CN113825905A - 致动器组件 - Google Patents

Abstract

致动器组件(140)包括第一零件和第二零件。参照第二零件限定第一轴线(Z)。致动器组件(140)包括连接在第一零件和第二零件之间的形状记忆合金丝(80)，用于在至少部分地垂直于第一轴线(Z)的一组方向中的任何一个方向上相对于第二零件移动第一零件。该组方向包括第一方向和第二方向。致动器组件(140)包括一组臂(170)，每个臂连接在第一零件和第二零件之间，并且部分地围绕第一轴线(Z)延伸。该组臂(170)被配置成提供偏置力，该偏置力将第一零件相对于第二零件朝向第一位置偏置。当第一零件在第一方向上远离第一位置移动时，该组臂(170)具有第一刚度，而当第一零件在第二方向上远离第一位置移动时，该组臂(170)具有较低的第二刚度。该组臂(170)中的至少一个臂包括部分(100)，该部分(100)被配置成相比于该部分(100)降低第二刚度，以更大的相对量来降低第一刚度。

Description

致动器组件

领域

本申请涉及致动器组件，特别是包括多个长度段的形状记忆合金(SMA)丝的致动器组件。

背景

例如，这种致动器组件可以用于相机中，以在垂直于光轴的方向上移动透镜组件，从而提供光学图像稳定(OIS)。在将这种相机结合到诸如移动电话的便携式电子设备中的情况下，小型化可能是重要的。

WO 2019/086855 A1描述了一种具有致动器组件的相机，该致动器组件包括支撑平台、支撑透镜组件的移动平台、连接到支撑平台和移动平台的SMA丝以及将移动平台支承在支撑平台上的轴承。该致动器组件还包括在支撑平台和移动平台之间延伸的两个臂。这些臂尤其提供了将透镜组件朝向中心位置偏置的横向偏置力(lateral biasing force)。

概述

第一方面

根据本发明的第一方面，提供了一种致动器组件，该致动器组件包括：

第一零件和第二零件，其中参照第二零件限定第一轴线；

形状记忆合金丝，其连接在第一零件和第二零件之间，用于在至少部分地垂直于第一轴线的一组方向中的任何一个方向上相对于第二零件移动第一零件，其中该组方向包括第一方向和第二方向；

一组臂，每个臂连接在第一零件和第二零件之间，并部分地围绕第一轴线延伸，该组臂被配置成提供偏置力，该偏置力将第一零件相对于第二零件朝向第一位置偏置；

其中，当第一零件在第一方向上远离第一位置移动时，该组臂具有第一刚度(stiffness)，并且当所述第一零件在第二方向上远离第一位置移动时，该组臂具有较低的第二刚度；并且

其中该组臂中的至少一个臂包括一部分，该部分被配置为相比于该部分降低第二刚度，以更大的相对量来降低第一刚度。

因此，臂可以提供更对称的(对中)偏置力，这又可以使得致动器组件被更有效地控制等。

“第一零件”也可以称为可移动零件，并且第二零件也可以称为静态零件。此外，提供偏置力的每个“臂”也可以称为挠曲件。

从属权利要求中规定了进一步的(可选的)特征。

例如，该部分可以对应于臂的至少一个发夹形部分。为了便于参考，这种部分在下文中有时被称为扭结，并且这种臂被称为扭结臂。

例如，将上述第一刚度和第二刚度的降低与没有该部分的等效臂(例如，不具有发夹形部分而是在臂的相应段中仅仅是直的臂)进行比较。该部分不需要降低第二刚度。

第二和第三方面

根据本发明的第二方面，提供了一种致动器组件，该致动器组件包括：

静态零件，静态压接部分安装在静态零件上；

可移动零件，其包括压接支撑部分，移动压接部分安装在压接支撑部分上；

形状记忆合金丝，其通过被静态压接部分和移动压接部分压接而连接在静态零件和移动零件之间，并且被布置成驱动可移动零件相对于静态零件在垂直于主轴线的运动平面中的多个方向上的相对运动；和

轴承装置，其被布置成引导可移动零件相对于静态零件在运动平面中的多个方向上的相对运动，并且抵抗可移动零件相对于静态零件沿着主轴线的相对运动，该轴承装置包括挠曲件，挠曲件连接在静态零件和可移动零件之间，该挠曲件围绕主轴线延伸，

其中挠曲件被布置成使得当沿着主轴线观察时，挠曲件与压接支撑部分重叠。

因此，根据本发明的第二方面，可以包括被布置成与压接支撑部分重叠的挠曲件，因此这种布置可以有利地避免增加致动器组件的占用空间。在某些情况下，这可以允许在致动器组件上包括额外的挠曲件，否则这些挠曲件可能会由于空间限制而被去除。这种重叠布置可以与挠曲件围绕压接支撑部分布设(其可能增加致动器组件的占用空间)的布置形成对比。将致动器组件的占用空间保持在最小尤为重要，因为这种致动器组件越来越多地用于可用空间有限的应用中。根据本发明的第二方面，挠曲件与移动压接角的重叠可以允许如下的挠曲件布置，即该挠曲件布置在运动平面中提供了更均匀的刚度对称性。

在一组实施例中，可移动零件还包括主体，压接支撑部分连接到该主体。在另外的一组实施例中，压接支撑部分是与主体分离的分隔部分。同样，压接支撑部分可以与可移动零件的主体一体设置。可移动支撑件的主体可以具有任何合适的形式。在一组实施例中，主体形成为材料片材。

在现有技术的致动器组件中，例如在WO-2019/086855中看到的类型，挠曲件通常在包括静态压接部分的角周围延伸，并且挠曲件简单地避免完全通过带有移动压接部分的角。结果，这可能会限制这种现有技术的致动器组件实现以下挠曲件布置的能力，即该挠曲件布置在运动平面中的多个方向上提供更均匀的刚度。

在一组实施例中，挠曲件与压接支撑部分分离。将挠曲件布置成使得挠曲件与压接支撑部分分离可以有利地有助于避免在挠曲件和压接支撑部分之间形成短路，挠曲件和压接支撑部分中的一者或两者可以是带电部件。

当然，致动器组件可以包括不与压接支撑部分重叠的另外的挠曲件。

由于通常使用致动器组件的设备中的空间限制，常常希望将致动器组件在主轴线中的深度保持为最小。用于分离挠曲件和压接支撑部分同时保持致动器组件的深度尽可能小的许多不同方式是可能的。

在一组实施例中，挠曲件包括第一变薄区段，该第一变薄区段沿着主轴线具有减小的深度，第一变薄区段在挠曲件和压接支撑部分之间提供分隔。具有变薄区段的挠曲件(变薄区段沿其长度部分地延伸)可能足以提供期望的分隔，同时不会太显著地影响挠曲件响应变形的方式。如本领域技术人员将理解的，为了实现期望的分隔而使整个挠曲件变薄可能需要改变挠曲件的材料以提供期望的特性，这可能是不可行的。因此，通过仅减薄挠曲件的区段，可以避免这种情况。

在一组实施例中，压接支撑部分包括第二变薄区段，该第二变薄区段沿着主轴线具有减小的深度，第二变薄区段在挠曲件和压接支撑部分之间提供分隔。如同上面讨论的挠曲件一样，可能不希望使整个压接支撑部分变薄，因为它可能不再能够提供其支撑功能，然而使它的区段变薄却可能足以提供分隔。

第一变薄区段或第二变薄区段可以通过任何合适的方式(例如蚀刻)产生。

在一组实施例中，压接支撑部分包括切口区段(即，整个厚度被去除的区段)，该切口区段在挠曲件和压接支撑部分之间提供分隔。

在一组实施例中，压接支撑部分包括肩部部分，肩部部分从可移动零件的主体沿着主轴线延伸，肩部部分沿着主轴线偏移该移动压接部分，以在挠曲件和压接支撑部分之间提供分隔。这可以提供用于形成分隔的简单布置，其不需要挠曲件或压接支撑部分中的区段的任何变薄。

在一组实施例中，压接支撑部分连接到可移动零件的主体的上表面或下表面，以在挠曲件和压接支撑部分之间提供分隔。如本领域技术人员将理解的，当与压接支撑部分直接从可移动零件的主体延伸的示例相比时，以这种方式布置压接支撑部分有效地使压接支撑部分沿着主轴线位移。这种位移因此可以提供分隔。同样，这种特定的布置可以是实现分隔的相对简单的方式，但是可能会影响致动器组件的深度。

在另一组实施例中，挠曲件的至少一部分是拱形的，以提供挠曲件和压接支撑部分之间的分隔。在组件的制造过程中，挠曲件的提供分隔的这种拱起可以容易地实现。使挠曲件拱起以提供分隔可能更有利，因为它可以提供在主轴线上预加载挠曲件的辅助功能，使得当拱形挠曲件(例如通过移动零件和静态零件之间的连接)适当地布置在组件内时，拱形挠曲件可以抵抗可移动零件沿着主轴线远离静态零件的移动。然而，以这种方式将挠曲件拱起会增加组件沿主轴线的深度，这在某些情况下可能不太理想。挠曲件的一部分可以是拱形的，使得它在压接支撑部分的上方或下方延伸。

一组实施例可以包括至少一个另外的挠曲件，该挠曲件被布置成使得当沿着主轴线观察时，该挠曲件不与压接支撑部分重叠。在这组实施例中，只有该至少一个另外的挠曲件可以被预加载，以便抵抗可移动零件沿着主轴线远离静态零件的移动。这可有助于在挠曲件和压接支撑部分之间提供分隔(和/或不过度增加组件沿主轴线的深度)。

当然，上面描述的关于提供分隔的任何实施例可以被组合，使得组件包括用于实现分隔的不同方式的任何组合。例如，该组件可以包括挠曲件上的第一变薄区段和压接支撑部分上的第二变薄区段的组合。具体方式及其范围，例如各个变薄区段的深度，可以由所需的分隔程度决定。例如，在大的分隔是必要的情况下，例如，可能有必要在挠曲件和压接支撑部分两者上提供变薄区段。

防止短路也可以通过替代方式来实现。在一组实施例中，电绝缘层布置在压接支撑部分和挠曲件之间。取决于电绝缘层的特定性质，在不具有上述分隔的情况下包含电绝缘层可能足以防止短路的形成。然而，情况可能并非总是如此，且电绝缘层可以有利地与挠曲件和压接支撑部件的分隔相结合，以进一步降低发生短路的风险。

电绝缘层可以布置在任何合适的位置，使得它在挠曲件和压接支撑部分之间提供绝缘层。在一组实施例中，电绝缘层布置在挠曲件的面向压接支撑部分的表面上。在一组实施例中，电绝缘层布置在压接支撑部分的面向挠曲件的表面上。绝缘层的位置可以取决于挠曲件和压接支撑结构的特定构造。例如，如果挠曲件经过压接支撑结构上方，则压接支撑结构的表面和/或挠曲件的表面可以设置有电绝缘层。

电绝缘层可以形成为挠曲件和/或压接支撑部分上的涂层。电绝缘层可以由提供适当绝缘性能的任何材料制成。电绝缘层可以包括陶瓷层。陶瓷层可以例如包括碳化钛、二氧化硅、类金刚石碳(DLC)、碳化钨/碳(WC/C)中的至少一种。

在一组实施例中，可移动零件包括另外的压接支撑部分，另外的移动压接部分安装在另外的压接支撑部分上，并且其中轴承装置包括另外的挠曲件，另外的挠曲件连接在静态零件和可移动零件之间，其中另外的挠曲件围绕主轴线延伸，并且其中另外的挠曲件被布置成使得当沿着主轴线观察时，该另外的挠曲件与另外的压接支撑部分重叠。另外的压接支撑部分和另外的挠曲件可以包括上面关于压接支撑部分和挠曲件描述的任何特征。

静态零件可以包括静态压接支撑部分，静态压接部分安装在静态压接支撑部分上。

在另一组实施例中，致动器组件包括连接在静态零件和可移动零件之间的附加挠曲件。在包括至少三个挠曲件的实施例中，可以将该至少三个挠曲件布置成，使得可移动零件在运动平面中的多个正交轴线上的刚度对称性可以被显著改善。事实上，包含以这种方式改善对称性的三个挠曲件其本身是新颖的和创造性的，因此当从本发明的第三方面看，提供了一种致动器组件，包括：

静态零件；

可移动零件；

至少一根形状记忆合金丝，其连接在静态零件和移动零件之间，并被布置成驱动可移动零件相对于静态零件在垂直于主轴线的运动平面中的多个方向上的相对运动；和

轴承装置，其被布置成引导可移动零件相对于静态零件在运动平面中的多个方向上的相对运动，并且抵抗可移动零件相对于静态零件沿着主轴线的相对运动，轴承装置包括至少三个挠曲件，该至少三个挠曲件连接在静态零件和可移动零件之间，该至少三个挠曲件中的每一个都围绕主轴线延伸，

其中，对于运动平面中的每对第一正交轴线和第二正交轴线，将第一刚度限定为至少三个挠曲件沿着第一轴线的组合横向刚度，并且将第二刚度限定为该至少三个挠曲件沿第二轴线的组合横向刚度，第一刚度和第二刚度的最大比值不超过5。

本领域技术人员将容易理解，对于任何一组不相等的两个刚度值，将有两个比值，其中一个的比另一个大。正是这个更大的比值将固有地形成最大比值，该最大比值非常满足上面关于本发明的第三方面引用的比值。

通过包括至少三个围绕主轴线延伸的挠曲件，这些挠曲件被适当定位以提供上述最大刚度比值，可以理解为，至少与仅包括两个挠曲件的现有技术的致动器组件(例如WO-2019/086855中描述的类型)相比，沿着任何一对正交轴线的刚度将明显更对称。

具有这样的致动器组件是有利的(在该致动器组件中可移动零件在任何一对正交轴线上的刚度在上述程度上更加对称)，因为它可以允许对可移动零件进行更简单和更精确的控制。可以理解的是，当与现有技术的组件相比时，在现有技术的组件中，沿着第一轴线的刚度可以例如比沿着其正交轴线的刚度大十倍，通过最小化沿着每对正交轴线的刚度差异，用于控制可移动零件的控制算法可以不那么复杂。因此，这种改进的对称性意味着可以实现对形状记忆合金丝的更精确的控制，从而更精确地控制可移动零件的位置。

在一组实施例中，至少三个挠曲件包括总共三个挠曲件。

通过包括另外的挠曲件，可能获得对可移动零件的刚度对称性的进一步控制。因此，在一组实施例中，至少三个挠曲件包括连接在静态零件和可移动零件之间的总共四个挠曲件。根据本发明的第三方面，使用围绕主轴线延伸的四个挠曲件提供了对任意两个一对的正交轴线的刚度对称性的进一步改善。

至少四个挠曲件可以以任何合适的方式围绕主轴线布置。然而，在一组实施例中，至少四个挠曲件被布置成关于主轴线具有四重旋转对称性(four-fold rotationalsymmetry)。这种布置可以实现上述比值。在另一组实施例中，至少四个挠曲件被布置成关于主轴线具有至少双重镜像对称(two-fold mirror symmetry)。类似地，这种挠曲件的布置可以实现上述比值。当然，实现上述比值的至少四个挠曲件可以有大量不同的布置，而这仅仅是两个示例。

在一组实施例中，至少三个挠曲件中的至少两个与静态零件或可移动零件共用公共连接点。

如本领域技术人员将理解的，沿着任何轴线的刚度将是该至少三个挠曲件中的每一个的组合刚度，因为所有该至少三个挠曲件将变形到一定程度，以便允许沿着任何轴线的运动。

在本发明的第二或第三方面，挠曲件或至少一个挠曲件可以是根据本发明的第一方面配置的臂，例如通过包括至少一个发夹形部分，使得臂是扭结臂。

在一组实施例中，静态零件包括静态压接部分，并且移动零件包括移动压接部分，并且其中形状记忆合金丝连接在一个静态压接部分和移动压接部分之间。如本领域技术人员将理解的，包括以这种方式连接的形状记忆合金丝将提供用于驱动可移动零件移动的方式。

在本发明的任何方面，可移动零件可以是包括至少一个具有光轴的透镜的透镜组件，光轴是主轴线。在另外的组实施例中，致动器组件还包括图像传感器，该图像传感器被布置成捕捉由透镜组件聚焦的图像。在这种情况下，致动器组件可以用于例如执行光学图像稳定。

尽管相对于第三方面，第一刚度和第二刚度的最大比值在上文中被描述为不超过5，但根据具体应用，这可能不同。例如，替代地第一刚度和第二刚度的最大比值可以为3、2、1.5、1.25或大约1。

本发明的第二和/或第三方面的特征可以与本发明的第一、第二和/或第三方面的特征相结合。

第四方面

根据本发明的第四方面，提供了一种致动器组件，其适于连接到另外的致动器组件，该另外的致动器被配置为在平行于主轴线的多个方向上致动，致动器组件包括：

静态零件；

可移动零件；

至少两个长度段的形状记忆合金(SMA)丝，其连接在静态零件和可移动零件之间，并且被配置为驱动可移动零件相对于静态零件在垂直于主轴线的运动平面中的多个方向上的运动；和

一个或更多个柔性元件，其连接静态零件和可移动零件；

其中静态零件、一个或更多个柔性元件和可移动零件包括一个或更多个电流路径，电流路径可经由可移动零件电连接到另外的致动器组件。

柔性元件可以是连接静态零件和可移动零件的挠曲臂。

柔性元件中的至少一个可以提供偏置力，该偏置力将可移动零件和静态零件朝向彼此偏置。

柔性元件中的至少一个可以形成轴承装置的一部分，该轴承装置被配置为引导可移动零件相对于静态零件在运动平面中的多个方向上的相对运动，并且抵抗可移动零件相对于静态零件在平行于主轴线的方向上的运动。

柔性元件中至少一个可以与静态零件和可移动零件中的一者一体形成，并且可以机械连接和电连接到静态零件和可移动零件中的另一者。

一个或更多个电流路径可以包括两个电流路径、三个电流路径或四个电流路径。

电流路径中的至少一个可以经由可移动零件电连接到这些长度段的SMA丝中的至少一个。

静态零件、至少一个柔性元件和可移动零件可以包括一个或更多个另外的电流路径，该另外的电流路径电连接到这些长度段的SMA丝中的至少一个。

柔性元件可以包括用于电流路径和另外的电流路径中的每一个的一个柔性元件。

可移动零件可以包括一个或更多个第一导电元件，并且静态零件可以包括一个或更多个第二导电元件，其中针对电流路径和另外的电流路径中的每一个，具有一个第一导电元件和一个第二导电元件。

每个第一导电元件可以具有用于连接到另外的致动器的端子，和/或每个第二导电元件可以具有用于连接到外部电子电路的端子。

每个第一导电元件可以包括移动零件的一个或更多个大致平面部分。

大致平面部分可以布置在两层或更多层中，并且同一层中的部分可以彼此物理分离，并且不同层中的某些部分可以是电互连的。

层中的相邻的层可以经由一般绝缘层物理互连，从而形成整体结构。

致动器组件可以包括一个或更多个连接器，每个连接器用于电连接和物理连接层中的相邻的层。

大致平面部分可以包括具有整体连接部分的至少一个部分，用于连接到这些长度段的SMA丝中的至少一个。

大致平面部分可以包括与至少一个柔性元件成一体的至少一个部分。

这些层中的一个层可以连接到SMA丝，而这些层中的另一层可以连接到柔性元件。

致动器组件的可移动零件和静态零件可以包括图案化金属片材。

一个或更多个柔性元件可以包括：

四个挠曲件，该四个挠曲件在静态零件和/或可移动零件的外周的外部围绕主轴线以弧形延伸；和

一个挠曲件，该一个挠曲件在静态零件和/或可移动零件的内周内围绕主轴线以弧形延伸。

四个挠曲件可以基本上环绕静态零件和/或可移动零件的外周。一个挠曲件可以基本上环绕静态零件和/或可移动零件的内周。

一个或更多个电流路径和/或另外的电流路径可以包括导电迹线。

可以提供一种装置，包括：

致动器组件；和

另外的致动器组件，其中另外的致动器组件连接到可移动零件，以便与可移动零件一起在运动平面中的多个方向上移动。

另外的致动器组件可以包括另外的静态零件和另外的可移动零件，另外的可移动零件可相对于另外的静态零件在平行于主轴线的多个方向上移动，并且另外的静态零件可以机械连接和电连接到可移动零件。

本发明第四方面的特征可以与本发明第一、第二和/或第三方面的特征相结合。例如，第四方面的挠曲臂可以具有如第一方面的”扭结”和/或可以如第二和/或第三方面中所规定的那样布置。

附图简述

现在将参考附图仅通过示例的方式描述本发明的某些实施例，在附图中：

图1示出了结合有已知SMA致动器组件的相机的示意性截面图；

图2示出了图1的SMA致动器组件的分解透视图，图2A是以简化示意图形式而图2B是以更详细的形式；

图3示出了图1的SMA致动器组件沿光轴O展开的侧视图；

图4示出了图1的SMA致动器组件的滑动轴承(plain bearing)的截面图；

图5示出了图1的SMA致动器组件的移动平台和臂的俯视图；

图6示出了(A)图1的SMA致动器组件的俯视图，(B)仅该SMA致动器组件的移动平台及臂的俯视图；

图7示出了(A)类似于图1类型但是用于较大的透镜组件的SMA致动器组件的俯视图，以及(B)仅该SMA致动器组件的移动平台和臂的俯视图；

图8示出了(A)具有扭结臂的SMA致动器组件的示例的俯视图，和(B)仅该SMA致动器组件的移动平台和臂的俯视图；

图9示出了(A)移动平台在强对角线上位移时图8的臂上的弯矩，和(B)移动平台在弱对角线上位移时图8的臂上的的弯矩；

图10示出了(A)图8的移动平台和臂在强对角线中的(放大的)位移，和(B)图8的移动平台和臂在弱对角线中的(放大的)位移；

图11示出了(A)具有扭结臂的SMA致动器组件的另外的示例的俯视图，和(B)仅该SMA致动器组件的移动平台和臂的俯视图；

图12示出了具有扭结臂的SMA致动器组件的另外的示例的俯视图；

图13示出了(A)具有扭结臂的SMA致动器组件的另外的示例的俯视图，和(B)仅该SMA致动器组件的移动平台和臂的俯视图；

图14示出了(A)具有扭结臂的SMA致动器组件的另外的示例的俯视图，和(B)仅该SMA致动器组件的移动平台和臂的俯视图；

图15示出了具有扭结臂的SMA致动器组件的另外的示例的俯视图；

图16示出了具有扭结臂的SMA致动器组件的另外的示例的俯视图；

图17示出了具有扭结臂和阻尼物的SMA致动器组件的另外的示例的俯视图；

图17A示出了具有扭结臂和偏离中心布置的SMA丝的SMA致动器组件的另外的示例的俯视图；

图18示出了四臂式SMA致动器组件的分解图；

图19示出了在图18中所示出的致动器组件的俯视图；

图20A-图20D示出了用于在图18和图19所示的致动器组件中的挠曲件和压接支撑部分之间提供分隔的不同布置；

图21示出了图18所示的替代的致动器组件的俯视图，其中挠曲件重叠在压接支撑部分的顶部；

图22A-图22C示出了用于在图21所示的致动器组件中的挠曲件和压接支撑部分之间提供分隔的不同布置；

图23A-图23C示出了布置在挠曲件、压接支撑部分以及挠曲件和压接支撑部分两者上的绝缘层的不同布置；

图24A-图24B示出了具有两个挠曲件的可移动零件的两个不同实施例；

图25示出了具有两个挠曲件的可移动零件的实施例，这两个挠曲件一起包围整个可移动零件；

图26示出了具有三个挠曲件的可移动零件的实施例；

图27A-图27C示出了具有四个挠曲件的可移动零件的三个不同实施例；

图28示出了具有四个挠曲件的可移动零件的另一个实施例；

图29示出了具有四个挠曲件的可移动零件的另一个实施例；

图30示出了可移动零件的另一个实施例，该可移动零件包括四个挠曲件；和

图31示出了具有两个挠曲件的可移动零件的示例，这两个挠曲件不与移动压接部分重叠；和

图32是图1中的SMA致动器组件的俯视图；

图33是图1的SMA致动器组件的分解透视图，示出了电流；

图34是安装在图1的SMA致动器组件上的VCM AF致动器组件的透视图；

图35-图37是SMA致动器组件的另外的实施例的部件的俯视图；

图38是安装在图37的部件的顶部上的图36的部件的俯视图；

图39是安装在图36的部件的顶部上的图35的部件的俯视图；

图40是安装在彼此顶部上的图35-图37中所示的部件的俯视图；

图41是图35-图37的致动器组件的分解俯视图，示出了电流；

图42是图41的SMA致动器组件的示意电路图；

图43-图47是其他SMA致动器组件的示意电路图。

详细描述

相机

参考图1，现在将描述结合有已知SMA致动器组件40的相机1。

相机1包括透镜组件20，该透镜组件20通过SMA致动器组件40悬挂在支撑结构4上，该致动器组件40以允许透镜组件20相对于支撑结构4在垂直于光轴O的方向上移动的方式支撑透镜组件20。

支撑结构4包括基座5。图像传感器6安装在基座5的前侧上。在基座5的后侧上，安装有集成电路(IC)30并且还有陀螺仪传感器31，在IC 30中实施控制电路。支撑结构4还包括从基座5向前突出的罩(can)7，以包住和保护相机1的其他部件。

透镜组件20包括呈圆柱形主体形式的透镜托架21，透镜托架21支撑沿光轴O布置的两个透镜22。通常可以包括任何数量的一个或更多个透镜22。优选地，每个透镜22具有高达约20mm的直径。因此，相机1可以被称为微型相机。

透镜组件20被布置成将图像聚焦到图像传感器6上。图像传感器6捕捉图像并且可以是任何合适的类型，例如电荷耦合器件(CCD)或互补金属氧化物半导体(CMOS)器件。

在该示例中，透镜22被支撑在透镜托架21上，使得透镜22可沿着光轴O相对于透镜托架21移动，例如以提供聚焦或变焦。特别地，透镜22固定到透镜保持器23，该透镜保持器23可沿着光轴O相对于透镜托架21移动。尽管在该示例中所有透镜22都固定到透镜保持器23，但是通常一个或更多个透镜22可以固定到透镜托架21，并且因此不能沿着光轴O相对于透镜托架21移动，留下固定到透镜保持器23的至少一个透镜22。

设置在透镜托架21和透镜保持器23之间的轴向致动器装置24被布置成驱动透镜保持器21和透镜22沿光轴O相对于透镜托架21移动。轴向致动器装置24可以是任何合适的类型，例如音圈电机(VCM)或SMA丝的装置。

在操作中，透镜组件20相对于图像传感器6正交于光轴O移动，结果是图像传感器6上的图像被移动。这用于提供OIS，补偿可能由手抖动等引起的相机1的图像移动。

致动器组件

具体参考图2至6，现在将更详细地描述致动器组件40。

致动器组件40包括子组件50(以下称为“支撑平台”)和另外的子组件60(以下称为“移动平台”)(特别参见图2A)。移动平台60支撑透镜组件20，并连接到透镜托架21。

在这示例中，被称为支撑平台50的子组件由两个独立的部件形成，即支撑部件500和导电部件501，它们彼此附连(特别参见图2B)。致动器组件40具有附加部件，即基座部件400，该基座部件400附连到支撑平台50和相机1的基座5。应当理解，其他示例可以具有其他配置。进一步的细节在WO 2017/055788 A1和WO 2019/086855 A1中提供，它们通过引用并入本文。

支撑平台50、移动平台60和基座部件400各自设有与光轴O对齐的中心孔，允许光从透镜组件20传播到图像传感器6。

移动平台60(以及因此，透镜组件20)相对于支撑平台50的移动由包括四根SMA丝80的横向致动装置驱动。支撑平台50形成有压接部51(以下称为“静态压接部”)，并且移动平台60形成有压接部61(以下称为“移动压接部”)。压接部51、61压接四根SMA丝80，以便将它们连接到支撑平台50和移动平台60。SMA丝80可以垂直于光轴O，或者相对于垂直于光轴O的平面以小角度倾斜。

在操作中，SMA丝80被选择性地驱动，以相对于支撑平台50使移动平台60在任何横向方向(即垂直于光轴O的方向)上移动，如现在将解释的。

WO 2013/175197 A1中也提供了进一步的细节，该文件通过引用并入本文。

SMA丝80围绕光轴O在不同角度位置处具有环形布置，以提供彼此垂直的两对相对的SMA丝80。因此，每对相对的SMA丝80能够选择性地驱动，以在正交于光轴O的两个垂直方向之一上移动透镜组件20。结果，SMA丝80能够选择性地驱动以将透镜组件20相对于支撑结构4在正交于光轴O的两个方向上移动到移动范围内的任何位置。移动范围的大小取决于SMA丝80在其正常操作参数内的几何形状和收缩范围。

透镜组件20相对于支撑结构4垂直于光轴O的位置通过选择性地改变SMA丝80的温度来控制。这是通过穿过SMA丝80的选择性驱动信号(该驱动信号提供电阻加热)实现的。加热通过驱动电流直接提供。冷却通过减小或停止该驱动电流来提供，以允许SMA丝80通过与其周围环境的传导、对流和辐射来冷却。

在加热SMA丝80中的一根时，SMA丝80中的应力增加并收缩，导致透镜组件20的移动。当SMA的温度在其中发生SMA材料从马氏体相转变为奥氏体相的温度范围内升高时，会发生一定范围的移动。相反，在冷却SMA丝80中的一根使得SMA丝80中的应力减小时，该SMA丝在来自SMA丝80中的相对的SMA丝的力的作用下展开。这允许透镜组件20沿相反方向移动。

SMA丝80可以由任何合适的SMA材料制作，例如镍钛诺或另一种钛合金SMA材料。

SMA丝80的驱动信号由实施于IC 30中的控制电路产生和提供。驱动信号由控制电路响应陀螺仪传感器31的输出信号产生，以便驱动透镜组件20的移动，以稳定由透镜组件20聚焦在图像传感器6上的图像，从而提供OIS。驱动信号可以使用例如WO 2014/076463 A1中描述的电阻反馈控制技术来产生，该文件通过该引用并入本文。

此外，致动器组件40包括围绕光轴O间隔开的四个滑动轴承100，以将移动平台60支撑在支撑平台50上。通常，可以使用不同数量的轴承100。优选地，使用至少三个轴承100来帮助提供稳定的支撑。

具体参考图4，每个滑动轴承100包括轴承构件101。轴承构件101可以例如通过粘合剂固定到支撑平台50。在这种情况下，轴承构件101的在与支撑平台50相对的一侧上的表面102和移动平台60的表面103是彼此接触的平坦的共形表面(conforming surface)。可选地，轴承构件101可以例如通过粘合剂固定到移动平台60。在这种情况下，轴承构件101的在与移动平台60相对的一侧上的表面104和支撑平台50的表面105是彼此接触的平坦的共形表面。

因此，共形表面102和103之间或共形表面104和105之间的接触将移动平台60支撑和承载在支撑平台50上，允许平行于它们的范围，即垂直于光轴O的相对运动。

轴承100可以由合适的金属或合金(例如磷青铜)制成。

致动器组件40还包括连接在支撑平台50和移动平台60之间的两个臂70。臂70是弹性的，并且被配置为沿着光轴O提供合适的保持力，并且还允许通过合适的横向偏置力进行的横向移动。臂70还提供从支撑结构4到透镜组件20的电连接。

在致动器组件40的组装状态下，臂70以该臂70提供将平台50、60偏置在一起并保持滑动轴承100中的接触的力(即保持力)的方式从其松弛状态偏转。同时，臂70可以横向偏转，以允许透镜组件20相对于支撑结构4在垂直于光轴O的方向上移动。

臂70提供力(即横向偏置力)，该力将透镜组件20从围绕中心位置的任何方向朝向中心位置偏置，其中中心位置对应于透镜组件的光轴O，该光轴O基本上与图像传感器6的光敏区域的中心对齐。因此，在没有驱动透镜组件20的横向移动的情况下，透镜组件20将从围绕中心位置的任何方向趋向于中心位置。这确保了即使在没有驱动SMA丝80的情况下，相机1也保持捕捉图像的功能。横向偏置力的大小保持足够低，以便不妨碍OIS，同时是足够高的以在没有驱动的情况下使透镜组件20居中。

每个臂70大致呈L形，并围绕光轴O延伸。当在臂70的端点之间测量时，每个臂70的角度范围优选至少为90°。

在该示例中，臂70在其一端处与移动平台60一体形成，并且在其另一端处连接到支撑平台50。可选地，臂70可以与支撑平台50一体形成并连接到移动平台60，或者臂70可以是连接到两个平台50、60的独立零件。臂70可以通过焊接连接到板50、60，这提供了机械连接和电连接两者。

臂70由提供期望的机械性能并且是导电的合适的材料制成。通常，该材料是具有相对高屈服(yield)的金属，例如钢，诸如不锈钢。

致动器组件的空间

本文将参考笛卡尔坐标系，其中Z轴与光轴O共同延伸，原点在光轴O上的任意点，并且正Z方向是例如图像传感器6面对的方向。

致动器组件40被配置成装配在罩7内的立方体空间S内。空间S具有两个主面，这两个主面是正方形的、垂直于光轴O(Z轴)，即平行于XY平面，并且以光轴O(Z轴)为中心。因此，光轴O(Z轴)在下文中有时被称为中心线。空间S的最下面的主面限定了致动器组件40的占用空间。空间S具有垂直于X轴或Y轴的四个次面(以下简称为“侧面”)。通常，希望最小化占用空间相对于透镜的直径的尺寸，即长度和宽度(X维度和Y维度)，同时也最小化空间S的高度(即Z维度)。

不对称的横向偏置力

已知致动器组件40中的臂70的布置提供了不对称的横向偏置力，现在将对此进行解释。

支撑平台50和移动平台60各自具有平坦的平面部分50a、60a(以下通常称为“主体部分”)。每个主体部分50a、60a具有可以近似为不规则八边形的形状，其具有四个主侧表面50b、60b和四个次侧表面50c、60c(以下简称为“侧面”)。每个主体部分50a、60a还具有中心圆形孔口(即上述孔)。主体部分50a、60a各自垂直于光轴O(Z轴)，即平行于XY平面。主体部分50a、60a各自以光轴(Z轴)为中心，并且具有彼此相似的尺寸、形状和定向。主侧面50b、60b与空间S的侧面平行。

支撑平台50和移动平台60各自具有支撑压接部51、61的另外的部分50d、60d(这些部分在下文中被称为“压接支撑件”或“压接支撑部分”)。在该示例中，支撑平台50具有四个压接支撑件50d，每个压接支撑件50d支撑静态压接部51，并且移动平台60具有两个压接支撑件60d，每个压接支撑件60d支撑两个移动压接部61。静态压接支撑件50d位于支撑平台50的主体部分50a的对角相对的次侧面50c上。移动压接支撑件60d位于移动平台60的主体部分60a的对角相对的次侧面60c上，与静态压接支撑件50d处于不同的对角线上。每个压接支撑件50d、60d可以与主体部分50a、60a成一体，或者可以是连接到主体部分50a、60a的独立零件。在这个示例中，静态压接支撑件50d是一体式的，而移动压接支撑件60d不是一体式的。

静态压接支撑件50d各自大致向外延伸(即远离中心线(Z轴))并且还向上延伸(在正Z方向上)，以将静态压接部51带到与移动压接部61相似的Z轴高度。

致动器组件40的静态压接支撑件50d所在的区域在下文中被称为“静态压接角”，而致动器组件40的移动压接支撑件60d所在的区域在下文中被称为“移动压接角”。

臂中的一个臂70₁(以下称为“第一臂”)从移动平台60的一个主侧面60b₁开始。第一臂70₁可以相对靠近移动压接角之一开始或者沿着主侧面60b₁的任何地方开始。然后，第一臂70₁在静态压接角周围延伸，并朝向另一个移动压接角延伸。因此，第一臂70₁沿着移动平台60的主体部分60a的三个侧面60b₁、60c₁、60b₂延伸，并且还逐渐向下(即，在负Z方向上)延伸到支撑平台50(或其他元件)上的支脚71₁。因此，第一臂70₁由三个基本直的段组成，即第一段70a₁、第二段70b₁和第三段70c₁(见图5)。在静态压接角处，第一臂70₁，并且特别是第二段70b₁越过(即在更大的Z轴高度)该角处的静态压接支撑件50d₁、50d₂。

另一个臂70₂(以下称为“第二臂”)对应于围绕Z轴旋转180°的第一臂70₁。因此，与第一臂70₁相比，第二臂70₂从移动平台60的相对侧60b₃开始，并在相对的角周围延伸，具有围绕Z轴的相同旋转方向(the same sense of rotation)。可以理解，两个臂70可以逆时针(如在所示的示例中)或顺时针延伸。

由臂70提供的横向偏置力是不对称的，因为其大小随着移动平台60在X-Y平面中的位移角而变化。特别地，对于在操作范围内的给定大小的位移，横向偏置力对于沿着线D₁(以下称为”强对角线”)(在该示例中，该线D₁穿过移动压接角)的位移是最大的，而对于沿着线D₂(以下称为”弱对角线”)(在该示例中，该线D₂穿过静态压接角)的位移是最小的。在这个示例中，强对角线D₁和弱对角线D₂基本上分别对应于空间S的主对角线，即线Y＝X和线Y＝－X。

实际上，可以指定强对角线D₁的刚度与弱对角线D₂的刚度的最大比值，以便实现致动器组件40的足够的性能(该比值在下文中称为不对称比值)。这里，对角线的刚度对应于例如将移动平台60在该对角线上位移单位距离所需的力。

用于较大透镜的致动器组件

目前，用于便携式电子设备的相机可能具有直径高达约8mm的透镜，因此致动器组件(以下称为“小透镜致动器组件”)的占用空间高达约13×13mm。然而，有一个趋势是透镜越来越大，因此相机将来可能会有直径约为13mm的透镜，因此致动器组件(以下称为“大透镜致动器组件”)的占用空间约为17×17mm或更大。

同时，为了提供合适的OIS，致动器组件需要移动的距离(换句话说，需要的行程)可以保持基本相同，或者可以变化相对小的量。对于如本文所述的致动器组件，所需的行程决定了最小长度段的SMA丝，这通常是最具成本效益的，因此也决定了压接部至压接部(C2C)的距离。

因此，每个压接部51、61在大透镜致动器组件40’中距离空间S’(和罩7’)的角的距离d₃’通常大于在小透镜致动器组件40中的等效距离d₃。

可以理解，如果小透镜致动器组件具有较小的行程要求，那么它也可以具有距离空间S的角更远的压接部51、61。

第一示例

具体参考图8，现在将描述具有扭结臂170的致动器组件140的第一示例(致动器组件140在下文中被称为“第一致动器组件”)。

第一致动器组件140与上述大透镜致动器组件40’相同，除了每个臂170的第二段170b包括另外的特征部100(以下称为扭结)。

扭结100位于沿着第二段170b的大约一半处，并将第二段170b分成两部分，即第一子段17a和第四子段17d。

在扭结100处，臂170具有两个基本直的子段，即第二子段17b和第三子段17c，它们彼此并排定位，并且各自对角地向外延伸(例如，在基本上平行于线Y＝－X的方向上)。第二子段17b和第三子段17c的内端通过大约90°的转动分别连接到第一子段17a和第四子段17d，而外端通过大约180°的转动彼此连接。

因此，扭结100导致臂170在静态压接部51和它们各自的压接支撑件50d’之间延伸，并延伸到在静态压接角处的空间S’的区域中。

特别参考图9A，并且考虑到在XY平面上的投影，扭结100对应于臂170的一部分，该部分距离臂170的端点18、19之间的线段L(其基本上平行于强对角线D₁)更远。因此，与移动平台60’沿着强对角线D₁的位移相关联的、臂170上的力F₁向臂170的该部分施加更大的弯矩，从而降低强对角线D₁的刚度。

一般来说，在本文所述的致动器组件的情况下，强对角线的刚度通过臂的形状变化而减小，这种变化在距中心线(Z轴)更大的距离处产生更长的臂70’。

特别参考图9B，并且再次考虑到在XY平面上的投影，扭结100基本上平行于弱对角线D₂。与移动平台60’沿着弱对角线D₂的位移相关联的、臂170上的力F₂基本上平行于扭结100。因此，扭结100不会显著改变施加到第二段170b的弯矩，因此弱对角线D₂的刚度不会显著改变。

特别参考图10A，由移动平台60’沿着强对角线D₁的位移在扭结100处产生的相对大的弯矩导致扭结100的相对大的变形。

特别参考图10B，相比之下，移动平台60’沿着弱对角线D₂的位移导致扭结100相对小的或不明显的变形。

因此，扭结100具有减小横向偏置力的不对称性的效果，并且更具体地，具有减小上述不对称比值(即强对角线D₁的刚度与弱对角线D₂的刚度的比值)的效果。

扭结100可以将不对称比值降低高达50％或更多。例如，扭结100可以将对于大透镜致动器组件(例如上述组件40’)的不对称比值从大于5减小到小于5或小于4或小于3或小于2或小于1.5。

这种减小的不对称性可以使得第一致动器组件140能够被更有效地控制，例如因为增加的线性度(例如，对驱动信号单元的响应的线性度)、减小的滞后、减小的串扰(即，在垂直于驱动方向的方向上的移动)、减小的行程不对称性、减小的回转速率不对称性(其中回转速率是移动平台60返回其中心位置的速率)等。

减小的不对称性能够使大透镜致动器以类似于小透镜致动器组件的方式被利用。

此外，当扭结100在静态压接部51之间延伸时，扭结100可以比小透镜致动器组件的臂70的任何部分距离中心线(Z轴)更远(比较图6A和图8A)。因此，在一些情况下，扭结100甚至能够使大透镜致动器组件具有比相应的小透镜致动器组件更低的不对称比值。

减小的不对称性也有利地减小了在X方向和Y方向上受约束刚度和无约束刚度之间的差异。这里，受约束刚度是当移动平台60’被SMA丝80约束成在X方向或Y方向上移动时的刚度，而无约束刚度是当没有力通过SMA丝80施加到移动平台60”时的刚度。减少的不对称性降低了移动平台60’偏离其移动时所沿的轴线的趋势，因此降低了受约束移动所需的力，即降低了受约束刚度，使得它们更接近无约束的刚度。这避免了在需要大的无约束刚度(例如为了更有效的无动力定心，抵消重力的影响)时存在如此大的约束刚度。

进一步的示例

可以提供具有上述优点的各种不同形式的扭结臂。

参考图11，现在将描述第二示例的致动器组件240(以下称为“第二致动器组件”)。第二致动器组件240与第一致动器组件140相同，除了臂270的第二段270b各自具有三个扭结，即第一扭结101、第二扭结102和第三扭结103。第二扭结102基本上与上述扭结100相同。第一扭结101和第三扭结103位于第二扭结102的旁边并在第二扭结102的两侧。第一扭结101和第三扭结103各自类似于第二扭结102，但是更短，以便装配在空间S’内。在其他示例中，可能存在不同数量的扭结和/或不同长度的扭结。

参考图12，现在将描述第三示例的致动器组件340(以下称为“第三致动器组件”)。第三致动器组件340与第二致动器组件240相同，除了第二扭结102’(以及连接到第二扭结102’的臂370的子段)各自进一步向内延伸，即更靠近中心线(Z轴)。平台50’、60’的主体部分50a’、60a’具有凹部301，以接纳扭结101’、102’、103’。

参考图13，现在将描述第四示例的致动器组件440(以下称为“第四致动器组件”)。第四致动器组件440与第一致动器组件140相同，除了臂470在扭结100’处的子段17b’、17c’各自在其间具有三个扭结200(这些扭结200在下文中称为“次级扭结”)。每个次级纽结200以与纽结100’成大约90°的角度延伸。在其他示例中，可以有不同数量的次级扭结200，并且次级扭结200可以沿着不同的路径延伸。

参考图14，现在将描述第五示例的致动器组件540(以下称为“第五致动器组件”)。第五致动器组件540与第一致动器组件140相同，除了每个扭结100”在其外端处具有特征部150(以下称为环)。该环对应于扭结100”的一部分，在扭结100”的该部分中臂570的子段17b”和17c”之间的分隔增加，然后减小。因此，环150增加了扭结100”的外端处的曲率半径，从而避免了第一致动器组件40的扭结100可能出现的高应力集中区域。因此，环150可以是有用的附加件，特别是因为空间限制通常意味着臂570的子段17b”、17c”通常需要彼此并排定位，并且这样原本将在外端处具有小的曲率半径，且因此更容易失效。在图中所示的示例中，环150是菱形的。然而，环150可以具有任何合适的形状。例如，环150可以是圆形的，这对于曲率半径是有益的。

参考图15，现在将描述第六示例的致动器组件640(以下称为“第六致动器组件”)。第六致动器组件640等同于第一致动器组件140，除了臂670的第一段70a”和第三段70c”各自遵循更复杂的路径，该路径在SMA丝80下方并且在静态压接部51的外部周围(即，距中心线(Z轴)更大的距离)朝向空间S’在静态压接角处的角通过。臂670的第一段70a”和第三段70c”然后通过扭结100”’连接，该扭结100”’等同于上述扭结100，除了它向内延伸而不是向外延伸。可以理解的是，尽管存在这些差异，扭结100”’对强对角线D₁和弱对角线D₂中的刚度的影响与上述相同。

参考图16，现在将描述第七示例的致动器组件740(以下称为“第七致动器组件”)。第七致动器组件740等同于第一致动器组件140，除了每个臂770在移动压接角周围延伸而不是在静态压接角周围延伸。每个臂770且特别是每个臂的第二段770b在移动压接角处从移动压接支撑件60d”下方(即，在较小的Z轴高度)通过。在该示例中，第二段770中的扭结100与第一致动器组件100的上述扭结100相同。可以理解，由于臂770的第二段770b占据了与移动压接部61’及其支撑件60d’不同的垂直(Z轴高度)区域，因此在这种情况下可以有更大的设计自由度。然而，一般来说，这种致动器组件可以具有比本文描述的其他致动器组件更大的总Z轴高度。

第八示例

参考图17，现在将描述第八示例的致动器组件840(以下称为“第八致动器组件”)。第八致动器组件840与第一致动器组件140相同，除了两个区域801，在这两个区域中已经施加了阻尼物，使得阻尼物连接每个臂170的一部分和支撑平台50a(或其他元件)的相应部分。每个区域801包括扭结100之一的至少一部分。阻尼物用于减少移动平台60’的振动。阻尼物可以是例如阻尼凝胶或软胶。

在没有扭结臂的致动器组件中，阻尼物可以施加在移动压接支撑件60d和支撑平台50a之间。然而，以这种方式施加阻尼物可能相对困难。此外，在阻尼物需要光固化的情况下，照射以这种方式施加的阻尼物可能相对困难。

相反，扭结100提供了区域801，通常更容易将阻尼物施加到该区域。例如，阻尼物可以在扭结100处施加在臂70的子段之间和两侧上。通常也更容易照射区域801中的阻尼物，因为它们暴露得更多。此外，臂170的与阻尼物接触并因此被阻尼物阻尼的表面积可以更容易地被控制(例如增加)，从而能够实现更受控(例如更高)的阻尼。此外，因为臂170在扭结100处的位移比移动平台60a’的位移具有更小的幅度，所以区域801可以更适合阻尼物，因为阻尼物中的应变将更小，因此阻尼物撕裂的可能性更小。因此可以提高可靠性。

第九示例

参考图17A，现在将描述第九示例的致动器组件940(以下称为“第九致动器组件”)。第九致动器组件940与第一致动器组件140相同，除了每根SMA丝80’进一步朝向移动压接角延伸，并且每个移动压接部61’定位成更靠近移动压接角。这说明SMA丝80’可以相对于例如平台50’、60’的主侧面50b’、60b’非居中定位。

其他变型

应当理解，上述实施例可以有许多其他变型。

例如，每个臂可以具有更少或更多的(子)段。一个或更多个(子)段可以沿着不同形状的路径(例如，当投影到X-Y平面上时的弯曲路径)在不同方向上延伸，和/或可以具有不同的形状(例如，沿着其长度变化的横截面)。

不同示例的特征可以被组合。例如，第四致动器组件440的次级扭结200和/或第五致动器组件540的环150可以包括在任何其他致动器组件140、240、340、640、740的扭结中。

代替在扭结处具有平行子段的臂，臂可以具有大致上彼此成锐角定向(例如，当投影到XY平面上时)的子段。这种扭结可以称为V形扭结。扭结处的子段不需要彼此并排放置。

通常，扭结可以具有任何形状，该形状在距中心线更大的距离处产生更大的臂长，从而降低强对角线的刚度，同时(如果有的话)仅将弱对角线的刚度降低相对小的量。这可以通过在静态(或移动)压接角处占据SMA丝之间的间隙的臂以实用的方式实现。

上述原理也适用于具有不同静态平台和移动平台、不同占用空间、不同臂配置等的致动器组件。

例如，静态平台和移动平台可以具有任何合适的形状。由于臂大致上围绕平台布置，这可能反过来影响臂的形状。

静态平台和移动平台(以及权利要求中提到的“第一零件和第二零件”)可以由任何数量的一个或更多个部件形成。

占用空间可以允许臂更多地使用SMA丝外侧的空间。例如，臂可以在静态压接角之间通过，然后在静态压接角的外侧周围通过。

与上述示例相反，每个臂可以具有这样一个端点，该端点与立方体空间的主对角线的距离明显不同于另一个端点。在这种情况下，强对角线D1可能基本上不平行于立方体空间的主对角线。

臂不需要具有关于中心线(Z轴)的双重旋转对称性。相反，臂可以具有关于穿过移动压接角的空间的主对角线(即，线Y＝X)的镜像对称。换句话说，两个臂可以例如在移动角中的一个附近开始，并且一个臂可以顺时针延伸，而另一个臂可以朝着另一个移动压接角逆时针延伸(参见图5)。

可以有不同数量的臂，例如三个或四个或更多个臂。在这种情况下，可能有多个更强和更弱的对角线。

移动平台不需要只在X-Y平面内移动。

致动器组件不需要被配置成支撑透镜组件，并且例如可以被配置成支撑另一种类型的光学元件、图像传感器等。平台不需要包括孔。

致动器组件不需要用在相机中。

Z轴(以及权利要求中提到的“第一轴线”)可能不对应于光轴。Z轴可以对应于垂直于由移动平台和/或支撑平台的平面表面限定的平面的线。Z轴可以对应于垂直于由移动平台的移动方向限定的平面的线。

致动器组件可以是任何类型的组件，其包括第一零件和相对于第一零件可移动的第二零件。致动器组件可以是下列设备中的任一种或可以设置在下列设备中的任一种中：智能手机、用于智能手机的保护性盖或壳、用于智能手机或电子设备的功能盖或壳、相机、可折叠智能手机、可折叠智能手机相机、可折叠消费电子设备、具有折叠光学器件的相机、图像捕捉设备、阵列相机、3D感测设备或系统、伺服电机、消费电子设备(包括家用电器，如真空吸尘器，洗衣机和割草机)、移动或便携式计算设备、移动或便携式电子设备、膝上型电脑、平板计算设备、电子阅读器(也称为电子书阅读器或电子书设备)、计算附件或计算外围设备(例如，鼠标、键盘、头戴式耳机(headphone)、耳机(earphone)、耳塞(earbud)等)、音频设备(例如，头戴式耳机、头戴式受话器(headset)、耳机等)、安全系统、游戏系统、游戏附件(例如，控制器、头戴式受话器、可佩戴控制器、操纵杆等)、机器人或机器人设备、医疗设备(例如，内窥镜)、增强现实系统、增强现实设备、虚拟现实系统、虚拟现实设备、可佩戴设备(例如，手表、智能手表、健身跟踪器等)、无人机(空中、水中、水下等)、飞机、航天器、潜水器、交通工具、自动驾驶交通工具(例如，无人驾驶汽车)、工具、外科手术工具、遥控器(例如，用于无人机或消费电子设备)、衣服(例如，服装、鞋子等)、开关、刻度盘或按钮(例如，灯开关、恒温器刻度盘等)、显示屏、触摸屏、柔性表面和无线通信设备(例如，近场通信(NFC)设备)。应当理解，这是示例性设备的非穷举列表。

本文描述的致动器组件可以用在适合于以下项的设备/系统中：图像捕捉、3D感测、深度测绘、航空测量、陆地测量、在太空中的测量或从太空中测量、水文测量、水下测量、场景检测、碰撞警告、安保、面部识别、增强和/或虚拟现实、交通工具中的高级驾驶员辅助系统、自动化交通工具、游戏、手势控制/识别、机器人化设备、机器人化设备控制、非接触型技术、家用自动化、医疗设备以及触觉。

参考图18，将详细描述根据本发明实施例的致动器组件1040。致动器组件1040包括子组件1050(以下称为“静态零件”)和另外的子组件1060(以下称为“移动零件”)。移动零件1060可以支撑各种不同的部件，例如类似于上述实施例中的透镜组件20。致动器组件1040与上面参考图2A和图2B描述的致动器组件40基本相同，除了致动器组件1040包括四个挠曲件1070₁、1070₂、1070₃、1070₄，与图2A和图2B所示的两个臂(即挠曲件)形成对照。在所示的实施例中，四个挠曲件1070₁、1070₂、1070₃、1070₄与移动零件1060一体形成。然而，四个挠曲件1070₁、1070₂、1070₃、1070₄中的一个或更多个可以替代地与静态零件1050一体形成，或者实际上作为独立零件提供。致动器组件1040具有对应于图1所示光轴O的主轴线。

被称为静态零件1050的子组件基本上与上面参考图2A和图2B描述的支撑平台50相同。

移动零件1060相对于静态零件1050的运动由包括四根SMA丝1080的横向致动装置驱动。静态零件1050形成有压接部1051(以下称为“静态压接部”)，而移动平台形成有压接部1061(以下称为“移动压接部”)。压接部1051、1061压接四根SMA丝1080，以便将它们连接到静态零件1050和移动零件1060。类似于先前的实施例，SMA丝1080可以垂直于主轴线或者与垂直于主轴线的平面成小角度。

在操作中，SMA丝1080被选择性地驱动，以在任何横向方向(即垂直于主轴线的方向)上相对于静态零件1050移动该移动零件1060，如现在将解释的。

移动零件1060以与上面参考图2A和图2B描述的布置相同的方式被驱动。

致动器组件1040还可以包括例如四个滑动(或滚珠)轴承1100，其以类似于上述实施例的方式操作。

每个移动压接部1061由从移动零件1060延伸的压接支撑部分1062支撑。压接支撑部分1062可以是通过任何合适的方式(例如通过焊接或粘合剂)附接到移动零件1060的独立部件，或者替代地，压接支撑部分1062可以与移动零件1060一体形成，从而形成整体部件。

虽然可移动零件1060在技术上是八边形的多边形，但是由于形状的比例，可移动零件1060可以被认为是具有四个角的正方形。在图18所示的四根丝SMA致动器组件1040中，只需要在移动零件1060的两个相对的角上布置移动压接部1061，并且对于静态零件1050在另一组相对的角上布置静态压接部1051。如本领域技术人员将理解的，在这些图中所示的布置中，将SMA丝1080连接在移动压接部1061和静态压接部1051之间将产生这样的致动装置，该致动装置能够在垂直于主轴线的运动平面中沿各种不同方向驱动运动。

从图18中可以看出，利用上述移动压接部1061的布置，两个挠曲件1070₁、1070₃在没有移动压接部1061的角周围延伸，而另外两个挠曲件1070₂、1070₄通过包括移动压接部1061的角布设，即当沿着主轴线观察时，挠曲件1070₂、1070₄与移动压接部1061重叠。在根据本发明的该实施例中，挠曲件1070₂、1070₄被布置成在移动压接部1061下方通过。这有利地将致动器组件1040的横向范围保持在最小，并将致动器组件1040在主轴线上的深度保持在最小。

图19示出了图18中所示的致动器组件1040的实施例的俯视图。如该图中所示，两个挠曲件1070₁、1070₃在移动零件1060周围延伸，并经过静态压接部1051。另外两个挠曲件1070₂、1070₄在压接支撑部分1062下方通过，使得当沿着主轴线观察致动器组件1040(即当如图5所示从端部观察)时，压接支撑部分1062和挠曲件1070₂、1070₄重叠。应当理解，如果挠曲件1070₂、1070₄改为在压接支撑部分1062周围布设，这可能增加致动器组件1040的整体横向尺寸。因此，通过重叠挠曲件1070₂、1070₄和移动压接部1061，致动器组件1040的占用空间保持为最小。

挠曲件1070₂、1070₄可以以多种不同的方式与压接支撑部分1062分隔。

在图19中，这种分隔是通过每个压接支撑部分1060中的切口区段或凹口1067实现的，该切口区段或凹口1067与挠曲件1070₂、1070₄中的所重叠的一个对齐。具体而言，当沿着主轴线观察时，每个凹口1067部分地延伸穿过压接支撑部分1060，并且位于压接支撑部分1060的一侧，挠曲件1070₂、1070₄在该侧最高，即最接近其与移动零件1060的连接处。

图20A-图20D示出了如何可以实现挠曲件1070₂、1070₄和压接支撑部分1062之间的分隔的不同子实施例。这些实施例中的每一个的特征可以与上述凹口1067相结合。图20A-图20D中的每一个示出了通过图19中所示的线A-A的截面图。

在图19所示的实施例中，挠曲件1070₁、1070₂、1070₃、1070₄相对于移动零件1060偏离中心安装。两个挠曲件1070₁、1070₄从第一挠曲件连接区段1073₁延伸，而另外两个挠曲件1070₂、1070₃从第二挠曲件连接区段1073₂延伸。从图19中可以明显看出，第一挠曲件连接区段1073₁和第二挠曲件连接区段1073₂偏离中心定位，并且位于移动零件1060上，比靠近移动压接部分1061更靠近静态压接部分1051。

图20A-图20D示出了通过图19中所示的线A₁-A₂的截面图，聚焦在标记为A₁的线的端部，具有用于提供分隔1064的各种布置。相对端A₂可以具有与在A₁处所示相同的布置，或者具有挠曲件1070₃与压接支撑部分1062重叠的替代布置。在图20A所示的截面图中，可以看出各种部件是如何相对于彼此布置的。从底部向上开始是基座部件1400、静态零件1500和导电部件1501。然后是包括弹簧臂1070₂的移动零件1060。压接支撑部分1062从移动零件1060延伸，并且布置在其端部处的是移动压接部1061。在图20A所示的实施例中，压接支撑件1062的下侧包括变薄区段1063，在该变薄区段中压接支撑件1062与弹簧臂1070₂重叠。该变薄区段1063在弹簧臂1070₂和压接支撑部分1062之间形成分隔1064。如前所述，该分隔1064可以有助于防止它们之间的干涉，并防止挠曲件1070₂和压接支撑部分1062之间形成短路。

图20B至图20D示出了与图20A所示的部件相同的部件，因此将只讨论不同的特征。在图20B所示的子实施例中，代替压接支撑部分1062上的变薄区段，挠曲件1070₂包括变薄区段1072。该变薄区段1072还在挠曲件1070₂和压接支撑部分1062之间形成分隔1064，这有助于避免它们之间的干涉，并有助于避免短路的形成。

图20C示出了另外的子实施例，其中压接支撑部分1062包括变薄区段1063，并且挠曲件1070₂也包括变薄区段1072。这两个变薄区段1063、1072一起形成分隔1064，当与仅具有如图20A和20B所示的一个变薄区段相比时，该分隔1064可以增加。另外，通过在压接支撑部分1062和挠曲件1070₂中的每一者中具有变薄区段，可以在每个部件中具有更浅的变薄区段，从而潜在地减少变薄区段对每个部件执行其功能的能力的影响。这可能与挠曲件1070₂特别相关，其中当移动零件1060在使用中移动时，产生变薄区段可能影响挠曲件1070₂响应变形的方式。

图20D示出了另一个实施例，其中压接支撑部分1062安装在可移动零件1060的上表面1065上。这种布置将用于沿着主轴线移动压接支撑部分1062，因此有助于压接支撑部分1062和挠曲件1070₂之间的分隔1064。从该图中还可以看出，压接支撑部分1062还包括沿着主轴线远离可移动零件1060延伸的区段1066。该区段1066也提供了压接支撑部分1062和挠曲件1070₂之间的分隔1064。在该实施例中，压接支撑部分1062也包括变薄区段1063，如前面的图中所述。

再次参考图19，不与压接支撑部分1062重叠的挠曲件1070₁、1070₃(即那些经过静态压接部分1051的挠曲件)可以成形为沿着主轴线提供预加载，以便沿着支承表面保持移动零件。如果该成形应用于这些挠曲件1070₁、1070₃，则可能没有必要在与移动压接部分1062重叠的其他挠曲件1070₂、1070₄上应用任何特定的成形。这可能有助于确保该分隔1064被保持为最大。

图21示出了图18中所示的替代实施例的致动器组件2040的俯视图。在该实施例中，致动器组件2040基本上与图18中所示的致动器组件相同，除了挠曲件连接区段2073₁、2073₂居中布置，使得它们在静态压接部分2051和移动压接部分2061之间等距间隔。

在该实施例中，两个挠曲件2070₂、2070₄与压接支撑部分2062重叠，使得两个挠曲件2070₂、2070₄位于压接支撑部分2062的顶部。这与图19所示的实施例形成对比，在图19的实施例中挠曲件1070₂、1070₄和压接支撑部分1062重叠，使得压接支撑部分1062位于挠曲件1070₂、1070₄的顶部。

图22A-图22C示出了通过图21所示的线A₁-A₂的截面图，聚焦在标记为A₁的线的端部，具有用于提供分离2064的各种布置。相对端A₂可以具有与在A₁处所见相同的布置或替代布置。在图22A-图22C所示的每个不同版本中，挠曲件2070₂向上拱起，使得至少在与压接支撑部分2062重叠的部分中，挠曲件2070₂在不同的平面中延伸到压接支撑部分2062，以至少部分地提供挠曲件2070₂和压接支撑部分2062之间的分隔。挠曲件2070₂可以仅在挠曲件2070₂的靠近压接支撑部分2062的部分中以这种方式呈拱形。

至少在图22A所示的实施例中，压接支撑部分2062也附接到移动零件2060的下侧。这需要增加轴承2101的高度，以便接纳从移动零件的下侧延伸的压接支撑部分2062。此外，在图22A所示的实施例中，压接支撑部分2062包括变薄区段2063，这也有助于在挠曲件2070₂和压接支撑部分2062之间形成分隔2064。

图22B示出了替代的子实施例，其包括图22A所示实施例的所有特征。此外，在该子实施例中，挠曲件2070₂包括变薄区段2072，其也有助于分隔2064的形成。

图22C示出了实现挠曲件2070₂和压接支撑部分2062之间的分隔2064的另外的子实施例。在该实施例中，压接支撑部分2062完全附接在可移动零件2060的底表面上。为了确保可移动压接部2061沿着主轴线处于适当位置，压接支撑部分2062最初在垂直于主轴线的方向上延伸，远离可移动零件2060，然后，一旦它不再与挠曲件2070₂重叠，压接支撑部分2062部分地沿着主轴线向上延伸，以确保可移动压接部2061位于正确的平面中。

图23A示出了图20D所示实施例的变型。除了为了在挠曲件1070₂和压接支撑部分1062之间形成分隔1064的变薄区段1063和沿着主轴线远离可移动零件1060延伸的区段1066之外，绝缘层1075也布置在挠曲件1070₂的顶部。绝缘层1075布置在挠曲件1070₂的面向压接支撑部分1062的表面上。该绝缘层1075可以提供用于防止挠曲件1070₂和压接支撑部分1062之间形成短路的另外的装置。在该实施例和其他实施例中，可以在挠曲件的面向静态零件的表面上提供另外的绝缘层，以防止与静态零件(或安装在其上的部件)形成短路。可以理解，挠曲件的两个表面上的绝缘层可以通过单一工艺(例如通过涂覆挠曲件)形成。

图23B示出了图23A所示实施例的变型，并且是相同的，除了绝缘层1075不是如图23A所示布置在挠曲件1070₂上，而是将绝缘层1077布置在压接支撑部分1062上。在该变型中，绝缘层1077布置在变薄区段1063中在面对挠曲件1070₂的表面上。类似于在图23A中看到的绝缘层1075，绝缘层1077也可以提供用于防止在挠曲件1070₂和压接支撑部分1062之间形成短路的另外的装置。

图23C示出了另外的变型，其实际上是图23A和23B所示实施例的组合。在该实施例中，包括设置在挠曲件1070₂上的绝缘层1075和设置在压接支撑件1062上的绝缘层1077两者。包含绝缘层1075、1077两者可以进一步降低在压接支撑件1062和挠曲件1070₂之间形成短路的可能性。

虽然上述绝缘层1075、1077在图20D所示的致动器组件的实施例中示出，但是绝缘层1075、1077可以包括在本文描述的任何实施例中。

图24-图30示出了不同的可移动零件3060的俯视图，这些可移动零件具有多达四个挠曲件3070₁、3070₂、3070₃、3070₄，并且一些挠曲件3070₁、3070₂、3070₃、3070₄围绕主轴线具有不同的布置。在存在的情况下，每个挠曲件3070₁、3070₂、3070₃、3070₄包括相应的支脚3071₁、3071₂、3071₃、3071₄。挠曲件3070₁、3070₂、3070₃、3070₄(如果存在的话)通过多达四个挠曲件连接区段3073₁、3073₂、3073₃、3073₄连接到可移动零件3060。虽然每个可移动零件3060在技术上是八边形的多边形，但是由于它们的特定比例，每个可移动零件可以近似为具有四个角的正方形。为了便于参考，虽然图24-图30中的每个实施例是不同的，但是各个部件被给予相同的参考数字。

图24A示出了可移动零件3060，其包括在可移动零件3060的两个角周围延伸的两个挠曲件3070₁、3070₂。挠曲件3070₁、3070₂被布置和延伸成，使得它们的支脚3071₁、3071₂聚集在一起以彼此交会。如本领域技术人员将会理解的，并且参考先前的附图，挠曲件3070₁、3070₂中的一个在其周围延伸的角中的一个可以包括压接支撑部分。图24B示出了类似的实施例，除了支脚3071₁、3071₂被少量分开。表1(如下)显示了与图24A中所示可移动零件2060相关的刚度数据。

表1.沿运动平面的不同方向的刚度(单位为N/m)和附图所示若干种布置的对角线刚度比值的有限元分析数据。

图25示出了包括两个挠曲件3070₁、3070₂的可移动零件3060，每个挠曲件在可移动零件3060的两个角周围延伸，并且其中两个挠曲件3070₁、3070₂一起围绕主轴线延伸约360°。在图示的示例中，每个挠曲件3070₁、3070₂在两个角之间的中间开始和结束，并且以双重旋转对称布置。其他示例不需要具有这些特征中的一者或两者。表1(上文)显示了图25中所示的可移动零件2060的刚度数据。

图26示出了包括三个挠曲件3070₁、3070₂、3070₃的可移动零件3060。从该图中可以看出，三个挠曲件3070₁、3070₂、3070₃围绕主轴线延伸超过270°。表1(上文)显示了与图26中所示的可移动零件3060相关的刚度数据。从表中可以看出，静态对角线刚度和移动对角线刚度的比值为1.29，因此该比值小于本发明第三方面所需的比值。x和y方向的刚度比值也是如此。

图27A示出了可移动零件3060，其包括四个挠曲件3070₁、3070₂、3070₃、3070₄，这些挠曲件被布置成具有双重镜像对称和四重旋转对称两者。图27B示出了可移动零件3060，其包括四个挠曲件3070₁、3070₂、3070₃、3070₄，这些挠曲件具有与图27A所示相同的总体布置，不同之处在于每个挠曲件3070₁、3070₂、3070₃、3070₄包括各自的向内扭结部分3100₁、3100₂、3100₃、3100₄。图27C示出了另一个可移动零件3060，其包括四个挠曲件3070₁、3070₂、3070₃、3070₄，这些挠曲件具有与图27A所示相同的总体布置，不同之处在于每个挠曲件3070₁、3070₂、3070₃、3070₄包括各自的向外扭结部分3100₁、3100₂、3100₃、3100₄。表1(上文)显示了图27A、图27B和图27C中所示的可移动零件3060的刚度数据。

图28示出了可移动零件3060，其包括四个挠曲件3070₁、3070₂、3070₃、3070₄，其中一对挠曲件3070₁、3070₄共用公共连接区段3073₁，并且其中另一对挠曲件3070₂、3070₃共用另一公共连接区段3073₂。另外，连接区段3073₁、3073₂是偏移的，使得每个连接区段3073₁、3073₂相比于可移动零件的一个角更靠近另一个角。表1(上文)显示了图28中所示的可移动构件3060的刚度数据。

图29示出了可移动零件3060的俯视图，该可移动零件3060包括四个挠曲件3070₁、3070₂、3070₃、3070₄，每个挠曲件通过单独的相应连接区段3073₁、3073₂、3073₃、3073₄连接到可移动零件3060。连接区段3073₁、3073₂、3073₃、3073₄居中地布置在可移动零件3060的各个角之间，并且四个挠曲件3070₁、3070₂、3070₃、3070₄一起围绕主轴线延伸360°。表1(上文)显示了与图29中所示的可移动零件3060相关的刚度数据。

图30示出了可移动零件3060的俯视图，该可移动零件3060包括四个挠曲件3070₁、3070₂、3070₃、3070₄，每个挠曲件通过单独的相应连接区段3073₁、3073₂、3073₃、3073₄连接到可移动零件3060。然而，与图29所示的示例不同，连接区段3073₁、3073₂、3073₃、3073₄是偏移的，使得它们在可移动零件的角之间不是等间距的。表1(上文)显示了图30中所示的可移动零件3060的刚度数据。

从针对图27-图30的表1中的数据可以看出，所有这些都对应于可移动零件3060，该可移动零件包括至少四个挠曲件3070₁、3070₂、3070₃、3070₄，取X方向和Y方向中的每一个的刚度，这两个轴线满足本发明第三方面的比值要求，此外取满足本发明第三方面的比值要求的静态对角线和移动对角线中的每一个的刚度。作为参考，移动对角线是对应于在移动压接部的方向上移动可移动零件，从而移动挠曲件的方向，而静态对角线是对应于在朝向静态压接部的方向上移动可移动零件，从而移动挠曲件的方向。由于这些实施例中的挠曲件的构造，所以静态对角线和移动对角线的刚度比值将是最高的，因此任何其他对的正交轴线的刚度比值将小于针对静态对角线和移动对角线的比值。因此，这些其他正交轴线也将满足本发明第三方面的要求。因此，这些表证明了运动平面内刚度对称性得到了改善。

在任何一个具有两个彼此相邻的支脚的实施例中(例如见图24A，图26-图28)，这些支脚可以单独设置，如图所示，或者可以组合成单个整体支脚。这些选项中的每一个在例如噪音、容易制造等方面都可以有其各自的优点。

图31示出了可移动零件4060，其仅包括两个不与移动压接部分重叠的挠曲件4070₁、4070₂。表1(上文)显示了图31中所示的可移动零件4060的刚度数据。从该表明显的是，对角线刚度比值大于本发明第三方面所需的比值，并且明显大于根据本发明的上述可移动零件3060的比值。

已知致动器组件的进一步细节

具体参考图32至图34，现在将更详细地描述已知的致动器组件40，以便有助于理解下面描述的实施例。

如上参考图1、图2A和图2B所述，该致动器组件40包括基座部件400、可移动零件60(本文也称为“移动平台”)和静态零件50(本文也称为“支撑平台”)。静态零件50包括两个独立的部件，即支撑部件500和导电部件501，它们彼此附连。致动器组件40还包括四根SMA丝80，每根丝在一端通过所谓的静态压接部51机械连接和电连接到静态零件50(具体地，导电部件501)，而在另一端通过所谓的移动压接部61连接到可移动零件60。

两个挠曲件70(即第一挠曲件70₁和第二挠曲件70₂)连接在静态零件50和移动零件60之间。在该示例中，挠曲件70在其一端与移动零件60一体形成，并在其另一端通过焊接点6001a、6001b或用于提供机械连接和电连接两者的任何其他合适的方式连接到静态零件50。然而，挠曲件70可以替代地与静态零件50一体形成，或者实际上作为独立零件提供。

静态压接部51和移动压接部61分别通过压接支撑件50d、60d设置在静态零件50和移动零件60上。在这样的示例中，静态压接支撑件50d(每个都包括一个静态压接部51)与静态零件50是一体的，并且移动压接支撑件60d(每个都包括两个移动压接部61)是通过焊接点6002或用于提供机械连接和电连接两者的其他合适的方式附接到移动零件60的独立部件。

如上参考图18所述，虽然可移动零件60在技术上是八边形的多边形，但是由于其比例，可移动零件60可以被认为是具有四个角的正方形。移动压接部61布置在移动零件60的两个相对的对角上，而静止压接部51布置在静态零件50的另外两个角上。

静态零件50的导电部件501被分成六个独立段5001-5006。第一段5001(以下称为“公共静态段”)经由焊接点6001a电连接和机械连接到挠曲件70₁的第一端，并且在一端具有用于电连接到集成电路(IC)30的端子。第二段5006通过焊接点6001b连接到第二挠曲件70₂的第一端。在该实施例中，第二挠曲件70₂仅执行机械(即偏置)功能。在其他实施例中，第二挠曲件70₂也可以执行类似于第一挠曲件70₂的电气功能。剩余的四个段5002-5005(以下称为“丝段”)各自在一端具有用于连接到IC 30的端子，而在另一端连接到静态压接部51。每个段5001-5006在导电部件501内彼此电绝缘。换句话说，每个段5001-5006在导电部件501内提供单独的电流路径。

基座部件400、可移动零件60和静态零件50(即，支撑部件500和导电部件501)可以各自采用图案化金属片材的形式，例如蚀刻或加工的不锈钢，并且可以各自涂覆电绝缘电介质材料。电介质涂层或其他类型的电介质层可以包括一个或更多个允许电连接通过的窗口。

代替焊接点6001a和6001b，用于提供机械连接和电连接的任何其他合适的方式可以用于连接这些段5001、5006和挠曲件70₁、70₂。

导电部件501、挠曲件70、可移动零件60、压接支撑件50d、60d、压接部51、61和SMA丝80被电连接。因此，如图33所示，当公共静态段5001的端子和丝段5002-5005的端子连接到IC 30时，来自IC 30的电流可以流过由段5001-5005、挠曲件70₁、可移动零件60、压接支撑件50d、60d、压接部51、61和SMA丝80提供的电流路径。更具体地说，来自IC 30的电流可以通过公共静态段5001和第一挠曲件70₁“向上”流到可移动零件60，并且可以通过四根SMA丝80和静态零件50的相应的丝段5002-5005中的一个或更多个“向下”流到IC 30。这种布置允许IC 30控制流过每根SMA丝80的电流量，从而允许IC 30控制每根SMA丝80的长度，以便如上所述相对于静态零件50移动可移动零件60。可以理解，电流可以在任一方向上流动。

如上参考图1所述，移动零件60支撑透镜组件20并连接到透镜托架21。此外，设置在透镜托架21和透镜保持器23之间的轴向致动器装置24被布置成驱动透镜保持器21和透镜22沿着光轴O相对于透镜托架21移动，以将入射光聚焦到相机模块1的图像传感器6上。轴向致动器装置24可以是任何合适的类型，例如音圈电机(VCM)或SMA丝的装置。在下文中，元件21、23、24将统称为自动对焦(AF)致动器组件7000。然而，可以理解，致动器组件7000可以执行除AF之外的功能。

图34示出了闭环VCM AF致动器组件形式的AF致动器组件7000，其安装在SMA致动器组件40的移动零件60上，使得AF致动器组件7000与移动零件60一起移动。柔性印刷电路(FPC)7010将AF致动器组件7000电连接到其控制电路，例如IC 30。

在该示例中，FPC 7010包括四个电连接部7011-7014。这些连接部7011-7014可以包括电源连接部、接地连接部和两个数据连接部(例如，所谓的Vdd、Vss、SDA和SCL连接部)。

将FPC用于AF致动器组件7000和IC 30之间的电连接可能有某些缺点。例如，由于FPC需要装配在相机模块外壳内而不能妨碍(例如通过阻碍透镜托架的运动)OIS和/或AF性能，因此可能需要精确成形的FPC，并且可能需要复杂的相机模块组装过程。由于AF致动器组件和FPC两者都需要装配在相机模块外壳内，因此可能需要对AF致动器组件施加更严格的尺寸限制(例如，更小的横向尺寸限制)，以便为FPC提供足够的空间。FPC还会增加相机模块的材料清单(BOM)成本。

SMA致动器组件的进一步实施例

参考图35至图42，现在将描述SMA致动器组件8000的另外的实施例。当与例如上面参考图34描述的AF致动器组件7000’结合时，致动器组件8000消除了使用FPC对AF致动器组件7000’和IC 30电连接的需要。

致动器组件8000基本上与上述已知的致动器组件40相同，除了下面描述的不同之处。

像已知的致动器组件40一样，致动器组件8000包括静态零件8002(由导电部件8300和支撑部件(未示出)形成)、可移动零件8001和连接在它们之间的一组挠曲件。然而，如将在下面更详细解释的，致动器组件8000具有五个这样的挠曲件。

同样像已知的致动器组件40一样，致动器组件8000具有设置在静态零件8002、挠曲件和可移动零件8001中的电流路径(以下称为“OIS电流路径”8000a)，用于驱动SMA丝80’。然而，致动器组件8000包括四个另外的电流路径(以下称为“AF电流路径”8000b)。AF电流路径8000b也设置在静态零件8002、挠曲件和可移动零件8001中(例如，通过、穿过或在其上)。AF电流路径8000b允许AF致动器7000’经由SMA致动器组件8000而不是例如经由FPC电连接到IC 30。这是通过以下方式实现的：

-与已知的致动器组件40的两个挠曲件70₁、70₂形成对比，具有五个挠曲件8201a、8211a、8212a、8213a、8214a来将静态零件8002和可移动零件8001电连接和机械连接；

-与已知的致动器组件40的六个段5001-5006形成对比，将静态零件8002的导电部件8300分成九个段8301-8305、8311-8314；和

-与已知的致动器组件40的未分割的可移动零件60形成对比，将可移动零件8001分成五个段8101/8201、8111/8211、8112/8212、8113/8213、8114/8214。

五个挠曲件包括一个挠曲件8201a(以下称为“公共挠曲件”)，其形成OIS电流路径8000a的一部分。剩余的四个挠曲件8211a-8214a(本文也称为“AF连接挠曲件”)各自形成AF电流路径8000b之一的一部分。在图示的实施例中，五个挠曲件8201a、8211a-8214a与移动零件8001一体形成。然而，五个挠曲件8201a、8211a-8214a中的一个或更多个可以替代地与静态零件8002一体形成，或者实际上作为独立零件提供。

如上所述，静态零件8002的导电部件8300被分成九个段8301-8305、8311-8314。像已知的致动器组件40的导电部件501一样，导电部件8300包括形成OIS电流路径8000a的一部分的一个“公共静态段”8301和四个“丝段”8302-8305。公共静态段8301经由连接部(例如焊接点)9101电连接和机械连接到公共挠曲件8201a的第一端，并且具有用于电连接到IC30的端子；并且丝段8302-8305各自在第一端具有用于连接到IC 30的端子，而在第二端连接到静态压接部8302a-8305a。

导电部件8300包括另外四个段8311-8314(以下称为“静态AF段”)。每个静态AF段8311-8314构成AF电流路径8000b之一的一部分。每个静态AF段8311-8314包括用于电连接到IC 30的端子，以及用于机械连接和电连接到相应挠曲件8211a-8214a的第一端的连接部(例如焊接点)9111-9114。如在已知的致动器40中一样，导电部件8300的段8301-8305、8311-8314在导电部件8300内彼此电绝缘。

如上所述，可移动零件8001被分成五个段8101/8201、8111/8211、8112/8212、8113/8213、8114/8214。第一段8101/8201(以下称为“可移动公共段”)电连接和机械连接到公共挠曲件8201a的第二端。剩余的四个段8111/8211、8112/8212、8113/8213、8114/8214(以下称为“可移动AF段”)各自电连接和机械连接到AF连接挠曲件8211a-8214a之一的第二端。因此，可移动AF段8111/8211、8112/8212、8113/8213、8114/8214各自形成AF电流路径8000b之一的一部分。

在所示实施例中，可移动零件8001包括上层8100(以下称为“压接层”)和下层8200(以下称为“挠曲层”)。压接层8100包括移动压接部8101a、8101b，并且挠曲层8200包括连接到挠曲件8201a、8211a-8214a的连接部。压接层8100的段8101、8111-8114在压接层8100内彼此电绝缘。挠曲层8200的段8201、8211-8214在挠曲层8200内彼此电绝缘。层8100、8200(特别是各层的相应段，例如段8101和8201)经由穿过绝缘层(未示出)中的窗口的连接器(例如焊接点)9201、9211-9214(见图39)彼此机械连接和电连接。因此，也由于段8101、8111-8114、8201、8211-8214的布置(例如重叠)，可移动零件8200形成整体结构。压接层8100和挠曲层8200之间的绝缘层可以例如通过对层8100、8200中的至少一个进行涂覆来形成。涂层可以是聚合物涂层，或者涂层可以是诸如DLC或CrC-DLC的涂层。后一种类型的涂层可以是薄的、耐磨的和低摩擦的，并且也可以用作包括滑动轴承100的轴承装置的一部分。代替焊接点，连接器9201、9211-9214可以包括焊料、导电粘合剂或压敏和热敏导电膜，例如ACF。

在其他实施例中，可移动零件8001可以具有单层，该单层包括移动压接部8101a、8101b和连接到挠曲件8201a、8211a-8214a的连接部。图47示出了这种实施例的示意电路图。

在图示的实施例中，四个挠曲件8201a、8211a、8213a、8214a(以下称为“外挠曲件”)围绕光轴O以弧形延伸，并基本上环绕柔性层8200的外周，并且一个挠曲件8212a(以下称为“内挠曲件”)围绕光轴O以弧形延伸并基本上环绕柔性层8200的内周。然而，其他实施例可以具有其他布置。内部挠曲件8212a可以被配置为相对于外部挠曲件8201a、8211a、8213a、8214a提供少量刚度，使得由挠曲件8201a、8211a-8214a提供的对角线刚度比值主要由四个外部挠曲件8201a、8211a、8213a、8214a确定。外部挠曲件8201a、8211a、8213a、8214a可以如上关于致动器组件1040或2040所述进行布置(参见图18-图20D、图23A-图23C；图21-图22)。

可移动零件8001通常包括用于连接到AF致动器组件7000’的端子8000c(见图42)。端子8000c可以设置在压接层8100上。例如，端子8000c可以采取焊盘的形式。端子8000c可以设置在成型结构上，以便于连接。端子8000c的特定布置可能取决于致动器组件8000被配置为与之一起使用的特定的AF致动器组件7000’。

如图38所示，挠曲层8200的五个段8201、8211-8214中的每一个经由挠曲件8201a、8211a-8214a(并且通过焊接点9101、9111-9114)连接到导电部件8300的段8301、8311-8314之一。

如图39所示，压接层8100的五个段8101、8111-8114中的每一个和挠曲层8200的相应五个段8201、8211-8214通过连接部(例如焊接点)9201、9211-9214连接。

具体参考图40，导电部件8300、挠曲层8200和压接层8100各自设有与光轴O(z轴)对齐的中心孔，允许光从透镜组件20传播到图像传感器6。SMA丝(图40中未示出)可以垂直于光轴O，或者相对于垂直于光轴O的平面以小角度倾斜。这些方面类似于已知的致动器组件40。

以与已知的致动器组件40类似的方式，SMA丝80’在致动器组件8000内电连接，使得当公共静态段8301的端子和丝段8302-8305的端子连接到IC 30时，电流可以通过公共静态段8301、公共挠曲件8201a、公共可移动段8201/8101、SMA丝80’(图41中未示出)和丝段8302-8305流入和流出IC 30。这由图41中的实线说明。更具体地说，来自IC 30的电流可以通过公共静态段8301和公共挠曲件8201a“向上”流到公共可移动段8201/8101(即，流到挠曲层8200的段8201之一，然后流到压接层8100的相应段8101)，并且可以通过四根SMA丝80’(图41中未示出)和静态零件8300的相应丝段8302-8305中的一个或更多个“向下”流到IC30。这种布置允许IC 30驱动可移动零件8001相对于静态零件8002的运动，如上文关于致动器组件40所述。

此外，如图41中的虚线所示，当静态零件8002的静态AF段8311、8312、8313、8314的端子连接到IC 30并且AF致动器7000’安装在可移动零件8001上(即，AF致动器7000’电连接到端子8000c等)时，电流可以经由致动器组件8000通过四个AF电流路径8000b在IC 30和AF致动器7000’之间流动，该四个AF电流路径8000b由四个静态AF段8311-8314、四个AF连接挠曲件8211a-8214a和四个可移动AF段8111/8211、8112/8212、8113/8213、8114/8214(经由静态AF段8311-8314和AF连接挠曲件8211a-8214a之间的连接部9111-9114，以及经由可移动零件8001的挠曲层8200和压接层8100之间的连接部9211-9214)提供。

在该实施例中，静态AF段8314和可移动AF段8114/8214提供经由第一AF电流路径8000b到AF致动器7000’的电源连接部，静态AF段8311和可移动AF段8111/8211提供经由第二AF电流路径8000b到AF致动器7000’的接地连接部，以及静态AF段8312、8313和可移动AF段8112/8212、8113/8213提供经由各自第三和第四AF电流路径8000b到AF致动器7000’的两个数据连接部。然而，到AF致动器7000’的每个连接部可以通过四个AF电流路径8000b中的任何一个提供。

图42示出了当AF致动器7000’安装在致动器组件8000的可移动零件8001上时(即AF致动器7000’电连接到端子8000c等)，致动器组件8000的示意电路图。如上所述，静态零件8002、挠曲件(特别是AF连接挠曲件8211a-8214a)和可移动零件8001(特别是挠曲层8200和压接层8100)包括致动器组件8000内用于连接IC 30和AF致动器组件7000’的四个AF电流路径8000b。此外，如上所述，静态零件8002、挠曲件(特别是公共挠曲件8201a)和可移动零件8001(特别是挠曲层8200和压接层8100)包括用于驱动/控制SMA丝80’的四个OIS电流路径8000a。

可选择的实施例

在上述致动器组件8000中，所有四个AF电流路径8000b都经由致动器组件8000提供。然而，可以以不同的方式(例如经由FPC)提供到AF致动器组件7000’的一个或更多个电流路径。因此，导电部件8300的段的数量、可移动零件8001的段的数量、AF连接挠曲件的数量以及它们之间的连接部的数量将相应地改变(减少)。

例如，如图43所示，仅有一个AF电流路径8000b可以被提供和/或被用于通过致动器组件8000连接IC 30和AF致动器组件7000’。在这示例中，剩余的电流路径由FPC 7010’提供。因此，导电部件8300将只需要被分成六个段(五个用于OIS电流路径8000a，并且一个用于AF电流路径8000b)，可移动零件8001将只需要被分成两个段(一个用于OIS电流路径8000a，并且一个用于AF电流路径8000b)，并且挠曲件将只需要提供两个电流路径(一个用于OIS电流路径8000a，并且一个用于AF电流路径8000b)，例如将只需要有两个挠曲件。

可替代地，仅有两个或三个AF电流路径8000b可以被提供和/或被用于经由致动器组件8000连接IC 30和AF致动器组件7000’。同样，在这样的示例中，剩余的电流路径可以由FPC提供。在仅具有两个AF电流路径的配置中，导电部件8300将仅需要被分成七个段，可移动零件8001将仅需要被分成三个段，并且例如将仅需要三个挠曲件。在仅具有三个AF电流路径的配置中，导电部件8300将只需要被分成八个段，可移动零件8001将只需要被分成四个段，并且例如将只需要四个挠曲件。

在上述实施例中，四个AF电流路径8000b与OIS电流路径8000a分离。然而，AF电流路径8000b之一和OIS电流路径8000a之一可以共用。

例如，如图44所示，由公共静态段8301、公共挠曲件8201a和公共可移动段8201/8101提供的OIS电流路径8000a(以下称为“公共电流路径”)也可以被配置为连接到AF致动器组件7000’。换句话说，公共电流路径还可以提供AF电流路径8000b(例如，提供至AF致动器组件7000’的电源连接部)。在该示例中，导电部件8300将只需要被分成八个段，可移动零件8001将只需要被分成四个段，并且挠曲件将只需要提供四个电流路径(例如，将只需要四个挠曲件，其中每个挠曲件提供单独的电流路径)。

致动器组件8000的上述实施例描述了AF致动器组件7000’需要四个AF电流路径。然而，致动器组件8000可以电连接到需要少于四个到IC 30的连接部或多于四个到IC 30的连接部的AF致动器。因此，可移动零件8001的段的数量、挠曲件的数量以及需要在致动器组件8000中提供的连接部的数量将相应地改变。

例如，如图45所示，致动器组件8000可以电连接到AF致动器组件7000”，仅需要连接IC 30和AF致动器组件7000”(例如，包括两根SMA丝的SMA自动对焦致动器)的三个AF电流路径。在这种情况下，导电部件8300将只需要被分成八个段，每个段提供单独的电流路径；可移动零件8001将只需要被分成四个段，其中三个段将用于三个AF电流路径；并且挠曲件将仅需要提供四个电流路径(即，将只需要四个挠曲件，其中每个挠曲件提供单独的电流路径)。

可选地，如图46所示，致动器组件8000可以电连接到AF致动器组件7000”，并且向AF致动器7000’提供电源连接部的AF电流路径和向SMA丝80’提供电源连接部的电流路径可以共用。在这种情况下，导电部件8300将只需要被分成七个段，每个段提供单独的电流路径；可移动零件8001将只需要被分成三个段，其中三个段全部将用于三个AF电流路径；并且挠曲件仅需要提供三个电流路径(即，将只需要三个挠曲件，其中每个挠曲件提供单独的电流路径)。

当有三个挠曲件时，这些挠曲件可以如上文关于挠曲板3060所述进行布置(见图26)。当有四个挠曲件时，这些挠曲件可以如上关于致动器组件1040或2040所述进行布置(见图18-图20D、图23A-图23C；图21-图22)。

其他变型

应当理解，上述实施例可以有许多其他变型。

例如，压接层8100可以是可移动零件8001的上层，而挠曲层8200可以是可移动零件8001的下层。

上面参考图35至图47描述的致动器组件仅被描述为被配置为可连接到AF致动器。然而，如本领域技术人员将理解的，这些致动器组件可以替代地被配置为可连接到具有电子连接部的任何其他设备。

上述致动器组件8000中的OIS电流路径8000a和AF电流路径8000b被描述为通过以下方式提供：将导电部件8300和可移动零件8001分成多个导电段，并且使导电部件8300的段和可移动零件8001的相应段经由导电挠曲件8211a-8214a电连接(其中导电部件8300的每个段在导电部件8300内是彼此电绝缘的，可移动零件8001的每个段在可移动零件8001内是彼此电绝缘的，并且每个挠曲件8211a-8214a提供一个电流路径)。然而，OIS电流路径8000a和AF电流路径8000b可以替代地由在导电部件8300、可移动零件8001和挠曲件8211a-8214a中的至少一个上(或穿过、或在其中)延伸的导电迹线提供，其中导电迹线在它们所处的致动器组件8000的部分内是彼此电绝缘的。可选地，OIS电流路径8000a和AF电流路径8000b可以由两者的组合来提供(即，由导电迹线、导电部件8300的导电段、可移动零件8001的导电段、以及导电挠曲件8211a-82114a来提供)。

Claims (67)

1.一种致动器组件，包括：

第一零件和第二零件，其中参照所述第二零件限定第一轴线；

形状记忆合金丝，其连接在所述第一零件和所述第二零件之间，用于在至少部分地垂直于所述第一轴线的一组方向中的任何一个方向上相对于所述第二零件移动所述第一零件，其中所述一组方向包括第一方向和第二方向；

一组臂，所述一组臂中的每个臂连接在所述第一零件和所述第二零件之间，并部分地围绕所述第一轴线延伸，所述一组臂被构造成提供偏置力，所述偏置力将所述第一零件相对于所述第二零件朝向第一位置偏置；

其中当所述第一零件在所述第一方向上远离所述第一位置移动时，所述一组臂具有第一刚度，并且当所述第一零件在所述第二方向上远离所述第一位置移动时，所述一组臂具有较低的第二刚度；

其中所述一组臂中的至少一个臂包括部分，所述部分被配置为相比于所述部分降低所述第二刚度，以更大的相对量来降低所述第一刚度。

2.根据权利要求1所述的致动器组件，其中所述部分远离所述第一轴线延伸或朝向所述第一轴线延伸。

3.根据权利要求1或2所述的致动器组件，其中所述部分在至少部分地垂直于所述第一方向并且至少部分地平行于所述第二方向的方向上延伸。

4.根据任一项前述权利要求所述的致动器组件，其中所述第一刚度与所述第二刚度的比值小于3：1。

5.根据任一项前述权利要求所述的致动器组件，其中所述部分对应于所述臂的至少一个发夹形部分。

6.根据任一项前述权利要求所述的致动器组件，其中所述部分包括至少一对臂段，所述至少一对臂段大体上彼此平行延伸或彼此成锐角延伸，并且在所述一对臂段的端部中的一个端部处彼此连接。

7.根据权利要求6所述的致动器组件，其中所述一对臂段彼此并排延伸。

8.根据权利要求6或7所述的致动器组件，其中每个臂段包括至少一个发夹形部分。

9.根据权利要求5至7中任一项所述的致动器组件，其中所述臂段之间的分隔在靠近所述一个端部的区域中增加。

10.根据任一项前述权利要求所述的致动器组件，其中所述部分包括在封套内蜿蜒的一个长度段的臂，所述长度段的臂远离或朝向所述第一轴线延伸。

11.根据任一项前述权利要求所述的致动器组件，包括阻尼物，所述阻尼物将所述部分连接到所述致动器组件的所述第二零件，或连接到所述致动器组件的相对于所述第二零件固定的另一零件。

12.根据任一项前述权利要求所述的致动器组件，其中每个臂被限制在围绕所述第一轴线的空间的内部或外部，其中所述空间的边界具有至少一个凹部，所述部分延伸到所述凹部中。

13.根据权利要求12所述的致动器组件，其中所述边界至少部分地由所述致动器组件的占用空间和/或所述致动器组件的一个或更多个特征部的占用空间限定。

14.根据权利要求12或13所述的致动器组件，其中所述凹部对应于两个连接器之间的间隙，每个连接器将一个长度段的SMA丝连接到所述第一零件或所述第二零件。

15.根据权利要求14所述的致动器组件，包括四个长度段的SMA丝，每个长度段的SMA丝连接在所述第一零件上的第一连接器和所述第二零件上的第二连接器之间，其中所述第一连接器成对分组，并且所述第二连接器成对分组，四对连接器围绕所述第一轴线基本上等角度隔开，并且在成对的第一连接器和成对的第二连接器之间交替，并且其中所述边界具有两个凹部，每个凹部对应于一对第一连接器之间的间隙或一对第二连接器之间的间隙。

16.根据任一项前述权利要求所述的致动器组件，包括两个臂，所述两个臂关于所述第一轴线具有基本上双重旋转对称性。

17.根据任一项前述权利要求所述的致动器组件，其中所述第一方向与穿过所述第一轴线的第一平面平行，所述第二方向与穿过所述第一轴线的第二平面平行，并且其中所述第一平面和所述第二平面基本上彼此垂直。

18.根据权利要求17所述的致动器组件，其中所述部分在基本上平行于所述第二平面的方向上伸长。

19.一种致动器组件，包括：

静态零件，静态压接部分安装在所述静态零件上；

可移动零件，其包括压接支撑部分，移动压接部分安装在所述压接支撑部分上；

形状记忆合金丝，其通过被所述静态压接部分和所述移动压接部分压接而连接在所述静态零件和所述移动零件之间，并且被布置成驱动所述可移动零件相对于所述静态零件在垂直于主轴线的运动平面中的多个方向上的相对运动；和

轴承装置，其被布置成引导所述可移动零件相对于所述静态零件在所述运动平面中的多个方向上的相对运动，并且抵抗所述可移动零件相对于所述静态零件沿着所述主轴线的相对运动，所述轴承装置包括挠曲件，所述挠曲件连接在所述静态零件和所述可移动零件之间，所述挠曲件围绕所述主轴线延伸，

其中所述挠曲件被布置成使得当沿着所述主轴线观察时，所述挠曲件与所述压接支撑部分重叠。

20.根据权利要求19所述的致动器组件，其中所述挠曲件与所述压接支撑部分分离。

21.根据权利要求20所述的致动器组件，其中所述挠曲件包括第一变薄区段，所述第一变薄区段沿着所述主轴线具有减小的深度，所述第一变薄区段在所述挠曲件和所述压接支撑部分之间提供分隔。

22.根据权利要求20或21所述的致动器组件，其中所述压接支撑部分包括第二变薄区段，所述第二变薄区段沿着所述主轴线具有减小的深度，所述第二变薄区段在所述挠曲件和所述压接支撑部分之间提供分隔。

23.根据权利要求20至22中任一项所述的致动器组件，其中所述压接支撑部分包括切口区段，所述切口区段在所述挠曲件和所述压接支撑部分之间提供分隔。

24.根据权利要求19至23中任一项所述的致动器组件，其中所述可移动零件还包括主体，所述压接支撑部分连接到所述主体。

25.根据权利要求24所述的致动器组件，其中所述压接支撑部分是与所述主体分离的分隔部分。

26.根据权利要求19至25中任一项所述的致动器组件，其中所述主体形成为材料片材。

27.根据权利要求19至26中任一项所述的致动器组件，其中所述压接支撑部分包括从所述可移动零件的主体沿着所述主轴线延伸的肩部部分，所述肩部部分沿着所述主轴线偏移所述移动压接部分，以在所述挠曲件和所述压接支撑部分之间提供分隔。

28.根据权利要求19至27中任一项所述的致动器组件，其中所述压接支撑部分连接到所述可移动零件的主体的上表面或下表面，以在所述挠曲件和所述压接支撑部分之间提供分隔。

29.根据权利要求19至28中任一项所述的致动器组件，其中所述挠曲件的至少一部分是拱形的，以在所述挠曲件和所述压接支撑部分之间提供分隔。

30.根据权利要求19至29中任一项所述的致动器组件，其中电绝缘层布置在所述压接支撑部分和所述挠曲件之间。

31.根据权利要求30所述的致动器组件，其中所述电绝缘层布置在所述挠曲件的面向所述压接支撑部分的表面上。

32.根据权利要求30或31所述的致动器组件，其中所述电绝缘层布置在所述压接支撑部分的面向所述挠曲件的表面上。

33.根据权利要求19至32中任一项所述的致动器组件，其中所述可移动零件包括另外的压接支撑部分，另外的移动压接部分安装在所述另外的压接支撑部分上，并且其中所述轴承装置包括另外的挠曲件，所述另外的挠曲件连接在所述静态零件和所述可移动零件之间，其中所述另外的挠曲件围绕所述主轴线延伸，并且其中所述另外的挠曲件被布置成使得当沿着所述主轴线观察时，所述另外的挠曲件与所述另外的压接支撑部分重叠。

34.根据权利要求19至33中任一项所述的致动器组件，其中所述致动器组件包括附加挠曲件，所述附加挠曲件连接在所述静态零件和所述可移动零件之间。

35.一种致动器组件，包括：

静态零件；

可移动零件；

至少一根形状记忆合金丝，其连接在所述静态零件和所述移动零件之间，并被布置成驱动所述可移动零件相对于所述静态零件在垂直于主轴线的运动平面中的多个方向上的相对运动；和

轴承装置，其被布置成引导所述可移动零件相对于所述静态零件在所述运动平面中的多个方向上的相对运动，并且抵抗所述可移动零件相对于所述静态零件沿着所述主轴线的相对运动，所述轴承装置包括至少三个挠曲件，所述至少三个挠曲件连接在所述静态零件和所述可移动零件之间，所述至少三个挠曲件中的每一个都围绕所述主轴线延伸，

其中对于所述运动平面中的每对第一正交轴线和第二正交轴线，将第一刚度限定为所述至少三个挠曲件沿着所述第一轴线的组合横向刚度，并且将第二刚度限定为所述至少三个挠曲件沿所述第二轴线的组合横向刚度，所述第一刚度和所述第二刚度的最大比值不超过5。

36.根据权利要求35所述的致动器组件，其中所述至少三个挠曲件包括总共三个挠曲件。

37.根据权利要求35所述的致动器组件，其中所述至少三个挠曲件包括总共四个挠曲件。

38.根据权利要求37所述的致动器组件，其中所述四个挠曲件关于所述主轴线具有四重旋转对称性。

39.根据权利要求37或38所述的致动器组件，其中所述至少四个挠曲件关于所述主轴线具有双重镜像对称性。

40.根据权利要求35至39中任一项所述的致动器组件，其中所述至少三个挠曲件中的至少两个与所述静态零件或所述可移动零件共用公共连接点。

41.根据权利要求35至40中任一项所述的致动器组件，其中所述静态零件包括静态压接部分，并且所述移动零件包括移动压接部分，并且其中形状记忆合金丝连接在一个所述静态压接部分和所述移动压接部分之间。

42.根据权利要求19至41中任一项所述的致动器组件，其中所述挠曲件或所述挠曲件中的至少一个包括至少一个发夹形部分。

43.根据权利要求19至42中任一项所述的致动器组件，其中所述可移动零件是透镜组件，所述透镜组件包括至少一个具有光轴的透镜，所述光轴是主轴线。

44.根据权利要求43所述的致动器组件，还包括图像传感器，所述图像传感器被布置成捕捉由所述透镜组件聚焦的图像。

45.一种致动器组件，其适于连接到另外的致动器组件，所述另外的致动器被配置为在平行于主轴线的多个方向上致动，所述致动器组件包括：

静态零件；

可移动零件；

至少两个长度段的形状记忆合金(SMA)丝，其连接在所述静态零件和所述可移动零件之间，并且被配置为驱动所述可移动零件相对于所述静态零件在垂直于所述主轴线的运动平面中的多个方向上的运动；和

一个或更多个柔性元件，其连接所述静态零件和所述可移动零件；

其中所述静态零件、所述一个或更多个柔性元件和所述可移动零件包括一个或更多个电流路径，所述电流路径能够经由所述可移动零件电连接到所述另外的致动器组件。

46.根据权利要求45所述的致动器组件，其中所述柔性元件中的至少一个是连接所述静态零件和所述可移动零件的挠曲臂。

47.根据权利要求45或46所述的致动器组件，其中所述柔性元件中的至少一个提供偏置力，所述偏置力将所述可移动零件和所述静态零件朝向彼此偏置。

48.根据权利要求47所述的致动器组件，其中所述柔性元件中的至少一个形成轴承装置的一部分，所述轴承装置被配置为引导所述可移动零件相对于所述静态零件在所述运动平面中的多个方向上的相对运动，并且抵抗所述可移动零件相对于所述静态零件在平行于所述主轴线的多个方向上的运动。

49.根据权利要求45至48中任一项所述的致动器组件，其中所述柔性元件中的至少一个与所述静态零件和所述可移动零件中的一者一体形成，并且机械连接和电连接到所述静态零件和所述可移动零件中的另一者。

50.根据权利要求45至49中任一项所述的致动器组件，其中所述一个或更多个电流路径包括两个电流路径、三个电流路径或四个电流路径。

51.根据权利要求45至50中任一项所述的致动器组件，其中所述电流路径中的至少一个经由所述可移动零件电连接到所述长度段的SMA丝中的至少一个。

52.根据权利要求45至51中任一项所述的致动器组件，其中所述静态零件、所述至少一个柔性元件和所述可移动零件包括一个或更多个另外的电流路径，所述另外的电流路径电连接到所述长度段的SMA丝中的至少一个。

53.根据权利要求45至52中任一项所述的致动器组件，其中所述柔性元件包括用于所述电流路径和所述另外的电流路径中的每一个的一个柔性元件。

54.根据权利要求45至54中任一项所述的致动器组件，其中所述可移动零件包括一个或更多个第一导电元件，并且所述静态零件包括一个或更多个第二导电元件，其中针对所述电流路径和所述另外的电流路径中的每一个，具有一个第一导电元件和一个第二导电元件。

55.根据权利要求54所述的致动器组件，其中：

所述第一导电元件中的每一个具有用于连接到所述另外的致动器的端子；和/或

所述第二导电元件中的每一个具有用于连接到外部电子电路的端子。

56.根据权利要求54或55所述的致动器组件，其中所述第一导电元件中的每一个都包括所述移动零件的一个或更多个大致平面部分。

57.根据权利要求56所述的致动器组件，其中所述部分布置在两层或更多层中，其中同一层中的所述部分彼此物理分离，并且不同层中的某些部分是电互连的。

58.根据权利要求57所述的致动器组件，其中所述层中的相邻的层经由一般绝缘层物理互连，从而形成整体结构。

59.根据权利要求58所述的致动器组件，包括一个或更多个连接器，所述连接器中的每一个都用于电连接和物理连接所述层的相邻的层。

60.根据权利要求56至59中任一项所述的致动器组件，其中所述部分包括具有整体连接部分的至少一个部分，所述整体连接部分用于连接到所述长度段的SMA丝中的至少一个。

61.根据权利要求56至60中任一项所述的致动器组件，其中所述部分包括与所述柔性元件中的至少一个成一体的至少一个部分。

62.根据权利要求56至61中任一项所述的致动器组件，其中所述层中的一层连接到所述SMA丝，并且所述层中的另一层连接到所述柔性元件。

63.根据权利要求45至62中任一项所述的致动器组件，其中所述可移动零件和所述静态零件包括图案化金属片材。

64.根据权利要求45至63中任一项所述的致动器组件，其中所述一个或更多个柔性元件包括：

四个挠曲件，所述四个挠曲件在所述静态零件和/或所述可移动零件的外周的外部围绕所述主轴线以弧形延伸；和

一个挠曲件，所述一个挠曲件在所述静态零件和/或所述可移动零件的内周内围绕所述主轴线以弧形延伸。

65.根据权利要求45至64中任一项所述的致动器组件，其中所述电流路径和/或所述另外的电流路径中的一个或更多个包括导电迹线。

66.一种设备，所述设备包括：

根据权利要求45至65中任一项所述的致动器组件；和

所述另外的致动器组件，其中所述另外的致动器组件连接到所述可移动零件，以便与所述可移动零件一起在所述运动平面中的多个方向上移动。

67.根据权利要求66所述的设备，其中所述另外的致动器组件包括另外的静态零件和另外的可移动零件，所述另外的可移动零件能够相对于所述另外的静态零件在平行于所述主轴线的所述多个方向上移动，并且其中所述另外的静态零件机械连接和电连接到所述可移动零件。

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