CN113933265B - 散斑测量装置及测量分析方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种散斑测量装置及测量分析方法，散斑测量装置包括：出射校正模块、散斑测量模块，光源发出的光束进入空间光调制器进行调制后，入射至第一平面反射镜，经反射后入射至待测物，经待测物反射后入射至第一光阑，光束穿过第一光阑后入射至第一透镜，经第一透镜入射至第二光阑，光束穿过第二光阑后入射至五棱镜扫描单元，经五棱镜扫描单元出射的光束入射至光电探测器，在光电探测器上形成散斑信号；数据处理模块接收光电探测器形成的散斑信号进行分析。本发明所提供的散斑测量装置及测量分析方法能够实现实时测量待测物的散斑，并且能够准确计算散斑的对比度。

Description

散斑测量装置及测量分析方法

技术领域

本发明涉及光学检测技术领域，具体涉及一种散斑测量装置及测量分析方法。

背景技术

激光散斑效应是一种非常有用的物理现象，已广泛用于生物医学应用中。激光散斑是一种只能用统计方法描述的随机散射现象。当相干光被所用波长范围内的粗糙表面反射时，就会发生这种效应。这种效果的特征是由暗点和亮点组成的颗粒状视觉图案。利用散斑分析，可以有效获得待测物体表面的微观形貌，可对微米级的表面形貌进行测量。同时，散斑测量的过程中依旧存在光子与物质的相互作用，可对待测样本中的某些官能团进行分析(如血红蛋白对532nm光子的强烈吸收作用)，利用光学干涉过程，表征物体内部的围观特征。同时，在种子筛选领域，利用散斑成像可以有效获得表皮组织的排列信息，通过该信息，可以有效分析种子的含水量以及活性。类似的方法也可以用于对于粮食贮藏过程的监控。在生物医疗方面，本发明可实现原位的辅助诊断，利用散斑成像，可辅助医生对癌变组织切缘进行分析判定，减少由于疲劳与主观造成的误诊。在热带水果保鲜方面，可以监控热带水果表面由于氧化与水分流失所造成的微结构。

激光散斑效应在实践中有着大量的应用，但现有技术中的散斑图像进行处理不能够进行实时测量，且进行大尺寸的散斑测量时设备较大，光路搭建困难。

发明内容

本发明克服现有技术的不足，本发明提供一种散斑测量装置及测量分析方法。

一种散斑测量装置，包括：出射校正模块、散斑测量模块、数据处理模块。

出射校正模块包括依次沿光路方向设置的光源、空间光调制器、第一平面反射镜。

散斑测量模块包括依次沿光路方向设置的第一光阑、第一透镜、第二光阑、五棱镜扫描单元、光电探测器。

光源发出的光束进入空间光调制器进行调制后，入射至第一平面反射镜，经反射后入射至待测物，经待测物反射后入射至第一光阑，光束穿过第一光阑后入射至第一透镜，经第一透镜入射至第二光阑，光束穿过第二光阑后入射至五棱镜扫描单元，经五棱镜扫描单元出射的光束入射至光电探测器，在光电探测器上形成散斑信号。

数据处理模块接收光电探测器形成的散斑信号进行散斑图像对比度计算、波前结构函数分析、子孔径拼接处理、散斑图像偏振态分析、流体分析。

进一步地，出射校正模块还包括光源整合单元。

光源整合单元包括依次沿光路方向设置的第二透镜、滤光片、第三光阑、物镜、第二平面反射镜、第四光阑、可变衰减片。

光源发出的光束入射至第二透镜准直后，入射至滤光片进行滤光，经滤光后进入第三光阑，穿过第三光阑入射至物镜进行色散后，入射至第二平面反射镜，经第二平面反射镜反射至第四光阑，穿过第四光阑入射至可变衰减片，经可变衰减片进行衰减后入射至空间光调制器。

进一步地，光源为可调谐、多波长激光光源。

进一步地，光源为不同轨道角动量的涡旋光。

进一步地，散斑测量模块还包括与第一光阑固定连接的二维位移台，二维位移台用于带动第一光阑移动。

一种斑测量分析方法，在光电探测器上形成散斑信号，光电探测器将形成的散斑信号传送至数据处理模块进行散斑图像对比度分析。

归一化的时间自相关函数的光场如公式(1)所示：

其中，E(t)表示t时刻的光场，E*表示光场的复共轭，τ表示自相关延迟时间和平均时间；

归一化的时间自相关函数的光场的强度如公式(2)所示：

其中，I(t)表示t时刻的光场，τ表示自相关延迟时间和平均时间；二阶自相关函数与一阶自相关函数的函数如公式(3)所示：

g₂(τ)＝1+β|g₁(τ)|² (3)

其中，β≤1，β表示归一化常数；

散斑对比度需要在一段积分时间内进行分析，自相关函数与光电探测器曝光时间建立散斑对比度，如公式(4)所示：

其中，T表示曝光时间。

一种斑测量分析方法，

旋转五棱镜扫描单元，使用光电探测器进行散斑信号采集，光电探测器将采集的散斑信号传送至数据处理模块进行波前结构函数分析，波前的结构函数D_wavefront，如公式(5)所示：

其中，φ表示检测所得到的波前相位，

表示波前上的位置矢量，

表示距离量，λ表示波长，<>表示波前上的平均运算。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

1、本发明所提供的散斑测量装置及测量分析方法能够实现实时测量待测物的散斑；

2、本发明所提供的散斑测量装置及测量分析方法通过设置二位移动台能够测量大尺寸的待测物的散斑；

3、本发明所提供的散斑测量装置及测量分析方法能够准确计算散斑的对比度。

附图说明

图1是本发明实施例中的散斑测量装置的结构图。

其中的附图标记如下：

光源1、第二透镜2、滤光片3、第三光阑4、物镜5、第二平面反射镜6、第四光阑7、可变衰减片8、空间光调制器9、第一平面反射镜10、待测物11、第一光阑12、二维位移台13、第一透镜14、第二光阑15、五棱镜扫描单元16、光电探测器17。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互结合。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1示出了本发明实施例中的散斑测量装置的结构图。

实施例1：

本发明实施例1提供一种散斑测量装置，包括：出射校正模块、散斑测量模块、数据处理模块；出射校正模块包括依次沿光路方向设置的光源1、空间光调制器9、第一平面反射镜10；散斑测量模块依次沿光路方向设置的第一光阑12、第一透镜14、第二光阑15、五棱镜扫描单元16、光电探测器17；光源1发出的光束进入空间光调制器9进行调制后，入射至第一平面反射镜10，经反射后入射至待测物11，经待测物11反射后入射至第一光阑12，光束穿过第一光阑12后入射至第一透镜14，经第一透镜14入射至第二光阑15，光束穿过第二光阑15后入射至五棱镜扫描单元16，经五棱镜扫描单元16出射的光束入射至光电探测器17，在光电探测器17上形成散斑信号；数据处理模块接收光电探测器17形成的散斑信号进行散斑图像对比度计算、波前结构函数分析、子孔径拼接处理、散斑图像偏振态分析、流体分析。

校正的原理是：散斑测量装置自身会产生像差，散斑测量装置的像差本身如果不做处理，会影响最终待测物11的散斑测量。因此把待测物11替换为反射镜或反射板进行测试，获得散斑测量装置自身产生的像差，在探测器处会形成散斑测量装置自身产生的像差信号，将像差信号传送至数据处理模块。进行待测物11散斑测量时，数据处理模块将校正时获取的像差信号进行去除，通过数据处理的方式去除散斑测量装置自身会产生的像差的干扰。

本发明实施例1提供一种优选方案，出射校正模块还包括光源1整合单元；包括依次沿光路方向设置的第二透镜2、滤光片3、第三光阑4、物镜5、第二平面反射镜6、第四光阑7、可变衰减片8；光源1发出的光束入射至第二透镜2准直后，入射至滤光片3进行滤光，经滤光后进入第三光阑4，穿过第三光阑4入射至物镜5进行色散后，入射至第二平面反射镜6，经第二平面反射镜6反射至第四光阑7，穿过第四光阑7入射至可变衰减片8，经可变衰减片8进行衰减后入射至空间光调制器9。

根据待测物11的不同，待测物11的反射率也不相同，因此在探测器所接收到的光束的散斑信号的强弱就不同，可变衰减片8根据待测物11反射率与探测器所接收的散斑信号的强弱来控制衰减，以实现多种类待测物11的散斑测量。光源1整合单元能够有效提高光电转换效率，有效提高散斑检测的范围，提高动态响应范围。

本发明实施例1提供一种优选方案，光源1为可调谐、多波长光源1。

光源1发出不同波长的光束进行散斑测量，可针对不同尺度的起伏与微表面形貌的待测物11进行测量，光源1同时发出两种不同波长的复合光束进行测量时，可用差动的方式获得更大的测量动态范围。

本发明实施例1提供一种优选方案，散斑测量模块还包括与第一光阑12固定连接的二维位移台13，二维位移台13用于带动第一光阑12移动。

二维位移台13带动第一光阑12移动，可实现在使用小面积光电探测器17就采集大口径待测物11散斑，实现大口径待测物11散斑测量，二维位移台13每移动一个位置光电探测器17就可以采集大口径待测物11散斑的一部分，通过数据处理模块进行子孔径散斑信号拼接处理，以实现整体待测物11散斑信息的测量。

实施例2：

本发明实施例2提供一种散斑测量装置的测量分析方法，在光电探测器17上形成散斑信号，光电探测器17将形成的散斑信号传送至数据处理模块进行散斑图像对比度分析，

归一化的时间自相关函数与光场的关系，如公式(1)所示：

其中，E(t)表示t时刻的光场，E*表示光场的复共轭，τ表示自相关延迟时间和平均时间；其中延迟时间和平均时间相等。

归一化的时间自相关函数与光场的强度的关系，如公式(2)所示：

其中，I(t)表示t时刻的光场，τ表示自相关延迟时间和平均时间；二阶自相关函数与一阶自相关函数的函数如公式(3)所示：

g₂(τ)＝1+β|g₁(τ)|² (3)

其中，β≤1，β表示归一化常数，β是由于缺乏光稳定性和由于光电探测器17的空间混叠而导致的斑点平均。

散斑对比度需要在一段积分时间内进行分析，自相关函数与光电探测器17曝光时间建立散斑对比度，如公式(4)所示：

其中，T表示曝光时间。

当存在静电散射体时，到达光电探测器17的是散射的光子之和，散射的光子由静态粒子和由动态粒子散射组成：

E(t)＝E_d(t)+E_S (5)

其中，E_d(t)表示动态散射的光电子的光场，E_S表示静态光场散射的光电子的光场。

因此，归一化的时间自相关函数的光场的强度还可以表示为公式(6)：

g₂(τ)＝1+β[(1-ρ)²|g_1d(τ)|²+2ρ(1-ρ)|g_1d(τ)|+ρ²] (6)

其中，g_1d(τ)表示τ时刻的光场自相关函数，ρ表示静光场散射的光光场粒子的比例，如公式(7)所示：

ρ＝I_s/I_s+I_d (7)

其中，I_s表示静态光场散射的光电子的光场的强度，I_d表示动态光场散射的光电子的光场。

归一化的时间自相关函数与光场的强度的关系，取决于动态散射的光电子的光场的自相关函数；由于静光场为常数，不取决于静态散射的光电子的光场的自相关函数。其自相关函数对于所有延迟值(τ)根据Siegert定理，整理公式(3)可得公式(8)

g_1m(τ)＝(1-ρ)|g_1d(τ)|+ρ (8)

将公式(8)代入公式(5)，可得到公式(9)：

动态散射的光电子的光场的自相关函数作为指数衰减(洛伦兹分布)，如公式(10)所示：

其中，x＝T/τc；

经高斯分布修正的自相关函数，如公式(11)所示：

实施例3：

本发明实施例3提供一种散斑测量装置的测量分析方法。

旋转五棱镜扫描单元16，使用光电探测器17进行散斑信号采集，光电探测器17将采集的散斑信号传送至数据处理模块进行波前结构函数分析，波前的结构函数D_wavefront，如公式(12)所示：

其中，φ表示检测所得到的波前相位，

表示波前上的位置矢量，

表示距离量，可以是单独的距离量也可以是空间间隔；λ表示波长，<>表示波前上的平均运算。

实施例4：

本发明实施例4提供一种散斑测量装置的测量分析方法。

通过移动二维位移台13，可以对大口径待测物11的散斑进行采集，二维位移台13每移动一个位置光电探测器17就可以采集大口径待测物11散斑的一部分，通过数据处理模块进行子孔径散斑信号拼接处理，以实现整体待测物11散斑信息的测量。

首先考虑两个子孔径拼接的情况，设定其中一个为“基准子孔径”，另一个为“拼接子孔径”。两个子孔径是指移动二维位移台两次所采集的两次的散斑信号。

假设两个子孔径的位置已经大体对准，利用二者重叠区域数据的差值，可以估计被拼接子孔径的刚体位移，其表达式如所示

其中，P表示平移的系数，T_x、T_y分别表示二维位移台13在X方向和Y方向的倾斜量，S_x、S_y分别表示子孔径之间的相互错开，R代表子孔径之间的相对旋转，n代表中高频误差。如果使用最小二乘法，需要n为服从高斯分布的误差，才可以得到参数的无偏一致估计，如果误差统计特性偏离高斯分布较多可使用极大似然估计的方法。在子孔径拼接前需要综合分析子孔径的大小与采样方式，保证每个子孔径中具有足够多的散斑。采用极大似然估计，对不同子孔径之间的相对误差进行分析。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制。本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

以上本发明的具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限定。任何根据本发明的技术构思所做出的各种其他相应的改变与变形，均应包含在本发明权利要求的保护范围内。

Claims (6)

1.一种散斑测量装置，其特征在于，包括：出射校正模块、散斑测量模块、数据处理模块；其中，

所述出射校正模块包括依次沿光路方向设置的光源、空间光调制器、第一平面反射镜；

所述散斑测量模块包括依次沿光路方向设置的第一光阑、第一透镜、第二光阑、五棱镜扫描单元、光电探测器；所述散斑测量模块还包括与所述第一光阑固定连接的二维位移台，所述二维位移台用于带动所述第一光阑移动；

所述光源发出的光束进入所述空间光调制器进行调制后，入射至所述第一平面反射镜，经反射后入射至待测物，经所述待测物反射后入射至所述第一光阑，所述光束穿过所述第一光阑后入射至所述第一透镜，经所述第一透镜入射至所述第二光阑，所述光束穿过所述第二光阑后入射至所述五棱镜扫描单元，经所述五棱镜扫描单元出射的光束入射至所述光电探测器，在所述光电探测器上形成散斑信号；

所述数据处理模块接收所述光电探测器形成的所述散斑信号进行散斑图像对比度计算、波前结构函数分析、子孔径拼接处理、散斑图像偏振态分析、流体分析。

2.根据权利要求1所述的散斑测量装置，其特征在于，所述出射校正模块还包括光源整合单元；其中，

所述光源整合单元包括依次沿光路方向设置的第二透镜、滤光片、第三光阑、物镜、第二平面反射镜、第四光阑、可变衰减片；

所述光源发出的光束入射至所述第二透镜准直后，入射至所述滤光片进行滤光，经滤光后进入所述第三光阑，穿过所述第三光阑入射至所述物镜进行色散后，入射至所述第二平面反射镜，经所述第二平面反射镜反射至所述第四光阑，穿过所述第四光阑入射至所述可变衰减片，经所述可变衰减片进行衰减后入射至所述空间光调制器。

3.根据权利要求1所述的散斑测量装置，其特征在于，所述光源为可调谐、多波长激光光源。

4.根据权利要求1所述的散斑测量装置，其特征在于，所述光源为不同轨道角动量的涡旋光。

5.一种使用如权利要求1-4中任一项所述的散斑测量装置的测量分析方法，其特征在于，

在所述光电探测器上形成散斑光场信号，所述光电探测器将形成的散斑光场信号传送至所述数据处理模块进行散斑图像对比度分析，

归一化的时间自相关函数的光场如公式(1)所示：

其中，E(t)表示t时刻的光场，E*表示光场的复共轭，τ表示自相关延迟时间和平均时间；

归一化的时间自相关函数的光场的强度如公式(2)所示：

其中，I(t)表示t时刻的光场，τ表示自相关延迟时间和平均时间；

二阶自相关函数与一阶自相关函数的函数如公式(3)所示：

g₂(τ)＝1+β|g₁(τ)|² (3)

其中，β≤1，β表示归一化常数；

散斑对比度需要在一段积分时间内进行分析，自相关函数与所述光电探测器曝光时间建立散斑对比度，如公式(4)所示：

其中，T表示曝光时间。

6.一种使用如权利要求1-4中任一项所述的散斑测量装置的测量分析方法，其特征在于，

旋转所述五棱镜扫描单元，使用所述光电探测器进行散斑信号采集，所述光电探测器将采集的所述散斑信号传送至所述数据处理模块进行波前结构函数分析，波前的结构函数D_wavefron，如公式(5)所示：

其中，φ表示检测所得到的波前相位，

表示波前上的位置矢量，

表示距离量，λ表示波长，< >表示波前上的平均运算。

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