CN113943856B - 一种智能化的光斑形状及能量可调的激光冲击强化系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种智能化的光斑形状及能量可调的激光冲击强化系统,包括激光发射单元;光束调制单元,用以输出单束激光A、第一激光组合或第二激光组合;加工单元,用于进行光路调制,以实现点光斑、环形光斑或圆形光斑的输出;能量调制单元,用于调控光束调制单元输出的第一激光组合或第二激光组合中的激光A、激光B与激光C之间的间距,以实现对对应输出的环形光斑或圆形光斑尺寸及能量分布的调谐,输出重叠圆光斑或同心圆光斑;工件设置在加工单元输出光斑的一侧,各光斑分布在工件表面。本发明适用于圆形零件或环形零件的激光冲击强化,输出光斑形状、尺寸可变,光斑能量分布可调,增加了工艺效果的多样化,也省去了更换系统部件的步骤。
Description
技术领域
本发明涉及一种智能化的光斑形状及能量可调的激光冲击强化系统,属于激光冲击强化技术领域。
背景技术
激光冲击强化是利用具有高峰值功率的强脉冲激光作用在涂覆有能量吸收层的金属表面,从而提高金属材料抗疲劳、耐磨损和抗腐蚀能力的一种表面强化加工技术。激光冲击强化可用于金属零部件的关键疲劳部位或者关键疲劳零件的表面强化。在工业上需要做表面强化的零件尺寸、形状各式各样,对于端面形状为圆形或环形的零件,比如紧固孔、叶片气膜孔、管类、齿轮、轴承类零件等,特别需要一种合适的激光光源。
现有的激光冲击强化方法和装置存在一些不足之处:1、光斑形状单一,现有的激光束通常为圆形,由于环形零件中空,只有小部分光斑落在环形零件上,这样即浪费了能量又达不到预期的强化效果,而单一的环形激光又仅限于环形零件的强化;2、适用性较低,现有的加工头不具备调节环形光斑直径的能力,只能对特定尺寸的特定零件进行强化;3、能量分布固定,获得的工艺效果相对简单。
因此,要满足不同应用场景下的技术指标,在不具备多参数可调谐的激光强化系统中,通常的采用更换激光器、更换加工头、增加运动系统的轴数量的方法来提高工艺效果的多样性。这样不可避免的增加了设备损伤的风险、操作上的难度、以及设备使用的总成本。
发明内容
本发明提供了一种智能化的光斑形状及能量可调的激光冲击强化系统,适用于圆形零件或环形零件的激光冲击强化,输出光斑形状、尺寸可变,光斑能量分布可调,增加了工艺效果的多样化,也省去了更换系统部件的步骤。
本发明提供了一种智能化的光斑形状及能量可调的激光冲击强化系统,包括激光发射单元、光束调制单元、能量调制单元及加工单元;
所述激光发射单元用于发射原始激光;
所述光束调制单元用于对所述原始激光进行调制处理,以输出单束激光A、第一激光组合或第二激光组合,所述第一激光组合为一束激光B与一束激光C的组合,所述第二激光组合为一束激光A、一束激光B与一束激光C的组合;
所述加工单元用于会聚从所述光束调制单元出射的输出单束激光A、第一激光组合或第二激光组合,进行光路调制,以对应实现点光斑、环形光斑或圆形光斑的输出;
所述能量调制单元用于调控所述光束调制单元输出的第一激光组合或第二激光组合中的所述激光A、所述激光B与所述激光C之间的间距,以实现对对应输出的所述环形光斑或圆形光斑尺寸及能量分布的调谐,输出重叠圆光斑或同心圆光斑;
待加工的工件设置在所述加工单元输出光斑的一侧,所述点光斑、环形光斑、圆形光斑、重叠圆光斑或同心圆光斑分布在所述工件表面。
可选的,所述光束调制单元包括第一偏振调制镜及电动旋转架;
所述第一偏振调制镜设置在所述电动旋转架上;
所述电动旋转架用于带动所述第一偏振调制镜做以光路为轴的圆周旋转,以将所述原始激光转换为不同偏振态的偏振激光。
可选的,所述偏振激光为与所述原始激光平行的水平偏振光、与所述原始激光垂直的竖直偏振光或与所述原始激光呈45°夹角的45°线偏振光。
可选的,所述光束调制单元还包括光束调制模块;
所述光束调制模块包括第一分束镜、第二分束镜、第二偏振调制镜、第三偏振调制镜、反射镜组及相位延迟镜;
所述第一分束镜用于将所述偏振激光分束为第一光束及第二光束;
所述第二偏振调制镜及所述第三偏振调制镜分别设置在所述第一光束及所述第二光束的光路上;
所述反射镜组包括多个反射镜,用于调整所述第一光束及第二光束的角度;
所述第二分束镜包括透射面及反射面;
所述第二光束经多个所述反射镜反射到所述第二分束镜的反射面,并经所述第二分束镜反射输出激光A;
所述第一光束经多个所述反射镜反射到所述第二分束镜的透射面,并在所述第二分束镜的作用下分束为第三光束与第四光束,所述第三光束透射过所述第二分束镜输出激光C;所述第四光束经所述相位延迟镜反射到所述第二分束镜的透射面,并透射过所述第二分束镜输出激光B。
可选的,所述能量调制单元包括第一电动位移模块与第二电动位移模块;
所述反射镜组中包括一微型反射镜,所述微型反射镜设置在所述第一电动位移模块上;
所述第一电动位移模块用于调整所述微型反射镜的位置,以调整所述第一光束在所述第二分束镜透射面的入射点位置;
所述相位延迟镜设置在所述第二电动位移模块上,所述第二电动位移模块用于调整所述相位延迟镜的位置,以调整所述第四光束在所述第二分束镜透射面的入射点位置。
可选的,所述加工单元包括沿原始激光的传输方向依次设置的中空圆台、环形棱镜、圆台棱镜、凹镜、平凸透镜及双凸透镜,用于会聚从光束调制单元出射的输出单束激光A、第一激光组合或第二激光组合,并进行光路调制,以对应实现点光斑、环形光斑或圆形光斑的输出。
可选的,所述激光冲击强化系统还包括送水单元,所述送水单元用于在所述工件表面涂覆水膜。
可选的,所述激光冲击强化系统还包括运动单元,所述工件设置在所述运动单元上,所述运动单元用于调整所述工件的位置。
可选的,所述激光冲击强化系统还包括控制单元,用于控制所述激光发射单元、所述电动旋转架、所述第一电动位移模块、所述第二电动位移模块、所述送水单元及所述运动单元工作。
本发明能产生的有益效果包括:
本发明采用光学调制技术,在同一激光冲击强化系统内能输出不同形状的光斑,适用于圆形零件或环形零件的激光冲击强化。
本发明的激光冲击强化系统输出光斑形状、尺寸可变,光斑能量分布可调,增加了工艺效果的多样化,也省去了更换系统部件的步骤,简单实用。
附图说明
图1为本发明实施例智能化的光斑形状及能量可调的激光冲击强化系统的整体结构示意图;
图2为图1中光束调制单元的光路示意图;
图3为图1中加工单元内的光路示意图;
图4为本发明实施例智能化的光斑形状及能量可调的激光冲击强化系统的控制单元的光斑模式输出调制的操作界面示意图;
图5为本发明实施例智能化的光斑形状及能量可调的激光冲击强化系统的可输出光斑形状示意图。
部件和附图标记列表:
1、激光发射单元;2、光束调制单元;3、能量调制单元;4、加工单元;5、送水单元;6、运动单元;7、控制单元;8、光束调制模块;9、第一偏振调制镜;10、电动旋转架;11、工件;13、形状选择屏;14、点光斑工作屏;15、环形光斑工作屏;16、圆形光斑工作屏;1.1、原始激光;1.2、激光A0;1.3、激光A或激光A’;1.4、激光B或激光B’;1.5、激光C或激光C’;3.1、第一电动位移模块;3.2、第二电动位移模块;4.1、中空圆台;4.2、环形棱镜;4.3、环形激光;4.4、圆台棱镜;4.5、凹镜;4.6、平凸透镜;4.7、双凸透镜;4.8、注水孔;8.1、第一分束镜;8.2、第二偏振调制镜;8.3、第三偏振调制镜;8.4、微型反射镜;8.5、相位延迟镜;8.6、第二分束镜;13.1、上区域;13.2中区域;13.3、下区域;13.4、激光参数设置区域;13.5、运动单元设置区域;13.6、系统启停键;13.7、能量分布调制区;13.8、模式选择区;101、点光斑;102、环形光斑;103、圆形光斑;104、重叠圆光斑;105、同心圆光斑。
具体实施方式
下面结合实施例详述本发明,但本发明并不局限于这些实施例。
如图1-图5所示,本发明实施例提供了一种智能化的光斑形状及能量可调的激光冲击强化系统,包括激光发射单元1、光束调制单元2、能量调制单元3、加工单元4、送水单元5、运动单元6及控制单元7。
激光发射单元1用于发射原始激光1.1。
光束调制单元2用于对原始激光1.1进行调制处理,以输出单束激光A1.3、第一激光组合或第二激光组合,第一激光组合为一束激光B1.4与一束激光C1.5的组合,第二激光组合为一束激光A1.3、一束激光B1.4与一束激光C1.5的组合。
加工单元4包括沿原始激光1.1的传输方向依次设置的中空圆台4.1、环形棱镜4.2、圆台棱镜4.4、凹镜4.5、平凸透镜4.6及双凸透镜4.7,用于会聚从光束调制单元2出射的输出单束激光A1.3、第一激光组合或第二激光组合,并进行光路调制,以对应实现点光斑101、环形光斑102或圆形光斑103的输出。
能量调制单元3用于调控光束调制单元2输出的第一激光组合或第二激光组合中的激光A1.3、激光B1.4与激光C1.5之间的间距,以实现对对应输出的环形光斑102或圆形光斑103尺寸及能量分布的调谐,输出重叠圆光斑104或同心圆光斑105。
待加工的工件11设置在加工单元4输出光斑的一侧,点光斑101、环形光斑102、圆形光斑103、重叠圆光斑104或同心圆光斑105分布在工件11表面。
光束调制单元2包括第一偏振调制镜9及电动旋转架10。
第一偏振调制镜9设置在电动旋转架10上。
电动旋转架10用于带动第一偏振调制镜9做以光路为轴的圆周旋转,以将原始激光1.1转换为不同偏振态的偏振激光。
具体的,偏振激光为与原始激光1.1平行的水平偏振光、与原始激光1.1垂直的竖直偏振光或与原始激光1.1呈45°夹角的45°线偏振光。
光束调制单元2还包括光束调制模块8。
光束调制模块8包括第一分束镜8.1、第二分束镜8.6、第二偏振调制镜8.2、第三偏振调制镜8.3、反射镜组及相位延迟镜8.5。
第一分束镜8.1用于将偏振激光分束为第一光束及第二光束。
第二偏振调制镜8.2及第三偏振调制镜8.3分别设置在第一光束及第二光束的光路上。
反射镜组包括多个反射镜,用于调整第一光束及第二光束的角度。
第二分束镜8.6包括透射面及反射面。
第二光束经多个反射镜反射到第二分束镜8.6的反射面,并经第二分束镜8.6反射输出激光A1.3。
第一光束经多个反射镜反射到第二分束镜8.6的透射面,并在第二分束镜8.6的作用下分束为第三光束与第四光束,第三光束透射过第二分束镜8.6输出激光C1.5;第四光束经相位延迟镜8.5反射到第二分束镜8.6的透射面,并透射过第二分束镜8.6输出激光B1.4。
能量调制单元3包括第一电动位移模块3.1与第二电动位移模块3.2。
反射镜组中包括一微型反射镜8.4,微型反射镜8.4设置在第一电动位移模块3.1上。
第一电动位移模块3.1用于调整微型反射镜8.4的位置,以调整第一光束在第二分束镜8.6透射面的入射点位置。
相位延迟镜8.5设置在第二电动位移模块3.2上,第二电动位移模块3.2用于调整相位延迟镜8.5的位置,以调整第四光束在第二分束镜8.6透射面的入射点位置。
送水单元5与加工单元4的注水孔4.8连通,用于输入水流在工件11表面涂覆水膜,水膜为能量吸收层。
工件11设置在运动单元6上,运动单元6用于调整工件11的位置。
控制单元7包括控制面板与控制器,用户通过控制面板输入指令后经控制器控制激光发射单元1、电动旋转架10、第一电动位移模块3.1、第二电动位移模块3.2、送水单元5及运动单元6工作。
具体的,控制面板包括形状选择屏13及工作屏,工作屏包括点光斑工作屏14、环形光斑工作屏15及圆形光斑工作屏16,用于对整个冲击强化系统进行智能化的操控。
其中形状选择屏13分为上区域13.1、中区域13.2和下区域13.3,点击对应区域可实现对电动旋转架10的旋转操作,控制光束调制单元2对应输出单束激光A1.3、第一激光组合或第二激光组合的激光束。
点击上区域13.1进入点光斑工作屏14,点光斑工作屏14设有激光参数设置区域13.4、运动单元设置区域13.5及系统启停键13.6;激光参数设置区域13.4与激光发射单元1通讯,用于控制输出原始激光1.1的参数;运动单元设置区域13.5与运动单元6通讯,用于控制运动单元6带动工件11运动;系统启停键13.6用于控制系统整体的开始运作及停止运作。
点击中区域13.2进入环形光斑工作屏15,环形光斑工作屏15增设有能量分布调制区13.7,能量分布调制区13.7与第一电动位移模块3.1及第二电动位移模块3.2通讯,用于控制激光B1.4与激光C1.5之间的间距。
点击下区域13.3进入圆形光斑工作屏16,圆形光斑工作屏16内再增设模式选择区13.8,可选择的模式包括圆形光斑103、重叠圆光斑104及同心圆光斑105,通过能量分布调制区13.7控制第一电动位移模块3.1及第二电动位移模块3.2运动,调整激光A1.3、激光B1.4与激光C1.5之间的间距,实现对对应输出的圆形光斑103尺寸及能量分布的调谐,输出重叠圆光斑104或同心圆光斑105。
下面公开本发明输出点光斑101、环形光斑102、圆形光斑103、重叠圆光斑104及同心圆光斑105的具体调制方式。
实施例1:点光斑
如图2所示,点击控制面板中形状选择屏13上的上区域13.1,控制单元7发送指令控制电动旋转架10旋转至特定角度。
激光发射单元1输出一束原始激光1.1入射至第一偏振调制镜9中,从第一偏振调制镜9出射后为一束偏振态为水平的激光A01.2;激光A01.2从第一分束镜8.1中透射,再经第二偏振调制镜8.2变成偏振态为竖直的激光,再经反射镜及第二分束镜8.6反射,经反射镜向下传输,此时输出的是单束激光A1.3。
进一步的,如图3,单束激光A1.3向下传输进入加工单元4中,竖直向下传输从中空圆台4.1中间穿过垂直入射到圆台棱镜4.4,从圆台棱镜4.4的底平面垂直入射,后经凹镜4.5及平凸透镜4.6扩束,最后经双凸透镜4.7聚焦成点光斑101。
激光A1.3能量占原始激光1.1能量的100%。
实施例2:环形光斑
如图2,用户点击控制面板中形状选择屏13上的中区域13.2,控制单元7发送指令控制电动旋转架10旋转至特定角度。
激光发射单元1输出一束原始激光1.1入射至置第一偏振调制镜9中,从第一偏振调制镜9出射后为一束偏振态为竖直的激光A01.2;激光A01.2被第一分束镜8.1全反射,再经过反射镜组入射至第二偏振调制镜8.2,从第二偏振调制镜8.2出射后偏振态变成圆偏振态,由第二分束镜8.6一半被反射一半被透射,反射部分经相位延迟镜8.5后从第二分束镜8.6上透射,再由反射镜反射向下传输输出激光B1.4;透射部分经反射镜反射向下传输输出激光C1.5。
激光B1.4占原始激光1.1的50%,激光C1.5占原始激光1.1的50%。
进一步的,如图3,激光B1.4和激光C1.5向下传输进入加工单元4中,竖直向下传输入射至中空圆台4.1的斜面上被反射后向四周水平传输,遇环形棱镜4.2上斜面再次被反射竖直向下传输,形成环形激光4.3;垂直入射圆台棱镜4.4从底部斜面上出射,最后依次经平凸透镜4.6和双凸透镜4.7,会聚成环形光斑102。
进一步的,如图4,用户操作工作屏中的能量分布调制区13.7域,通过控制器控制第一电动位移模块3.1和第二位移模块的移动,改变激光B1.4与激光C1.5之间的间距,经加工单元4后再输出新的环形光斑102,其内径与外径的大小与调制前发生了改变。
实施例3:圆形光斑
如图2,用户点击控制面板中形状选择屏13上的下区域13.3,控制单元7发送指令控制电动旋转架10旋转至特定角度。
激光发射单元1输出一束原始激光1.1入射至第一偏振调制镜9中,从第一偏振调制镜9出射后变为一束偏振方向呈45°的激光A01.2;激光A01.2经第一分束镜8.1后一半透射一半反射,其中透射激光经第二偏振调制镜8.2变成一束竖直偏振光,再经反射镜和第二分束镜8.6反射,由反射镜反射向下传输输出激光A’1.3。
其中,反射激光经反射镜组后入射至第三偏振调制镜8.3,从第三偏振调制镜8.3出射后偏振态变成圆偏振态,由第二分束镜8.6一半被反射一半被透射,反射部分经相位延迟镜8.5后从第二分束镜8.6上透射,再由反射镜反射向下传输输出激光B’1.4;透射部分经反射镜反射向下传输输出激光C’1.5。
激光A’1.3占原始激光1.1的50%,激光B’1.4占原始激光1.1的25%,激光C’1.5占原始激光1.1的25%。
进一步的,如图3、图4,用户点击位于工作屏中模式选择区13.8的“模式三:圆形光斑103”模式,此时控制器自动地对第一电动位移模块3.1和第二电动位移模块3.2进行移动调控,使得由加工单元4出射的环形光斑102的内径与点光斑101的外径刚好重合。
实施例4:重叠圆光斑
如图2,点击控制面板中形状选择屏13上的下区域13.3,控制单元7发送指令控制电动旋转架10旋转至特定角度。
激光发射单元1输出的一束原始激光1.1入射至第一偏振调制镜9中,从第一偏振调制镜9出射后为一束偏振方向呈45°的激光A01.2;激光A01.2经第一分束镜8.1后一半透射一半反射,其中透射激光经第二偏振调制镜8.2变成一束竖直偏振光,再经反射镜和第二分束镜8.6反射,由反射镜反射向下传输输出激光A’1.3。
其中反射激光经反射镜组后入射至第三偏振调制镜8.3,从第三偏振调制镜8.3出射后偏振态变成圆偏振态,由第二分束镜8.6一半被反射一半被透射,反射部分经相位延迟镜8.5后从第二分束镜8.6上透射,再由反射镜反射向下传输输出激光B’1.4;透射部分经反射镜反射向下传输输出激光C’1.5;
激光A’1.3占原始激光1.1的50%,激光B’1.4占原始激光1.1的25%,激光C’1.5占原始激光1.1的25%。
进一步的,如图3、图4,点击位于工作屏中模式选择区13.8的“模式四:重叠圆光斑104”模式,再于能量分布调制区13.7内输入第一电动位移模块3.1和第二电动位移模块3.2的平移量,根据输入平移量,控制器对第一电动位移模块3.1和第二电动位移模块3.2进行移动调控,使得由加工单元4出射的环形光斑102的内径小于点光斑101的外径,两者形成能量重叠。
进一步的,两者能量重叠率与输入平移量有关。
实施例5:同心圆光斑
如图2所示,点击控制面板中形状选择屏13上的下区域13.3,控制单元7发送指令控制电动旋转架10旋转至特定角度。
激光发射单元1输出的一束原始激光1.1入射至置第一偏振调制镜9中,从第一偏振调制镜9出射后变为一束偏振方向呈45°的激光A01.2;激光A01.2经第一分束镜8.1后一半透射一半反射,其中透射激光经第二偏振调制镜8.2变成一束竖直偏振光,再经反射镜和第二分束镜8.6反射,由反射镜反射向下传输输出激光A’1.3。
其中反射激光经反射镜组后入射至第三偏振调制镜8.3,从第三偏振调制镜8.3出射后偏振态变成圆偏振态,由第二分束镜8.6一半被反射一半被透射,反射部分经相位延迟镜8.5后从第二分束镜8.6上透射,再由反射镜反射向下传输输出激光B’1.4;透射部分经反射镜反射向下传输输出激光C’1.5。
激光A’1.3占原始激光1.1的50%,激光B’1.4占原始激光1.1的25%,激光C’1.5占原始激光1.1的25%。
进一步的,如图3、图4,首先用户点击位于工作屏中模式选择区13.8的“模式五:同心圆光斑105”模式,再于能量分布调制区13.7内输入第一电动位移模块3.1和第二电动位移模块3.2的平移量,根据输入平移量,控制器对第一电动位移模块3.1和第二电动位移模块3.2进行移动调控,使得由加工单元4出射的环形光斑102的内径大于点光斑101的外径,形成能量分布无重叠的同心圆光斑105。
进一步的,环形光斑102的内径与点光斑101的外径之间的间距与输入平移量有关。
本发明采用光学调制技术,在同一激光冲击强化系统内能输出不同形状的光斑,适用于圆形零件或环形零件的激光冲击强化。
本发明的激光冲击强化系统输出光斑形状、尺寸可变,光斑能量分布可调,增加了工艺效果的多样化,也省去了更换系统部件的步骤,简单实用。
以上,仅是本申请的几个实施例,并非对本申请做任何形式的限制,虽然本申请以较佳实施例揭示如上,然而并非用以限制本申请,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本申请技术方案的范围内,利用上述揭示的技术内容做出些许的变动或修饰均等同于等效实施案例,均属于技术方案范围内。
Claims (6)
1.一种智能化的光斑形状及能量可调的激光冲击强化系统,其特征在于,包括激光发射单元、光束调制单元、能量调制单元及加工单元;
所述激光发射单元用于发射原始激光;
所述光束调制单元用于对所述原始激光进行调制处理,以输出单束激光A、第一激光组合或第二激光组合,所述第一激光组合为一束激光B与一束激光C的组合,所述第二激光组合为一束激光A、一束激光B与一束激光C的组合;
所述加工单元用于会聚从所述光束调制单元出射的输出单束激光A、第一激光组合或第二激光组合,进行光路调制,以对应实现点光斑、环形光斑或圆形光斑的输出;
所述能量调制单元用于调控所述光束调制单元输出的第一激光组合或第二激光组合中的所述激光A、所述激光B与所述激光C之间的间距,以实现对对应输出的所述环形光斑或圆形光斑尺寸及能量分布的调谐,输出重叠圆光斑或同心圆光斑;
待加工的工件设置在所述加工单元输出光斑的一侧,所述点光斑、环形光斑、圆形光斑、重叠圆光斑或同心圆光斑分布在所述工件表面;所述光束调制单元包括第一偏振调制镜及电动旋转架;
所述第一偏振调制镜设置在所述电动旋转架上;
所述电动旋转架用于带动所述第一偏振调制镜做以光路为轴的圆周旋转,以将所述原始激光转换为不同偏振态的偏振激光;
所述光束调制单元还包括光束调制模块;
所述光束调制模块包括第一分束镜、第二分束镜、第二偏振调制镜、第三偏振调制镜、反射镜组及相位延迟镜;
所述第一分束镜用于将所述偏振激光分束为第一光束及第二光束;
所述第二偏振调制镜及所述第三偏振调制镜分别设置在所述第一光束及所述第二光束的光路上;
所述反射镜组包括多个反射镜,用于调整所述第一光束及第二光束的角度;
所述第二分束镜包括透射面及反射面;
所述第二光束经多个所述反射镜反射到所述第二分束镜的反射面,并经所述第二分束镜反射输出激光A;
所述第一光束经多个所述反射镜反射到所述第二分束镜的透射面,并在所述第二分束镜的作用下分束为第三光束与第四光束,所述第三光束透射过所述第二分束镜输出激光C;所述第四光束经所述相位延迟镜反射到所述第二分束镜的透射面,并透射过所述第二分束镜输出激光B。
2.根据权利要求1所述激光冲击强化系统,其特征在于,所述偏振激光为与所述原始激光平行的水平偏振光、与所述原始激光垂直的竖直偏振光或与所述原始激光呈45°夹角的45°线偏振光。
3.根据权利要求1所述激光冲击强化系统,其特征在于,所述能量调制单元包括第一电动位移模块与第二电动位移模块;
所述反射镜组中包括一微型反射镜,所述微型反射镜设置在所述第一电动位移模块上;
所述第一电动位移模块用于调整所述微型反射镜的位置,以调整所述第一光束在所述第二分束镜透射面的入射点位置;
所述相位延迟镜设置在所述第二电动位移模块上,所述第二电动位移模块用于调整所述相位延迟镜的位置,以调整所述第四光束在所述第二分束镜透射面的入射点位置。
4.根据权利要求3所述激光冲击强化系统,其特征在于,所述激光冲击强化系统还包括送水单元,所述送水单元用于在所述工件表面涂覆水膜。
5.根据权利要求4所述激光冲击强化系统,其特征在于,所述激光冲击强化系统还包括运动单元,所述工件设置在所述运动单元上,所述运动单元用于调整所述工件的位置。
6.根据权利要求5所述激光冲击强化系统,其特征在于,所述激光冲击强化系统还包括控制单元,用于控制所述激光发射单元、所述电动旋转架、所述第一电动位移模块、所述第二电动位移模块、所述送水单元及所述运动单元工作。
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