CN113800615A - 一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及废液处理领域，尤其涉及一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统。为了解决泥渣残留在检测舱中将影响对废水的检测准确性，使废水处理效率大大降低的技术问题，本发明提供了这样一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统，包括有升降单元、捞泥单元、泥饼成型单元和选择排液单元等；检测仪的右部与选择排液单元之间接通有吸液管。本发明将废水导入检测舱室前，将沉积在废水底部的泥渣进行打捞处理，从根源上减少混入检测舱室中的泥渣，提高废水的检测准确性，另外控制导入检测舱室中的废水对检测舱室底部进行冲刷工作，将残留在检测舱中的泥渣冲走，避免不同批次的废水在检测工作中出现干扰。

Description

一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统

技术领域

本发明涉及废液处理领域，尤其涉及一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统。

背景技术

半导体加工过程中，排除的废水掺杂有众多的重金属，出于环境保护的目的，需要对废水通过化学反应进行净化，使重金属凝絮成泥渣，在将泥渣与废水分离后，对废水进行重金属含量检测，达标则可将废水排入下一工作站中进行处理，若废水未达标则需要将其导回至反应净化池中进行二次净化处理，直到检测达标。

现有的处理步骤中，通常是将反应净化后的废水根泥渣导入检测舱中，待泥渣被挤压成泥饼并带离检测舱后，通过吸液管将部分废水吸入检测仪中进行重金属含量检测工作，这种处理步骤可以快速的判断废水是排入下一工作站中，还是导回至反应净化池中。

但是由于泥渣也被带入了检测舱中，为处理干净的泥渣易跟随废水被吸入检测仪中，影响对废水的检测准确性，导致需要对废水进行不必要的二次净化处理，影响废水处理时长，还造成大量净化反应试剂的浪费，另外泥渣残留在检测舱中，也将影响下一批废水的检测效果，从而使废水处理效率大大降低。

发明内容

为了克服泥渣残留在检测舱中将影响对废水的检测准确性，使废水处理效率大大降低的缺点，本发明提供一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统。

本发明的技术实施方案是：一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统，包括有升降单元、捞泥单元、泥饼成型单元、选择排液单元、动力传输单元、右封舱单元、左封舱单元、底架、反应舱、输液管、废水箱、检测仪、吸液管、回流泵和出液管；底架上部的后侧固接有反应舱；底架右部固接有废水箱；底架的后部固接有检测仪；反应舱的顶部固接有出液管；底架的下部固接有回流泵；废水箱的下部通过管道接通回流泵的输入端；回流泵的输出端通过管道接通出液管；反应舱的上部固接有提供升降动力的升降单元；升降单元的后部固接底架；升降单元的下部插接反应舱；升降单元的底部固接有收集泥渣的捞泥单元；升降单元的上部固接有挤压泥渣的泥饼成型单元；底架的右部固接有中转废水的选择排液单元；选择排液单元的右侧固接废水箱；反应舱的底部与选择排液单元之间接通有输液管；检测仪的右部与选择排液单元之间接通有吸液管；选择排液单元的右部连接有传输升降单元动力的动力传输单元；动力传输单元的上部固接升降单元；废水箱的顶部固接有控制选择排液单元右排液口开闭的右封舱单元；右封舱单元的下部紧贴选择排液单元；右封舱单元的上部与动力传输单元相啮合；选择排液单元的左部连接有控制左排液口开闭的左封舱单元。

进一步的是，升降单元包括有电机、第一支架、第一转轴、第一直齿轮、滑动支架、齿杆和环形固定架；底架后侧的顶部固接有电机；反应舱的上部固接有第一支架；第一支架的右侧转动连接有第一转轴；电机的输出轴固接第一转轴；第一转轴的后端固接动力传输单元；第一转轴的前端固接有第一直齿轮；第一支架的前部滑动连接有滑动支架；第一支架的左部固接泥饼成型单元；滑动支架的右侧固接有齿杆；第一直齿轮与齿杆相啮合；滑动支架的底端螺栓有环形固定架；环形固定架的下部插接反应舱；环形固定架的底部固接捞泥单元。

进一步的是，捞泥单元包括有第一固定架、筛板、第二支架、第一弹性件、传动臂、挡泥板、支臂、第二转轴、第二固定架和第一扭力弹簧；环绕环形固定架的底部等距固接有六个第一固定架；每个第一固定架的底部内侧分别通过转轴转动连接有一个筛板；每两个相邻的筛板之间彼此贴合；每个第一固定架的底部外侧分别固接有一个第二支架；每个第二支架的下部分别通过转轴转动连接有一个第一弹性件；每个第一弹性件的下部分别通过转轴转动连接有一个传动臂；每组相邻的传动臂与筛板之间分别通过转轴转动连接；每个第二支架的内侧各固接有一个支臂；每组相邻的支臂与传动臂之间分别通过转轴转动连接；每个支臂的上部分别转动连接有一个第二转轴；每个第二转轴的两端分别固接有一个第二固定架；每个第二固定架与相邻的支臂之间分别固接有一个第一扭力弹簧，并且第一扭力弹簧绕设在相邻的第二转轴外表面；每组相邻的两个第二固定架之间各固接有一个挡泥板；每个挡泥板分别紧贴相邻的筛板。

进一步的是，泥饼成型单元包括有第三支架、压板和撑杆；第一支架的左部固接有第三支架；第三支架的下端固接有压板；压板为正六边形结构，并且周环压板的六个边沿固接有六个撑杆。

进一步的是，筛板的内侧面开设有与撑杆相对应的开槽。

进一步的是，选择排液单元包括有舱壳、电磁阀门、左舱板、第三固定架、左挡板、第二扭力弹簧、右舱板、第四固定架、右挡板、第二弹性件和蓄水箱；底架的右部固接有舱壳；舱壳的底板接通有电磁阀门；舱壳的底板连接左封舱单元；舱壳的左侧固接有左舱板；左舱板接通输液管；左舱板的右侧固接有第三固定架；第三固定架的内侧通过转轴转动连接有左挡板；左挡板的前后两端分别与第三固定架之间固接有一个第二扭力弹簧；舱壳的右侧固接有右舱板；舱壳、左舱板和右舱板组成完整的舱室；右舱板的右侧固接有第四固定架；第四固定架的右侧紧贴右封舱单元；第四固定架的内侧通过转轴转动连接有右挡板；右挡板后部的前后两侧分别与右舱板之间固接有一个第二弹性件；舱壳的顶部固接有蓄水箱；蓄水箱与舱壳、左舱板和右舱板组成的舱室相接通；蓄水箱的下部接通吸液管；蓄水箱的下部固接动力传输单元；右舱板的右侧固接废水箱。

进一步的是，动力传输单元包括有第一传动轮、第四支架、第三转轴、第二传动轮和第二直齿轮；第一转轴的后端固接有第一传动轮；蓄水箱的下部固接有第四支架；第四支架的下部转动连接有第三转轴；第三转轴的后端固接有第二传动轮；第一传动轮与第二传动轮之间绕设有传动皮带；第三转轴的前端固接有第二直齿轮；第二直齿轮与右封舱单元相啮合。

进一步的是，右封舱单元包括有第五支架、滑板、传动齿板、第三弹性件和固定闩；废水箱顶部的前后两侧各固接有一个第五支架；两个第五支架之间滑动连接有滑板；滑板的上表面固接有传动齿板；传动齿板与第二直齿轮相啮合；两个第五支架的相向侧各固接有一个第三弹性件；两个第三弹性件之间固接有固定闩；固定闩的左侧紧贴第四固定架。

进一步的是，左封舱单元包括有第六支架、电动伸缩件和滑动闩；舱壳的底部固接有第六支架；第六支架的右侧固接有电动伸缩件；电动伸缩件的上部固接有滑动闩；滑动闩滑动连接舱壳。

进一步的是，还包括有泥饼收集单元和废泥箱，底架的前部固接有废泥箱，反应舱的顶部设有泥饼收集单元，泥饼收集单元包括有电动转盘、第五固定架、第四转轴、载泥板、第三直齿轮、第七支架、弧形齿板和托板；反应舱的顶部前侧转动连接有电动转盘；电动转盘的前部固接有第五固定架；第五固定架的前侧转动连接有第四转轴；第四转轴的前端固接有载泥板；第四转轴的前部固接有第三直齿轮；反应舱的前壁固接有第七支架；第七支架的左部固接有弧形齿板；第三直齿轮与弧形齿板相啮合；反应舱的内壁前侧固接有托板。

本发明具有如下优点：

本发明的有益效果在于，为解决泥渣残留在检测舱中将影响对废水的检测准确性，使废水处理效率大大降低的技术问题，在将废水导入检测舱室前，将沉积在废水底部的泥渣进行打捞处理，从根源上减少混入检测舱室中的泥渣，提高废水的检测准确性，另外控制导入检测舱室中的废水对检测舱室底部进行冲刷工作，将残留在检测舱中的泥渣冲走，避免不同批次的废水在检测工作中出现干扰。

附图说明

图1为本申请的工作流程图;

图2为本申请的第一种立体结构示意图；

图3为本申请的第一种局部剖面图；

图4为本申请的第二种局部剖面图；

图5为本申请的第二种立体结构示意图；

图6为本申请的局部立体结构示意图；

图7为本申请的升降单元上部立体结构示意图；

图8为本申请的升降单元下部立体结构示意图；

图9为本申请的捞泥单元第一种立体结构示意图；

图10为本申请的捞泥单元局部立体结构示意图；

图11为本申请的筛板立体结构示意图；

图12为本申请的选择排液单元立体结构示意图；

图13为本申请的选择排液单元局部俯视图；

图14为本申请的选择排液单元第一种局部立体结构示意图；

图15为本申请的选择排液单元第二种局部立体结构示意图；

图16为本申请的选择排液单元第三种局部立体结构示意图；

图17为本申请的动力传输单元立体结构示意图；

图18为本申请的右封舱单元立体结构示意图；

图19为本申请的泥饼收集单元立体结构示意图。

图中附图标记的含义：1-底架，2-反应舱，3-输液管，4-废水箱，5-检测仪，6-吸液管，7-回流泵，8-出液管，9-废泥箱，101-电机，102-第一支架，103-第一转轴，104-第一直齿轮，105-滑动支架，106-齿杆，107-环形固定架，201-第一固定架，202-筛板，203-第二支架，204-第一弹性件，205-传动臂，206-挡泥板，207-支臂，208-第二转轴，209-第二固定架，210-第一扭力弹簧，301-第三支架，302-压板，303-撑杆，401-舱壳，402-电磁阀门，403-左舱板，404-第三固定架，405-左挡板，406-第二扭力弹簧，407-右舱板，408-第四固定架，409-右挡板，410-第二弹性件，411-蓄水箱，501-第一传动轮，502-第四支架，503-第三转轴，504-第二传动轮，505-第二直齿轮，601-第五支架，602-滑板，603-传动齿板，604-第三弹性件，605-固定闩，701-第六支架，702-电动伸缩件，703-滑动闩，801-电动转盘，802-第五固定架，803-第四转轴，804-载泥板，805-第三直齿轮，806-第七支架，807-弧形齿板，808-托板。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统，如图1-图5所示，包括有升降单元、捞泥单元、泥饼成型单元、选择排液单元、动力传输单元、右封舱单元、左封舱单元、底架1、反应舱2、输液管3、废水箱4、检测仪5、吸液管6、回流泵7和出液管8；底架1上部的后侧固接有反应舱2；底架1右部固接有废水箱4；底架1的后部固接有检测仪5；反应舱2的顶部固接有出液管8；底架1的下部螺栓连接有回流泵7；废水箱4的下部通过管道接通回流泵7的输入端；回流泵7的输出端通过管道接通出液管8；反应舱2的上部螺栓连接有升降单元；升降单元的后部螺栓连接底架1；升降单元的下部插接反应舱2；升降单元的底部螺栓连接有捞泥单元；升降单元的上部螺栓连接有挤压泥渣的泥饼成型单元；底架1的右部固接有选择排液单元；选择排液单元的右侧固接废水箱4；反应舱2的底部与选择排液单元之间接通有输液管3；检测仪5的右部与选择排液单元之间接通有吸液管6；选择排液单元的右部连接有动力传输单元；动力传输单元的上部固接升降单元；废水箱4的顶部固接有右封舱单元；右封舱单元的下部紧贴选择排液单元；右封舱单元的上部与动力传输单元相啮合；选择排液单元的左部连接有左封舱单元。

首先将半导体废水导入反应舱2中，倒入用于化学反应的净化试剂，外接搅拌设备进行搅拌工作，使废水中的重金属与净化试剂有效结合，并凝絮成泥渣，在净化试剂完成反应后，搅拌设备停止工作，等待废水中的泥渣向下沉积在捞泥单元中。

如图7-图8所示，升降单元包括有电机101、第一支架102、第一转轴103、第一直齿轮104、滑动支架105、齿杆106和环形固定架107；底架1后侧的顶部螺栓连接有电机101；反应舱2的上部螺栓连接有第一支架102；第一支架102的右侧转动连接有第一转轴103；电机101的输出轴固接第一转轴103；第一转轴103的后端固接动力传输单元；第一转轴103的前端固接有第一直齿轮104；第一支架102的前部滑动连接有滑动支架105；第一支架102的左部螺栓连接泥饼成型单元；滑动支架105的右侧固接有齿杆106；第一直齿轮104与齿杆106相啮合；滑动支架105的底端螺栓有环形固定架107；环形固定架107的下部插接反应舱2；环形固定架107的底部螺栓连接捞泥单元。

如图8-图11所示，捞泥单元包括有第一固定架201、筛板202、第二支架203、第一弹性件204、传动臂205、挡泥板206、支臂207、第二转轴208、第二固定架209和第一扭力弹簧210；环绕环形固定架107的底部等距螺栓连接有六个第一固定架201；每个第一固定架201的底部内侧分别通过转轴转动连接有一个筛板202；每两个相邻的筛板202之间彼此贴合；每个第一固定架201的底部外侧分别焊接有一个第二支架203；每个第二支架203的下部分别通过转轴转动连接有一个第一弹性件204；每个第一弹性件204的下部分别通过转轴转动连接有一个传动臂205；每组相邻的传动臂205与筛板202之间分别通过转轴转动连接；每个第二支架203的内侧各固接有一个支臂207；每组相邻的支臂207与传动臂205之间分别通过转轴转动连接；每个支臂207的上部分别转动连接有一个第二转轴208；每个第二转轴208的两端分别固接有一个第二固定架209；每个第二固定架209与相邻的支臂207之间分别固接有一个第一扭力弹簧210，并且第一扭力弹簧210绕设在相邻的第二转轴208外表面；每组相邻的两个第二固定架209之间各固接有一个挡泥板206；每个挡泥板206分别紧贴相邻的筛板202。

首先六个筛板202拼接成的一组完整的载斗，同时各第一扭力弹簧210均处于扭转状态，待废水中的泥渣向下沉积在六个筛板202组成的载斗中后，电机101的输出轴带动第一转轴103转动，第一转轴103带动第一直齿轮104转动，第一直齿轮104啮合齿杆106带动滑动支架105沿第一支架102向上移动，使环形固定架107带动六个筛板202将装载的泥渣向上捞起，同时处于扭转状态的第一扭力弹簧210带动第二转轴208连接的挡泥板206向外翻转，使挡泥板206离开筛板202，同时反应舱2的底部失去捞泥单元的堵塞，位于反应舱2内的废水经输液管3向选择排液单元方向流动。

如图7所示，泥饼成型单元包括有第三支架301、压板302和撑杆303；第一支架102的左部螺栓连接有第三支架301；第三支架301的下端固接有压板302；压板302为正六边形结构，并且周环压板302的六个边沿固接有六个撑杆303；筛板202的内侧面开设有与撑杆303相对应的开槽。

反应舱2内的废水大部分流入选择排液单元中后，左封舱单元断开选择排液单元与输液管3连通的空间，使剩余在输液管3中的废水无法流入选择排液单元中，接着筛板202组成的载斗在带动泥渣向上移动过程中，由静止的压板302对向上移动的泥渣施加压力，使压板302压住泥渣紧贴筛板202进行废水挤压，并被挤压成泥饼，使泥渣中吸附的废水通过筛板202的筛孔被挤落至反应舱2内，并流入输液管3中，由于选择排液单元与输液管3之间不连通，从泥渣中挤出的含泥废水不进入选择排液单元中，之后操作员将装泥板伸至筛板202下方，由压板上静止的撑杆303紧贴向上移动的筛板202中的开槽，并将筛板202向外推动，同时绕轴向外翻转的筛板202推动传动臂205，使传动臂205绕轴转动，并使传动臂205推动第一弹性件204向上挤压，其中第一弹性件204为弹簧伸缩杆，实现筛板202向外打开使其装载的泥饼掉落至装泥板中。

如图12-图16所示，选择排液单元包括有舱壳401、电磁阀门402、左舱板403、第三固定架404、左挡板405、第二扭力弹簧406、右舱板407、第四固定架408、右挡板409、第二弹性件410和蓄水箱411；底架1的右部固接有舱壳401；舱壳401的底板接通有电磁阀门402；舱壳401的底板连接左封舱单元；舱壳401的左侧焊接有左舱板403；左舱板403接通输液管3；左舱板403的右侧焊接有第三固定架404；第三固定架404的内侧通过转轴转动连接有左挡板405；左挡板405的前后两端分别与第三固定架404之间，固接有一个第二扭力弹簧406；舱壳401的右侧焊接有右舱板407；舱壳401、左舱板403和右舱板407组成完整的舱室；右舱板407的右侧焊接有第四固定架408；第四固定架408的右侧紧贴右封舱单元；第四固定架408的内侧通过转轴转动连接有右挡板409；右挡板409的后部前后两侧分别与右舱板407之间固接有一个第二弹性件410；舱壳401的顶部焊接有蓄水箱411；蓄水箱411与舱壳401、左舱板403和右舱板407组成的舱室相接通；蓄水箱411的下部接通吸液管6；蓄水箱411的下部螺栓连接动力传输单元；右舱板407的右侧固接废水箱4。

如图3、图17和图18所示，动力传输单元包括有第一传动轮501、第四支架502、第三转轴503、第二传动轮504和第二直齿轮505；第一转轴103的后端固接有第一传动轮501；蓄水箱411的下部螺栓连接有第四支架502；第四支架502的下部转动连接有第三转轴503；第三转轴503的后端固接有第二传动轮504；第一传动轮501与第二传动轮504之间绕设有传动皮带；第三转轴503的前端固接有第二直齿轮505；第二直齿轮505与右封舱单元相啮合。

如图17和图18所示，右封舱单元包括有第五支架601、滑板602、传动齿板603、第三弹性件604和固定闩605；废水箱4的顶部前后两侧各固接有一个第五支架601；两个第五支架601之间滑动连接有滑板602；滑板602的上表面固接有传动齿板603；传动齿板603与第二直齿轮505相啮合；两个第五支架601的相向侧各固接有一个第三弹性件604；两个第三弹性件604之间固接有固定闩605；固定闩605的左侧紧贴第四固定架408；滑板602底部的左右两侧均设为切面结构。

如图12-图14所示，左封舱单元包括有第六支架701、电动伸缩件702和滑动闩703；舱壳401的底部螺栓连接有第六支架701；第六支架701的右侧固接有电动伸缩件702；电动伸缩件702的上部固接有滑动闩703；滑动闩703滑动连接舱壳401。

电磁阀门402的底部输出端通过管道外接下一处理设备。

筛板202在将装载的泥渣向上捞起同时，反应舱2的底部失去捞泥单元的堵塞，位于反应舱2内的废水经输液管3向选择排液单元方向流动，从输液管3下端冲出的废水推动左挡板405绕轴向右翻转打开，同时第二扭力弹簧406产生扭矩，使废水冲入由舱壳401、左舱板403和右舱板407组成完整的舱室中，同时冲水的废水推动右挡板409绕轴向右翻转打开，同时第二弹性件410被拉伸，其中第二弹性件410为弹簧部件，使先从输液管3中冲出的废水进入废水箱4中，完成对舱室的底部进行冲刷工作，并将舱室中残留有的泥渣冲入废水箱4中。

转动的第一转轴103在带动第一直齿轮104转动同时，第一转轴103带动第一传动轮501转动，第一传动轮501通过皮带传动第二传动轮504带动第三转轴503转动，第三转轴503带动第二直齿轮505转动，第二直齿轮505啮合传动齿板603带动滑板602沿第五支架601向左移动，使滑板602底部的左切面推动固定闩605带动第三弹性件604向下拉伸，其中第三弹性件604为弹簧伸缩杆，实现先从输液管3中冲出的废水，在将残留在舱室底部的泥渣冲入废水箱4中后，向下移动的固定闩605推动向右翻起的右挡板409绕轴向下复位，使右挡板409将右舱板407封闭住，使从输液管3中流出的其余废水流积在舱室中，并不断的向上流积进入蓄水箱411中，并由检测仪5通过吸液管6对蓄水箱411中的废水进行重金属检测工作，由于蓄水箱411的废水中泥渣含量大大降低，因此对废水检测的精确性得到了改善。

输液管3中的废水在流入蓄水箱411过程中，当输液管3中的废水与蓄水箱411中的废水液面相平齐时，输液管3中的废水不在主动向蓄水箱411中流动，此时输液管3中的废水与蓄水箱411中的废水相对静止，同时被扭转的第二扭力弹簧406带动左挡板405绕轴向下转动复位，接着电动伸缩件702推动滑动闩703沿第六支架701向上移动，其中电动伸缩件702为电动推杆，使左挡板405紧贴左舱板403并将其封住，使输液管3中的废水与蓄水箱411中的废水相隔离，同时从上述步骤中由压板302对泥渣挤出的含泥废水落至输液管3中，并与输液管3中的废水相混合，实现泥渣中挤出的含泥废水与蓄水箱411中的废水相隔离，当检测仪5对蓄水箱411中的废水检测合格时，电磁阀门402打开，使蓄水箱411和舱室中的废水流入下一处理设备中。

当检测仪5对蓄水箱411中的废水检测合格时，并且使蓄水箱411和舱室中的废水从电磁阀门402排除至下一处理设备中后，或者当检测仪5对蓄水箱411中的废水检测不合格时，电磁阀门402关闭，并由电机101带动第一转轴103反向转动，使环形固定架107带动捞泥单元向下移动塞回至反应舱2底部，同时第二直齿轮505啮合传动齿板603带动滑板602沿第五支架601向右移动，使滑板602离开固定闩605，同时被拉伸的第三弹性件604带动固定闩605向上复位离开右挡板409，同时电动伸缩件702带动滑动闩703沿第六支架701向下移动复位，使左挡板405离开左舱板403并将其封住，实现左挡板405和右挡板409均被废水向右冲开，并且输液管3中的废水以及蓄水箱411和舱室中的废水均进入废水箱4中，最后由回流泵7通过管道将废水箱4经过出液管8输送回反应舱2内，按上述方式进行下一批的废水反应净化工作。

实施例2

如图2和图19所示，还包括有泥饼收集单元和废泥箱9，底架1的前部固接有废泥箱9，反应舱2的顶部设有泥饼收集单元，泥饼收集单元包括有电动转盘801、第五固定架802、第四转轴803、载泥板804、第三直齿轮805、第七支架806、弧形齿板807和托板808；反应舱2的顶部前侧转动连接有电动转盘801；电动转盘801的前部螺栓连接有第五固定架802；第五固定架802的前侧转动连接有第四转轴803；第四转轴803的前端固接有载泥板804；第四转轴803的前部固接有第三直齿轮805；反应舱2的前壁固接有第七支架806；第七支架806的左部固接有弧形齿板807；第三直齿轮805与弧形齿板807相啮合；反应舱2的内壁前侧焊接有托板808。

在实施例1的基础上，当筛板202组成的载斗在带动泥渣向上移动过程中，电动转盘801带动第五固定架802向后旋转，使第三直齿轮805啮合弧形齿板807带动第四转轴803和载泥板804旋转一百八十度，使载泥板804的板面翻转朝上并移动至筛板202下方，筛板202在向外翻转同时，筛板202中载有的泥渣掉落至载泥板804中，同时托板808将载泥板804底部托住，避免载泥板804受力不均发生侧翻，之后电动转盘801带动第五固定架802反向旋转复位，使第三直齿轮805在经过弧形齿板807时，带动载泥板804翻转一百八十度将载有的泥渣倒入废泥箱9中。

最后所应当说明的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对本发明保护范围的限制，尽管参照较佳实施例对本发明作了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的实质和范围。

Claims (10)

1.一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统，包括有底架（1）、反应舱（2）、输液管（3）、废水箱（4）、检测仪（5）、吸液管（6）、回流泵（7）和出液管（8）；底架（1）上部的后侧固接有反应舱（2）；底架（1）右部固接有废水箱（4）；底架（1）的后部固接有检测仪（5）；反应舱（2）的顶部固接有出液管（8）；底架（1）的下部固接有回流泵（7）；废水箱（4）的下部通过管道接通回流泵（7）的输入端；回流泵（7）的输出端通过管道接通出液管（8）；其特征在于，还包括有升降单元、捞泥单元、泥饼成型单元、选择排液单元、动力传输单元、右封舱单元和左封舱单元；反应舱（2）的上部固接有提供升降动力的升降单元；升降单元的后部固接底架（1）；升降单元的下部插接反应舱（2）；升降单元的底部固接有收集泥渣的捞泥单元；升降单元的上部固接有挤压泥渣的泥饼成型单元；底架（1）的右部固接有中转废水的选择排液单元；选择排液单元的右侧固接废水箱（4）；反应舱（2）的底部与选择排液单元之间接通有输液管（3）；检测仪（5）的右部与选择排液单元之间接通有吸液管（6）；选择排液单元的右部连接有传输升降单元动力的动力传输单元；动力传输单元的上部固接升降单元；废水箱（4）的顶部固接有控制选择排液单元右排液口开闭的右封舱单元；右封舱单元的下部紧贴选择排液单元；右封舱单元的上部与动力传输单元相啮合；选择排液单元的左部连接有控制左排液口开闭的左封舱单元。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统，其特征在于，升降单元包括有电机（101）、第一支架（102）、第一转轴（103）、第一直齿轮（104）、滑动支架（105）、齿杆（106）和环形固定架（107）；底架（1）后侧的顶部固接有电机（101）；反应舱（2）的上部固接有第一支架（102）；第一支架（102）的右侧转动连接有第一转轴（103）；电机（101）的输出轴固接第一转轴（103）；第一转轴（103）的后端固接动力传输单元；第一转轴（103）的前端固接有第一直齿轮（104）；第一支架（102）的前部滑动连接有滑动支架（105）；第一支架（102）的左部固接泥饼成型单元；滑动支架（105）的右侧固接有齿杆（106）；第一直齿轮（104）与齿杆（106）相啮合；滑动支架（105）的底端螺栓有环形固定架（107）；环形固定架（107）的下部插接反应舱（2）；环形固定架（107）的底部固接捞泥单元。

3.根据权利要求2所述的一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统，其特征在于，捞泥单元包括有第一固定架（201）、筛板（202）、第二支架（203）、第一弹性件（204）、传动臂（205）、挡泥板（206）、支臂（207）、第二转轴（208）、第二固定架（209）和第一扭力弹簧（210）；环绕环形固定架（107）的底部等距固接有六个第一固定架（201）；每个第一固定架（201）的底部内侧分别通过转轴转动连接有一个筛板（202）；每两个相邻的筛板（202）之间彼此贴合；每个第一固定架（201）的底部外侧分别固接有一个第二支架（203）；每个第二支架（203）的下部分别通过转轴转动连接有一个第一弹性件（204）；每个第一弹性件（204）的下部分别通过转轴转动连接有一个传动臂（205）；每组相邻的传动臂（205）与筛板（202）之间分别通过转轴转动连接；每个第二支架（203）的内侧各固接有一个支臂（207）；每组相邻的支臂（207）与传动臂（205）之间分别通过转轴转动连接；每个支臂（207）的上部分别转动连接有一个第二转轴（208）；每个第二转轴（208）的两端分别固接有一个第二固定架（209）；每个第二固定架（209）与相邻的支臂（207）之间分别固接有一个第一扭力弹簧（210），并且第一扭力弹簧（210）绕设在相邻的第二转轴（208）外表面；每组相邻的两个第二固定架（209）之间各固接有一个挡泥板（206）；每个挡泥板（206）分别紧贴相邻的筛板（202）。

4.根据权利要求3所述的一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统，其特征在于，泥饼成型单元包括有第三支架（301）、压板（302）和撑杆（303）；第一支架（102）的左部固接有第三支架（301）；第三支架（301）的下端固接有压板（302）；压板（302）为正六边形结构，并且周环压板（302）的六个边沿固接有六个撑杆（303）。

5.根据权利要求4所述的一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统，其特征在于，筛板（202）的内侧面开设有与撑杆（303）相对应的开槽。

6.根据权利要求4或5所述的一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统，其特征在于，选择排液单元包括有舱壳（401）、电磁阀门（402）、左舱板（403）、第三固定架（404）、左挡板（405）、第二扭力弹簧（406）、右舱板（407）、第四固定架（408）、右挡板（409）、第二弹性件（410）和蓄水箱（411）；底架（1）的右部固接有舱壳（401）；舱壳（401）的底板接通有电磁阀门（402）；舱壳（401）的底板连接左封舱单元；舱壳（401）的左侧固接有左舱板（403）；左舱板（403）接通输液管（3）；左舱板（403）的右侧固接有第三固定架（404）；第三固定架（404）的内侧通过转轴转动连接有左挡板（405）；左挡板（405）的前后两端分别与第三固定架（404）之间固接有一个第二扭力弹簧（406）；舱壳（401）的右侧固接有右舱板（407）；舱壳（401）、左舱板（403）和右舱板（407）组成完整的舱室；右舱板（407）的右侧固接有第四固定架（408）；第四固定架（408）的右侧紧贴右封舱单元；第四固定架（408）的内侧通过转轴转动连接有右挡板（409）；右挡板（409）后部的前后两侧分别与右舱板（407）之间固接有一个第二弹性件（410）；舱壳（401）的顶部固接有蓄水箱（411）；蓄水箱（411）与舱壳（401）、左舱板（403）和右舱板（407）组成的舱室相接通；蓄水箱（411）的下部接通吸液管（6）；蓄水箱（411）的下部固接动力传输单元；右舱板（407）的右侧固接废水箱（4）。

7.根据权利要求6所述的一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统，其特征在于，动力传输单元包括有第一传动轮（501）、第四支架（502）、第三转轴（503）、第二传动轮（504）和第二直齿轮（505）；第一转轴（103）的后端固接有第一传动轮（501）；蓄水箱（411）的下部固接有第四支架（502）；第四支架（502）的下部转动连接有第三转轴（503）；第三转轴（503）的后端固接有第二传动轮（504）；第一传动轮（501）与第二传动轮（504）之间绕设有传动皮带；第三转轴（503）的前端固接有第二直齿轮（505）；第二直齿轮（505）与右封舱单元相啮合。

8.根据权利要求7所述的一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统，其特征在于，右封舱单元包括有第五支架（601）、滑板（602）、传动齿板（603）、第三弹性件（604）和固定闩（605）；废水箱（4）顶部的前后两侧各固接有一个第五支架（601）；两个第五支架（601）之间滑动连接有滑板（602）；滑板（602）的上表面固接有传动齿板（603）；传动齿板（603）与第二直齿轮（505）相啮合；两个第五支架（601）的相向侧各固接有一个第三弹性件（604）；两个第三弹性件（604）之间固接有固定闩（605）；固定闩（605）的左侧紧贴第四固定架（408）。

9.根据权利要求8所述的一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统，其特征在于，左封舱单元包括有第六支架（701）、电动伸缩件（702）和滑动闩（703）；舱壳（401）的底部固接有第六支架（701）；第六支架（701）的右侧固接有电动伸缩件（702）；电动伸缩件（702）的上部固接有滑动闩（703）；滑动闩（703）滑动连接舱壳（401）。

10.根据权利要求9所述的一种半导体加工废水选择回流式废水检测系统，其特征在于，还包括有泥饼收集单元和废泥箱（9），底架（1）的前部固接有废泥箱（9），反应舱（2）的顶部设有泥饼收集单元，泥饼收集单元包括有电动转盘（801）、第五固定架（802）、第四转轴（803）、载泥板（804）、第三直齿轮（805）、第七支架（806）、弧形齿板（807）和托板（808）；反应舱（2）的顶部前侧转动连接有电动转盘（801）；电动转盘（801）的前部固接有第五固定架（802）；第五固定架（802）的前侧转动连接有第四转轴（803）；第四转轴（803）的前端固接有载泥板（804）；第四转轴（803）的前部固接有第三直齿轮（805）；反应舱（2）的前壁固接有第七支架（806）；第七支架（806）的左部固接有弧形齿板（807）；第三直齿轮（805）与弧形齿板（807）相啮合；反应舱（2）的内壁前侧固接有托板（808）。

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