CN113743873B - 工艺控制方法、系统与电子设备 - Google Patents

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Abstract

本公开提供一种工艺控制方法、系统和电子设备，方法包括：响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息，所述转投关系是指当第一生产流程的产出物为第二生产流程的原料物时，所述第一生产流程和所述第二生产流程存在转投关系；如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息。本公开实施例可以提高集成电路的生产效率，降低生产成本。

Description

工艺控制方法、系统与电子设备
技术领域
本公开涉及集成电路制造技术领域，具体而言，涉及一种能够提高制造效率的工艺控制方法、系统与电子设备。
背景技术
在集成电路制造过程中，由于制造流程复杂，需要多个生产流程配合以生成最终产品，每个生产流程用于生产一种产出物，各生产流程之间存在上下游转投关系，即一个生产流程的产出物是另一个生产流程的原料物。
由于生产流程较多，各生产流程的产出物通常需要存放在公用库位以供其他生产流程取用，各生产流程也会从公用库位取用原料物。因此，每个生产流程均设置有其对应的原料物存储库位和产出物存储库位。
但是在实际生产中，由于生产流程数量较多，转投关系较复杂，且各生产流程的生成时间不同、信息修改时间不同，常常存在一个生产流程的取料动作无法从其设定的取料库位中成功取料，导致生产流程中断的现象。此外，各生产流程的污染等级不同，也常存在一个生产流程取出的原料物污染该生产流程的机台，导致晶圆报废的情况。
因此，亟需一种能够提高工艺效率、减少生产成本的工艺控制方法。
需要说明的是，在上述背景技术部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
发明内容
本公开的目的在于提供一种工艺控制方法、系统与电子设备，用于至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的生产流程受物料影响中断问题和机台污染问题。
根据本公开的第一方面，提供一种工艺控制方法，包括：响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息，所述转投关系是指当第一生产流程的产出物为第二生产流程的原料物时，所述第一生产流程和所述第二生产流程存在转投关系；如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息。
在本公开的一些示例性实施例中，所述取料信息包括首站污染源标签，所述存料信息包括尾站污染源标签，所述如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息包括：
如果所述第一生产流程的尾站污染源标签不等于所述第二生产流程的首站污染源标签，生成污染等级不匹配警报信息。
在本公开的一些示例性实施例中，所述取料信息包括原料物存储库位，所述存料信息包括产出物存储库位，所述如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息包括：
如果所述第一生产流程的产出物存储库位不等于所述第二生产流程的原料物存储库位，生成库位不匹配警报信息。
在本公开的一些示例性实施例中，包括：所述首站污染源标签和所述尾站污染源标签的种类包括铜制程标签、非铜制程的金属制程标签和非铜制程的非金属制程标签。
在本公开的一些示例性实施例中，所述响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息包括：
在新建目标生产流程时，获取所述目标生产流程的存料信息、取料信息以及所述目标生产流程与其他生产流程之间的转投关系；
获取与所述目标生产流程具有直接或间接转投关系的生产流程的存料信息和取料信息。
在本公开的一些示例性实施例中，所述响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息包括：
在任意目标生产流程的取料信息、存料信息或转投关系发生变动时，获取所述目标生产流程的存料信息、取料信息以及所述目标生产流程与其他生产流程之间的转投关系；
获取与所述目标生产流程具有直接或间接转投关系的生产流程的存料信息和取料信息。
在本公开的一些示例性实施例中，所述如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息包括：
在任意目标生产流程的原料物存储库位发生变动时，判断变动后的原料物存储库位是否等于所述目标生产流程的转投前生产流程的产出物存储库位，如果不等则生成存储库位不匹配警报信息；
在任意目标生产流程的产出物存储库位发生变动时，判断变动后的产出物存储库位是否等于所述目标生产流程的转投后生产流程的原料物存储库位，如果不等则生成存储库位不匹配警报信息。
在本公开的一些示例性实施例中，所述如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息包括：
在任意目标生产流程的首站污染源标签发生变动时，判断变动后的首站污染源标签是否等于所述目标生产流程的转投前生产流程的尾站污染源标签，如果不等则生成污染等级不匹配警报信息；
在任意目标生产流程的尾站污染源标签发生变动时，判断变动后的尾站污染源标签是否等于所述目标生产流程的转投后生产流程的首站污染源标签，如果不等则生成污染等级不匹配警报信息。
在本公开的一些示例性实施例中，所述响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息包括：
由基础记录制造执行设定系统在新建目标生产流程或任意目标生产流程的取料信息、存料信息或转投关系发生变动时执行。
在本公开的一些示例性实施例中，所述响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息包括：
由流程设定系统在新建目标生产流程或任意目标生产流程的取料信息、存料信息或转投关系发生变动时执行。
在本公开的一些示例性实施例中，所述响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息包括：
由流程设定系统在接收到所述基础记录制造执行设定系统发送的生产流程设定信息时执行。
在本公开的一些示例性实施例中，所述响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息包括：
由流程设定系统在对物料管理系统发送流程设定之前执行。
根据本公开的第二方面，提供一种工艺控制系统，包括：
基础记录制造执行设定系统，用于接收第一生产流程设定信息，并执行如上所述的方法，输出包含多个生产流程的转投关系的第二生产流程设定信息，所述第一生产流程设定信息包括操作人员提交的新建生产流程或修改生产流程的信息；
流程设定系统，连接所述基础记录制造执行设定系统，用于接收所述第二生产流程设定信息以及第三生产流程设定信息，所述第三生产流程设定信息包括操作人员提交的新建生产流程或修改生产流程的信息，并执行如上所述的方法，输出第四生产流程设定信息；
物料管理系统，连接所述流程设定系统，用于接收所述第四生产流程设定信息并根据所述第四生产流程设定信息准备物料；
制造执行系统，连接所述物料管理系统，用于基于所述第四生产流程设定信息以及所述物料管理系统提供的物料实现所述多个生产流程。
根据本公开的第三方面，提供一种电子设备，包括存储器和处理器，所述存储器用于存储代码，所述处理器用于执行所述存储器存储的代码以执行如上所述的工艺控制方法。
本公开实施例通过在流程设定阶段获取并自动检测具有转投关系的生产流程之间的存料信息和取料信息的匹配关系，可以及时终止存料信息和取料信息不匹配的生产流程之间设定的转投关系，并对该转投关系报警，避免后续生产流程中由物料流转带来的生产流程中断、产线污染、晶圆报废等情况，提高集成电路的生产效率，降低生产成本。
应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本公开。
附图说明
此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本公开示例性实施例中工艺控制系统的结构示意图。
图2是本公开实施例中工艺控制方法的流程图。
图3是本公开一个实施例中多个具有转投关系的生产流程的示意图。
图4是本公开实施例中多个具有转投关系的生产流程的存料信息和取料信息不匹配的示意图。
图5是本公开一个实施例中工艺控制系统执行图2所示方法的示意图。
图6是图5中表格信息的示意图。
具体实施方式
现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的范例；相反，提供这些实施方式使得本公开将更加全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施方式中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施方式的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而省略所述特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方法、组元、装置、步骤等。在其它情况下，不详细示出或描述公知技术方案以避免喧宾夺主而使得本公开的各方面变得模糊。
此外，附图仅为本公开的示意性图解，图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。附图中所示的一些方框图是功能实体，不一定必须与物理或逻辑上独立的实体相对应。可以采用软件形式来实现这些功能实体，或在一个或多个硬件模块或集成电路中实现这些功能实体，或在不同网络和/或处理器装置和/或微控制器装置中实现这些功能实体。
下面结合附图对本公开示例实施方式进行详细说明。
图1是本公开示例性实施例中工艺控制系统的结构示意图。
参考图1，工艺控制系统100可以包括：
基础记录制造执行设定系统(Basic Record Specification Manager，BRSM)11，用于接收第一生产流程设定信息，并执行本公开实施例提供的工艺控制方法，输出包含多个生产流程的转投关系的第二生产流程设定信息，第一生产流程设定信息包括操作人员提交的新建生产流程或修改生产流程的信息。
流程设定系统(Specification Manager，SM)12，通讯连接基础记录制造执行设定系统11，用于接收第二生产流程设定信息以及第三生产流程设定信息，第三生产流程设定信息包括操作人员提交的新建生产流程或修改生产流程的信息，并执行本公开实施例提供的工艺控制方法，输出第四生产流程设定信息。
物料管理系统(Material Manager，MM)13，通讯连接流程设定系统12，用于接收第四生产流程设定信息并根据第四生产流程设定信息准备物料。
制造执行系统(Manufacturing Execution System，MES)14，通讯连接物料管理系统13，用于基于第四生产流程设定信息以及物料管理系统提供的物料实现多个生产流程。
本公开实施例设置在基础记录制造执行设定系统11和流程设定系统12中进行生产流程之间的匹配检测，在生产流程的规划阶段解决产出物流转带来的种种问题，能够避免在物料管理系统13和制造执行系统14的运行中等生产流程实际运行阶段发现生产流程中断问题和污染问题。例如，当物料管理系统13准备物料时，无法从一个生产流程对应的取料库位提取到相应物料，无法保障该生产流程的正常生产。或者，即使物料管理系统13从该生产流程对应的取料库位提取到相应物料，该物料也会导致该生产流程的产线污染，例如铜制程的产出物回流至非铜制程、非铜制程的金属制程的产出物回流至非铜制程的非金属制程，污染机台和晶圆，当污染累积到一定程度将引起晶圆的报废。本公开实施例的技术方案可以提高投片的成功率，提高生产效率，降低机台和晶圆的污染，降低生产流程的损耗和成本。
图2是本公开实施例中工艺控制方法的流程图。
参考图2，工艺控制方法200可以包括：
步骤S21，响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息，所述转投关系是指当第一生产流程的产出物为第二生产流程的原料物时，所述第一生产流程和所述第二生产流程存在转投关系；
步骤S22，如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息。
具体地，在步骤S21，基础记录制造执行设定系统11和/或流程设定系统12可以在新建目标生产流程时，或在任意目标生产流程的取料信息、存料信息或转投关系发生变动时，获取目标生产流程的存料信息、取料信息以及目标生产流程与其他生产流程之间的转投关系，然后获取与目标生产流程具有直接或间接转投关系的生产流程的存料信息和取料信息。
在一个实施例中，取料信息包括原料物存储库位，存料信息包括产出物存储库位，步骤S22可以包括：如果第一生产流程的产出物存储库位不等于第二生产流程的原料物存储库位，生成库位不匹配警报信息。
在一个实施例中，取料信息包括首站污染源标签，存料信息包括尾站污染源标签，步骤S22可以包括：如果第一生产流程的尾站污染源标签不等于第二生产流程的首站污染源标签，生成污染等级不匹配警报信息。
图3是本公开一个实施例中多个具有转投关系的生产流程的示意图。
参考图3，第一生产流程31具有生产站点311、312、313，第二生产流程32具有生产站点321、322、323。第一生产流程31的原料物为产品A，产出物为产品B，首站为311，尾站为313；第二生产流程32的原料物为产品B，产出物为产品C，首站为321，尾站为323。此时，系统判定第一生产流程31与第二生产流程32之间具有转投关系，且第一生产流程31是第二生产流程32的上游生产流程。
在本公开实施例中，生产流程信息、不同生产流程之间的转投关系由工艺控制人员根据工艺需求手动设定，并输入基础记录制造执行设定系统11或流程设定系统12，当然，工艺控制人员也可以在基础记录制造执行设定系统11或流程设定系统12上修改、添加或删除生产流程或者生产流程之间的转投关系。例如，工艺控制人员可以根据实际工况和生产需求首先输入第一生产流程31的相关信息，然后输入第二生产流程32的相关信息，并设置第二生产流程32为第一生产流程31的下游生产流程，即设置第一生产流程31和第二生产流程32存在转投关系。
产品A、B、C均具有对应的存储库位。第一生产流程31的设置信息中包括首站污染源标签、尾站污染源标签和产品A的存储库位(对第一生产流程31而言是原料物存储库位)、产品B的存储库位(对第一生产流程31而言是产出物存储库位)；第二生产流程32的设置信息中包括首站污染源标签、尾站污染源标签和产品B的存储库位(对第二生产流程32而言是原料物存储库位)、产品C的存储库位(对第二生产流程32而言是产出物存储库位)。第一生产流程31的取料信息是产品A的信息和311的首站污染源标签，第一生产流程31的存料信息是产品B的信息和313的尾站污染源标签，第二生产流程32的取料信息是产品B的信息和321的首站污染源标签，第二生产流程32的存料信息是产品C的信息和323的尾站污染源标签。
在本公开实施例中，首站污染源标签和尾站污染源标签的种类可以包括铜制程标签、非铜制程的金属制程标签和非铜制程的非金属制程标签，也可以包括其他自行设置的标签，本领域技术人员可以根据实际情况自行设置。
当接收到指示新建或修改第一生产流程31或第二生产流程32的流程设定指令时，首先可以判断本次修改是否涉及生产流程本身以及原料物和产出物相关信息的修改。
第一种情况是涉及原料物或产出物的种类的新建或修改，如果涉及到原料物的种类修改，需要根据修改后的原料物确定对应的转投前生产流程，进而核对该转投前生产流程的存料信息与修改后的原料物的相关信息是否匹配，例如存储库位和污染源标签是否匹配；同理如果涉及到产出物的种类的修改，需要根据修改后的产出物确定对应的转投后生产流程，进而核对该转投后生产流程的取料信息与修改后的产出物的相关信息是否匹配。
第二种情况是涉及原料物或产出物的存储库位的修改。此时，如果修改了原料物的存储库位，则确认该原料物存储库位与转投前生产流程的产出物存储库位是否相同，如果不同则生成库位不匹配警报信息；如果修改了产出物的存储库位，则确认该产出物存储库位与转投后生产流程的原料物存储库位是否相同，如果不同则生成库位不匹配警报信息。
第三种情况是涉及到生产流程内部生产站点的修改，此时可能涉及到首站的修改和尾站的修改，进而涉及到首站污染源标签和尾站污染源标签的修改。如果修改了首站，则确认修改后的首站的污染源标签与转投前的生产流程的尾站污染源标签是否相同，如果不同则生成污染等级不匹配警报信息；如果修改了尾站，则确认修改后的尾站的污染源标签与转投后的生产流程的首站污染源标签是否相同，如果不同则生成污染等级不匹配警报信息。
即，在任意目标生产流程的原料物存储库位发生变动时，判断变动后的原料物存储库位是否等于所述目标生产流程的转投前生产流程的产出物存储库位，如果不等则生成存储库位不匹配警报信息；在任意目标生产流程的产出物存储库位发生变动时，判断变动后的产出物存储库位是否等于所述目标生产流程的转投后生产流程的原料物存储库位，如果不等则生成存储库位不匹配警报信息。
在任意目标生产流程的首站污染源标签发生变动时，判断变动后的首站污染源标签是否等于目标生产流程的转投前生产流程的尾站污染源标签，如果不等则生成污染等级不匹配警报信息；在任意目标生产流程的尾站污染源标签发生变动时，判断变动后的尾站污染源标签是否等于目标生产流程的转投后生产流程的首站污染源标签，如果不等则生成污染等级不匹配警报信息。
图4是本公开实施例中多个具有转投关系的生产流程的存料信息和取料信息不匹配的示意图。
参考图4，生产流程41包括3个生产站点411、412、413，生产流程42包括3个生产站点421、422、423，生产流程43包括3个生产站点431、432、433。生产流程41的原料物是A，产出物是B，首站是411，尾站是413；生产流程42的原料物是B，产出物是C，首站是421，尾站是423；生产流程43的原料物是C，产出物是D，首站是431，尾站是433。生产流程41、42、43具有转投关系。
如图4所示，生产流程41的尾站污染源标签是非铜金属，产出物存储库位为B1；生产流程42的首站污染源标签是非铜金属，原料物存储库位是B2。此时生产流程41与生产流程42的污染源标签匹配，但是存储库位不匹配，生成生产流程41与生产流程42存储库位不匹配警报信息。
生产流程42的尾站污染源标签是铜，产出物存储库位是C1；生产流程43的首站污染源标签是非铜金属，原料物存储库位是C1。此时生产流程42与生产流程43的污染源标签不匹配，存储库位匹配，生成生产流程42与生产流程43污染等级不匹配警报信息。
图2所示的方法可以由基础记录制造执行设定系统11在新建目标生产流程或任意目标生产流程的取料信息、存料信息或转投关系发生变动时执行。由流程设定系统12在新建目标生产流程或任意目标生产流程的取料信息、存料信息或转投关系发生变动时执行；由流程设定系统12在接收到基础记录制造执行设定系统发送的生产流程设定信息时执行。由流程设定系统12在对物料管理系统13发送流程设定之前执行。
可以同时设置基础记录制造执行设定系统11和流程设定系统12在符合上述条件时执行图2所示的方法200，也可以单独设置基础记录制造执行设定系统11或流程设定系统12在以上任意条件满足时执行图2所示的方法200，本公开对此不作特殊限制。
图5是本公开一个实施例中工艺控制系统执行图2所示方法的示意图。
参考图5，在步骤S51，对BRSM系统11输入流程设定指令。
在步骤S52，导入新增或变更生产流程的表格信息。
在步骤S53，BRSM系统11进入数据库执行图2所示方法并判断是否出现警报信息，如果是，进入步骤S54显示警报信息并提示重新导入表格，然后返回步骤S52重新导入表格信息。如果否，进入步骤S55。
在步骤S55，对SM系统12输出第二生产流程设定信息(同时对SM系统12触发流程设定指令)，进入步骤S57。
在步骤S56，对SM系统12输入第三生产流程设定信息(同时对SM系统12触发流程设定指令)，进入步骤S57。步骤S57是可选项，可能发生，也可能不发生。
在步骤S57，SM系统12进入数据库执行图2所示方法并判断是否出现警报信息，如果是，进入步骤S54显示警报信息并提示重新导入表格，然后返回步骤S52重新导入表格信息。如果否，进入步骤S58。
在步骤S58，SM系统12对MM系统13输出第四流程设定信息。即SM系统12自动进入Release(发布)，单击Release后本次变更将自动传输给MM系统13，且直接覆盖掉MM系统13原来的设定。
图6是图5中表格信息的示意图。
参考图6，产品A1、A2、A3、A9(产出物)对应的五个生产流程1、2、3、4、5之间具有转投关系，图中箭头所示即转投方向。根据图6所示表格，各执行图2所示方法的系统首先进行关键字段分类集合，然后进行上下游转投关系匹配，最后进行关键字段对比，自动按关键字段取值整合、自动匹配对应关系，自动检索判断。
图6所示表格的最终判断结果是通过。
本公开实施例还提供一种电子设备，包括存储器和处理器，所述存储器用于存储代码，所述处理器用于执行所述存储器存储的代码以执行如图2所述的工艺控制方法。
综上所述，本公开实施例通过在流程设定阶段限制具有转投关系的生产流程之间的存料信息和取料信息的匹配关系，可以避免后续生产流程中由物料流转带来的生产流程中断、产线污染、晶圆报废等情况，提高集成电路的生产效率，降低生产成本。
应当注意，尽管在上文详细描述中提及了用于动作执行的设备的若干模块或者单元，但是这种划分并非强制性的。实际上，根据本公开的实施方式，上文描述的两个或更多模块或者单元的特征和功能可以在一个模块或者单元中具体化。反之，上文描述的一个模块或者单元的特征和功能可以进一步划分为由多个模块或者单元来具体化。
本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本公开的其它实施方案。本申请旨在涵盖本公开的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本公开的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本公开的真正范围和构思由权利要求指出。

Claims (14)

1.一种工艺控制方法，其特征在于，包括：
在流程设定阶段，响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息，所述转投关系是指当第一生产流程的产出物为第二生产流程的原料物时，所述第一生产流程和所述第二生产流程存在转投关系；
如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息；
其中，所述取料信息包括首站污染源标签和原料物存储库位，所述存料信息包括尾站污染源标签和产出物存储库位。
2.如权利要求1所述的工艺控制方法，其特征在于，所述如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息包括：
如果所述第一生产流程的尾站污染源标签不等于所述第二生产流程的首站污染源标签，生成污染等级不匹配警报信息。
3.如权利要求1所述的工艺控制方法，其特征在于，所述如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息包括：
如果所述第一生产流程的产出物存储库位不等于所述第二生产流程的原料物存储库位，生成库位不匹配警报信息。
4.如权利要求1所述的工艺控制方法，其特征在于，包括：所述首站污染源标签和所述尾站污染源标签的种类包括铜制程标签、非铜制程的金属制程标签和非铜制程的非金属制程标签。
5.如权利要求1所述的工艺控制方法，其特征在于，所述响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息包括：
在新建目标生产流程时，获取所述目标生产流程的存料信息、取料信息以及所述目标生产流程与其他生产流程之间的转投关系；
获取与所述目标生产流程具有直接或间接转投关系的生产流程的存料信息和取料信息。
6.如权利要求1所述的工艺控制方法，其特征在于，所述响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息包括：
在任意目标生产流程的取料信息、存料信息或转投关系发生变动时，获取所述目标生产流程的存料信息、取料信息以及所述目标生产流程与其他生产流程之间的转投关系；
获取与所述目标生产流程具有直接或间接转投关系的生产流程的存料信息和取料信息。
7.如权利要求6所述的工艺控制方法，其特征在于，所述如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息包括：
在任意目标生产流程的原料物存储库位发生变动时，判断变动后的原料物存储库位是否等于所述目标生产流程的转投前生产流程的产出物存储库位，如果不等则生成存储库位不匹配警报信息；
在任意目标生产流程的产出物存储库位发生变动时，判断变动后的产出物存储库位是否等于所述目标生产流程的转投后生产流程的原料物存储库位，如果不等则生成存储库位不匹配警报信息。
8.如权利要求6所述的工艺控制方法，其特征在于，所述如果根据所述转投关系判断转投前的第一生产流程的存料信息与转投后的第二生产流程的取料信息不匹配，生成警报信息包括：
在任意目标生产流程的首站污染源标签发生变动时，判断变动后的首站污染源标签是否等于所述目标生产流程的转投前生产流程的尾站污染源标签，如果不等则生成污染等级不匹配警报信息；
在任意目标生产流程的尾站污染源标签发生变动时，判断变动后的尾站污染源标签是否等于所述目标生产流程的转投后生产流程的首站污染源标签，如果不等则生成污染等级不匹配警报信息。
9.如权利要求5~8任一项所述的工艺控制方法，其特征在于，所述响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息包括：
由基础记录制造执行设定系统在新建目标生产流程或任意目标生产流程的取料信息、存料信息或转投关系发生变动时执行。
10.如权利要求5~8任一项所述的工艺控制方法，其特征在于，所述响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息包括：
由流程设定系统在新建目标生产流程或任意目标生产流程的取料信息、存料信息或转投关系发生变动时执行。
11.如权利要求9所述的工艺控制方法，其特征在于，所述响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息包括：
由流程设定系统在接收到所述基础记录制造执行设定系统发送的生产流程设定信息时执行。
12.如权利要求5~8任一项所述的工艺控制方法，其特征在于，所述响应流程设定指令获取具有转投关系的多个生产流程的存料信息和取料信息包括：
由流程设定系统在对物料管理系统发送流程设定之前执行。
13.一种工艺控制系统，其特征在于，包括：
基础记录制造执行设定系统，用于接收第一生产流程设定信息，并执行如权利要求1~12任一项所述的方法，输出包含多个生产流程的转投关系的第二生产流程设定信息，所述第一生产流程设定信息包括操作人员提交的新建生产流程或修改生产流程的信息；
流程设定系统，通讯连接所述基础记录制造执行设定系统，用于接收所述第二生产流程设定信息以及第三生产流程设定信息，所述第三生产流程设定信息包括操作人员提交的新建生产流程或修改生产流程的信息，并执行如权利要求1~12任一项所述的方法，输出第四生产流程设定信息；
物料管理系统，通讯连接所述流程设定系统，用于接收所述第四生产流程设定信息并根据所述第四生产流程设定信息准备物料；
制造执行系统，通讯连接所述物料管理系统，用于基于所述第四生产流程设定信息以及所述物料管理系统提供的物料实现所述多个生产流程。
14.一种电子设备，其特征在于，包括存储器和处理器，所述存储器用于存储代码，所述处理器用于执行所述存储器存储的代码以执行如权利要求1~12任一项所述的工艺控制方法。
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