CN114062316B - 一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器 - Google Patents
一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114062316B CN114062316B CN202111364626.7A CN202111364626A CN114062316B CN 114062316 B CN114062316 B CN 114062316B CN 202111364626 A CN202111364626 A CN 202111364626A CN 114062316 B CN114062316 B CN 114062316B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- refractive index
- nano
- cavity
- metal
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 24
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 50
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 50
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 18
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims abstract description 17
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 14
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims abstract description 14
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims abstract description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 8
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 abstract description 5
- 230000005284 excitation Effects 0.000 abstract description 4
- 230000005855 radiation Effects 0.000 abstract description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 abstract description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 abstract description 2
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 24
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 9
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 5
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 4
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 2
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 description 2
- NJTGANWAUPEOAX-UHFFFAOYSA-N molport-023-220-454 Chemical compound OCC(O)CO.OCC(O)CO NJTGANWAUPEOAX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002088 nanocapsule Substances 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000000231 atomic layer deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
- G01N2021/4166—Methods effecting a waveguide mode enhancement through the property being measured
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明涉及一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器,包括多个单元:金属纳米六角板、介质层、金属膜以及基底。传感器各个单元从下往上分别为基底、金属膜、介质层和金属纳米六角板。本发明所展示的结构是单个纳米颗粒与金膜构成的纳米腔,探究的是纳米尺度的传感响应。本发明解决了LSPR传感器的灵敏度偏低问题,使得该纳米腔传感器灵敏度可达360nm/RIU。解决了金属结构辐射损耗很高的问题,使得该纳米腔的品质因数高达11RIU‑1,比单个金纳米颗粒组成的传感器的品质因数高出数倍。本发明结构制备简便,造价低廉,激发条件简单,体积小,无生物毒性,更加适用于无标记的生物分子探测。
Description
技术领域
本发明属于光学折射率传感领域,涉及一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器。
背景技术
折射率传感是一个快速发展的领域,已经广泛应用于生物、化学、医学、食品安全以及环境监测等方面,因此对低成本和高效率的需求也在不断增加。光学折射率传感器具有快速、定量、低成本和无标记分析的能力,同时也为小型化片上集成提供了的可能性。
在光学折射率传感器中,基于金属纳米颗粒的局域表面等离激元共振(LocalizedSurface Plasmon Resonance,LSPR)折射率传感器展现出了优异的传感性能。LSPR峰位强烈依赖于周围环境的折射率,因此可以通过探测LSPR峰位的变化实现对环境折射率的探测。LSPR传感器造价低廉、工艺简单,更加小型化,更适用于表面折射率传感和生物分子检测。然而,现有的大多数LSPR传感器的灵敏度范围在50-400nm/RIU,灵敏度相对较低;并且,金属纳米颗粒在可见光波段的辐射损耗很高,使得基于LSPR的折射率传感器在可见光到近红外波段的品质因数(Figure Of Merit,FOM)一般小于5RIU-1,从而限制了LSPR折射率传感器的性能。另外,现有的表面等离激元共振(Surface Plasmon Resonance,SPR)传感器的灵敏度较高,但是,SPR的激发要满足相位匹配条件,需要额外的技术手段,造价昂贵,并且SPR传感器作用面积很大,不适用于分子检测。因此,开发一种探测范围在可见光到近红外区域、灵敏度高、品质因数高、体积小以及成本低的光学折射率传感器显得尤为迫切。
现有的光学折射率传感器有金属-介质-金属结构,但是其传感单元为阵列,研究尺度为微米级别,无法实现探究的是纳米尺度的传感响应。
基于LSPR技术的传感器已经存在,但是很多传感器都存在灵敏度低(50-400nm/RIU)、品质因数低(小于5RIU-1)的问题。另外现有的基于SPR的传感器虽然可以获得高的灵敏度,但是要满足SPR的激发条件需要额外的技术手段,造价昂贵,并且SPR传感器作用面积很大,不适用于分子检测。
发明内容
要解决的技术问题
为了避免现有技术的不足之处,本发明提出一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器,提高传统光学折射率传感器的性能。本发明是一种探测范围在可见光到近红外区域、灵敏度高、品质因数高、体积小并且可以在微纳尺度测量的光学折射率传感器。
技术方案
一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器,其特征在于包括基底1、超光滑金属膜2、介质层3和金属纳米六角板4;基底1上部设有金属膜2,金属膜2上为介质层3,介质层3的中部为金属纳米六角板4;所述金属膜2和金属纳米六角板4采用金属材料为金。
所述基底1、金属膜2和介质层3的对边长度比金属纳米六角板的对边长度大于0.5cm。
所述介质层3的材质为三氧化二铝或二氧化硅。
所述基底1硅或蓝宝石材料。
所述金属膜2和金属纳米六角板4采用金属材料为银。
所述金属纳米六角板的对边长度为150-250nm。
所述金属纳米六角板的厚度为30-80nm,金属膜的厚度为50-150nm,介质层的厚度为3-8nm,基底厚度为200-5000μm。
有益效果
本发明提出的一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器,包括多个单元:金属纳米六角板、介质层、金属膜以及基底。传感器各个单元从下往上分别为基底、金属膜、介质层和金属纳米六角板。相对于现有的光学折射率传感器有金属-介质-金属结构,但是其传感单元为阵列,研究尺度为微米级别;本发明所展示的结构是单个纳米颗粒与金膜构成的纳米腔,探究的是纳米尺度的传感响应。
与现有技术相比,本发明的优点在于:
一、本发明采用百纳米尺度的金六角板和超光滑金膜以及氧化铝隔离层组成表面等离激元纳米腔,用斜入射p偏振白光激发了纳米腔的等离子体波导模式。该波导模式较强的局域场增强能力解决了LSPR传感器的灵敏度偏低问题,使得该纳米腔传感器灵敏度可达360nm/RIU。
二、本发明提出的纳米腔结构的共振峰位在可见光波段,并且具有较窄的线宽。通过金六角板与金膜的耦合降低了等离子体共振模式的辐射损耗,解决了金属结构辐射损耗很高的问题,使得该纳米腔的品质因数高达11RIU-1,比单个金纳米颗粒组成的传感器的品质因数高出数倍。
三、本发明结构制备简便,造价低廉,激发条件简单,体积小,无生物毒性,更加适用于无标记的生物分子探测。
附图说明
图1为:基于等离激元纳米腔的新型高品质光学折射率传感器几何结构的三维示意图
图2为:实施例所述的折射率传感器几何结构的主视图和俯视图
图3为:实施例1所述传感器在不同甘油溶液中的归一化散射光谱图
图4为:实施例1所述传感器波导模式峰位随折射率变化的实验、理论和模拟结果
图5为:实施例2所述传感器在不同甘油溶液中的归一化散射光谱图
图6为:实施例2所述传感器波导模式峰位随折射率变化的实验、理论和模拟结果
具体实施方式
现结合实施例、附图对本发明作进一步描述:
如图1及图2,本发明提供一种基于金属纳米六角板等离激元纳米腔的新型高品质光学折射率传感器,由基底1、超光滑金属膜2、介质层3以及金属纳米六角板4组成。其中,基底1的材质为硅,金属膜2的材质为金,介质层3的材质为三氧化二铝,金属纳米六角板4的材质为金。
本发明所述的基底1及金属纳米六角板4易于购买且价格低廉,金属膜2可以通过蒸镀方法得到,介质层3可以通过原子层沉积得到。
进一步地,基底1的厚度h1=200-5000μm,长度为10μm,宽度为10μm。金属膜2的厚度h2=50-150nm,长度为10μm,宽度为10μm。介质层3的厚度h3=3-8nm,长度为10μm,宽度为10μm。金属纳米六角板4的厚度h4=30-80nm,形状为正六边形,对边长度d=180nm。
实施例1:参数h4=50nm,h3=5nm,d=180nm的等离激元纳米腔折射率传感器的暗场散射和折射率传感实验
使用不同质量分数的甘油溶液作为折射率分析液将,甘油溶液滴在折射率传感器上利用暗场散射系统测得传感器的暗场散射光谱。图3展示了等离激元纳米腔分别在去离子水(DI water)以及质量分数分别为20%、40%、80%和100%的甘油(Glycerol)溶液中的折射率传感,其折射率分别为1.333、1.3572、1.3841、1.4431和1.4735。可以看出,随着折射率增大,散射光谱中的两个共振峰位都发生了红移,其中,长波长的共振峰移动更大。通过COMSOL仿真,发现长波长共振模式为波导模式,其场增强比短波长共振模式大得多,因此对环境折射率的变化更加敏感,因此具有更高的折射率灵敏度。
等离激元纳米腔结构可视为金属-介质-金属(metal–insulator–metal,MIM)结构,我们采用电容模型来分析其共振峰随环境折射率的变化:
其中,λp是金的等离子体波长,εm和ε∞分别代表环境介电常数和相关背景介电常数。η=Cg/Cnp是MIM结构的电容与金纳米六角板的电容的比值。图4展示了波导模式共振峰位与甘油溶液折射率之间的函数关系,其中圆点代表实验结果,方点代表模拟结果,实线代表理论结果。对三者进行线性拟合,得到实验、模拟和理论对应的折射率灵敏度分别为137nm/RIU、188nm/RIU和163nm/RIU,实现了很好的匹配。实验结果和模拟结果的FOM分别为3.5RIU-1和5.2RIU-1。
实施例2:参数h4=50nm,h3=3nm,d=180nm的等离激元纳米腔折射率传感器的暗场散射和折射率传感实验
使用不同质量分数的甘油溶液作为折射率分析液将,甘油溶液滴在折射率传感器上利用暗场散射系统测得传感器的暗场散射光谱。图5展示了等离激元纳米腔分别在去离子水(DI water)以及质量分数分别为20%、40%、80%和100%的甘油(Glycerol)溶液中的折射率传感。可以看出,随着折射率增大,散射光谱中的两个共振峰位都发生了红移,其中,长波长的共振峰移动更大。图6展示了波导模式共振峰位与甘油溶液折射率之间的函数关系,其中圆点代表实验结果,方点代表模拟结果,实线代表理论结果。对三者进行线性拟合,得到实验、模拟和理论对应的折射率灵敏度分别为360nm/RIU、250nm/RIU和383nm/RIU,实现了很好的匹配。实验结果和模拟结果的FOM分别为11RIU-1和8.3RIU-1。相比于实施例1,实施例2减小了介质层的厚度h3,得到了更高的折射率灵敏度和品质因数。
本发明提出的等离激元纳米腔结构简单,制备方便,灵活可调,相比于传统的基于单个纳米颗粒的传感器具有更高的折射率灵敏度,在品质因数方面更是有数倍的提高,在生物化学传感领域具有很大的应用潜力。
以上对本发明的实施方式作了详细说明,但本发明不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言,在不脱离本发明原理和精神的情况下,对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型仍落入本发明的保护范围内。
Claims (6)
1.一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器,其特征在于包括基底(1)、超光滑金属膜(2)、介质层(3)和金属纳米六角板(4);基底(1)上部设有金属膜(2),金属膜(2)上为介质层(3),介质层(3)的中部为金属纳米六角板(4);所述金属膜(2)和金属纳米六角板(4)采用金属材料为金;所述基底(1)、金属膜(2)和介质层(3)的对边长度比金属纳米六角板的对边长度大0.5cm;所述等离激元纳米腔结构的传感器灵敏度为360nm/RIU,品质因数为11RIU-1。
2.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器,其特征在于:所述介质层(3)的材质为三氧化二铝或二氧化硅。
3.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器,其特征在于:所述基底(1)硅或蓝宝石材料。
4.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器,其特征在于:所述金属膜(2)和金属纳米六角板(4)采用金属材料为银。
5.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器,其特征在于:所述金属纳米六角板的对边长度为150-250nm。
6.根据权利要求1所述基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器,其特征在于:所述金属纳米六角板的厚度为30-80nm,金属膜的厚度为50-150nm,介质层的厚度为3-8nm,基底厚度为200-5000μm。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111364626.7A CN114062316B (zh) | 2021-11-17 | 2021-11-17 | 一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111364626.7A CN114062316B (zh) | 2021-11-17 | 2021-11-17 | 一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114062316A CN114062316A (zh) | 2022-02-18 |
CN114062316B true CN114062316B (zh) | 2024-04-19 |
Family
ID=80277598
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202111364626.7A Active CN114062316B (zh) | 2021-11-17 | 2021-11-17 | 一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN114062316B (zh) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012188315A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | National Institute For Materials Science | 金属酸化物からなる板状単結晶体、その金属酸化物薄膜、それらの製造方法、および、それらを用いた抵抗変化型素子 |
CN105699330A (zh) * | 2016-01-19 | 2016-06-22 | 北京大学 | 基于表面等离激元激光的折射率传感器及探测系统和方法 |
KR101695568B1 (ko) * | 2015-09-30 | 2017-01-11 | 고려대학교 산학협력단 | 다기능 센서모듈 |
CN109900659A (zh) * | 2019-03-20 | 2019-06-18 | 电子科技大学 | 一种基于磁光表面等离子体共振的折射率传感器 |
CN110596041A (zh) * | 2019-06-06 | 2019-12-20 | 山东大学 | 一种基于等离子体金刚石纳米环的折射率传感器 |
CN111896500A (zh) * | 2020-06-28 | 2020-11-06 | 北京大学 | 基于金属纳米结构和单层TMDs复合体系折射率传感器及方法 |
CN112161954A (zh) * | 2020-09-14 | 2021-01-01 | 桂林电子科技大学 | 一种基于面外格点共振的等离激元折射率传感器 |
CN113433067A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-09-24 | 北京大学 | 基于金属纳米间隙表面等离激元本征辐射的折射率传感器 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009511896A (ja) * | 2005-10-12 | 2009-03-19 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 全ポリマー光導波路センサ |
US20200370083A1 (en) * | 2019-05-22 | 2020-11-26 | Promega Corporation | Methods using photothermal nanoparticles in rapid nucleic acid amplification and photothermal nanoparticles |
-
2021
- 2021-11-17 CN CN202111364626.7A patent/CN114062316B/zh active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012188315A (ja) * | 2011-03-10 | 2012-10-04 | National Institute For Materials Science | 金属酸化物からなる板状単結晶体、その金属酸化物薄膜、それらの製造方法、および、それらを用いた抵抗変化型素子 |
KR101695568B1 (ko) * | 2015-09-30 | 2017-01-11 | 고려대학교 산학협력단 | 다기능 센서모듈 |
CN105699330A (zh) * | 2016-01-19 | 2016-06-22 | 北京大学 | 基于表面等离激元激光的折射率传感器及探测系统和方法 |
CN109900659A (zh) * | 2019-03-20 | 2019-06-18 | 电子科技大学 | 一种基于磁光表面等离子体共振的折射率传感器 |
CN110596041A (zh) * | 2019-06-06 | 2019-12-20 | 山东大学 | 一种基于等离子体金刚石纳米环的折射率传感器 |
CN111896500A (zh) * | 2020-06-28 | 2020-11-06 | 北京大学 | 基于金属纳米结构和单层TMDs复合体系折射率传感器及方法 |
CN112161954A (zh) * | 2020-09-14 | 2021-01-01 | 桂林电子科技大学 | 一种基于面外格点共振的等离激元折射率传感器 |
CN113433067A (zh) * | 2021-06-29 | 2021-09-24 | 北京大学 | 基于金属纳米间隙表面等离激元本征辐射的折射率传感器 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
单轴型六角结构铁氧体纳米晶粒改性研究;方庆清;鲍恒伟;;安徽大学学报(自然科学版);20061228(第06期);全文 * |
基于复合纳米结构的局域表面等离子体光学传感器;杨欢;李飞;罗先刚;蔡冬梅;刘娟意;马文英;;光学与光电技术;20100410(第02期);全文 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114062316A (zh) | 2022-02-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Shushama et al. | Sensitivity enhancement of graphene coated surface plasmon resonance biosensor | |
US8298495B2 (en) | High sensitivity localized surface plasmon resonance sensor and sensor system using same | |
CN104568849B (zh) | 三维亚波长金属腔体结构光谱多带光完美吸收等离激元传感器及其制备方法与用途 | |
Baryshev et al. | Efficiency of optical sensing by a plasmonic photonic-crystal slab | |
Long et al. | Grating coupled SPR sensors using off the shelf compact discs and sensitivity dependence on grating period | |
CN109612966B (zh) | 基于偏振不敏感法诺共振的全介质超表面折射率传感器 | |
Shakoor et al. | One-dimensional silicon nitride grating refractive index sensor suitable for integration with CMOS detectors | |
CN107064078B (zh) | 基于bsw的光学传感器及光学检测方法 | |
Niu et al. | Excitation of Bloch surface waves in zero-admittance multilayers for high-sensitivity sensor applications | |
Ge et al. | Two-dimensional hole-array grating-coupling-based excitation of bloch surface waves for highly sensitive biosensing | |
Sosnova et al. | Local plasmon excitations in one-dimensional array of metal nanowires for sensor applications | |
CN110926667A (zh) | 一种基于非对称周期表面等离激元晶格共振的压力传感器件 | |
Wu et al. | High-Q refractive index sensors based on all-dielectric metasurfaces | |
Yan et al. | Effective excitation of bulk plasmon-polaritons in hyperbolic metamaterials for high-sensitivity refractive index sensing | |
Kumar et al. | Long-range surface plasmon resonance biosensors with cytop/Al/Perovskite and cytop/Al/MoS2 configurations | |
CN113030003B (zh) | 一种基于厚度复用薄层宽带太赫兹指纹痕量检测传感器 | |
Yadollahzadeh et al. | Perovskite-based Lossy-mode resonance sensor in visible light spectrum: Comparison and optimization of optical enhancements | |
CN114062316B (zh) | 一种基于等离激元纳米腔的高品质光学折射率传感器 | |
Elshorbagy et al. | Ultra-narrow spectral response of a hybrid plasmonic-grating sensor | |
CN103728275B (zh) | 基于光学Tamm态等离激元的光折射率传感器 | |
CN210221818U (zh) | 一种利用石墨烯的介质棱镜结构 | |
CN111580197B (zh) | 一种横向mimi格点阵等离激元共振吸收器 | |
Abdulhalim II et al. | Resonant and scatterometric grating-based nanophotonic structures for biosensing | |
Rao et al. | Highly sensitive self-referential plasmonic sensor based on double-layer nested grating | |
Prabowo et al. | The Trade-Off Performance of Surface Plasmon Resonance Sensing Utilizing Thin Layer Oxide under the Metal Layer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |