CN113776448B - 一种基于彩色数字全息干涉的材料形变测量方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种基于彩色数字全息干涉的材料形变测量方法，属于光电检测技术领域。本发明使用了不同波长的三束激光光束(蓝、绿、红)进行照射，其特征是利用3个CCD相机同时进行图像采集，可同时获得三幅不同波长对应各自的物光和其波长对应的参考光叠加后的全息图，从而实现高精度的测量。由于该方法使用了三条光线进行检测，所以该测量方法通过算法处理最终能够同时获得生物骨骼施受力后新旧材料交接处三个垂直方向的形变场，进行分析。由于精度高，且无损，从而能够应于更多的生物骨骼对象愈合情况的分析检测。

Description

一种基于彩色数字全息干涉的材料形变测量方法
技术领域
本发明涉及一种基于彩色数字全息干涉的材料形变测量方法，属于光电检测技术领域。
背景技术
数字全息术是在传统光学全息技术的基础上，结合现代数字图像技术而发展起来的一种新型成像技术。不同于传统光学全息方法，它利用CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合器件)光电器件记录全息图并存入计算机，通过计算机数值模拟光学衍射过程再现全息图，并将结果直接显示输出，实现了从记录到再现整个全息过程的数字化。与传统光学全息相比，数字全息具有成像速度快，可定量测量等诸多优点。
在数字全息理论及检测应用研究领域中，通常将两种以上波长激光照度明的数字全息系统称为多波长数字全息系统，多波长数字全息是单波长数字全息根据实际检测需要的扩展。例如，测量物体的位移场时，需要知道物体表面任意点的三个不共面的位移矢量，为避免干扰，在发明中使用彼此不相干的三种波长激光照明是一种有效的检测方法。同时，使用不相干的多波长激光记录物体的信息，可提高数字全息重建光波场的分辨率。由于人们对可见光波使用最为直接，也更为方便，因此使用红、绿、蓝三种波长的激光照明的彩色数字全息获得了更广泛的应用。
发明内容
为了解决现有技术问题，本发明克服了彩色数字全息方法无法实现多方向同时测量物体形貌变化的缺陷。本方法可实现同时采集三幅生物骨骼愈合材料加力后的彩色全息图，经过一系列图像处理操作，经计算得到材料愈合边界处三个垂直方向的形变，由于精度高，多角度，且无损，从而也能够应于更多的其它生物骨骼对象愈合情况的检测。
本发明的技术方案是：一种基于彩色数字全息干涉的材料形变测量方法，利用图像采集系统进行图像采集，对被测试件(S)表面的物光及同波长对应的参考光进行接收；
具体的：利用3个CCD和一个反射五棱镜组成的图像采集系统同时对三个波长的全息图进行图像采集，得到3束激光波长对应的施加作用力前后物光与参考光叠加的激光全息图，进而经过1-FFT处理、FIMG4FFT、相位差、相位解包裹处理，最终得出被测试件表面不同方向的三维变化信息，再进一步分析生物骨骼愈合情况。
作为本发明的进一步方案，所述3束激光的波长分别是B417nm、G532nm、R632nm。
作为本发明的进一步方案，所述方法的具体包括如下：
Step1、采用3个波长的激光，激光波长分别为λ1，λ2，λ3，组成3个独立的干涉光路，每个波长的激光对应一个干涉光路；
Step2、波长为λ1(B＝457nm)的干涉光路，首先从激光器Laser1发出的一束激光，被偏振分光棱镜(PBS3)分成两束；其中，一束分光束作为参考光经反光镜(CL4)反射后，经扩束器(SF1)扩束和准直透镜(L1)准直后，经过偏振分光棱镜(PBS4)反射射入图像采集系统；另一束分光束则作为探测物光经反光镜(CL3)反射后，经扩束器(SF4)扩束和准直透镜(L4)准直后，由反光镜(CL7)反射照射到被测试件(S)表面，经试件表面反射激光，经偏振分光棱镜(PBS4)透射射后，由图像采集系统接收；
波长为λ2(G＝532nm)的干涉光路，首先从激光器Laser2发出的一束激光，被偏振分光棱镜(PBS2)分成两束；其中，一束分光束作为参考光经半反半透镜(M2)反射后，经扩束器(SF1)扩束和准直透镜(L1)准直后，经过偏振分光棱镜(PBS4)反射射入图像采集系统；另一束分光束则作为探测物光经反光镜(CL2)反射后，经扩束器(SF3)扩束和准直透镜(L3)准直后，由反光镜(CL6)反射到反光镜(CL9)后，再照射到被测试件(S)表面，经试件表面反射的光，经偏振分光棱镜(PBS4)透射后，经偏振分光棱镜(PBS4)透射射后，由图像采集系统接收；
波长为λ3(R＝671nm)的干涉光路，首先从激光器Laser3发出的一束激光，被偏振分光棱镜(PBS1)分成两束；其中，一束分光束作为参考光经半反半透镜(M1)反射后，经扩束器(SF1)扩束和准直透镜(L1)准直后，经过偏振分光棱镜(PBS4)反射射入图像采集系统；另一束分光束则作为探测物光经反光镜(CL1)反射后，经扩束器(SF2)扩束和准直透镜(L2)准直后，由反光镜(CL5)反射到反光镜(CL8)后，再照射到被测试件(S)表面，经试件表面反射的光，经偏振分光棱镜(PBS4)透射后，由图像采集系统接收。
Step3、各光路通过对应的衰减器来调节参光与物光之间的光强比；
Step4、在图像采集系统前，有一个偏振分光棱镜(PBS4)，作用是1.透射物光进入图像采集系统。2.反射对应物光波长的参考光进入图像采集系统；
Step5、三束不同波长物光与参考光叠加的光束(λ1d、λ2d、λ3d)，进入五边反射棱镜后，第一束光波长为λ1d的光经过五边棱镜内置的反射镜(F1)，对蓝色的波进行反射，最终进入第一光路采集装置的CCD1；
第二束光波长为λ2d的光经过五边棱镜内置的反射镜(F2)，对绿色的波进行反射，最终进入第二光路采集装置的CCD2；
第三束光波长为λ3d的光经过五边棱镜内置的反射镜(F3)，对红色的波进行反射，最终进入第三光路采集装置的CCD3；
由此实现对三个波长全息图的同时采集；
Step6、得到3个激光波长各自对应施加作用力前后的物光与其波长对应的参考光叠加的激光全息图，进而经过1-FFT处理、FIMG4FFT、相位差处理、相位解包裹处理，得出被测试件(S)表面新旧材料交接处三个垂直方向的位移场，用于来分析生物骨骼愈合情况。
作为本发明的方案，所述Step2中，对于通过调节第一个光路中的反光镜(CL7)、第二个光路中的反光镜(CL6)、反光镜(CL9)、第三个光路中的反光镜(CL5)、反光镜(CL8)，可以调节物光射入角度。
作为本发明的方案，所述Step4中的图像采集系统包括：
各路光线进入图像采集系统后，经过五边棱镜内置对应特定波长反射镜，对特定波长的光进行反射，进入其对应的CCD相机进行采集；
波长为λ1(B＝457nm)的干涉光路，从激光器Laser1发出的一束激光，经偏振分光棱镜(PBS3)分束，又经偏振分光棱镜(PBS4)合束后，形成的光束λ1d垂直射入五边棱镜，由棱镜内部的反射镜(F1)反射后，由CCD1接收；
波长为λ2(G＝532nm)的干涉光路，从激光器Laser2发出的一束激光，经偏振分光棱镜(PBS2)分束，又经偏振分光棱镜(PBS4)合束后，形成的光束λ2d垂直射入五边棱镜，由棱镜内部的反射镜(F2)反射后，由CCD2接收；
波长为λ3(R＝671nm)的干涉光路，从激光器Laser3发出的一束激光，经偏振分光棱镜(PBS1)分束，又经偏振分光棱镜(PBS4)合束后，形成的光束λ3d垂直射入五边棱镜，由棱镜内部的反射镜(F3)反射后，由CCD3接收；
本发明的有益效果是：
1、本发明方法采用三个波长的激光，通过三个独立的干涉光路，实现了具有三个波长的数字全息测量光路，可在接收端通过3个CCD同时采集，可以实现对三个波长各自的全息图同时采集；
2、由于采集的是三路波长激光的全息图，最终可以得到受力后愈合交界处三个方向的形变场，可以分析的更加全面，使得该方法能够应用于更广阔的领域以及更广泛的对象；
3、由于精度高，且无损，从而也能够应用于更多的生物骨骼对象愈合情况的检测。
附图说明
图1为本发明物光照射角度示意图；
图2为本发明的测量光路；
图3为本发明所检测的对象；
图4为本发明实施流程图；
图5为本发明图像采集系统。
具体实施方式
如图1-图5所示，一种基于CCD的多波长数字全息检测生物骨骼愈合情况的检测方法，参见图2(光路图)和图1(物光照射角度)和表1(照射物光入射角度)，对物体施加应力，得到3个激光波长对应的施加作用力前后的物光和对应其波长的参考光，经过图像采集系统里的五边棱镜对特定波长的进行分光，得到各自波长的二次曝光图，进而经过1-FFT处理、FIMG4FFT、相位差、相位解包裹处理，得出被测试件(S)表面新旧材料交接处三个方向的位移场，用于来分析生物骨骼愈合情况。
表1照射物光对应入射角度
Ae Laser1(B＝457nm) Laser2(G＝532nm) Laser3(R＝671nm)
<![CDATA[θ<sub>xz</sub>]]> -45° 0° 45°
<![CDATA[θ<sub>z</sub>]]> 0° 45° 0°
作为本发明的进一步方案，所述方法的具体包括如下：
Step1、采用3个波长的激光，激光波长分别为λ1，λ2，λ3，组成3个独立的干涉光路，每个波长的激光对应一个干涉光路；
Step2、波长为λ1(B＝457nm)的干涉光路，首先从激光器Laser1发出的一束激光，被偏振分光棱镜(PBS3)分成两束；其中，一束分光束作为参考光经反光镜(CL4)反射后，经扩束器(SF1)扩束和准直透镜(L1)准直后，经过偏振分光棱镜(PBS4)反射射入图像采集系统；另一束分光束则作为探测物光经反光镜(CL3)反射后，经扩束器(SF4)扩束和准直透镜(L4)准直后，由反光镜(CL7)反射照射到被测试件(S)表面，经试件表面反射激光，经偏振分光棱镜(PBS4)透射射后，由图像采集系统接收；
波长为λ2(G＝532nm)的干涉光路，首先从激光器Laser2发出的一束激光，被偏振分光棱镜(PBS2)分成两束；其中，一束分光束作为参考光经半反半透镜(M2)反射后，经扩束器(SF1)扩束和准直透镜(L1)准直后，经过偏振分光棱镜(PBS4)反射射入图像采集系统；另一束分光束则作为探测物光经反光镜(CL2)反射后，经扩束器(SF3)扩束和准直透镜(L3)准直后，由反光镜(CL6)反射到反光镜(CL9)后，再照射到被测试件(S)表面，经试件表面反射的光，经偏振分光棱镜(PBS4)透射后，经偏振分光棱镜(PBS4)透射射后，由图像采集系统接收；
波长为λ3(R＝671nm)的干涉光路，首先从激光器Laser3发出的一束激光，被偏振分光棱镜(PBS1)分成两束；其中，一束分光束作为参考光经半反半透镜(M1)反射后，经扩束器(SF1)扩束和准直透镜(L1)准直后，经过偏振分光棱镜(PBS4)反射射入图像采集系统；另一束分光束则作为探测物光经反光镜(CL1)反射后，经扩束器(SF2)扩束和准直透镜(L2)准直后，由反光镜(CL5)反射到反光镜(CL8)后，再照射到被测试件(S)表面，经试件表面反射的光，经偏振分光棱镜(PBS4)透射后，由图像采集系统接收。
Step3、各光路通过对应的衰减器来调节参光与物光之间的光强比；
Step4、在图像采集系统前，有一个偏振分光棱镜(PBS4)，作用是1.透射物光进入图像采集系统。2.反射对应物光波长的参考光进入图像采集系统；
Step5、三束不同波长物光与参考光叠加的光束(λ1d、λ2d、λ3d)，进入五边反射棱镜后，第一束光波长为λ1d的光经过五边棱镜内置的反射镜(F1)，对蓝色的波进行反射，最终进入第一光路采集装置的CCD1；
第二束光波长为λ2d的光经过五边棱镜内置的反射镜(F2)，对绿色的波进行反射，最终进入第二光路采集装置的CCD2；
第三束光波长为λ3d的光经过五边棱镜内置的反射镜(F3)，对红色的波进行反射，最终进入第三光路采集装置的CCD3；
由此实现对三个波长全息图的同时采集；
Step6、得到3个激光波长各自对应施加作用力前后的物光与其波长对应的参考光叠加的激光全息图，进而经过1-FFT处理、FIMG4FFT、相位差处理、相位解包裹处理，得出被测试件(S)表面新旧材料交接处三个垂直方向的位移场，能用于来分析生物骨骼愈合情况。
作为本发明的方案，所述Step2中，对于通过调节第一个光路中的反光镜(CL7)、第二个光路中的反光镜(CL6)、反光镜(CL9)、第三个光路中的反光镜(CL5)、反光镜(CL8)，可以调节物光射入角度。
作为本发明的方案，所述Step4中的图像采集系统包括：
各路光线进入图像采集系统后，经过五边棱镜内置对应特定波长反射镜，对特定波长的光进行反射，进入其对应的CCD相机进行采集；
波长为λ1(B＝457nm)的干涉光路，从激光器Laser1发出的一束激光，经偏振分光棱镜(PBS3)分束，又经偏振分光棱镜(PBS4)合束后，形成的光束λ1d垂直射入五边棱镜，由棱镜内部的反射镜(F1)反射后，由CCD1接收；
波长为λ2(G＝532nm)的干涉光路，从激光器Laser2发出的一束激光，经偏振分光棱镜(PBS2)分束，又经偏振分光棱镜(PBS4)合束后，形成的光束λ2d垂直射入五边棱镜，由棱镜内部的反射镜(F2)反射后，由CCD2接收；
波长为λ3(R＝671nm)的干涉光路，从激光器Laser3发出的一束激光，经偏振分光棱镜(PBS1)分束，又经偏振分光棱镜(PBS4)合束后，形成的光束λ3d垂直射入五边棱镜，由棱镜内部的反射镜(F3)反射后，由CCD3接收。
上面结合附图对本发明的具体实施方式作了详细说明，但是本发明并不限于上述实施方式，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (3)

1.一种基于彩色数字全息干涉的材料形变测量方法，其特征在于：利用3个CCD组成的图像采集系统进行三个波长的同时采集，得到3个激光波长各自对应施加作用力前后的物光与其波长对应的参考光叠加的激光全息图，进而经过1-FFT处理、FIMG4FFT、相位差处理、相位解包裹，得出被测试件(S)表面新旧材料交接处三个垂直方向的位移场，用于来分析生物骨骼愈合情况；
所述方法的具体步骤包括如下：
Step1、采用3个波长的激光，激光波长分别为λ1，λ2，λ3，组成3个独立的干涉光路，每个波长的激光对应一个干涉光路；
Step2、波长为λ1＝457nm的蓝光干涉光路，首先从第一激光器Laser1发出的一束激光，被第三偏振分光棱镜(PBS3)分成两束；其中，一束分光束作为参考光经第四反光镜(CL4)反射后，经第一扩束器(SF1)扩束和第一准直透镜(L1)准直后，经过第四偏振分光棱镜(PBS4)反射射入图像采集系统；另一束分光束则作为探测物光经第三反光镜(CL3)反射后，经第四扩束器(SF4)扩束和第四准直透镜(L4)准直后，由第七反光镜(CL7)反射照射到被测试件(S)表面，经试件表面反射激光，经第四偏振分光棱镜(PBS4)透射后，由图像采集系统接收；
波长为λ2＝532nm的绿光干涉光路，首先从第二激光器Laser2发出的一束激光，被第二偏振分光棱镜(PBS2)分成两束；其中，一束分光束作为参考光经第二半反半透镜(M2)反射后，经第一扩束器(SF1)扩束和第一准直透镜(L1)准直后，经过第四偏振分光棱镜(PBS4)反射射入图像采集系统；另一束分光束则作为探测物光经第二反光镜(CL2)反射后，经第三扩束器(SF3)扩束和第三准直透镜(L3)准直后，由第六反光镜(CL6)反射到第九反光镜(CL9)后，再照射到被测试件(S)表面，经试件表面反射的光，经第四偏振分光棱镜(PBS4)透射后，由图像采集系统接收；
波长为λ3＝671nm的红光干涉光路，首先从第三激光器Laser3发出的一束激光，被第一偏振分光棱镜(PBS1)分成两束；其中，一束分光束作为参考光经第一半反半透镜(M1)反射后，经第一扩束器(SF1)扩束和第一准直透镜(L1)准直后，经过第四偏振分光棱镜(PBS4)反射射入图像采集系统；另一束分光束则作为探测物光经第一反光镜(CL1)反射后，经第二扩束器(SF2)扩束和第二准直透镜(L2)准直后，由第五反光镜(CL5)反射到第八反光镜(CL8)后，再照射到被测试件(S)表面，经试件表面反射的光，经第四偏振分光棱镜(PBS4)透射后，由图像采集系统接收；
Step3、各光路通过对应的衰减器来调节参光与物光之间的光强比；
Step4、在图像采集系统前，有一个第四偏振分光棱镜(PBS4)；
Step5、三束不同波长物光与参考光叠加的光束(λ1d、λ2d、λ3d)，进入五边反射棱镜后，第一束光波长为λ1d的光经过五边棱镜内置的第一反射镜(F1)，对蓝色的波进行反射，最终进入第一光路采集装置的CCD1；
第二束光波长为λ2d的光经过五边棱镜内置的第二反射镜(F2)，对绿色的波进行反射，最终进入第二光路采集装置的CCD2；
第三束光波长为λ3d的光经过五边棱镜内置的第三反射镜(F3)，对红色的波进行反射，最终进入第三光路采集装置的CCD3；
由此实现对三个波长全息图的同时采集；
Step6、得到3个激光波长各自对应施加作用力前后的物光与其波长对应的参考光叠加的激光全息图，进而经过1-FFT处理、FIMG4FFT、相位差处理、相位解包裹处理，得出被测试件(S)表面新旧材料交接处三个垂直方向的位移场，用于来分析生物骨骼愈合情况。
2.根据权利要求1所述的基于彩色数字全息干涉的材料形变测量方法，其特征在于：所述Step2中，对于通过调节第一个光路中的第七反光镜(CL7)、第二个光路中的第六反光镜(CL6)、第九反光镜(CL9)、第三个光路中的第五反光镜(CL5)、第八反光镜(CL8)，均能用于调节物光射入角度。
3.根据权利要求1所述的基于彩色数字全息干涉的材料形变测量方法，其特征在于：
在各光路通过对应的分光棱镜进行分光，包括第三偏振分光棱镜(PBS3)、第二偏振分光棱镜(PBS2)、第一偏振分光棱镜(PBS1)，由第四偏振分光棱镜(PBS4)进行统一对三种波长的物光和参考光结合，后经过对应五边棱镜内置波长反射镜，对波长的光进行反射，进入其对应的CCD相机进行同时采集相同波长的全息图；
波长为λ1＝457nm的蓝光干涉光路，从第一激光器Laser1发出的一束激光，经第三偏振分光棱镜(PBS3)分束，又经第四偏振分光棱镜(PBS4)合束后，形成的光束λ1d垂直射入五边棱镜，由棱镜内部的第一反射镜(F1)反射后，由CCD1接收；
波长为λ2＝532nm的绿光干涉光路，从第二激光器Laser2发出的一束激光，经第二偏振分光棱镜(PBS2)分束，又经第四偏振分光棱镜(PBS4)合束后，形成的光束λ2d垂直射入五边棱镜，由棱镜内部的第二反射镜(F2)反射后，由CCD2接收；
波长为λ3＝671nm的红光干涉光路，从第三激光器Laser3发出的一束激光，经第一偏振分光棱镜(PBS1)分束，又经第四偏振分光棱镜(PBS4)合束后，形成的光束λ3d垂直射入五边棱镜，由棱镜内部的第三反射镜(F3)反射后，由CCD3接收。
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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102290060A (zh) * 2011-06-24 2011-12-21 上海大学 三向投影单幅层析全息图记录装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007114463A (ja) * 2005-10-20 2007-05-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd ３次元カラー画像記録装置
CN102662178B (zh) * 2012-05-03 2013-11-27 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 空间目标白天高分辨率光电成像探测系统
CN106768280B (zh) * 2017-02-28 2020-04-14 北京航空航天大学 一种基于多波长无透镜傅里叶变换数字全息的振动检测装置
US11561081B2 (en) * 2019-02-08 2023-01-24 Beijing Jiaotong University Method for full-field measurement using dynamic laser doppler imaging
CN110986830B (zh) * 2019-11-04 2021-06-22 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种双光谱三维姿态角测量装置及测量方法
CN111811394B (zh) * 2020-06-02 2021-11-05 上海大学 基于3ccd或3cmos的动态三波长数字全息测量方法
CN112666804B (zh) * 2021-01-14 2023-10-03 之江实验室 基于干涉点阵和dmd的边缘光抑制阵列并行直写装置

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102290060A (zh) * 2011-06-24 2011-12-21 上海大学 三向投影单幅层析全息图记录装置

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