CN113872025A - 准分子激光器放电腔的窗片结构及准分子激光器 - Google Patents

Abstract

本发明涉及准分子激光器领域，具体涉及一种准分子激光器放电腔的窗片结构，包括：光学窗片V1、V2、V3、V4；其中V2、V3为内部光学窗片，V1、V4为外部光学窗片，单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4在放电腔体两侧对称布置。本发明中双光学窗片结构设计极大改善了以往单一光学窗片结构容易因为应力变形所导致的使用寿命下降和传输效能降低的问题。另单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4在放电腔体两侧对称布置，且各光学窗片接近布儒斯特角设置可以起到有效的激光传输偏振特性增强作用。双光学窗片结构的设计对于腔体内部气体密封特性也得到显著的改善。本发明能够有效提升光学窗片使用寿命，提升激光传输效能。

Description

准分子激光器放电腔的窗片结构及准分子激光器

技术领域

本发明涉及准分子激光器领域，具体而言，涉及一种准分子激光器放电腔的窗片结构及准分子激光器。

背景技术

布儒斯特光学窗片的有效应用和寿命特性是气体激光技术研究的重要问题之一。气体准分子激光器的主要工作原理为高压放电泵浦条件下的工作气体击穿所引发的能级跃迁和粒子数反转过程，最终形成相应于工作介质能级带宽的激光辐射。放电腔体是气体工作介质实现激发-反转-辐射的场所。面向紫外(波长<400nm)应用的准分子激光器,为获得一定的偏振传输特性,常采用接近布儒斯特角度设置光学窗片。传统的放电腔体通常采用布儒斯特角度的单一光学窗片作为窗口，主要为了起到放电腔体气体密封和激光辐射方向性谐振导引的作用，同时布儒斯特角度的设置方式对于激光传输过程的偏振纯化会起到一定的作用。

以气体为工作介质的高压放电过程是实现激光辐射的基础，受限于电光转化效能，仅有1％-2％的电能注入被转化为最终的激光输出，其余大量的能量注入则转化为热量存在于放电腔体内部。同时为保障放电过程有效稳定，需要放电电压-放电电极-工作气体气压之间满足匹配电学帕邢特性，通常放电腔体气压为2-6bar。另外针对于某些高重复频率脉冲激光应用，气体工作介质需要建立高速循环气动流场。

针对以上分析，放电运转过程中气体放电腔内部会形成极端高温(1000℃瞬时高温)、高压(2-6bar)的极端环境，对于腔体密封布儒斯特光学窗片而言，光学窗片内侧为腔体内部的高温高压环境，外侧是室温(20℃)和常压(1bar)状态，光学窗片两侧会形成巨大的温度和压力差异，进而导致光学窗片由于应力作用产生变形，影响激光传输效能、偏振特性等和元件使用寿命。同时放电过程中电极与腔体内壁材料的气化分解生成物颗粒充斥于腔体内部，弥散飞溅过程对于光学窗片的沾染会极大地降低光学窗片的使用寿命，严重时强度较高、重复频率较高、工作时间较长的激光甚至会导致光学窗片碎裂，影响光学窗片使用寿命、激光传输效能和气体密封特性。

图1为现有气体准分子激光器中谐振腔结构示意图。放电腔体DC充满工作气体，在电源PS的激励下，产生激光辐射，经由光学窗片W1和光学窗片W2出射，再由谐振腔端反射镜M1和谐振腔输出耦合镜M2组成的谐振腔作用下往复传播，通过模式选择和增益放大过程，最终形成激光输出。光学窗片W1和光学窗片W2在布儒斯特角度设置条件下，对传输激光的偏振特性具有一定的纯化作用。

图2为现有气体准分子激光器中放电腔结构示意图。放电腔体DC充满工作气体，在电源PS的激励下，产生激光辐射，经由光学窗片W1和光学窗片W2出射。放电腔体DC是高压工作气体进行高压放电的场所，光学窗片W1和光学窗片W2起到腔体内部气体密封的作用，同时对称布置，作为激光辐射导引输出的方向选择。放电腔体DC内工作气体在高压放电激励作用下形成激光辐射，同时大量能量转化为热量存储于腔中。放电腔体DC两侧的光学窗片W1和光学窗片W2内部与腔体内放电条件下环境相通，处于高温高压状态。

光学窗片W1和光学窗片W2外部与激光器工作环境相通，处于常温常压状态，两光学窗片两侧的温度压力差异会导致相应应力形变的产生，从而降低光学窗片的使用寿命和传输效能。同时气体高压放电过程会伴随电极与腔体内壁材料的气化离解，形成放电产物微粒，弥散于腔体内部。沾染了微尘颗粒的光学窗片会对激光传输特性造成影响，严重情况下，高重复频率、高强度激光传输以及长时间工作会导致光学窗片的失效甚至碎裂，影响使用寿命和密封特性，因此有效改进光学窗片结构设计，提升光学窗片使用寿命、传输效能和密封特性对于提高气体准分子激光器的运转效能非常重要。

发明内容

本发明实施例提供了一种准分子激光器放电腔的窗片结构，以至少解决现有气体准分子激光器激光传输效能低的技术问题。

根据本发明的一实施例，提供了一种准分子激光器放电腔的窗片结构，包括：光学窗片V1、V2、V3、V4；其中V2、V3为内部光学窗片，V1、V4为外部光学窗片，单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4在放电腔体两侧对称布置。

进一步地，单侧的光学窗片V1、V2的法线均与激光的传输方向之间的夹角为55°-58°；或者单侧的光学窗片V1、V2其中之一的法线与激光的传输方向之间的夹角为55°-58°，而另一光学窗片的法线与激光的传输方向相同；

单侧的光学窗片V3、V4的法线与激光的传输方向之间的夹角为55°-58；或者单侧的光学窗片V3、V4其中之一的法线与激光的传输方向之间的夹角为55°-58°，而另一光学窗片的法线与激光的传输方向相同。

进一步地，单侧的光学窗片V1、V2的法线均与激光的传输方向之间的夹角为布儒斯特角；或者单侧的光学窗片V1、V2其中之一的法线与激光的传输方向之间的夹角为布儒斯特角，而另一光学窗片的法线与激光的传输方向相同；

单侧的光学窗片V3、V4的法线与激光的传输方向之间的夹角为布儒斯特角；或者单侧的光学窗片V3、V4其中之一的法线与激光的传输方向之间的夹角为布儒斯特角，而另一光学窗片的法线与激光的传输方向相同。

进一步地，单侧的光学窗片V1、V2之间呈平行或轴对称设置；单侧的光学窗片V3、V4之间呈平行或轴对称设置。

进一步地，当单侧的光学窗片之一的法线与激光的传输方向相同时，单侧两窗片的水平中线之间的距离为0-20mm；

当单侧的光学窗片V1、V2之间平行设置时，光学窗片V1、V2之间的距离为10-20mm；当单侧的光学窗片V1、V2之间轴对称设置时，光学窗片V1、V2的水平中线之间的距离为10-20mm；

当单侧的光学窗片V3、V4之间平行设置时，光学窗片V3、V4之间的距离为10-20mm；当单侧的光学窗片V3、V4之间轴对称设置时，光学窗片V3、V4的水平中线之间的距离为10-20mm。

进一步地，外部光学窗片V1与内部光学窗片V2之间、外部光学窗片V4与内部光学窗片V3之间采用惰性气体进行充注。

进一步地，放电腔体内介质的折射率与内外部光学窗片之间介质的折射率的比值，与内外部光学窗片之间介质的折射率与外部空气折射率的比值相同。

进一步地，惰性气体的充注压强为0-3bar。

进一步地，惰性气体的充注压强为2bar。

进一步地，内部光学窗片V2、V3为隔离密封光学窗片，与放电腔体相通。

进一步地，外部光学窗片V1、V4为引导输出光学窗片，与外部环境相通。

本发明实施例中的准分子激光器放电腔的窗片结构中，双光学窗片结构设计极大改善了以往单一光学窗片结构容易因为应力变形所导致的使用寿命下降和传输效能降低的问题。另单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4在放电腔体两侧对称布置，且各光学窗片接近布儒斯特角设置可以起到有效的激光传输偏振特性增强作用。双光学窗片结构的设计对于腔体内部气体密封特性也得到显著的改善。本发明能够有效提升光学窗片使用寿命，提升激光传输效能。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为现有气体准分子激光器中谐振腔结构示意图；

图2为现有气体准分子激光器中放电腔结构示意图；

图3为本申请提出的双光学窗片结构设计为平行设置的示意图Ⅰ；

图4为本申请提出的双光学窗片结构设计为轴对称设置的示意图Ⅰ；

图5为本申请提出的双光学窗片结构设计为平行设置的示意图Ⅱ；

图6为本申请提出的双光学窗片结构设计为外部窗片V1，V4的法线与激光的传输方向相同，而内部窗片V2、V3的法线与激光的传输方向之间的夹角为接近布儒斯特角设置的示意图Ⅰ；

图7为本申请提出的双光学窗片结构设计为外部窗片V1，V4的法线与激光的传输方向相同，而内部窗片V2、V3的法线与激光的传输方向之间的夹角为接近布儒斯特角设置的示意图Ⅱ；

图8为本申请提出的双光学窗片结构设计为外部窗片V1，V4的法线与激光的传输方向相同，而内部窗片V2、V3的法线与激光的传输方向之间的夹角为接近布儒斯特角设置的示意图Ⅲ。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。

需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

鉴于目前气体准分子激光器中布儒斯特光学窗片的应用情况，本申请的技术方案主要为采用单侧双光学窗片结构的设计，单侧光学窗片分为内部光学窗片和外部光学窗片，两侧光学窗片对称设置，同侧两光学窗片之间距离为10-20mm，惰性气体吹扫充注，其气压值为1-3bar，优选的为2bar，相应于紫外准分子激光器的应用，单侧两光学窗片相互设置方式可以在接近布儒斯特角，如55°-58°范围内自由选择，可以为接近布儒斯特角平行、接近布儒斯特角轴对称或其他角度同向异向轴对称设置；或者单侧两光学窗片之一为接近布儒斯特角设置，而另一窗片为其他角度设置。

内部光学窗片作为隔离密封光学窗片，与放电腔体相通，与现有设计相比，本发明中光学窗片两侧温度压力差异降低，光学窗片应力变形影响随之减少，使用寿命获得提升。本发明的外部光学窗片作为引导输出光学窗片，与外部环境相通，与现有设计相比，本发明中外部光学窗片两侧温度压力差异较小，外部光学窗片应力变形影响亦随之减少。同时由于内部光学窗片的隔离密封作用，有效地降低了放电生成产物对于外部光学窗片的沾染影响，可以将经由内部光学窗片导引而来的激光辐射进行有效传输，从而大大提升光学窗片使用寿命。

单侧双光学窗片结构设计极大改善了以往单侧单一光学窗片结构容易因为应力变形所导致的使用寿命下降和传输效能降低的问题。另内部光学窗片与外部光学窗片的相互设置角度为接近布儒斯特角度时，可以起到有效的激光传输偏振特性增强作用，当然如果内部光学窗片与外部光学窗片的相互设置角度为布儒斯特角度时，对激光传输偏振特性的增强效果最好。双光学窗片结构的设计对于腔体内部气体密封特性也得到显著的改善。本发明能够有效提升光学窗片使用寿命，提升激光传输效能。

下面以具体的实施例，对本发明准分子激光器放电腔的窗片结构进行详细描述。

实施例1

根据本发明一实施例，提供了一种准分子激光器放电腔的窗片结构，如图3-8所示，包括：光学窗片V1、V2、V3、V4；其中V2、V3为内部光学窗片，V1、V4为外部光学窗片，单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4在放电腔体两侧对称布置。

本发明实施例中的准分子激光器放电腔的窗片结构中，双光学窗片结构设计极大改善了以往单一光学窗片结构容易因为应力变形所导致的使用寿命下降和传输效能降低的问题。另单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4在放电腔体两侧对称布置时，可以起到有效的激光传输偏振特性增强作用。双光学窗片结构的设计对于腔体内部气体密封特性也得到显著的改善。本发明能够有效提升光学窗片使用寿命，提升激光传输效能。

其中，单侧的光学窗片V1、V2的法线均与激光的传输方向之间的夹角为55°-58°；或者单侧的光学窗片V1、V2其中之一的法线与激光的传输方向之间的夹角为55°-58°，而另一光学窗片的法线与激光的传输方向相同；

单侧的光学窗片V3、V4的法线与激光的传输方向之间的夹角为55°-58；或者单侧的光学窗片V3、V4其中之一的法线与激光的传输方向之间的夹角为55°-58°，而另一光学窗片的法线与激光的传输方向相同。

其中，单侧的光学窗片V1、V2的法线均与激光的传输方向之间的夹角优选的为布儒斯特角；或者单侧的光学窗片V1、V2其中之一的法线与激光的传输方向之间的夹角优选的为布儒斯特角，而另一光学窗片的法线与激光的传输方向相同；

单侧的光学窗片V3、V4的法线与激光的传输方向之间的夹角优选的为布儒斯特角；或者单侧的光学窗片V3、V4其中之一的法线与激光的传输方向之间的夹角优选的为布儒斯特角，而另一光学窗片的法线与激光的传输方向相同。

其中，单侧的光学窗片V1、V2之间呈平行或轴对称设置；单侧的光学窗片V3、V4之间呈平行或轴对称设置。

其中，当单侧的光学窗片之一的法线与激光的传输方向相同时，单侧两窗片的水平中线之间的距离为0-20mm；

当单侧的光学窗片V1、V2之间平行设置时，光学窗片V1、V2之间的距离为10-20mm；当单侧的光学窗片V1、V2之间轴对称设置时，光学窗片V1、V2的水平中线之间的距离为10-20mm；

当单侧的光学窗片V3、V4之间平行设置时，光学窗片V3、V4之间的距离为10-20mm；当单侧的光学窗片V3、V4之间轴对称设置时，光学窗片V3、V4的水平中线之间的距离为10-20mm。

其中，外部光学窗片V1与内部光学窗片V2之间、外部光学窗片V4与内部光学窗片V3之间采用惰性气体进行充注。

其中，放电腔体内介质的折射率与内外部光学窗片之间介质的折射率的比值，与内外部光学窗片之间介质的折射率与外部空气折射率的比值相同。

其中，惰性气体的充注压强为0-3bar。

其中，优选的，惰性气体的充注压强为2bar。

其中，内部光学窗片V2、V3为隔离密封光学窗片，与放电腔体相通。

其中，外部光学窗片V1、V4为引导输出光学窗片，与外部环境相通。

具体地，根据本发明一实施例，提供了一种准分子激光器放电腔的窗片结构，如图3所示，单侧双光学窗片平行设置。

激光器放电腔的窗片结构包括：光学窗片V1、V2、V3、V4；其中V2、V3为内部光学窗片，V1、V4为外部光学窗片，单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4在放电腔体两侧对称布置。

放电腔体DC充满工作气体，在电源PS的激励下，产生激光辐射。放电腔体DC是高压工作气体进行高压放电的场所，内部光学窗片V2、V3和外部光学窗片V1、V4起到腔体内部气体密封的作用。

本发明实施例中的准分子激光器放电腔的窗片结构中，单侧双光学窗片结构设计极大改善了以往单一光学窗片结构容易因为应力变形所导致的使用寿命下降和传输效能降低的问题。

图3中单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4为接近布儒斯特角设置且平行设置，可以进行两次偏振，起到有效的激光传输偏振特性增强作用。单侧的光学窗片V1、V2的法线与激光的传输方向之间的夹角接近布儒斯特角，具体为55°-58°，单侧的光学窗片V3、V4的法线与激光的传输方向之间的夹角也接近布儒斯特角，具体为55°-58；当夹角为布儒斯特角时，偏振增强效果最好。

外部光学窗片V1与内部光学窗片V2之间、外部光学窗片V4与内部光学窗片V3之间采用一定压力的惰性气体IG吹扫充注。放电腔体DC内介质的折射率与内外部光学窗片之间介质的折射率的比值，与内外部光学窗片之间介质的折射率与外部空气折射率的比值基本一致。

作为隔离密封光学窗片，内部光学窗片V2、V3与放电腔体DC相通，与现有设计相比，本发明中光学窗片两侧温度压力差异降低，光学窗片应力变形影响随之减少，使用寿命获得提升；外部光学窗片V1、V4作为引导输出光学窗片，与外部激光器工作环境相通，与现有设计相比，本发明中光学窗片两侧温度压力差异较低，光学窗片应力变形影响亦随之减少。

双窗片结构的设计，需要在内部光学窗片和外部光学窗片之间进行惰性气体吹扫充注，以保障内部光学窗片和外部光学窗片功能的有效实现。惰性气体吹扫充注压强为1-3bar，优先的为2bar。内部光学窗片V2、V3对应与外部光学窗片V1、V4之间距离为10-20mm，这样可以在保障有效压强气体密封的前提下，在一定程度上降低内部光学窗片两侧压力和温度差异，提升内部光学窗片的使用寿命；同时在惰性气体绝热隔离的作用下，外部光学窗片两侧温度相同，由于温度压力差异导致的应力变形损伤大为降低，使用寿命相应得到提高。

双光学窗片结构设计极大改善了以往单一光学窗片结构容易因为应力变形所导致的使用寿命下降和传输效能降低的问题。另内部光学窗片与外部光学窗片之间采用接近布儒斯特角(55°-58°)且平行设置，可以起到有效的激光传输偏振特性增强作用，当为布儒斯特角θB平行设置时，偏振增强效果最好。双光学窗片结构设计使得腔体内部气体密封特性也得到显著的改善。本发明能够有效提升光学窗片使用寿命，提升激光传输效能。

图4为本申请又一实施例提出的双光学窗片结构设计示意图，为轴对称设置示例。图4双光学窗片为轴对称设置且呈接近布儒斯特角设置，具体为内部光学窗片V2、V3和外部光学窗片V1、V4在腔体两侧对称布置，单侧两光学窗片呈布儒斯特角轴对称设置。单侧内部光学窗片与外部光学窗片轴对称放置，光学窗片法线方向与激光传输方向为布儒斯特角θB(55°-58°)时,此时单侧的两光学窗片之间夹角接近180°-2θB,此时激光传输会发生两次涉及布儒斯特角传输，可以形成较好的偏振增强效果，当光学窗片法线方向与激光传输方向为布儒斯特角θB时，偏振增强效果最好。外部光学窗片V1与内部光学窗片V2之间、外部光学窗片V4与内部光学窗片V3之间采用一定压力的惰性气体吹扫充注。相关结构设计分析与图3所示接近布儒斯特角平行设置内容一致，只是在结构设计上更加灵活多样，配合惰性气体吹扫充注方式，形成不同结构下的选择应用。

惰性气体吹扫充注压强为1-3bar，优选的为2bar，内部光学窗片V2、V3对应与外部光学窗片V1、V4之间距离为10-20mm，即光学窗片V1、V2的水平中线之间的距离为10-20mm，光学窗片V3、V4的水平中线之间的距离为10-20mm，这样可以在保障有效压强气体密封的前提下，在一定程度上降低内部光学窗片两侧压力和温度差异，提升内部光学窗片的使用寿命；同时在惰性气体绝热隔离的作用下，外部光学窗片两侧温度相同，由于温度压力差异导致的应力变形损伤大为降低，使用寿命相应得到提高。双光学窗片结构设计极大改善了以往单一光学窗片结构容易因为应力变形所导致的使用寿命下降和传输效能降低的问题。另内部光学窗片与外部光学窗片之间采用接近布儒斯特角(55°-58°)平行设置，可以起到有效的激光传输偏振特性增强作用。双光学窗片结构设计对于腔体内部气体密封特性也得到显著的改善。

图5为本申请提出的又一实施例的双光学窗片结构设计示意图，为平行设置示例，光学窗片V2和V3会产生子腔谐振效应，即激光在光学窗片V2和光学窗片V3之间振荡，而不在光学窗片V1和光学窗片V4之间振荡。

图6为本申请提出的又一实施例的双光学窗片结构设计示意图，为外部窗片V1，V4的法线与激光的传输方向相同，而内部窗片V2、V3的法线与激光的传输方向之间的夹角为接近布儒斯特角(55°-58°)设置示例，图6光学窗片V2和V3为接近布儒斯特角设置时可实现一次偏振效果，对光的传输、谐振放大可以起到有效屏蔽子腔谐振效应，抑制传输激光由于子腔效应对腔内气体放电过程中激光出射的影响。且因为外部的光学窗片V1,V4为垂直设置，安装难度低。

图7为本申请提出的又一实施例的双光学窗片结构设计示意图，为外部窗片V1，V4的法线与激光的传输方向相同，而内部窗片V2、V3的法线与激光的传输方向之间的夹角为接近布儒斯特角(55°-58°)设置示例，图7所示的结构设计效果同图6所示的结构设计。

图8为本申请提出的双光学窗片结构设计示意图，为外部窗片V1，V4的法线与激光的传输方向相同，而内部窗片V2、V3的法线与激光的传输方向之间的夹角为接近布儒斯特角(55°-58°)设置示例，图8所示的结构设计效果同图6所示的结构设计，会产生子腔谐振效应。

图5-8所示的实例中的单侧光学窗片之间的距离为10-20mm，即单侧光学窗片的水平中线之间的距离为10-20mm；并且外部光学窗片V1与内部光学窗片V2之间、外部光学窗片V4与内部光学窗片V3之间采用一定压力的惰性气体吹扫充注，其相关结构设计与图3所示的实施例一致。

图5-8所示的实例，只是内外部窗片的角度设置为图3中的变形，其他设计一致。

实施例2

根据本发明的另一实施例，提供了一种气体准分子激光器，包括如上任意一项的准分子激光器放电腔的窗片结构。

本发明实施例中的气体准分子激光器中，双光学窗片结构设计极大改善了以往单一光学窗片结构容易因为应力变形所导致的使用寿命下降和传输效能降低的问题。另单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4在放电腔体两侧对称布置时，可以起到有效的激光传输偏振特性增强作用。双光学窗片结构的设计对于腔体内部气体密封特性也得到显著的改善。本发明能够有效提升光学窗片使用寿命，提升激光传输效能。

上述本发明实施例序号仅仅为了描述，不代表实施例的优劣排序。

在本发明的上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的技术内容，可通过其它的方式实现。其中，以上所描述的系统实施例仅仅是示意性的，例如单元的划分，可以为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，单元或模块的间接耦合或通信连接，可以是电性或其它的形式。

作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理存在，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用软件功能单元的形式实现。

集成的单元如果以软件功能单元的形式实现并作为独立的产品销售或使用时，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分或者该技术方案的全部或部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可为个人计算机、服务器或者网络设备等)执行本发明各个实施例方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、移动硬盘、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种准分子激光器放电腔的窗片结构，其特征在于：包括：光学窗片V1、V2、V3、V4；其中V2、V3为内部光学窗片，V1、V4为外部光学窗片，单侧的光学窗片V1、V2和单侧的光学窗片V3、V4在放电腔体两侧对称布置。

2.根据权利要求1所述的准分子激光器放电腔的窗片结构，其特征在于：单侧的光学窗片V1、V2的法线均与激光的传输方向之间的夹角为55°-58°；或者单侧的光学窗片V1、V2其中之一的法线与激光的传输方向之间的夹角为55°-58°，而另一光学窗片的法线与激光的传输方向相同；

单侧的光学窗片V3、V4的法线与激光的传输方向之间的夹角为55°-58；或者单侧的光学窗片V3、V4其中之一的法线与激光的传输方向之间的夹角为55°-58°，而另一光学窗片的法线与激光的传输方向相同。

3.根据权利要求2所述的准分子激光器放电腔的窗片结构，其特征在于：单侧的光学窗片V1、V2的法线均与激光的传输方向之间的夹角为布儒斯特角；或者单侧的光学窗片V1、V2其中之一的法线与激光的传输方向之间的夹角为布儒斯特角，而另一光学窗片的法线与激光的传输方向相同；

单侧的光学窗片V3、V4的法线与激光的传输方向之间的夹角为布儒斯特角；或者单侧的光学窗片V3、V4其中之一的法线与激光的传输方向之间的夹角为布儒斯特角，而另一光学窗片的法线与激光的传输方向相同。

4.根据权利要求1-3任一所述的准分子激光器放电腔的窗片结构，其特征在于：单侧的光学窗片V1、V2之间呈平行或轴对称设置；单侧的光学窗片V3、V4之间呈平行或轴对称设置。

5.根据权利要求1-3任一所述的准分子激光器放电腔的窗片结构，其特征在于：当单侧的光学窗片之一的法线与激光的传输方向相同时，单侧两窗片的水平中线之间的距离为0-20mm；

当单侧的光学窗片V1、V2之间平行设置时，光学窗片V1、V2之间的距离为10-20mm；当单侧的光学窗片V1、V2之间轴对称设置时，光学窗片V1、V2的水平中线之间的距离为10-20mm；

当单侧的光学窗片V3、V4之间平行设置时，光学窗片V3、V4之间的距离为10-20mm；当单侧的光学窗片V3、V4之间轴对称设置时，光学窗片V3、V4的水平中线之间的距离为10-20mm。

6.根据权利要求1所述的准分子激光器放电腔的窗片结构，其特征在于：外部光学窗片V1与内部光学窗片V2之间、外部光学窗片V4与内部光学窗片V3之间采用惰性气体进行充注。

7.根据权利要求6所述的准分子激光器放电腔的窗片结构，其特征在于：放电腔体内介质的折射率与内外部光学窗片之间介质的折射率的比值，与内外部光学窗片之间介质的折射率与外部空气折射率的比值相同。

8.根据权利要求6所述的准分子激光器放电腔的窗片结构，其特征在于：惰性气体的充注压强为0-3bar。

9.根据权利要求1所述的准分子激光器放电腔的窗片结构，其特征在于：内部光学窗片V2、V3为隔离密封光学窗片，与放电腔体相通；外部光学窗片V1、V4为引导输出光学窗片，与外部环境相通。

10.一种准分子激光器，其特征在于：包括权利要求1-9任意一项所述的准分子激光器放电腔的窗片结构。

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