CN113877888A - 清洁装置及检测设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种清洁装置及检测设备。清洁装置包括安装板、吹气组件及集气组件。吹气组件连接于安装板，吹气组件包括吹扫件及喷嘴，喷嘴安装于吹扫件，喷嘴用于通过吹扫件朝待处理件的待处理区域提供气体。集气组件连接于安装板，集气组件包括集气件及吸嘴，吸嘴安装于集气件，吸嘴用于通过集气件收集吹扫过待处理区域的气体，吹气组件和集气组件中的至少一个可相对安装板运动。本申请的清洁装置及检测设备中，吹气组件及集气组件均安装于安装板，且吹气组件及集气组件中的至少一个可相对安装板运动，从而实现吹气组件和集气组件的灵活调节，便于对待处理区域进行灵活可调的清扫，实现灵活的吹气效果和吸气效果，有效提高清洁装置的清洁效率。

Description

清洁装置及检测设备

技术领域

本申请涉及半导体检测技术领域，更具体而言，涉及一种清洁装置及检测设备。

背景技术

光学检测具有高灵敏性、高精度以及非接触等特点，在半导体工艺检测行业占有越来越重要的地位。光学检测中采用光源照射在待处理件(如晶圆)表面，并通过工业照相机拍摄待处理件的微观特征，生成图像信息，然后将该图像信息传给图像处理系统以实现待处理件特征的自动识别。为了减少待处理件表面的颗粒可能带来的误检，一般通过“一吹一吸”将颗粒带走，达到对待处理件表面的清洁。但此种方法存在弊端，即喷气装置和集气装置的调节方式较为死板，无法进行灵活的调节，尤其是当待处理件与喷气装置和集气装置之间的位置有变动时，采用上述方法中的吹气和吸气方式并不能很好的对待处理件的待处理区域进行吹扫，极大地降低了工作效率。

发明内容

本申请实施方式提供一种清洁装置及检测设备。

本申请实施方式的清洁装置包括安装板、吹气组件及集气组件。所述吹气组件连接于所述安装板，所述吹气组件包括吹扫件及喷嘴，所述喷嘴安装于所述吹扫件，所述喷嘴用于通过所述吹扫件朝待处理件的待处理区域提供气体。所述集气组件连接于所述安装板，所述集气组件包括集气件及吸嘴，所述吸嘴安装于所述集气件，所述吸嘴用于通过所述集气件收集吹扫过所述待处理区域的所述气体，所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个可相对所述安装板运动。

在某些实施方式中，所述吹气组件能够相对所述安装板直线移动；所述集气组件能够相对所述安装板直线移动。其中，在所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个相对所述安装板移动的过程中，至少部分所述集气组件与所述吹气组件相对。

在某些实施方式中，所述吹气组件能够相对所述安装板直线移动；所述集气组件能够环绕所述待处理区域的中心相对所述安装板曲线移动。其中，在所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个相对所述安装板移动的过程中，至少部分所述集气组件与所述吹气组件相对。

在某些实施方式中，所述吹气组件能够环绕所述待处理区域的中心相对所述安装板曲线移动；所述集气组件能够相对所述安装板直线移动。其中，在所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个相对所述安装板移动的过程中，至少部分所述集气组件与所述吹气组件相对。

在某些实施方式中，所述吹气组件能够环绕所述待处理区域的中心相对所述安装板曲线移动；所述集气组件能够环绕所述待处理区域的中心相对所述安装板曲线移动。其中，在所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个相对所述安装板移动的过程中，至少部分所述集气组件与所述吹气组件相对。

在某些实施方式中，所述吹气组件和所述集气组件均能够相对所述安装板左右转动或俯仰转动，其中，在所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个相对所述安装板转动的过程中，至少部分所述集气组件与所述吹气组件相对。

在某些实施方式中，所述喷嘴以预设的喷气方式朝所述待处理区域提供气体。及所述吸嘴以预设的吸气方式收集吹扫过所述待处理区域的所述气体。

在某些实施方式中，所述喷气方式包括喷气速度、喷气模式和喷气方向中的一种或多种组合；和/或所述吸气方式包括吸气速度、吸气模式和吸气方向中的一种或多种组合；其中，所述喷气速度和所述吸气速度包括匀速和变速，所述喷气模式和所述吸气模式包括连续性喷气/吸气和间歇性喷气/吸气，所述喷气方向和所述吸气方向包括方向固定及方向可调，所述间歇性喷气/吸气包括间断时间固定式喷气/吸气和间断时间变化式喷气/吸气。

在某些实施方式中，所述吹扫件包括相背的第一侧和第二侧，所述喷嘴安装于所述第一侧，所述吹气组件还包括挡板，所述挡板位于所述第二侧，所述挡板与所述吹扫件为一体结构。

在某些实施方式中，所述吹扫件包括相背的第一侧和第二侧，所述喷嘴安装于所述第一侧，所述吹气组件还包括挡板，所述挡板位于所述第二侧，所述挡板与所述吹扫件为分体结构。

在某些实施方式中，当所述挡板与所述吹扫件为分体结构时，所述挡板能够沿所述气体从所述吹扫件吹出后的气体路径移动或转动。

在某些实施方式中，所述第一侧上开设有开孔，所述开孔用于与所述喷嘴配合，所述开孔的数量包括多个，多个所述开孔间隔设置。

在某些实施方式中，所述集气件包括迎风部，所述迎风部设有多个吸气口，多个所述吸气口等间距排布。

在某些实施方式中，所述集气件包括迎风部，所述迎风部设有多个吸气口，多个所述吸气口变间距排布。

在某些实施方式中，所述吸气口与所述吸嘴配合，所述吸嘴的数量包括多个，多个所述吸嘴均不相同。

在某些实施方式中，所述吸气口与所述吸嘴配合，所述吸嘴的数量包括多个，多个所述吸嘴均相同。

在某些实施方式中，所述清洁装置还包括吹气管路，所述吹气管路包括正压气源、第一过滤件、第二过滤件、第一电磁阀及第一调速阀。所述正压气源用于为所述吹扫组件提供气体。所述第一过滤件用于对所述正压气源提供的气体进行洁净过滤。所述第二过滤件用于对通过所述第一过滤件后的气体进行洁净过滤。所述第一电磁阀的一端与所述第一过滤件连接，所述第一电磁阀的另一端与所述第二过滤件连接，并用于控制吹气管路的断开与连通。所述第一调速阀的一端与所述第二过滤件连接，所述第一调速阀的另一端与所述喷嘴连接，并用于控制通过所述第二过滤件后进入所述喷嘴的气体的流速。

在某些实施方式中，所述清洁装置还包括吸气管路，所述吸气管路包括负压气源、第二调速阀及第二电磁阀。所述负压气源用于为所述吸嘴提供负压。所述第二调速阀的一端与所述吸嘴连接，并用于控制通过所述吸嘴的气体的流速。所述第二电磁阀的一端与所述第二调速阀连接，所述第二电磁阀的另一端与所述负压气源连接，所述第二电磁阀用于控制吸气管路的断开与连通。

本申请实施方式的检测设备包括检测装置及上述任意一实施方式所述的清洁装置。所述检测装置包括检测探头及光源，所述光源用于朝待处理件的待处理区域发射光束，所述光束经所述待处理区域后形成信号光，所述检测探头用于收集所述信号光，形成检测信息。所述清洁装置位于所述检测探头及所述待处理件之间，所述清洁装置用于去除所述待处理区域的异物。

在某些实施方式中，所述检测设备还包括固定结构，所述固定结构连接所述检测探头及所述安装板，外接的驱动件驱动所述固定结构以带动所述检测探头与安装板同步运动，所述安装板带动安装于所述安装板上的吹气组件及集气组件同步运动。

本申请的清洁装置及检测设备中，吹气组件及集气组件均安装于安装板，且吹气组件及集气组件中的至少一个可相对安装板运动，从而实现吹气组件和集气组件的灵活调节，便于对待处理区域进行灵活可调的清扫，实现灵活的吹气效果和吸气效果，有效提高清洁装置的清洁效率。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的清洁装置与检测设备的立体结构示意图；

图2是本申请某些实施方式的清洁装置的立体结构示意图；

图3是本申请某些实施方式的清洁装置中的吹扫件的立体结构示意图；

图4是图3所示的吹扫件沿IV-IV线的立体剖面示意图。

图5是本申请某些实施方式的清洁装置中的吹扫件的立体结构示意图；

图6是本申请某些实施方式的清洁装置中的集气件的立体结构示意图；

图7是本申请某些实施方式的清洁装置中的吹气管路和吸气管路的示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本申请的实施方式作进一步说明。附图中相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。

另外，下面结合附图描述的本申请的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

请参阅图1，本申请实施方式的清洁装置100包括安装板10、吹气组件30及集气组件50。吹气组件30连接于安装板10，吹气组件30包括吹扫件31及喷嘴33，喷嘴33安装于吹扫件31，喷嘴33用于通过吹扫件31朝待处理件200的待处理区域201提供气体。集气组件50连接于安装板10，集气组件50包括集气件51及吸嘴53，吸嘴53安装于集气件51，吸嘴53用于通过集气件51收集吹扫过待处理区域201的气体，吹气组件30和集气组件50中的至少一个可相对安装板10运动。

其中，待处理件200包括但不限于为晶圆、芯片、陶瓷基片、显示屏面板、手机前盖、手机后盖、VR眼镜、AR眼镜、智能手表盖板、玻璃、透镜、任何装置的壳体(例如手机壳)等元件。本申请仅以待处理件200是晶圆为例进行详细说明，待处理件200为其他类型元件时的情形与晶圆类似，不详细展开说明。

光学检测具有高灵敏性、高精度以及非接触等特点，在半导体工艺检测行业占有越来越重要的地位。光学检测中采用光源照射在待处理件(如晶圆)表面，并通过工业照相机拍摄待处理件的微观特征，生成图像信息，然后将该图像信息传给图像处理系统以实现待处理件特征的自动识别。为了减少待处理件表面的颗粒可能带来的误检，一般通过“一吹一吸”将颗粒带走，达到对待处理件表面的清洁。但此种方法存在弊端，即喷气装置和集气装置的调节方式较为死板，无法进行灵活的调节，尤其是当待处理件与喷气装置和集气装置之间的位置有变动时，采用上述方法中的吹气和吸气方式并不能很好的对待处理件的待处理区域进行吹扫，极大地降低了工作效率。

请继续参阅图1，本申请的清洁装置100中，吹气组件30及集气组件50均安装于安装板10，且吹气组件30及集气组件50中的至少一个可相对安装板10运动，从而实现吹气组件30和集气组件50的灵活调节，便于对待处理区域201进行灵活可调的清扫，实现灵活的吹气效果和吸气效果，有效提高清洁装置100的清洁效率。

在对待处理件200进行检测时，需要移动待处理件200来实现平移检测或者旋转检测，在移动或旋转待处理件200的过程中，容易导致吹气组件30的吹扫区域偏离待处理区域201及导致集气组件50的吸气区域偏离待处理区域201，不能较好地清除待处理区域201的表面的颗粒杂物。本申请中，吹气组件30和集气组件50中的至少一个可以相对安装板10运动。例如，吹气组件30相对安装板10运动；或者，集气组件50相对安装板10运动；或者，吹气组件30和集气组件50均能够相对安装板10运动。当待处理件200相对吹气组件30或集气组件50移动或转动时，可通过调节吹气组件30和集气组件50中的至少一个，以使吹气组件30的吹扫区域能够对准待处理区域201及使集气组件50的吸气区域对准待处理区域201。由于检测设备1000对待处理件200进行平移检测或旋转检测过程中，需要不断变换待处理件200位置，而吹气组件30和集气组件50中的至少一个可相对安装板10相对运动，能够灵活地调节吹气组件30和/或集气组件50的位置，便于对待处理区域201进行灵活的清扫，实现灵活的吹气效果和吸气效果，有效提高清洁效率，从而提高检测装置1000对待处理件200的检测效率。进一步地，在待处理件200移动或旋转时，可驱动吹气组件30和/或集气组件50中的至少一个同时运动，从而使得清洁装置100可以实时集中地清洁待处理区域201中的颗粒杂物，以达到良好的检测效果。

具体地，吹气组件30和集气组件50安装于安装板10朝向待处理件200的一侧的表面上，吹气组件30和集气组件50能够在安装板10的表面上运动，以使吹气组件30和集气组件50能够对准待处理件200的表面上的任意一个区域。

当吹气组件30相对安装板10移动时，由于喷嘴33安装于吹扫件31上，清洁装置100可通过外接的驱动件(例如，电机和气缸等)驱动吹扫件31运动，以实现对吹气组件30的位置调节。同样地，当集气组件50相对安装板10移动时，由于吸嘴53安装于集气件51上，清洁装置100可通过外接的驱动件(例如，电机和气缸等)驱动集气件51运动，以实现对集气组件50的位置调节。

在某些实施方式中，安装板10的形状可呈圆形、矩形、三角形或者多边形(五边形、六边形或者其他多边形等)。安装板10的形状可根据待处理件200的形状设置，例如，当待处理件200呈圆形时，安装板10的形状可为圆形。当待处理件200呈矩形时，安装板10的形状可为矩形。当待处理件200呈三角形时，安装板10的形状可为三角形。在其他实施方式中，当待处理件200呈圆形时，安装板10的形状可以是圆形、矩形、三角形或者多边形，且安装板10的面积大小大于待处理件200的面积大小，如此，当待处理区域201为待处理件200的边缘时，吹气组件30和/或集气组件50相对安装板10运动到待处理区域201，以朝待处理区域201吹扫气体，实现清洁效果。

请参阅图1及图2，在一个实施例中，吹气组件30能够相对安装板10直线移动。具体地，当待处理件200呈圆形时，吹气组件30能够沿着待处理件200的径向直线移动，使得吹气组件30能够调节到待处理件200上的任意一个区域。或者吹气组件30能够在安装板10与待处理件200之间直线移动，以改变吹扫件31与待处理区域201之间的吹扫距离，以便于灵活地调整对待处理区域201吹扫气体的速度或者吹扫时间，有效提高吹扫效率。

在另一个实施例中，吹气组件30能够环绕待处理区域201的中心相对安装板10曲线移动。具体地，吹气组件30可环绕待处理区域201的中心作周向运动，以实现对待处理区域201表面进行全方位的吹扫。

在一个实施例中，集气组件50能够相对安装板10直线移动，具体地，当待处理件200呈圆形时，集气组件50能够沿着待处理件200的径向直线移动，使得集气组件50能够调节到待处理件200上的任意一个区域。或者集气组件50能够在安装板10与待处理件200之间直线移动，以改变集气件51与待处理区域201之间的集气距离，以便于灵活地调整对待处理区域201收集气体的速度或者收集气体的时间，有效提高集气效率。

在另一个实施例中，集气组件50能够环绕待处理区域201的中心相对安装板10曲线移动。具体地，集气组件50可环绕待处理区域201的中心作周向运动，以实现对待处理区域201表面进行全方位的清除。

其中，在吹气组件30和集气组件50中的至少一个相对安装板10移动的过程中，至少部分集气组件50与吹气组件30相对。即，在吹气组件30和集气组件50移动过程中，吹气组件30和至少部分集气组件50始终相对，至少部分集气组件50始终位于吹气组件30吹气方向的下游区域，以使安装于集气件51上的吸嘴53能够对吹扫后的气体进行收集，可较大程度地避免吹扫后的气体中携带有微尘等颗粒杂物再次污染待处理区域201或者待处理件200的其他区域。

在一个实施例中，吹气组件30和集气组件50均能够相对安装板10左右转动或俯仰转动。且，在吹气组件30和集气组件50中的至少一个相对安装板10转动的过程中，至少部分集气组件50与吹气组件30相对。

当吹气组件30相对安装板10左右转动时，吹扫件31能够沿着吹扫件31安装于安装板10处左右转动，以使吹气组件30能够从不同方向对待处理区域201吹扫气体。当吹气组件30相对安装板10俯仰转动时，吹扫件31能够以不同的角度朝待处理区域201吹扫气体，可有效提高吹扫效率，提高清洁效率。

在某些实施方式中，喷嘴33能够以预设的喷气方式朝待处理区域201提供气体。吸嘴53能够以预设的吸气方式收集吹扫过待处理区域201的气体。

具体地，喷气方式可包括喷气速度、喷气模式和喷气方向中的一种或多种组合；和/或吸气方式包括吸气速度、吸气模式和吸气方向中的一种或多种组合。其中，喷气速度和吸气速度包括匀速和变速，喷气模式和吸气模式包括连续性喷气/吸气和间歇性喷气/吸气，喷气方向和吸气方向包括方向固定及方向可调，间歇性喷气/吸气包括间断时间固定式喷气/吸气和间断时间变化式喷气/吸气。本申请中，喷嘴33多变的喷气方式及吸嘴53多变的吸气方式，便于清洁装置100对待处理件200进行更加灵活的清扫，且使得清洁装置100适应检测设备1000对待处理件200不同的检测要求。

具体地，喷气方式可包括喷气速度、喷气模式和喷气方向中的一种或多种组合，且吸气方式包括吸气速度、吸气模式和吸气方向中的一种或多种组合。或者，喷气方式可包括喷气速度、喷气模式和喷气方向中的一种或多种组合。或者，吸气方式包括吸气速度、吸气模式和吸气方向中的一种或多种组合。

例如，喷气方式包括喷气速度，吸气方式包括吸气速度。喷嘴33匀速地朝待处理区域201提供气体，吸嘴53匀速或者变速地收集吹扫过待处理区域201后的气体。同样地，喷嘴33变速地朝待处理区域201提供气体，吸嘴53匀速或者变速地收集吹扫过待处理区域201后的气体。

例如，喷气方式包括喷气模式，吸气方式包括吸气模式。喷嘴33连续性地朝待处理区域201提供气体，吸嘴53连续性地收集吹扫过待处理区域201后的气体，从而能够对吹扫过后的气体实时收集，避免吹扫过的气体再次污染待处理区域201。或者，喷嘴33连续性地朝待处理区域201提供气体，吸嘴53间歇性地收集吹扫过待处理区域201后的气体。或者，喷嘴33间歇性地朝待处理区域201提供气体，吸嘴53连续性或者间歇性地收集吹扫过待处理区域201后的气体。其中，间歇性可包括间断时间固定和间断时间变化，且喷嘴33在每次间断后提供气体的时间可相同或者不同，吸嘴53在每次间断后收集气体的时间可不同。比如，当喷嘴33以间断时间固定的方式朝待处理区域201提供气体时，先朝待处理区域201持续20秒提供气体，间断5秒后再朝待处理区域201提供气体，提供气体的时间可以是20秒、30秒、40秒或者40秒以上，然后再间隔5秒，重复上述步骤，直至完成对待处理区域201的清洁与检测。

例如，喷气方式包括喷气方向，吸气方式包括吸气方向。喷嘴33以方向固定的方式朝待处理区域201提供气体，吸嘴53以方向固定的方式收集吹扫过待处理区域201后的气体。喷嘴33以方向固定的方式朝待处理区域201提供气体，吸嘴53以方向可调的方式收集吹扫过待处理区域201后的气体，从而最大程度地收集全部的吹扫过待处理区域201后的气体。

喷嘴33的喷气方式与吸嘴53的吸气方式之间的组合方式不限于上述提出的几种，可包括喷嘴33的喷气方式与吸嘴53的吸气方式之间的任意组合。

请参阅图2及图3，在一个实施例中，吹扫件31包括相背的第一侧311和第二侧313，喷嘴33安装于第一侧311，吹气组件30还包括挡板35，挡板35位于第二侧313，挡板35与吹扫件31为一体结构，使得吹气组件30结构简单，便于安装。

请结合图1及图4，具体地，吹扫件31内形成有喷气气腔317，第二侧313设有与喷气气腔317相连通的开口315，挡板35能够移动或转动以遮挡或开放开口315，未被遮挡的开口315形成出气口316，喷嘴通过出气口316朝待处理区域201提供气体。

喷嘴33朝待处理区域201吹扫气体时，从喷嘴33出来的气体从第一侧311吹进喷气气腔317，并从第二侧313吹出以到达待处理区域201。其中，挡板35遮挡部分第二侧313的开口315，以调节经过吹扫件31的气体的流量。

在另一个实施例中，吹扫件31包括相背的第一侧311和第二侧313，喷嘴33安装于第一侧311，吹气组件30还包括挡板35，挡板35位于第二侧313，挡板35与吹扫件31为分体结构。其中，挡板35可通过螺纹、卡合等方式能够拆卸地连接，以方便更换挡板35或者吹扫件31。

具体地，当挡板35与吹扫件31为分体结构时，挡板35能够沿着气体从吹扫件31吹出后的气体路径移动或转动。例如，挡板35可以沿着第二侧313朝向集气件51的表面移动，以改变出气口316的大小，从而调节从出气口316吹出的气体的流量。还例如，挡板35可以绕第二侧313的第一端3131在待处理件200与安装板10之间开合(转动)，以改变出气口316的大小，从而调节从出气口316吹出的气体的流量。

请结合图5，在某些实施方式中，第一侧311上开设开孔318，开孔318用于与喷嘴33配合，开孔318的数量包括多个，多个开孔318间隔设置。每个开孔318均与喷气气腔317连通，以使安装于开孔318的喷嘴33朝喷气气腔317提供气体，且多个开孔318的设置能够增加吹气体的流量，从而使得到达待处理区域201的气体更多，加快吹扫效率。其中，多个开孔318可等间距地排布于第一侧311。或者，多个开孔318可变间距地排布于第一侧311。

进一步地，安装于不同开孔318上的喷嘴33大小可不相同，例如，正对出气口316的喷嘴33大小可大于安装在其他位置上的开孔318的喷嘴33，由此，使得从喷气气腔317出来的气体能够在喷嘴33的喷力下更快地从出气口316排出。或者，安装于不同开孔318上的喷嘴33大小均相同。

请参阅图1、图2及图6，在某些实施方式中，集气件51位于从吹气组件30吹出的气体的下游侧，集气件51设有至少一个吸气口511，吸气口511与吸嘴53配合连接。吹扫过待处理区域201后的气体在吸嘴53的吸力作用下，将吹扫后的气体收集走，从而避免吹扫后的气体中可能存在的微小颗粒再次污染待处理件200。

具体地，集气件51还可包括迎风部512。迎风部512与出气口316相对，其中，吸气口511位于迎风部512并贯穿迎风部512，以一定角度朝待处理区域201吹扫的气体经过待处理区域201的阻挡，会朝着迎风部512的方向吹走，安装于吸气口511上的吸嘴53提供吸力，从而将吹扫后的气体收集走。

其中，迎风部512的形状可根据吹扫后的气体的流向确定。例如，由于吹扫待处理区域201后的气体的主要流向主要集中在一个扇形区域内，迎风部512的形状可呈弧形，且迎风部512在弧长方向上延伸的长度尽可能长，以使迎风部512形成的扇形区域尽可能大，从而将吹扫后的各流向的气体尽可能多地收集在扇形区域内而被吸嘴53收集走，避免吹扫后的气体污染待处理区域201或者除待处理区域201外的其他区域。在本申请的实施例中，迎风部512呈半圆形。迎风部512的形状还可以是其他形状，例如，迎风部512呈弯折的U字型、V字型或者其他形式的半环形状。

在某些实施方式中，吸嘴53的数量包括多个，迎风部512设有多个吸气口511，多个吸气口511均与吸嘴53连接，多个吸气口511的设置能够增加收集气体的流量，从而提高收集气体的效率。其中，多个吸气口511可等间距排布于迎风部512；或者，多个吸气口511可变间距排布于迎风部512。

多个吸嘴53的大小可不相同，例如，正对出气口316的一个或多个吸嘴53大于其他位置上的吸嘴53的大小，从而使得吹扫过待处理区域201后的气体能够更快地被正对着出气口316的吸嘴53收集走。或者，安装于不同吸气口511上的吸嘴53的大小可均相同。

在某些实施方式中，集气件51还可包括导风部513，导风部513位于迎风部512靠近待处理件200的一侧(如图2中为迎风部512的下端)，导风部513用于将吹扫过待处理区域201后的气体导向至迎风部512上的吸气口511处，且导风部513与迎风部512共同围成集气气腔514，以使吹扫后的气体能够聚集在集气气腔514中，便于吸嘴53收集更多的气体，防止待处理件200再次受到污染。集气件51具有集气口515，吹扫过待处理区域201后的气体通过集气口515进入集气腔514。

在某些实施方式中，集气件51还可包括挡风部516，挡风部516位于迎风部512靠近吹气组件30的一侧。具体地，挡风部516为迎风部512的两端，且挡风部512与迎风部512相对，迎风部512两端的挡风部516之间形成集气口515。挡风部516可以对已经进入到集气气腔514内的吹扫后的气体起到阻挡作用，以尽可能地避免吹扫后的气体再次从集气口515流向吹扫件31的一侧。

在某些实施方式中，集气件51还可包括分隔部517，分隔部517设置在迎风部512朝向吹扫件31的一侧。分隔部517的数量可包括多个，每个分隔部517用于分隔至少一个吸气口511，以使安装于吸气口511上的吸嘴53更容易将集气气腔514中的气体吸走。

例如，相邻两个吸气口511之间设有一个分隔部517，从而为吸气511构建相对独立的集气空间，使得吸嘴53尽可能快地将集气气腔514中的气体吸走，提高清洁效率。还例如，相邻两个分隔部517之间可包括多个吸气口511，使得相邻两个分隔部517之间的集气空间内的气体能够被多个吸嘴53吸走，减少分隔部517的设置的同时加快吸气效率。

请参阅图1及图7，在某些实施方式中，清洁装置100还包括吹气管路70，吹气管路70包括依次通过气管连接的正压气源71、第一过滤件72、第二过滤件73、第一电磁阀74及第一调速阀75。正压气源71用于为吹扫组件30中的喷嘴33提供气体。第一过滤件72用于对正压气源71提供的气体进行洁净过滤。第二过滤件73用于对通过第一过滤件72后的气体进行洁净过滤。第一电磁阀74的一端与第一过滤件72连接，第一电磁阀74的另一端与第二过滤件73连接，并用于控制吹气管路70的断开与连通。第一调速阀75的一端与第二过滤件73连接，第一调速阀75的另一端与喷嘴33连接，并用于控制通过第二过滤件73后进入喷嘴33的气体的流速。其中，正压气源71可以是真空源。

第一过滤件72和第二过滤件73均为气体过滤器。第一过滤件72用于对从正压气源71提供的气体进行初步洁净过滤，例如，第一过滤件72用于过滤气体中直径较小的杂质，如，直径在0.003微米到100微米的灰尘、烟雾及1到10微米的烟雾浮沉等，保证吹扫在待处理区域201的气体的清洁度，从而提高清洁装置100对待处理件200的清洁程度及提高检测装置1000对待处理件200的检测精度。

第二过滤件73可用于对经过第一电磁阀74后的气体进行再次过滤，例如，第二过滤件73可对进入第二过滤件73中的气体进行加热过滤，如1到20微米的杂质蒸汽或者其他污染气体，防止吹扫到待处理区域201的气体污染待处理件200而影响检测精度。

在某些实施方式中，清洁装置100还包括吸气管路80。吸气管路80包括负压气源81、第二调速阀82及第二电磁阀83。负压气源81用于为吸嘴53提供负压。第二调速阀82的一端与吸嘴53连接，并用于控制通过吸嘴53的气体的流速。第二电磁阀83的一端可与第二调速阀82连接，第二电磁阀83的另一端可与负压气源81连接，第二电磁阀83用于控制吸气管路80的断开与连通。其中，负压气源81可以是抽风机等抽气元件。

清洁装置100还可包括异物回收件90，第二电磁阀83的一端可与第二调速阀82连接，第二电磁阀82的另一端可通过异物回收件90与负压气源81连接，异物回收件90可用于回收经吸嘴53收集的气体中的颗粒杂物，以避免吸嘴53收集的气体流向待处理件200。

请参阅图1，本申请还提供一种检测设备1000，检测设备1000包括检测装置300及上述任意一实施方式的清洁装置100。检测装置300包括检测探头301及光源303，光源303用于朝待处理件200的待处理区域201发射光束，光束经待处理区域201后形成信号光，检测探头301用于收集信号光，形成检测信息。清洁装置100位于检测探头301及待处理件200之间，清洁装置100用于去除待处理区域201的异物。

具体地，检测探头301与外接的驱动件连接，以使检测探头301能够跟随待处理件200移动或转动，以实现对待处理件200的平移检测或旋转检测。

安装板10位于检测探头301与待处理件200之间，安装板10设有通孔11，通孔11位于吹气组件30和集气组件50之间，检测探头301通过通孔11收集信号光。

光源303安装于安装板10，光源303的数量可包括一个或多个。当光源303为一个时，光源303可为环形光源，环形光源安装于通孔11的边缘。当光源303为多个时，多个光源303环绕通孔11排布。从而使得光源303能够覆盖整个待处理区域201，为待处理区域201提供足够的照明，从而配合检测探头301对待处理件200进行检测。

在某些实施方式中，检测设备1000还包括固定结构500，固定结构500连接检测探头301及安装板10，外接的驱动件驱动固定结构500以带动检测探头301与安装板10同步运动，安装板10带动安装于安装板10上的吹气组件30及集气组件50。由于吹气组件30和集气组件50均安装于安装板10上，且安装板10与检测探头301均与固定结构500连接，当外接的驱动件驱动固定结构500运动时，能够同时带动检测探头301和安装板10上的吹气组件30和集气组件50，其中，驱动件可以驱动固定结构500移动或转动，从而保证在对待处理件200进行平移检测或旋转检测时，清洁装置100可以根据检测探头201实时集中清洁待处理区域201，提高检测设备1000对待处理件200的检测精度及检测效率。

本申请的清洁装置100及检测设备1000中，吹气组件30及集气组件50均安装于安装板10，且吹气组件30及集气组件50中的至少一个可相对安装板10运动，从而实现吹气组件30和集气组件50的灵活调节，便于对待处理区域201进行灵活可调的清扫，实现灵活的吹气效果和吸气效果，有效提高清洁装置100的清洁效率。同时，清洁装置100可实时跟随检测设备1000中的检测探头301运动，使得清洁装置100可以根据检测探头201实时集中清洁待处理区域201，提高检测设备1000对待处理件200的检测精度及检测效率。

在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个实施方式”、“一些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个，除非另有明确具体的限定。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型，本申请的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (14)

1.一种清洁装置，其特征在于，包括：

安装板；

吹气组件，所述吹气组件连接于所述安装板，所述吹气组件包括吹扫件及喷嘴，所述喷嘴安装于所述吹扫件，所述喷嘴用于通过所述吹扫件朝待处理件的待处理区域提供气体；及

集气组件，所述集气组件连接于所述安装板，所述集气组件包括集气件及吸嘴，所述吸嘴安装于所述集气件，所述吸嘴用于通过所述集气件收集吹扫过所述待处理区域的所述气体，所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个可相对所述安装板运动。

2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述吹气组件能够相对所述安装板直线移动；或所述吹气组件能够环绕所述待处理区域的中心相对所述安装板曲线移动；及

所述集气组件能够相对所述安装板直线移动；或所述集气组件能够环绕所述待处理区域的中心相对所述安装板曲线移动；其中，在所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个相对所述安装板移动的过程中，至少部分所述集气组件与所述吹气组件相对。

3.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述吹气组件和所述集气组件均能够相对所述安装板左右转动或俯仰转动，其中，在所述吹气组件和所述集气组件中的至少一个相对所述安装板转动的过程中，至少部分所述集气组件与所述吹气组件相对。

4.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述喷嘴以预设的喷气方式朝所述待处理区域提供气体；及

所述吸嘴以预设的吸气方式收集吹扫过所述待处理区域的所述气体。

5.根据权利要求4所述的清洁装置，其特征在于，所述喷气方式包括喷气速度、喷气模式和喷气方向中的一种或多种组合；和/或

所述吸气方式包括吸气速度、吸气模式和吸气方向中的一种或多种组合；其中，所述喷气速度和所述吸气速度包括匀速和变速，所述喷气模式和所述吸气模式包括连续性喷气/吸气和间歇性喷气/吸气，所述喷气方向和所述吸气方向包括方向固定及方向可调，所述间歇性喷气/吸气包括间断时间固定式喷气/吸气和间断时间变化式喷气/吸气。

6.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述吹扫件包括相背的第一侧和第二侧，所述喷嘴安装于所述第一侧，所述吹气组件还包括挡板，所述挡板位于所述第二侧，所述挡板与所述吹扫件为一体结构；或者

所述挡板与所述吹扫件为分体结构。

7.根据权利要求6所述的清洁装置，其特征在于，当所述挡板与所述吹扫件为分体结构时，所述挡板能够沿所述气体从所述吹扫件吹出后的气体路径移动或转动。

8.根据权利要求6所述的清洁装置，其特征在于，所述第一侧上开设有开孔，所述开孔用于与所述喷嘴配合，所述开孔的数量包括多个，多个所述开孔间隔设置。

9.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述集气件包括迎风部，所述迎风部设有多个吸气口，多个所述吸气口等间距排布；或者

多个所述吸气口变间距排布。

10.根据权利要求9所述的清洁装置，其特征在于，所述吸气口与所述吸嘴配合，所述吸嘴的数量包括多个，多个所述吸嘴均不相同；或

多个所述吸嘴均相同。

11.根据权利要求1至10任意一项所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括吹气管路，所述吹气管路包括：

正压气源，用于为所述吹扫组件提供气体；

第一过滤件，用于对所述正压气源提供的气体进行洁净过滤；

第二过滤件，用于对通过所述第一过滤件后的气体进行洁净过滤；

第一电磁阀，所述第一电磁阀的一端与所述第一过滤件连接，所述第一电磁阀的另一端与所述第二过滤件连接，并用于控制吹气管路的断开与连通；及

第一调速阀，所述第一调速阀的一端与所述第二过滤件连接，所述第一调速阀的另一端与所述喷嘴连接，并用于控制通过所述第二过滤件后进入所述喷嘴的气体的流速。

12.根据权利要求11所述的清洁装置，其特征在于，所述清洁装置还包括吸气管路，所述吸气管路包括：

负压气源，所述负压气源用于为所述吸嘴提供负压；

第二调速阀，所述第二调速阀的一端与所述吸嘴连接，并用于控制通过所述吸嘴的气体的流速；及

第二电磁阀，所述第二电磁阀的一端与所述第二调速阀连接，所述第二电磁阀的另一端与所述负压气源连接，所述第二电磁阀用于控制吸气管路的断开与连通。

13.一种检测设备，其特征在于，包括：

检测装置，所述检测装置包括检测探头及光源，所述光源用于朝待处理件的待处理区域发射光束，所述光束经所述待处理区域后形成信号光，所述检测探头用于收集所述信号光，形成检测信息；及

权利要求1至12任意一项所述的清洁装置，所述清洁装置位于所述检测探头及所述待处理件之间，所述清洁装置用于去除所述待处理区域的异物。

14.根据权利要求13所述的检测设备，其特征在于，所述检测设备还包括固定结构，所述固定结构连接所述检测探头及所述安装板，外接的驱动件驱动所述固定结构以带动所述检测探头与安装板同步运动，所述安装板带动安装于所述安装板上的吹气组件及集气组件同步运动。

Images