且向所述第一匀气件2延伸的第二环形壁体，所述第二环形壁体上设置有第二螺纹402，所述第一螺纹401与所述第二螺纹402之间螺纹配合。
具体的，参照图1、图2、图3、图4、图5和图6，所述第二螺纹402通过与所述第一螺纹401螺纹配合，在旋转过程中，带动所述第二匀气件3沿其轴向，即图示A方向或其反方向，做直线运动，进而改变所述第二匀气腔体9的空间大小；并在旋转的过程中，带动所述第二匀气件3绕其轴线做回转运动，即图示B方向或其反方向旋转，使所述第二匀气口201的位置发生变化，进而改变反应气体从所述第二匀气腔体9进入下方喷淋区域的气流路径。
本发明一些实施例中，所述第一螺纹401和所述第二螺纹402为管螺纹。
具体的，所述第一螺纹401和所述第二螺纹402的螺纹结构为牙型角55°的密封管螺纹。
本发明一些实施例中，所述第一匀气口201和所述第二匀气口301为圆形直通孔、方形直通孔、圆锥形孔或方锥形孔中的任意一种或多种。
具体的，参照图4和图5，所述第一匀气口201和所述第二匀气口301为圆孔直通孔。
本发明一些实施例中，参照图4和图5，所述第一匀气口201和所述第二匀气口301孔径为2mm至5mm。
本发明一些具体实施例中，所述第一匀气口201和所述第二匀气口301的孔径为2mm、3mm、4mm或5mm。
本发明一些实施例中，参照图4，所述第一匀气口201以所述第一匀气件2中心为圆心在多个半径长度的圆周方向上等间距排列。
具体的，参照图4，所述第一匀气口201在圆周方向上间隔距离相等。
本发明一些实施例中，参照图5，所述第二匀气口301以所述第二匀气件3中心为圆心在多个半径长度的圆周方向上等间距排列。
具体的，参照图5，所述第二匀气口301在圆周方向上间隔距离相等。
本发明一些实施例中，所述第一匀气口201和所述第二匀气口301的分布位置相同或不同。
本发明一些实施例中，参照图1，还包括弹簧片6，所述弹簧片6设置于所述第一匀气件2与所述第二匀气件3之间，并抵接于所述第二环形壁体内侧。
本发明一些实施例中，参照图2和图3，所述反应腔匀气结构还包括弹簧片6，所述弹簧片6设置于所述第一匀气件2与所述第二匀气件3之间，并抵接于所述第一环形壁体内侧。
本发明一些实施例中，参照图1，所述第二匀气件3通过设置于所述第二环形壁体的螺钉7固定连接所述盖板1。
本发明一些实施例中，参照图2和图3，所述第一匀气件2通过设置于所述第一环形壁体的螺钉7固定连接所述盖板1。
图7为图1所示的反应腔匀气结构的位置示意图。
本发明一些实施例中，参照图7，所述反应腔匀气结构设置于相对于喷淋板的气流上游位置。
具体的，参照图7，反应气体流动方向为图示A方向，所述反应腔匀气结构设置于喷淋板10的图示A方向的反方向。
虽然在上文中详细说明了本发明的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本发明的范围和精神之内。而且，在此说明的本发明可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。

Claims (14)

1.一种反应腔匀气结构，其特征在于，包括：导入管、盖板、第一匀气件和第二匀气件；
所述盖板表面设有入气口，所述导入管连接所述入气口，以导入反应气体；所述第一匀气件上设置有第一匀气口，所述第二匀气件上设置有第二匀气口，用于反应气体通过；
所述盖板和所述第一匀气件之间形成第一匀气腔体，用于一次匀气；
所述第一匀气件和所述第二匀气件之间形成第二匀气腔体，用于二次匀气；所述第一匀气件与所述第二匀气件之间螺纹配合，使所述第二匀气件相对于所述第一匀气件做轴向直线运动和绕轴线的回转运动。
2.根据权利要求1所述的反应腔匀气结构，其特征在于，所述第一匀气件的侧面设置有第一螺纹，所述第二匀气件包括设置于其侧面且向所述第一匀气件延伸的第二环形壁体，所述第二环形壁体上设置有第二螺纹，所述第一螺纹与所述第二螺纹之间螺纹配合。
3.根据权利要求1所述的反应腔匀气结构，其特征在于，所述第一匀气件包括设置于其侧面且向所述第二匀气件延伸的第一环形壁体，所述第一环形壁体上设置有第一螺纹，所述第二匀气件的侧面设置有第二螺纹，所述第一螺纹与所述第二螺纹之间螺纹配合。
4.根据权利要求1所述的反应腔匀气结构，其特征在于，所述第一匀气件包括设置于其侧面且向所述第二匀气件延伸的第一环形壁体，所述第一环形壁体上设置有第一螺纹，所述第二匀气件包括设置于其侧面且向所述第一匀气件延伸的第二环形壁体，所述第二环形壁体上设置有第二螺纹，所述第一螺纹与所述第二螺纹之间螺纹配合。
5.根据权利要求2或3或4所述的反应腔匀气结构，其特征在于，所述第一螺纹和所述第二螺纹为管螺纹。
6.根据权利要求1所述的反应腔匀气结构，其特征在于，所述第一匀气口和所述第二匀气口为圆形直通孔、方形直通孔、圆锥形孔或方锥形孔中的任意一种或多种。
7.根据权利要求6所述的反应腔匀气结构，其特征在于，所述第一匀气口和所述第二匀气口孔径为2mm至5mm。
8.根据权利要求7所述的反应腔匀气结构，其特征在于，所述第一匀气口以所述第一匀气件中心为圆心在多个半径长度的圆周方向上等间距排列。
9.根据权利要求7所述的反应腔匀气结构，其特征在于，所述第二匀气口以所述第二匀气件中心为圆心在多个半径长度的圆周方向上等间距排列。
10.根据权利要求7所述的反应腔匀气结构，其特征在于，所述第一匀气口和所述第二匀气口的分布位置相同或不同。
11.根据权利要求2所述的反应腔匀气结构，其特征在于，还包括弹簧片，所述弹簧片设置于所述第一匀气件与所述第二匀气件之间，并抵接于所述第二环形壁体内侧。
12.根据权利要求3或4所述的反应腔匀气结构，其特征在于，还包括弹簧片，所述弹簧片设置于所述第一匀气件与所述第二匀气件之间，并抵接于所述第一环形壁体内侧。
13.根据权利要求2所述的反应腔匀气结构，其特征在于，所述第二匀气件通过设置于所述第二环形壁体的螺钉固定连接所述盖板。
14.根据权利要求3或4所述的反应腔匀气结构，其特征在于，所述第一匀气件通过设置于所述第一环形壁体的螺钉固定连接所述盖板。
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