CN113759083A - 一种芯片表面曲线检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种芯片表面曲线检测装置，涉及检测装置技术领域。本发明包括座体，座体上安装有壳体一，壳体一上设有壳体二，壳体二的内部与壳体一的内部连通；壳体二设有的开口内配合安装有固定座，固定座上固定有芯片本体；壳体二内安装有伸缩部，伸缩部的端部伸出壳体二与延长板连接，延长板靠近固定座的一侧设有检测部。本发明通过腔体的设有的排气管与抽气泵连通，腔体的开口封闭时，腔体内部空气被抽出，使得腔体内处于负压状态，从而实现伸缩部向下滑动，实现设有的检测部与芯片本体的表面接触，通过设有的检测部完成对芯片本体的表面曲线进行检测。

Description

一种芯片表面曲线检测装置

技术领域

本发明属于检测装置技术领域，特别是涉及一种芯片表面曲线检测装置。

背景技术

如何精准高效的检测芯片的缺陷是芯片制造的重要一环，在现有技术中，通常是以高照明强度的光源，直接对待测芯片进行打光，而后检测人员通过高倍显微镜进行瑕疵检测，这样的方式要求检测人员高度集中注意力，且容易产生区域漏检，劳动强度大，检测准确率也不高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种芯片表面曲线检测装置，通过腔体的设有的排气管与抽气泵连通，腔体的开口封闭时，腔体内部空气被抽出，使得腔体内处于负压状态，从而实现伸缩部向下滑动，实现设有的检测部与芯片本体的表面接触，通过设有的检测部完成对芯片本体的表面曲线进行检测，解决了背景技术中提出的相关问题。

为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

本发明为一种芯片表面曲线检测装置，包括座体，所述座体上安装有壳体一，所述壳体一上设有壳体二，所述壳体二的内部与壳体一的内部连通；所述壳体二设有的开口内配合安装有固定座，所述固定座上固定有芯片本体；所述壳体二内安装有伸缩部，所述伸缩部的端部伸出壳体二与延长板连接，所述延长板靠近固定座的一侧设有检测部。

进一步地，所述壳体一具有两个开口，所述壳体一的下侧开口贴合在座体上；所述壳体一的上侧开口处延伸有框体，所述壳体一远离框体的一侧设有侧板，所述侧板上安装有排气管，所述壳体一、框体以及侧板构成L型腔体；所述框体的上端口内设有凸环，所述框体的侧边设有限位槽三，所述固定座安装在框体的开口内，并与设有的凸环和限位槽三限位配合。

进一步地，所述框体的侧面上开设有除杂口，除杂口内安装有密封盖板，所述除杂口的底边内侧延伸有沿体一，所述框体内与沿体一相对的一侧面上设有沿体二，所述沿体二的位置高于沿体一的位置，位于框体的过滤部搭接在沿体一和沿体二上，同时设有的过滤部将L型腔体隔断。

进一步地，所述过滤部的相对两端侧面上均设有凸块，两个凸块分别配合在沿体一设有的限位槽一和沿体二设有的限位槽二内；所述沿体一与过滤部端部接触的底面上开有深孔一，所述沿体二与过滤部另一端部接触的底面上开有深孔二，所述深孔一和深孔二内均安装有振动弹簧。

进一步地，所述固定座包括矩形框和把手，所述矩形框的一侧固定有把手，所述矩形框中部安装用芯片本体，并通过安装在矩形框上的固定块进行固定；所述矩形框内还设有与芯片本体的缺口相配合的定位凸起。

进一步地，所述框体的底面设有的倒角结构一，倒角结构一与凸环上设有的倒角结构二配合。

进一步地，所述壳体二的顶端开设有导向孔；所述伸缩部包括导向杆、塞体和限位座，所述塞体滑动安装有壳体二内，所述塞体上固定有穿过导向孔向外延伸的导向杆，所述壳体二内还固定有限位座，所述限位座与塞体之间通过复位弹簧连接。

进一步地，所述检测部包括基座、检测头和连接端，所述基座固定在延长板上，所述基座靠近固定座的一侧阵列安装有若干个检测头，所述基座上设有与检测头电性连接的连接端。

进一步地，所述座体的底部安装有滚轮组。

本发明具有以下有益效果：

1、本发明设有的壳体一与座体形成腔体，腔体的开口上放置有固定座，同时腔体的设有的排气管与抽气泵连通，腔体的开口封闭时，腔体内部空气被抽出，使得腔体内处于负压状态，从而实现伸缩部向下滑动，实现设有的检测部与芯片本体的表面接触，通过设有的检测部完成对芯片本体的表面曲线进行检测。

2、本发明设有的排气管与抽气泵连通，框体的开口打开时，通过框体的开口将外部的空气吸入，通过设有的过滤部将外部空气中含有的灰尘过滤，避免灰尘将出气端堵塞。

3、本发明设有的过滤部倾斜安装，过滤部的底端位于除杂口一侧，过滤的灰尘便于向除杂口汇聚，便于清理；另外深孔一和深孔二内均安装有与过滤部接触振动弹簧，在抽气的过程中，经过过滤部的空气通过阻力推动过滤部贴合沿体一和沿体二，设有的框体开口封闭时，没有空气穿过过滤部，设有的振动弹簧复位带动过滤部，便于将灰尘震落。

4、本发明框体的开口封闭时，壳体一与座体形成腔体处于负压状态，在外部大气压的作用下推动伸缩部向下运动，实现检测部靠近芯片本体，直至设有的塞体与限位座，设有的检测部被挤压，实现对芯片本体的表面曲线进行检测；设有的框体的开口打开，壳体一与座体形成腔体气压与外部大气压相同，通过设有的复位弹簧推动导向杆和塞体实现复位。

当然，实施本发明的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的整体结构示意图；

图2为本发明的整体剖面结构示意图；

图3为本发明的图2的A处放大结构示意图；

图4为本发明的壳体一以及壳体二结构示意图；

图5为本发明的壳体一以及壳体二结构示意图；

图6为本发明的固定座以及芯片本体结构示意图；

图7为本发明的伸缩部以及检测部结构示意图；

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、座体；2、壳体一；21、沿体一；211、限位槽一；212、深孔一；22、沿体二；221、限位槽二；222、深孔二；23、振动弹簧；24、框体；241、凸环；242、限位槽三；25、除杂口；26、侧板；27、排气管；3、壳体二；31、导向孔；4、固定座；41、矩形框；42、把手；43、固定块；44、定位凸起；5、延长板；6、伸缩部；61、导向杆；62、塞体；63、限位座；64、复位弹簧；7、检测部；71、基座；72、检测头；73、连接端；8、过滤部；9、芯片本体。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“开孔”、“上”、“下”、“厚度”、“顶”、“中”、“长度”、“内”、“四周”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

请参阅图1-7所示，本发明为一种芯片表面曲线检测装置，包括座体1，座体1上安装有壳体一2，壳体一2上设有壳体二3，壳体二3的内部与壳体一2的内部连通；壳体二3设有的开口内配合安装有固定座4，固定座4上固定有芯片本体9；壳体二3内安装有伸缩部6，伸缩部6的端部伸出壳体二3与延长板5连接，延长板5靠近固定座4的一侧设有检测部7。

设有的壳体一2与座体1形成腔体，腔体的开口上放置有固定座4，同时腔体的通过设有的排气管27与抽气泵连通，腔体的开口封闭时，腔体内部空气被抽出，使得腔体内处于负压状态，从而实现伸缩部6向下滑动，实现设有的检测部7与芯片本体9的表面接触，通过设有的检测部7完成对芯片本体9的表面曲线进行检测。

壳体一2具有两个开口，壳体一2的下侧开口贴合在座体1上；壳体一2的上侧开口处延伸有框体24，壳体一2远离框体24的一侧设有侧板26，侧板26上安装有排气管27，壳体一2、框体24以及侧板26构成L型腔体；框体24的上端口内设有凸环241，框体24的侧边设有限位槽三242，固定座4安装在框体24的开口内，并与设有的凸环241和限位槽三242限位配合。

框体24的侧面上开设有除杂口25，除杂口25内安装有密封盖板，除杂口25的底边内侧延伸有沿体一21，框体24内与沿体一21相对的一侧面上设有沿体二22，沿体二22的位置高于沿体一21的位置，位于框体24的过滤部8搭接在沿体一21和沿体二22上，同时设有的过滤部8将L型腔体隔断。

设有的排气管27与抽气泵连通，框体24的开口打开时，通过框体24的开口将外部的空气吸入，通过设有的过滤部8将外部空气中含有的灰尘过滤，避免灰尘将出气端堵塞。

过滤部8的相对两端侧面上均设有凸块，两个凸块分别配合在沿体一21设有的限位槽一211和沿体二22设有的限位槽二221内；沿体一21与过滤部8端部接触的底面上开有深孔一212，沿体二22与过滤部8另一端部接触的底面上开有深孔二222，深孔一212和深孔二222内均安装有振动弹簧23。

设有的过滤部8倾斜安装，过滤部8的底端位于除杂口25一侧，过滤的灰尘便于向除杂口25汇聚，便于清理；另外深孔一212和深孔二222内均安装有与过滤部8接触振动弹簧23，在抽气的过程中，经过过滤部8的空气通过阻力推动过滤部8贴合沿体一21和沿体二22，设有的框体24开口封闭时，没有空气穿过过滤部8，设有的振动弹簧23复位带动过滤部8，便于将灰尘震落。

固定座4包括矩形框41和把手42，矩形框41的一侧固定有把手42，矩形框41中部安装用芯片本体9，并通过安装在矩形框41上的固定块43进行固定；矩形框41内还设有与芯片本体9的缺口相配合的定位凸起44。

矩形框41的底面设有的倒角结构一，倒角结构一与凸环241上设有的倒角结构二配合。

壳体二3的顶端开设有导向孔31；伸缩部6包括导向杆61、塞体62和限位座63，塞体62滑动安装有壳体二3内，塞体62上固定有穿过导向孔31向外延伸的导向杆61，壳体二3内还固定有限位座63，限位座63与塞体62之间通过复位弹簧64连接。

框体24的开口封闭时，壳体一2与座体1形成腔体处于负压状态，在外部大气压的作用下推动伸缩部6向下运动，实现检测部7靠近芯片本体9，直至设有的塞体62与限位座63，设有的检测部7被挤压，实现对芯片本体9的表面曲线进行检测；设有的框体24的开口打开，壳体一2与座体1形成腔体气压与外部大气压相同，通过设有的复位弹簧64推动导向杆61和塞体62实现复位。

检测部7包括基座71、检测头72和连接端73，基座71固定在延长板5上，基座71靠近固定座4的一侧阵列安装有若干个检测头72，基座71上设有与检测头72电性连接的连接端73，设有的连接端73通过数据线与PC端进行连接，便于完成将检测数据传输至PC端。

座体1的底部安装有滚轮组，便于进行移动。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (9)

1.一种芯片表面曲线检测装置，包括座体（1），其特征在于：

所述座体（1）上安装有壳体一（2），所述壳体一（2）上设有壳体二（3），所述壳体二（3）的内部与壳体一（2）的内部连通；

所述壳体二（3）设有的开口内配合安装有固定座（4），所述固定座（4）上固定有芯片本体（9）；

所述壳体二（3）内安装有伸缩部（6），所述伸缩部（6）的端部伸出壳体二（3）与延长板（5）连接，所述延长板（5）靠近固定座（4）的一侧设有检测部（7）。

2.根据权利要求1所述的一种芯片表面曲线检测装置，其特征在于，所述壳体一（2）具有两个开口，所述壳体一（2）的下侧开口贴合在座体（1）上；

所述壳体一（2）的上侧开口处延伸有框体（24），所述壳体一（2）远离框体（24）的一侧设有侧板（26），所述侧板（26）上安装有排气管（27），所述壳体一（2）、框体（24）以及侧板（26）构成L型腔体；

所述框体（24）的上端口内设有凸环（241），所述框体（24）的侧边设有限位槽三（242），所述固定座（4）安装在框体（24）的开口内，并与设有的凸环（241）和限位槽三（242）限位配合。

3.根据权利要求2所述的一种芯片表面曲线检测装置，其特征在于，所述框体（24）的侧面上开设有除杂口（25），除杂口（25）内安装有密封盖板，所述除杂口（25）的底边内侧延伸有沿体一（21），所述框体（24）内与沿体一（21）相对的一侧面上设有沿体二（22），所述沿体二（22）的位置高于沿体一（21）的位置，位于框体（24）的过滤部（8）搭接在沿体一（21）和沿体二（22）上，同时设有的过滤部（8）将L型腔体隔断。

4.根据权利要求3所述的一种芯片表面曲线检测装置，其特征在于，所述过滤部（8）的相对两端侧面上均设有凸块，两个凸块分别配合在沿体一（21）设有的限位槽一（211）和沿体二（22）设有的限位槽二（221）内；

所述沿体一（21）与过滤部（8）端部接触的底面上开有深孔一（212），所述沿体二（22）与过滤部（8）另一端部接触的底面上开有深孔二（222），所述深孔一（212）和深孔二（222）内均安装有振动弹簧（23）。

5.根据权利要求2所述的一种芯片表面曲线检测装置，其特征在于，所述固定座（4）包括矩形框（41）和把手（42），所述矩形框（41）的一侧固定有把手（42），所述矩形框（41）中部安装用芯片本体（9），并通过安装在矩形框（41）上的固定块（43）进行固定；

所述矩形框（41）内还设有与芯片本体（9）的缺口相配合的定位凸起（44）。

6.根据权利要求5所述的一种芯片表面曲线检测装置，其特征在于，所述矩形框（41）的底面设有的倒角结构一，倒角结构一与凸环（241）上设有的倒角结构二配合。

7.根据权利要求2所述的一种芯片表面曲线检测装置，其特征在于，所述壳体二（3）的顶端开设有导向孔（31）；

所述伸缩部（6）包括导向杆（61）、塞体（62）和限位座（63），所述塞体（62）滑动安装有壳体二（3）内，所述塞体（62）上固定有穿过导向孔（31）向外延伸的导向杆（61），所述壳体二（3）内还固定有限位座（63），所述限位座（63）与塞体（62）之间通过复位弹簧（64）连接。

8.根据权利要求2所述的一种芯片表面曲线检测装置，其特征在于，所述检测部（7）包括基座（71）、检测头（72）和连接端（73），所述基座（71）固定在延长板（5）上，所述基座（71）靠近固定座（4）的一侧阵列安装有若干个检测头（72），所述基座（71）上设有与检测头（72）电性连接的连接端（73）。

9.根据权利要求1所述的一种芯片表面曲线检测装置，其特征在于，所述座体（1）的底部安装有滚轮组。

Images