CN113915462A - 一种大型设备用调平机构 - Google Patents

一种大型设备用调平机构 Download PDF

Info

Publication number
CN113915462A
CN113915462A CN202111195172.5A CN202111195172A CN113915462A CN 113915462 A CN113915462 A CN 113915462A CN 202111195172 A CN202111195172 A CN 202111195172A CN 113915462 A CN113915462 A CN 113915462A
Authority
CN
China
Prior art keywords
guide
pair
leveling mechanism
guide block
equipment according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202111195172.5A
Other languages
English (en)
Inventor
李伟
郝禄
刘福强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Beijing Semicore Microelectronics Equipment Co Ltd
Original Assignee
Beijing Semicore Microelectronics Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Semicore Microelectronics Equipment Co Ltd filed Critical Beijing Semicore Microelectronics Equipment Co Ltd
Priority to CN202111195172.5A priority Critical patent/CN113915462A/zh
Publication of CN113915462A publication Critical patent/CN113915462A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16MFRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M7/00Details of attaching or adjusting engine beds, frames, or supporting-legs on foundation or base; Attaching non-moving engine parts, e.g. cylinder blocks
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16MFRAMES, CASINGS OR BEDS OF ENGINES, MACHINES OR APPARATUS, NOT SPECIFIC TO ENGINES, MACHINES OR APPARATUS PROVIDED FOR ELSEWHERE; STANDS; SUPPORTS
    • F16M5/00Engine beds, i.e. means for supporting engines or machines on foundations

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)

Abstract

本发明涉及调平机构技术领域,具体涉及一种大型设备用调平机构,包括:支撑板,设置有一对,至少一个支撑板上设有调节斜面,调节斜面朝向另一支撑板设置,一对支撑板之间滑动安装有导向块;固定件,安装在一对支撑板之间,至少一个支撑板与固定件活动连接;螺纹杆,贯穿固定件后与导向块螺纹连接,螺纹杆朝向调节斜面的倾斜方向延伸,螺纹杆远离导向块的一端可拆卸安装有加长杆件。在调平操作时,通过在大型设备外侧转动加长杆件即可完成,无需再大型设备底部布置千斤顶,更无需使大型设备进行预先倾斜,极大地简化了大型设备调平操作。

Description

一种大型设备用调平机构
技术领域
本发明涉及调平机构技术领域,具体涉及一种大型设备用调平机构。
背景技术
由于为了提高效率,机台的重量和占地面积越来越大,在设备工作过程中,机台的底部需要布置多个地脚来对机台进行支撑。安装定位时,需要通过调整地脚的螺杆从而调整机台水平。由于机台庞大的体积,势必会有一些地脚位于机台底面内部,底面内部的地脚高度调节操作困难。
如半导体专用化学机械抛光制程设备机台,为了提高产能,采用两侧对称的设置,机台宽度达到3000mm。机台地脚布置呈环状设置两圈,调整水平时由于地脚安装在机台底面的内侧,机台底部空间狭小,不便于置入工具进行调整,尤其是靠近机台中心的地脚受调节空间的限制,无法在机架底部放置千斤顶,而且该递交距离机台边缘距离较远,导致无法直接通过工具对其进行调节。在调节时需要把一侧的地脚旋高后再对内部地脚进行调节,另一侧的地脚有则会单独承受机台大部分重量,操作起来极其困难。
发明内容
因此,本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中的大型设备底部调平地脚在大型设备底面内侧安装时调节操作困难的缺陷,从而提供一种大型设备用调平机构。
为了解决上述技术问题,本发明提供一种大型设备用调平机构,包括:
支撑板,设置有一对,至少一个支撑板上设有调节斜面,调节斜面朝向另一支撑板设置,一对支撑板之间滑动安装有导向块;
固定件,安装在一对支撑板之间,至少一个支撑板与固定件活动连接;
螺纹杆,贯穿固定件后与导向块螺纹连接,螺纹杆朝向调节斜面的倾斜方向延伸,螺纹杆远离导向块的一端可拆卸安装有加长杆件。
可选地,至少一个支撑板上设有平行设有一对定位块,一对定位块之间预留有导向空间,支撑板设有定位块的一面相向朝向另一支撑板设置,导向块滑动安装在导向空间内。
可选地,定位块上设置有导向槽,同一支撑板上的一对定位块上的导向槽相向设置,导向块上沿长度方向设有导向凸起,导向凸起与导向槽滑动抵接。
可选地,加长杆件包括加长杆本体和设于加长杆本体一端的第一卡接件,螺纹杆的远离导向块的一端设有第二卡接件,第一卡接件与第二卡接件之间卡接配合。
可选地,加长杆本体远离第一卡接件的一端安装有固定座,固定座与加长杆本体之间转动配合。
可选地,第一卡接件为内六方套筒,第二卡接件为外六方套头。
可选地,一对支撑板相向的面上设有滑动槽,导向块滑动安装在滑动槽内。
可选地,固定件上设有定位柱,定位柱朝向支撑板延伸,且定位柱贯穿与固定件活动连接的支撑板。
可选地,加长杆本体远离第一卡接件的一端设有外六方头。
可选地,其中一块支撑板上设有调节斜面,设有调节斜面的支撑板设于另一支撑板下方。
本发明技术方案,具有如下优点:
1.本发明提供的大型设备用调平机构,包括:支撑板,设置有一对,至少一个支撑板上设有调节斜面,调节斜面朝向另一支撑板设置,一对支撑板之间滑动安装有导向块;固定件,安装在一对支撑板之间,至少一个支撑板与固定件活动连接;螺纹杆,贯穿固定件后与导向块螺纹连接,螺纹杆朝向调节斜面的倾斜方向延伸,螺纹杆远离导向块的一端可拆卸安装有加长杆件。
在对长度和宽度较大体积较重的大型设备进行调平操作时,通过将加上杆件与螺纹杆远离导向块的的一端配合安装,利用加长杆件将一对支撑板伸入至大型设备的机台底部指定位置,通过在机台外部旋转加长杆件,进而带动螺纹杆转动,螺纹杆推动导向块在一对支撑板之间滑动,通过导向块与调节斜面的抵接配合,当导向块在滑动过程中,导向块地接在调节斜面上的不同位置,两块支撑板之间的间距即可随导向块的运动而发生改变,通过支撑板对机台底部进行支撑,即可对大型设备进行调平。在调平操作时,通过在大型设备外侧转动加长杆件即可完成,无需再大型设备底部布置千斤顶,更无需使大型设备进行预先倾斜,极大地简化了大型设备调平操作。
2.本发明提供的大型设备用调平机构,至少一个支撑板上设有平行设有一对定位块,一对定位块之间预留有导向空间,支撑板设有定位块的一面相向朝向另一支撑板设置,导向块滑动安装在导向空间内。通过设置导向空间对导向块的滑动进行限位,使得导向块能够沿预定的方向进行滑动,避免导向块的滑动方向发生偏移导致导向块移动时发生卡顿。
3.本发明提供的大型设备用调平机构,定位块上设置有导向槽,同一支撑板上的一对定位块上的导向槽相向设置,导向块上沿长度方向设有导向凸起,导向凸起与导向槽滑动抵接。通过设置导向凸起与导向槽滑动抵接配合,使得导向块在滑动过程中,能够与支撑板之间紧密抵接,避免在螺纹杆的作用下导向块一端抬起导致支撑板与导向块之间产生空隙,保证在滑动导向块调平操作过程中支撑板对机台支撑的稳定性。
4.本发明提供的大型设备用调平机构,加长杆件包括加长杆本体和设于加长杆本体一端的第一卡接件,螺纹杆的远离导向块的一端设有第二卡接件,第一卡接件与第二卡接件之间卡接配合。通过螺纹杆与加长杆本体之间卡接配合,在使用时预先将第一卡接件与第二卡接件之间卡接配合,通过加长杆本体将支撑板置于大型设备的底部,当支撑板之间的高度调整完成使得大型设备能够满足调平要求时,大型设备能够对支撑板在竖直方向上施加较大的压力,通过沿轴向拖拽加长杆本体即可使第一卡接件与第二卡接件之间脱离配合,便于调平完成后加长杆件的分离。
5.本发明提供的大型设备用调平机构,加长杆本体远离第一卡接件的一端安装有固定座,固定座与加长杆本体之间转动配合。通过在加长杆本体上设置固定座,使得加长杆本体从机台底部延伸出的一端通过固定座支撑在地面或工作台上,防止在转动加长杆本体时其发生晃动,提升加长杆本体的稳定性,保证调平操作能够顺利进行。
6.本发明提供的大型设备用调平机构,固定件上设有定位柱,定位柱朝向支撑板延伸,且定位柱贯穿与固定件活动连接的支撑板。利用定位柱对支撑板的竖向运动进行限位,避免在导向块运动时支撑板从导向块上滑落。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的实施方式中提供的大型设备用调平机构的结构示意图。
图2为图1所示的大型设备用调平机构的剖视图。
图3为本发明的实施方式中提供的加长杆构件的结构示意图。
图4为本发明的实施方式中提供的定位块与导向块配合安装的结构示意图。
图5为本发明的实施方式中提供的大型设备用调平机构的使用示意图。
附图标记说明:1、支撑板;2、固定块;3、螺纹杆;4、定位块;5、导向槽;6、导向凸起;7、内六方套筒;8、外六方套头;9、加长杆本体;10、外六方头;11、固定座;12、导向块。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外,下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
实施例1
如图1至图5所示为本实施例提供的一种大型设备用调平机构,包括:一对支撑板1、作为固定件的固定块2和一根贯穿固定件的螺纹杆3,螺纹杆3上设有外螺纹。
支撑板1设置有一对,两块支撑板1之间上下布置。固定块2安装在一对支撑板1之间的端部,上侧的支撑板1与固定块2活动连接,下侧的支撑板1与固定块2固定连接。在固定块2上顶面上设有定位柱,定位柱朝向支撑板1延伸,且定位柱贯穿与固定块2活动连接的支撑板1,以对支撑板1的上下运动进行限位,避免在调平操作时,上侧的支撑板1发生滑落。下侧一个支撑板1的顶面上设有调节斜面,调节斜面朝向另一支撑板1设置,一对支撑板1之间滑动安装有导向块12,导向块12与调节斜面抵接的一面设有配合斜面,配合斜面与调节斜面倾斜角度相同,以保证上方的支撑板1的顶面保持水平。
支撑板1上设有平行设有一对定位块4,一对定位块4之间预留有导向空间,支撑板1设有定位块4的一面相向朝向另一支撑板1设置,导向块12滑动安装在导向空间内。定位块4上设置有导向槽5,同一支撑板1上的一对定位块4上的导向槽5相向设置,导向块12上沿长度方向设有导向凸起6,导向凸起6与导向槽5滑动抵接。为了进一步增加导向块12在支撑板1上滑动的稳定性,一对支撑板1相向的面上设有滑动槽,导向块12滑动安装在滑动槽内以进一步限制导向块12的滑动方向,滑动槽远离两端均不延伸至支撑板1的边缘,使得导向块12在支撑板1上滑动的距离被限定,避免导向块12从一对支撑板1之间滑出。
螺纹杆3贯穿固定块2后与导向块12螺纹连接,螺纹杆3朝向调节斜面的倾斜方向延伸,螺纹杆3远离导向块12的一端可拆卸安装有加长杆件。加长杆件包括加长杆本体9和设于加长杆本体9一端的第一卡接件,螺纹杆3的远离导向块12的一端设有第二卡接件,第一卡接件与第二卡接件之间卡接配合。加长杆本体9远离第一卡接件的一端安装有固定座11,固定座11与加长杆本体9之间转动配合。本实施例中,第一卡接件为内六方套筒7,内六方套筒7与加长杆本体9之间螺纹连接,第二卡接件为外六方套头8,外六方套头8与螺纹杆3之间固定连接成一体,外六方套头8与螺纹杆3可为一体成型件。为了方便通过扳手对加长杆本体9进行转动,在加长杆本体9远离第一卡接件的一端螺纹连接有外六方头10。
在对长度和宽度较大体积较重的大型设备进行调平操作时,首先将四块定位块4分别通过螺钉固定在支撑板1上设有滑动槽的一面上,然后在导向块12的四周、支撑板1和定位块4与导向块12的接触面上涂抹润滑脂,通过将带有外六方套头8的螺纹杆3穿过固定块2上的贯穿孔,与导向块12上的内螺纹孔进行螺纹配合。将外六方套头8套入至加长杆本体9上的内六方套筒7中,然后利用加长杆本体9带动一对支撑板1移动至大型设备底部的指定位置。加长杆本体9上的固定座11设置在大型设备外侧对应位置。安装就位后通过扳手旋转加长杆本体9上的外六方头使得加长杆本体9绕轴向转动,同时带动螺纹杆3进行转动,使得导向块12在安装板之间运动,通过改变加长杆本体9的转动方向即可改变导向块12的滑动方向,使得一对支撑板1之间的距离增大或减小,进而使得大型设备底部被抬高或降低。在调平操作时,通过在大型设备外侧转动加长杆件即可完成,无需再大型设备底部布置千斤顶,更无需使大型设备进行预先倾斜,极大地简化了大型设备调平操作。
作为替代的实施方式,仅在下侧的支撑板1上设置一对定位块4,上方的支撑板1为平板结构。
作为替代的实施方式,两块支撑板1上均设有调节斜面,在导向块12上下两个面上均设有与调节斜面配合的配合斜面,以增加支撑板1之间间距的调节行程。
显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种大型设备用调平机构,其特征在于,包括:
支撑板(1),设置有一对,至少一个所述支撑板(1)上设有调节斜面,所述调节斜面朝向另一所述支撑板(1)设置,一对所述支撑板(1)之间滑动安装有导向块;
固定件,安装在一对所述支撑板(1)之间,至少一个所述支撑板(1)与所述固定件活动连接;
螺纹杆(3),贯穿所述固定件后与所述导向块螺纹连接,所述螺纹杆(3)朝向所述调节斜面的倾斜方向延伸,所述螺纹杆(3)远离所述导向块的一端可拆卸安装有加长杆件。
2.根据权利要求1所述的大型设备用调平机构,其特征在于,至少一个所述支撑板(1)上设有平行设有一对定位块(4),一对定位块(4)之间预留有导向空间,所述支撑板(1)设有所述定位块(4)的一面相向朝向另一所述支撑板(1)设置,所述导向块滑动安装在所述导向空间内。
3.根据权利要求2所述的大型设备用调平机构,其特征在于,所述定位块(4)上设置有导向槽(5),同一所述支撑板(1)上的一对所述定位块(4)上的所述导向槽(5)相向设置,所述导向块上沿长度方向设有导向凸起(6),所述导向凸起(6)与所述导向槽(5)滑动抵接。
4.根据权利要求1至3任一项所述的大型设备用调平机构,其特征在于,所述加长杆件包括加长杆本体(9)和设于所述加长杆本体(9)一端的第一卡接件,所述螺纹杆(3)的远离所述导向块的一端设有第二卡接件,所述第一卡接件与所述第二卡接件之间卡接配合。
5.根据权利要求4所述的大型设备用调平机构,其特征在于,所述加长杆本体(9)远离所述第一卡接件的一端安装有固定座(11),所述固定座(11)与所述加长杆本体(9)之间转动配合。
6.根据权利要求4或5所述的大型设备用调平机构,其特征在于,所述第一卡接件为内六方套筒(7),所述第二卡接件为外六方套头(8)。
7.根据权利要求1至6任一项所述的大型设备用调平机构,其特征在于,一对所述支撑板(1)相向的面上设有滑动槽,所述导向块滑动安装在所述滑动槽内。
8.根据权利要求1至7任一项所述的大型设备用调平机构,其特征在于,所述固定件上设有定位柱,所述定位柱朝向所述支撑板(1)延伸,且所述定位柱贯穿与所述固定件活动连接的所述支撑板(1)。
9.根据权利要求4至6任一项所述的大型设备用调平机构,其特征在于,所述加长杆本体(9)远离所述第一卡接件的一端设有外六方头。
10.根据权利要求1至9任一项所述的大型设备用调平机构,其特征在于,其中一块所述支撑板(1)上设有调节斜面,设有调节斜面的所述支撑板(1)设于另一所述支撑板(1)下方。
CN202111195172.5A 2021-10-13 2021-10-13 一种大型设备用调平机构 Pending CN113915462A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111195172.5A CN113915462A (zh) 2021-10-13 2021-10-13 一种大型设备用调平机构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111195172.5A CN113915462A (zh) 2021-10-13 2021-10-13 一种大型设备用调平机构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN113915462A true CN113915462A (zh) 2022-01-11

Family

ID=79240480

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202111195172.5A Pending CN113915462A (zh) 2021-10-13 2021-10-13 一种大型设备用调平机构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113915462A (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN209725631U (zh) * 2019-04-03 2019-12-03 惠州市飞翔数控科技有限公司 一种重型三层斜面地脚
WO2020086990A1 (en) * 2018-10-25 2020-04-30 Softway Industrial Solutions, Llc Aligner
CN213420335U (zh) * 2020-09-25 2021-06-11 成都三本机电设备有限公司 一种具有加长调节杆的千斤顶
CN113458972A (zh) * 2021-07-28 2021-10-01 北京烁科精微电子装备有限公司 一种抛光垫修整装置及抛光设备

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2020086990A1 (en) * 2018-10-25 2020-04-30 Softway Industrial Solutions, Llc Aligner
CN209725631U (zh) * 2019-04-03 2019-12-03 惠州市飞翔数控科技有限公司 一种重型三层斜面地脚
CN213420335U (zh) * 2020-09-25 2021-06-11 成都三本机电设备有限公司 一种具有加长调节杆的千斤顶
CN113458972A (zh) * 2021-07-28 2021-10-01 北京烁科精微电子装备有限公司 一种抛光垫修整装置及抛光设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106976032B (zh) 一种大型飞机外翼翼盒的装配工装系统
CN109500669B (zh) 一种可调式轴承加工固定打磨装置
CN104808367A (zh) Lcm模组检测装置
CN209587576U (zh) 一种多屏显示器支架
CN113915462A (zh) 一种大型设备用调平机构
CN105127630B (zh) 对辅助焊接设备的多个压头进行调试的治具及其使用方法
CN109304606A (zh) 全自动调节工装板
CN215107133U (zh) 一种便于固定的移动脚手架
CN216261716U (zh) 一种旋转简单便于安装调节的点胶机
CN106494082B (zh) 印刷机刮刀多向调节装置
CN112610853A (zh) 一种纺织设备支撑装置
CN213793732U (zh) 一种换热器铝型材用定位冲孔装置
CN113188016A (zh) 一种建筑工程用测量测绘装置
CN114032775B (zh) 钢箱梁组装用可自动调平支架
CN221047526U (zh) 一种等离子切割机用调节机构
CN217949666U (zh) 一种旋拧式瓷砖安装支撑辅助装置
CN218361423U (zh) 一种可调节高度的开平机
CN216670489U (zh) 一种投影机调整机构
CN220168285U (zh) 一种综合性液压实验台
CN219946155U (zh) 一种用于计算机集成芯片生产的可调节操作台
CN109821974A (zh) 卧式扩张机
CN220955479U (zh) 一种桩架施工定位装置
CN107606405A (zh) 一种办公用投影仪角度可调节式放置架
CN214687931U (zh) 一种麦拉抚平装置
CN218966794U (zh) 可调撑脚组件

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
CB02 Change of applicant information

Address after: 100176 101, floor 2, building 2, No. 1, Taihe Third Street, economic and Technological Development Zone, Daxing District, Beijing

Applicant after: Beijing Jingyi Precision Technology Co.,Ltd.

Address before: 100176 101, floor 2, building 2, No. 1, Taihe Third Street, economic and Technological Development Zone, Daxing District, Beijing

Applicant before: Beijing ShuoKe precision electronic equipment Co.,Ltd.

CB02 Change of applicant information
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20220111

RJ01 Rejection of invention patent application after publication