CN113708664B - 一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统及方法，包括：自调节电磁悬浮点分系统，用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，通过电磁悬浮点使芯片检测平台处于稳定悬浮状态；平衡电磁斥力点分系统，用于在芯片检测平台边缘分别对称设置多个电磁斥力点，通过对称设置多个电磁斥力点使芯片检测平台在水平方向平衡；智能调节电磁悬浮分系统，用于调节芯片检测平台的高度，调节芯片检测平台的水平位移，限制芯片检测平台的极限位置；智能记忆稳定平衡调节分系统，用于通过机器学习进行稳定平衡位置智能自动记忆，并进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节。

Description

一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统及方法

技术领域

本发明涉及芯片检测防震动领域，更具体地说，本发明涉及一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统及方法。

背景技术

芯片检测平台对于防震动要求非常高，任何微小的震动都可能影响检测，而任何接触都会传导外界震动；如何使芯片检测平台进行非接触以及稳定状态现阶段尚未解决；防震动稳定平衡仍需要改进、仍有很多技术点需要解决；如何使芯片检测平台在水平方向平衡无接触调节；如何稳定无接触调节电磁悬浮点调节芯片检测平台的高度、如何无震动调节芯片检测平台的水平位移以及如何无接触调节芯片检测平台的倾转角度都是需要解决的技术问题；因此，有必要提出一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统及方法，以至少部分地解决现有技术中存在的问题。

发明内容

在发明内容部分中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本发明的发明内容部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。

为至少部分地解决上述问题，本发明提供了一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统，包括：

自调节电磁悬浮点分系统，用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，通过电磁悬浮点使芯片检测平台处于稳定悬浮状态；

平衡电磁斥力点分系统，用于在芯片检测平台边缘分别对称设置多个电磁斥力点，通过对称设置多个电磁斥力点使芯片检测平台在水平方向平衡；

智能调节电磁悬浮分系统，用于调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度；

智能记忆稳定平衡调节分系统，用于通过机器学习进行稳定平衡位置智能自动记忆，综合调节可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点及智能配合检测平台限位点，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节。

优选的，自调节电磁悬浮点分系统包括：电磁悬浮点分布子系统，用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，芯片检测平台底部通过多个连接点和所述电磁悬浮点相接；电磁悬浮点构件子系统，包括：第一电磁铁和第二电磁铁；第一电磁铁和第二电磁铁上下正对放置且电磁极性相同；第一电磁铁和第二电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；所述芯片检测平台包括：芯片检测圆形平台、平台边缘斥力点、检测平台底座；电磁悬浮点调节子系统，用于调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；通过电磁悬浮点电流，计算电磁悬浮点排斥力，分析判定电磁悬浮点排斥力是否能达到芯片检测平台悬浮所设置的力；当电磁悬浮点排斥力小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则自动增大电磁悬浮点电流；当电磁悬浮点排斥力不小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则保持电磁悬浮点电流；当需要调节芯片检测平台时，则改变电磁悬浮点电流；通过调节电磁悬浮点电流使芯片检测平台能够保持稳定悬浮，并能够根据设定的调节位置进行自动调节。

优选的，平衡电磁斥力点分系统包括：电磁斥力点分布子系统，用于在芯片检测平台边缘设置多个可调节电磁斥力点，芯片检测平台边缘通过可调节电磁斥力点和边缘限位结构相连接；电磁斥力点构件子系统，用于通过电磁斥力点构件组成电磁斥力点内部结构，包括：第三电磁铁和第四电磁铁；第三电磁铁和第四电磁铁水平方向正对放置且电磁极性相同；第三电磁铁和第四电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；电磁斥力点调节子系统，用于通过对称设置多个电磁斥力点，调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够平衡芯片检测平台，使芯片检测平台在水平方向保持平衡。

优选的，智能调节电磁悬浮分系统包括：稳定悬浮调节子系统，用于调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；平衡检测调节子系统，用于调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够保持芯片检测平台平衡；升降调节子系统，用于当检测平台需要进行升降操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；水平调节子系统，用于当检测平台需要进行水平移动操作时，调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；检测平台限位点子系统，用于在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；多个检测平台限位点包括：检测平台高度位置限位点、检测平台水平位置限位点、检测平台倾斜位置限位点和检测平台旋转角度限位点；多个检测平台限位点分别从多个位置限位和角度限位，限制芯片检测平台的极限位置；旋转倾斜子系统，用于当检测平台需要进行旋转倾斜操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的倾斜角度；综合智能调节子系统，用于通过智能学习调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平旋转角位移，通过电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度。

优选的，智能记忆稳定平衡调节分系统包括：智能记忆平衡子系统，用于对每个需求的平衡状态，通过可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点、检测平台限位点的调节位置进行机器学习调节位置自动记忆；机器学习智能子系统，在进行芯片检测时，调节位置机器学习自动记忆对芯片检测平台检测时所需平衡状态时，各可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点和检测平台限位点的进行综合设置自动调节；智能自动持续更新子系统，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并在需要调整检测位置角度时，进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节，自动持续更新机器学习调节位置记忆。

一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡方法，包括：S100、在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，通过电磁悬浮点使芯片检测平台处于稳定悬浮状态；S200、在芯片检测平台边缘分别对称设置多个电磁斥力点，通过对称设置多个电磁斥力点使芯片检测平台在水平方向平衡；S300、调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度；S400、通过机器学习进行稳定平衡位置智能自动记忆，综合调节可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点及智能配合检测平台限位点，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节。

优选的，S100包括：S101、在芯片检测平台底部设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，芯片检测平台底部通过多个连接点和所述电磁悬浮点相接；S102、所述电磁悬浮点包括：第一电磁铁和第二电磁铁；第一电磁铁和第二电磁铁上下正对放置且电磁极性相同；第一电磁铁和第二电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；所述芯片检测平台包括：芯片检测圆形平台、平台边缘斥力点、检测平台底座；S103、调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮。

优选的，S200包括：S201、在芯片检测平台边缘设置多个可调节电磁斥力点，芯片检测平台边缘通过可调节电磁斥力点和边缘限位结构相连接；S202、电磁斥力点构件组成电磁斥力点内部结构，包括：第三电磁铁和第四电磁铁；第三电磁铁和第四电磁铁水平方向正对放置且电磁极性相同；第三电磁铁和第四电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；S203、通过对称设置多个电磁斥力点，调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够平衡芯片检测平台，使芯片检测平台在水平方向保持平衡。

优选的，S300包括：S301、调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；S302、调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够保持芯片检测平台平衡；S303、当检测平台需要进行升降操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；S304、当检测平台需要进行水平移动操作时，调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；S305、在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；多个检测平台限位点包括：检测平台高度位置限位点、检测平台水平位置限位点、检测平台倾斜位置限位点和检测平台旋转角度限位点；多个检测平台限位点分别从多个位置限位和角度限位，限制芯片检测平台的极限位置；S306、当检测平台需要进行旋转倾斜操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的倾斜角度；通过调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平旋转角位移；通过电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度。

优选的，S400包括：S401、对每个需求的平衡状态，通过可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点、检测平台限位点的调节位置进行机器学习调节位置自动记忆；S402、在进行芯片检测时，调节位置机器学习自动记忆对芯片检测平台检测时所需平衡状态时，各可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点和检测平台限位点的进行综合设置自动调节；S403、保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并在需要调整检测位置角度时，进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节，自动持续更新机器学习调节位置记忆。

相比现有技术，本发明至少包括以下有益效果：

自调节电磁悬浮点分系统，可以用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，通过电磁悬浮点使芯片检测平台处于稳定悬浮状态；平衡电磁斥力点分系统，可以用于在芯片检测平台边缘分别对称设置多个电磁斥力点，通过对称设置多个电磁斥力点使芯片检测平台在水平方向平衡；智能调节电磁悬浮分系统，可以用于调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度；电磁悬浮点和电磁斥力点由一对极性相同的电磁极相对构成，由同极性磁极相斥产生悬浮力和排斥力，当悬浮力达到使芯片检测平台悬浮的大小时，可以使芯片检测平台悬浮保持稳定，同时电磁斥力点使芯片检测平台水平方向及调节时保持平衡；智能记忆稳定平衡调节分系统，可以用于通过机器学习进行稳定平衡位置智能自动记忆，综合调节可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点及智能配合检测平台限位点，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节；悬浮状态能够更好的隔绝外界震动对芯片检测平台的影响；斥力点能够使芯片检测平台的悬浮状态保持平衡；限位点能够避免平台过量调节发生位置偏移；智能自动记忆能够使芯片检测平台调节效率更高避免重复调节，通过智能化机器学习可以使各部位的调节设定更优化。

本发明所述的一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统及方法，本发明的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本发明的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：

图1为本发明所述的一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统图。

图2为本发明所述的一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡方法步骤图。

图3为本发明所述的一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统结构实施例图。

具体实施方式

下面结合附图以及实施例对本发明做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。如图1-3所示，本发明提供了一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统，包括：

自调节电磁悬浮点分系统，用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，通过电磁悬浮点使芯片检测平台处于稳定悬浮状态；

平衡电磁斥力点分系统，用于在芯片检测平台边缘分别对称设置多个电磁斥力点，通过对称设置多个电磁斥力点使芯片检测平台在水平方向平衡；

智能调节电磁悬浮分系统，用于调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度；

智能记忆稳定平衡调节分系统，用于通过机器学习进行稳定平衡位置智能自动记忆，综合调节可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点及智能配合检测平台限位点，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节。

上述技术方案的工作原理为：自调节电磁悬浮点分系统，用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，通过电磁悬浮点使芯片检测平台处于稳定悬浮状态；平衡电磁斥力点分系统，用于在芯片检测平台边缘分别对称设置多个电磁斥力点，通过对称设置多个电磁斥力点使芯片检测平台在水平方向平衡；智能调节电磁悬浮分系统，用于调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度；智能记忆稳定平衡调节分系统，用于通过机器学习进行稳定平衡位置智能自动记忆，综合调节可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点及智能配合检测平台限位点，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节；电磁悬浮点和电磁斥力点由一对极性相同的电磁极相对构成，由同极性磁极相斥产生悬浮力和排斥力，当悬浮力达到使芯片检测平台悬浮的大小时，可以使芯片检测平台悬浮保持稳定，同时电磁斥力点使芯片检测平台水平方向及调节时保持平衡。

上述技术方案的有益效果为：自调节电磁悬浮点分系统，可以用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，通过电磁悬浮点使芯片检测平台处于稳定悬浮状态；平衡电磁斥力点分系统，可以用于在芯片检测平台边缘分别对称设置多个电磁斥力点，通过对称设置多个电磁斥力点使芯片检测平台在水平方向平衡；智能调节电磁悬浮分系统，可以用于调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度；电磁悬浮点和电磁斥力点由一对极性相同的电磁极相对构成，由同极性磁极相斥产生悬浮力和排斥力，当悬浮力达到使芯片检测平台悬浮的大小时，可以使芯片检测平台悬浮保持稳定，同时电磁斥力点使芯片检测平台水平方向及调节时保持平衡；智能记忆稳定平衡调节分系统，可以用于通过机器学习进行稳定平衡位置智能自动记忆，综合调节可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点及智能配合检测平台限位点，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节；悬浮状态能够更好的隔绝外界震动对芯片检测平台的影响；斥力点能够使芯片检测平台的悬浮状态保持平衡；限位点能够避免平台过量调节发生位置偏移；智能自动记忆能够使芯片检测平台调节效率更高避免重复调节，通过智能化机器学习可以使各部位的调节设定更优化。

在一个实施例中，自调节电磁悬浮点分系统包括：电磁悬浮点分布子系统，用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，芯片检测平台底部通过多个连接点和所述电磁悬浮点相接；电磁悬浮点构件子系统，包括：第一电磁铁和第二电磁铁；第一电磁铁和第二电磁铁上下正对放置且电磁极性相同；第一电磁铁和第二电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；所述芯片检测平台包括：芯片检测圆形平台、平台边缘斥力点、检测平台底座；电磁悬浮点调节子系统，用于调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；通过电磁悬浮点电流，计算电磁悬浮点排斥力，分析判定电磁悬浮点排斥力是否能达到芯片检测平台悬浮所设置的力；当电磁悬浮点排斥力小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则自动增大电磁悬浮点电流；当电磁悬浮点排斥力不小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则保持电磁悬浮点电流；当需要调节芯片检测平台时，则改变电磁悬浮点电流；通过调节电磁悬浮点电流使芯片检测平台能够保持稳定悬浮，并能够根据设定的调节位置进行自动调节。

上述技术方案的工作原理为：自调节电磁悬浮点分系统包括：电磁悬浮点分布子系统，用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，芯片检测平台底部通过多个连接点和所述电磁悬浮点相接；电磁悬浮点构件子系统，包括：第一电磁铁和第二电磁铁；第一电磁铁和第二电磁铁上下正对放置且电磁极性相同；第一电磁铁和第二电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；所述芯片检测平台包括：芯片检测圆形平台、平台边缘斥力点、检测平台底座；电磁悬浮点调节子系统，用于调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；

通过电磁悬浮点电流，计算电磁悬浮点排斥力，分析判定电磁悬浮点排斥力是否能达到芯片检测平台悬浮所设置的力；

电磁悬浮点排斥力计算公式如下：

其中，𝐾𝑛𝑠为电磁悬浮点使芯片检测平台悬浮的总排斥力，𝑀𝑓𝑝为电磁悬浮点个数，𝐼𝑧𝑠为电磁悬浮点电流，𝐻𝑐d为电磁悬浮点磁芯高度，

电磁悬浮点磁芯感应磁通，𝑄𝑧𝑠为电磁悬浮点磁感应线圈数，𝐺𝑐为电磁悬浮点磁通面积分量；当电磁悬浮点排斥力小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则自动增大电磁悬浮点电流；当电磁悬浮点排斥力不小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则保持电磁悬浮点电流；当需要调节芯片检测平台时，则改变电磁悬浮点电流；通过调节电磁悬浮点电流使芯片检测平台能够保持稳定悬浮，并能够根据设定的调节位置进行自动调节；

如设置芯片检测平台悬浮所设置的力为350N，初始电磁悬浮点电流为10A，其余量按如下算例计算可得：

如设置芯片检测平台悬浮所设置的力为350N，如根据算例计算电磁悬浮点排斥力为400N，不小于芯片检测平台悬浮所设置的力，能达到芯片检测平台悬浮所设置的力；通过调节电磁悬浮点电流使芯片检测平台能够保持稳定悬浮，并能够根据设定的调节位置进行自动调节。

上述技术方案的有益效果为：电磁悬浮点分布子系统，可以用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，芯片检测平台底部通过多个连接点和所述电磁悬浮点相接；电磁悬浮点构件子系统，包括：第一电磁铁和第二电磁铁；第一电磁铁和第二电磁铁上下正对放置且电磁极性相同；第一电磁铁和第二电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；所述芯片检测平台包括：芯片检测圆形平台、平台边缘斥力点、检测平台底座；电磁悬浮点调节子系统，可以用于调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；通过电磁悬浮点电流，计算电磁悬浮点排斥力，分析判定电磁悬浮点排斥力是否能达到芯片检测平台悬浮所设置的力；当电磁悬浮点排斥力小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则自动增大电磁悬浮点电流；当电磁悬浮点排斥力不小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则保持电磁悬浮点电流；当需要调节芯片检测平台时，则改变电磁悬浮点电流；通过调节电磁悬浮点电流使芯片检测平台能够保持稳定悬浮，并能够根据设定的调节位置进行自动调节。

在一个实施例中，平衡电磁斥力点分系统包括：电磁斥力点分布子系统，用于在芯片检测平台边缘设置多个可调节电磁斥力点，芯片检测平台边缘通过可调节电磁斥力点和边缘限位结构相连接；电磁斥力点构件子系统，用于通过电磁斥力点构件组成电磁斥力点内部结构，包括：第三电磁铁和第四电磁铁；第三电磁铁和第四电磁铁水平方向正对放置且电磁极性相同；第三电磁铁和第四电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；电磁斥力点调节子系统，用于通过对称设置多个电磁斥力点，调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够平衡芯片检测平台，使芯片检测平台在水平方向保持平衡。

上述技术方案的工作原理为：平衡电磁斥力点分系统包括：电磁斥力点分布子系统，用于在芯片检测平台边缘设置多个可调节电磁斥力点，芯片检测平台边缘通过可调节电磁斥力点和边缘限位结构相连接；电磁斥力点构件子系统，用于通过电磁斥力点构件组成电磁斥力点内部结构，包括：第三电磁铁和第四电磁铁；第三电磁铁和第四电磁铁水平方向正对放置且电磁极性相同；第三电磁铁和第四电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；电磁斥力点调节子系统，用于通过对称设置多个电磁斥力点，调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够平衡芯片检测平台，使芯片检测平台在水平方向保持平衡。

上述技术方案的有益效果为：电磁斥力点分布子系统，可以用于在芯片检测平台边缘设置多个可调节电磁斥力点，芯片检测平台边缘通过可调节电磁斥力点和边缘限位结构相连接；电磁斥力点构件子系统，可以用于通过电磁斥力点构件组成电磁斥力点内部结构，包括：第三电磁铁和第四电磁铁；第三电磁铁和第四电磁铁水平方向正对放置且电磁极性相同；第三电磁铁和第四电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；电磁斥力点调节子系统，可以用于通过对称设置多个电磁斥力点，调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够平衡芯片检测平台，使芯片检测平台在水平方向保持平衡；电磁斥力点可以使芯片检测平台在水平方向保持平衡，避免悬浮状态时芯片检测平台的水平方向晃动，并能进行水平方向位移调节。

在一个实施例中，智能调节电磁悬浮分系统包括：稳定悬浮调节子系统，用于调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；平衡检测调节子系统，用于调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够保持芯片检测平台平衡；升降调节子系统，用于当检测平台需要进行升降操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；水平调节子系统，用于当检测平台需要进行水平移动操作时，调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；检测平台限位点子系统，用于在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；多个检测平台限位点包括：检测平台高度位置限位点、检测平台水平位置限位点、检测平台倾斜位置限位点和检测平台旋转角度限位点；多个检测平台限位点分别从多个位置限位和角度限位，限制芯片检测平台的极限位置；旋转倾斜子系统，用于当检测平台需要进行旋转倾斜操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的倾斜角度；综合智能调节子系统，用于通过智能学习调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平旋转角位移，通过电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度。

上述技术方案的工作原理为：智能调节电磁悬浮分系统包括：稳定悬浮调节子系统，用于调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；平衡检测调节子系统，用于调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够保持芯片检测平台平衡；升降调节子系统，用于当检测平台需要进行升降操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；水平调节子系统，用于当检测平台需要进行水平移动操作时，调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；检测平台限位点子系统，用于在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；多个检测平台限位点包括：检测平台高度位置限位点、检测平台水平位置限位点、检测平台倾斜位置限位点和检测平台旋转角度限位点；多个检测平台限位点分别从多个位置限位和角度限位，限制芯片检测平台的极限位置；旋转倾斜子系统，用于当检测平台需要进行旋转倾斜操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的倾斜角度；综合智能调节子系统，用于通过智能学习调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平旋转角位移，通过电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度。

上述技术方案的有益效果为：稳定悬浮调节子系统，可以用于调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；平衡检测调节子系统，用于调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够保持芯片检测平台平衡；升降调节子系统，用于当检测平台需要进行升降操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；水平调节子系统，用于当检测平台需要进行水平移动操作时，调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；检测平台限位点子系统，用于在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；多个检测平台限位点包括：检测平台高度位置限位点、检测平台水平位置限位点、检测平台倾斜位置限位点和检测平台旋转角度限位点；多个检测平台限位点分别从多个位置限位和角度限位，限制芯片检测平台的极限位置；旋转倾斜子系统，用于当检测平台需要进行旋转倾斜操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的倾斜角度；综合智能调节子系统，用于通过智能学习调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平旋转角位移，通过电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度；可以使芯片检测平台悬浮稳定、位置平衡，并能在调节过程中保持连续平稳。

在一个实施例中，智能记忆稳定平衡调节分系统包括：智能记忆平衡子系统，用于对每个需求的平衡状态，通过可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点、检测平台限位点的调节位置进行机器学习调节位置自动记忆；机器学习智能子系统，在进行芯片检测时，调节位置机器学习自动记忆对芯片检测平台检测时所需平衡状态时，各可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点和检测平台限位点的进行综合设置自动调节；智能自动持续更新子系统，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并在需要调整检测位置角度时，进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节，自动持续更新机器学习调节位置记忆。

上述技术方案的工作原理为：智能记忆稳定平衡调节分系统包括：智能记忆平衡子系统，用于对每个需求的平衡状态，通过可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点、检测平台限位点的调节位置进行机器学习调节位置自动记忆；机器学习智能子系统，在进行芯片检测时，调节位置机器学习自动记忆对芯片检测平台检测时所需平衡状态时，各可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点和检测平台限位点的进行综合设置自动调节；智能自动持续更新子系统，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并在需要调整检测位置角度时，进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节，自动持续更新机器学习调节位置记忆。

上述技术方案的有益效果为：智能记忆稳定平衡调节分系统包括：智能记忆平衡子系统，可以用于对每个需求的平衡状态，通过可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点、检测平台限位点的调节位置进行机器学习调节位置自动记忆；机器学习智能子系统，在进行芯片检测时，调节位置机器学习自动记忆对芯片检测平台检测时所需平衡状态，对各可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点和检测平台限位点的进行综合设置自动调节；智能自动持续更新子系统，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并在需要调整检测位置角度时，可以进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节，自动持续更新机器学习调节位置记忆。

一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡方法，包括：S100、在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，通过电磁悬浮点使芯片检测平台处于稳定悬浮状态；S200、在芯片检测平台边缘分别对称设置多个电磁斥力点，通过对称设置多个电磁斥力点使芯片检测平台在水平方向平衡；S300、调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度；S400、通过机器学习进行稳定平衡位置智能自动记忆，综合调节可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点及智能配合检测平台限位点，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节。

上述技术方案的工作原理为：在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，通过电磁悬浮点使芯片检测平台处于稳定悬浮状态；在芯片检测平台边缘分别对称设置多个电磁斥力点，通过对称设置多个电磁斥力点使芯片检测平台在水平方向平衡；调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度；通过机器学习进行稳定平衡位置智能自动记忆，综合调节可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点及智能配合检测平台限位点，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节；电磁悬浮点和电磁斥力点由一对极性相同的电磁极相对构成，由同极性磁极相斥产生悬浮力和排斥力，当悬浮力达到使芯片检测平台悬浮的大小时，可以使芯片检测平台悬浮保持稳定，同时电磁斥力点使芯片检测平台水平方向及调节时保持平衡。

上述技术方案的有益效果为：在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，可以通过电磁悬浮点使芯片检测平台处于稳定悬浮状态；在芯片检测平台边缘分别对称设置多个电磁斥力点，通过对称设置多个电磁斥力点使芯片检测平台在水平方向平衡；调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度；电磁悬浮点和电磁斥力点由一对极性相同的电磁极相对构成，由同极性磁极相斥产生悬浮力和排斥力，当悬浮力达到使芯片检测平台悬浮的大小时，可以使芯片检测平台悬浮保持稳定，同时电磁斥力点使芯片检测平台水平方向及调节时保持平衡；通过机器学习进行稳定平衡位置智能自动记忆，综合调节可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点及智能配合检测平台限位点，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节；悬浮状态能够更好的隔绝外界震动对芯片检测平台的影响；斥力点能够使芯片检测平台的悬浮状态保持平衡；限位点能够避免平台过量调节发生位置偏移；智能自动记忆能够使芯片检测平台调节效率更高避免重复调节，通过智能化机器学习可以使各部位的调节设定更优化。

在一个实施例中，S100包括：S101、在芯片检测平台底部设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，芯片检测平台底部通过多个连接点和所述电磁悬浮点相接；S102、所述电磁悬浮点包括：第一电磁铁和第二电磁铁；第一电磁铁和第二电磁铁上下正对放置且电磁极性相同；第一电磁铁和第二电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；所述芯片检测平台包括：芯片检测圆形平台、平台边缘斥力点、检测平台底座；S103、调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮。

上述技术方案的工作原理为：在芯片检测平台底部设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，芯片检测平台底部通过多个连接点和所述电磁悬浮点相接；所述电磁悬浮点包括：第一电磁铁和第二电磁铁；第一电磁铁和第二电磁铁上下正对放置且电磁极性相同；第一电磁铁和第二电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；所述芯片检测平台包括：芯片检测圆形平台、平台边缘斥力点、检测平台底座；调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；

通过电磁悬浮点电流，计算电磁悬浮点排斥力，分析判定电磁悬浮点排斥力是否能达到芯片检测平台悬浮所设置的力；

电磁悬浮点排斥力计算公式如下：

其中，𝐾𝑛𝑠为电磁悬浮点使芯片检测平台悬浮的总排斥力，𝑀𝑓𝑝为电磁悬浮点个数，𝐼𝑧𝑠为电磁悬浮点电流，𝐻𝑐d为电磁悬浮点磁芯高度，

电磁悬浮点磁芯感应磁通，𝑄𝑧𝑠为电磁悬浮点磁感应线圈数，𝐺𝑐为电磁悬浮点磁通面积分量；当电磁悬浮点排斥力小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则自动增大电磁悬浮点电流；当电磁悬浮点排斥力不小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则保持电磁悬浮点电流；当需要调节芯片检测平台时，则改变电磁悬浮点电流；通过调节电磁悬浮点电流使芯片检测平台能够保持稳定悬浮，并能够根据设定的调节位置进行自动调节；

如设置芯片检测平台悬浮所设置的力为350N，初始电磁悬浮点电流为10A，其余量按如下算例计算可得：

如设置芯片检测平台悬浮所设置的力为350N，如根据算例计算电磁悬浮点排斥力为400N，不小于芯片检测平台悬浮所设置的力，能达到芯片检测平台悬浮所设置的力；通过调节电磁悬浮点电流使芯片检测平台能够保持稳定悬浮，并能够根据设定的调节位置进行自动调节。

上述技术方案的有益效果为：在芯片检测平台底部设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，可以使芯片检测平台底部通过多个连接点和所述电磁悬浮点相接；所述电磁悬浮点包括：第一电磁铁和第二电磁铁；第一电磁铁和第二电磁铁上下正对放置且电磁极性相同；第一电磁铁和第二电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；所述芯片检测平台包括：芯片检测圆形平台、平台边缘斥力点、检测平台底座；调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，可以保持稳定悬浮。

在一个实施例中，S200包括：S201、在芯片检测平台边缘设置多个可调节电磁斥力点，芯片检测平台边缘通过可调节电磁斥力点和边缘限位结构相连接；S202、电磁斥力点构件组成电磁斥力点内部结构，包括：第三电磁铁和第四电磁铁；第三电磁铁和第四电磁铁水平方向正对放置且电磁极性相同；第三电磁铁和第四电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；S203、通过对称设置多个电磁斥力点，调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够平衡芯片检测平台，使芯片检测平台在水平方向保持平衡。

上述技术方案的工作原理为：在芯片检测平台边缘设置多个可调节电磁斥力点，芯片检测平台边缘通过可调节电磁斥力点和边缘限位结构相连接；电磁斥力点构件组成电磁斥力点内部结构，包括：第三电磁铁和第四电磁铁；第三电磁铁和第四电磁铁水平方向正对放置且电磁极性相同；第三电磁铁和第四电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；通过对称设置多个电磁斥力点，调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够平衡芯片检测平台，使芯片检测平台在水平方向保持平衡。

上述技术方案的有益效果为：在芯片检测平台边缘设置多个可调节电磁斥力点，芯片检测平台边缘通过可调节电磁斥力点和边缘限位结构相连接；电磁斥力点构件组成电磁斥力点内部结构，包括：第三电磁铁和第四电磁铁；第三电磁铁和第四电磁铁水平方向正对放置且电磁极性相同；第三电磁铁和第四电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；通过对称设置多个电磁斥力点，调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够平衡芯片检测平台，使芯片检测平台在水平方向保持平衡；电磁斥力点可以使芯片检测平台在水平方向保持平衡，避免悬浮状态时芯片检测平台的水平方向晃动，并能进行水平方向位移调节。

在一个实施例中，S300包括：S301、调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；S302、调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够保持芯片检测平台平衡；S303、当检测平台需要进行升降操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；S304、当检测平台需要进行水平移动操作时，调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；S305、在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；多个检测平台限位点包括：检测平台高度位置限位点、检测平台水平位置限位点、检测平台倾斜位置限位点和检测平台旋转角度限位点；多个检测平台限位点分别从多个位置限位和角度限位，限制芯片检测平台的极限位置；S306、当检测平台需要进行旋转倾斜操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的倾斜角度；通过调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平旋转角位移；通过电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度。

上述技术方案的工作原理为：调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够保持芯片检测平台平衡；当检测平台需要进行升降操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；当检测平台需要进行水平移动操作时，调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；多个检测平台限位点包括：检测平台高度位置限位点、检测平台水平位置限位点、检测平台倾斜位置限位点和检测平台旋转角度限位点；多个检测平台限位点分别从多个位置限位和角度限位，限制芯片检测平台的极限位置；当检测平台需要进行旋转倾斜操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的倾斜角度；通过调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平旋转角位移；通过电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度。

上述技术方案的有益效果为：调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，可以保持稳定悬浮；调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够保持芯片检测平台平衡；当检测平台需要进行升降操作时，可以通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，可以调节芯片检测平台的高度；当检测平台需要进行水平移动操作时，调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，可以调节芯片检测平台的水平位移；在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；多个检测平台限位点包括：检测平台高度位置限位点、检测平台水平位置限位点、检测平台倾斜位置限位点和检测平台旋转角度限位点；多个检测平台限位点分别从多个位置限位和角度限位，可以限制芯片检测平台的极限位置；当检测平台需要进行旋转倾斜操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，可以调节芯片检测平台的倾斜角度；通过调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平旋转角位移；通过电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度；可以使芯片检测平台悬浮稳定、位置平衡，并能在调节过程中保持连续平稳。

在一个实施例中，S400包括：S401、对每个需求的平衡状态，通过可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点、检测平台限位点的调节位置进行机器学习调节位置自动记忆；S402、在进行芯片检测时，调节位置机器学习自动记忆对芯片检测平台检测时所需平衡状态时，各可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点和检测平台限位点的进行综合设置自动调节；S403、保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并在需要调整检测位置角度时，进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节，自动持续更新机器学习调节位置记忆。

上述技术方案的工作原理为：对每个需求的平衡状态，通过可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点、检测平台限位点的调节位置进行机器学习调节位置自动记忆；S402、在进行芯片检测时，调节位置机器学习自动记忆对芯片检测平台检测时所需平衡状态时，各可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点和检测平台限位点的进行综合设置自动调节；S403、保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并在需要调整检测位置角度时，进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节，自动持续更新机器学习调节位置记忆。

上述技术方案的有益效果为：可以对每个需求的平衡状态，通过可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点、检测平台限位点的调节位置进行机器学习调节位置自动记忆；可以在进行芯片检测时，调节位置机器学习自动记忆对芯片检测平台检测时所需平衡状态，各可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点和检测平台限位点的进行综合设置自动调节；可以保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并在需要调整检测位置角度时，进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节，自动持续更新机器学习调节位置记忆。

尽管本发明的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本发明的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限于特定的细节与这里示出与描述的图例。

Claims (8)

1.一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统，其特征在于，包括：

自调节电磁悬浮点分系统，用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，通过电磁悬浮点使芯片检测平台处于稳定悬浮状态；

平衡电磁斥力点分系统，用于在芯片检测平台边缘分别对称设置多个电磁斥力点，通过对称设置多个电磁斥力点使芯片检测平台在水平方向平衡；

智能调节电磁悬浮分系统，用于调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度；

智能记忆稳定平衡调节分系统，用于通过机器学习进行稳定平衡位置智能自动记忆，综合调节可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点及智能配合检测平台限位点，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节；

自调节电磁悬浮点分系统包括：

电磁悬浮点分布子系统，用于在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，芯片检测平台底部通过多个连接点和所述电磁悬浮点相接；

电磁悬浮点构件子系统，包括：第一电磁铁和第二电磁铁；第一电磁铁和第二电磁铁上下正对放置且电磁极性相同；第一电磁铁和第二电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；所述芯片检测平台包括：芯片检测圆形平台、平台边缘斥力点、检测平台底座；

电磁悬浮点调节子系统，用于调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；通过电磁悬浮点电流，计算电磁悬浮点排斥力，分析判定电磁悬浮点排斥力是否能达到芯片检测平台悬浮所设置的力；当电磁悬浮点排斥力小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则自动增大电磁悬浮点电流；当电磁悬浮点排斥力不小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则保持电磁悬浮点电流；当需要调节芯片检测平台时，则改变电磁悬浮点电流；通过调节电磁悬浮点电流使芯片检测平台能够保持稳定悬浮，并能够根据设定的调节位置进行自动调节；

电磁悬浮点排斥力计算公式如下：

其中，𝐾𝑛𝑠为电磁悬浮点使芯片检测平台悬浮的总排斥力，𝑀𝑓𝑝为电磁悬浮点个数，𝐼𝑧𝑠为电磁悬浮点电流，𝐻𝑐d为电磁悬浮点磁芯高度，

电磁悬浮点磁芯感应磁通，𝑄𝑧𝑠为电磁悬浮点磁感应线圈数，𝐺𝑐为电磁悬浮点磁通面积分量，𝐺1为电磁悬浮点磁通面积分量不为0的最小值，𝐺2为电磁悬浮点磁通面积分量不为0的最大值；当电磁悬浮点排斥力小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则自动增大电磁悬浮点电流；当电磁悬浮点排斥力不小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则保持电磁悬浮点电流；当需要调节芯片检测平台时，则改变电磁悬浮点电流。

2.根据权利要求1所述的一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统，其特征在于，平衡电磁斥力点分系统包括：

电磁斥力点分布子系统，用于在芯片检测平台边缘设置多个可调节电磁斥力点，芯片检测平台边缘通过可调节电磁斥力点和边缘限位结构相连接；

电磁斥力点构件子系统，用于通过电磁斥力点构件组成电磁斥力点内部结构，包括：第三电磁铁和第四电磁铁；第三电磁铁和第四电磁铁水平方向正对放置且电磁极性相同；第三电磁铁和第四电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；

电磁斥力点调节子系统，用于通过对称设置多个电磁斥力点，调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够平衡芯片检测平台，使芯片检测平台在水平方向保持平衡。

3.根据权利要求1所述的一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统，其特征在于，智能调节电磁悬浮分系统包括：

稳定悬浮调节子系统，用于调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；平衡检测调节子系统，用于调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够保持芯片检测平台平衡；

升降调节子系统，用于当检测平台需要进行升降操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；

水平调节子系统，用于当检测平台需要进行水平移动操作时，调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；

检测平台限位点子系统，用于在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；多个检测平台限位点包括：检测平台高度位置限位点、检测平台水平位置限位点、检测平台倾斜位置限位点和检测平台旋转角度限位点；多个检测平台限位点分别从多个位置限位和角度限位，限制芯片检测平台的极限位置；

旋转倾斜子系统，用于当检测平台需要进行旋转倾斜操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的倾斜角度；

综合智能调节子系统，用于通过智能学习调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平旋转角位移，通过电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度。

4.根据权利要求1所述的一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡系统，其特征在于，智能记忆稳定平衡调节分系统包括：

智能记忆平衡子系统，用于对每个需求的平衡状态，通过可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点、检测平台限位点的调节位置进行机器学习调节位置自动记忆；

机器学习智能子系统，在进行芯片检测时，调节位置机器学习自动记忆对芯片检测平台检测时所需平衡状态时，各可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点和检测平台限位点的进行综合设置自动调节；

智能自动持续更新子系统，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并在需要调整检测位置角度时，进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节，自动持续更新机器学习调节位置记忆。

5.一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡方法，其特征在于，包括：

S100、在芯片检测平台底座设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，通过电磁悬浮点使芯片检测平台处于稳定悬浮状态；

S200、在芯片检测平台边缘分别对称设置多个电磁斥力点，通过对称设置多个电磁斥力点使芯片检测平台在水平方向平衡；

S300、调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度；

S400、通过机器学习进行稳定平衡位置智能自动记忆，综合调节可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点及智能配合检测平台限位点，保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节；

S100包括：

S101、在芯片检测平台底部设置多个可调节电磁场的电磁悬浮点，芯片检测平台底部通过多个连接点和所述电磁悬浮点相接；

S102、所述电磁悬浮点包括：第一电磁铁和第二电磁铁；第一电磁铁和第二电磁铁上下正对放置且电磁极性相同；第一电磁铁和第二电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；所述芯片检测平台包括：芯片检测圆形平台、平台边缘斥力点、检测平台底座；

S103、调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；通过电磁悬浮点电流，计算电磁悬浮点排斥力，分析判定电磁悬浮点排斥力是否能达到芯片检测平台悬浮所设置的力；当电磁悬浮点排斥力小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则自动增大电磁悬浮点电流；当电磁悬浮点排斥力不小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则保持电磁悬浮点电流；当需要调节芯片检测平台时，则改变电磁悬浮点电流；通过调节电磁悬浮点电流使芯片检测平台能够保持稳定悬浮，并能够根据设定的调节位置进行自动调节；

电磁悬浮点排斥力计算公式如下：

其中，𝐾𝑛𝑠为电磁悬浮点使芯片检测平台悬浮的总排斥力，𝑀𝑓𝑝为电磁悬浮点个数，𝐼𝑧𝑠为电磁悬浮点电流，𝐻𝑐d为电磁悬浮点磁芯高度，

电磁悬浮点磁芯感应磁通，𝑄𝑧𝑠为电磁悬浮点磁感应线圈数，𝐺𝑐为电磁悬浮点磁通面积分量，𝐺1为电磁悬浮点磁通面积分量不为0的最小值，𝐺2为电磁悬浮点磁通面积分量不为0的最大值；当电磁悬浮点排斥力小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则自动增大电磁悬浮点电流；当电磁悬浮点排斥力不小于芯片检测平台悬浮所设置的力，则保持电磁悬浮点电流；当需要调节芯片检测平台时，则改变电磁悬浮点电流。

6.根据权利要求5所述的一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡方法，其特征在于，S200包括：

S201、在芯片检测平台边缘设置多个可调节电磁斥力点，芯片检测平台边缘通过可调节电磁斥力点和边缘限位结构相连接；

S202、电磁斥力点构件组成电磁斥力点内部结构，包括：第三电磁铁和第四电磁铁；第三电磁铁和第四电磁铁水平方向正对放置且电磁极性相同；第三电磁铁和第四电磁铁通电时相同极性产生相互排斥力；

S203、通过对称设置多个电磁斥力点，调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够平衡芯片检测平台，使芯片检测平台在水平方向保持平衡。

7.根据权利要求5所述的一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡方法，其特征在于，S300包括：

S301、调节电磁悬浮点电流使电磁悬浮点排斥力能够托起芯片检测平台，并保持稳定悬浮；

S302、调节电磁斥力点电流使电磁斥力点排斥力能够保持芯片检测平台平衡；

S303、当检测平台需要进行升降操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的高度；

S304、当检测平台需要进行水平移动操作时，调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平位移；

S305、在芯片检测平台底部和顶部分别对称设置多个检测平台限位点，限制芯片检测平台的极限位置；多个检测平台限位点包括：检测平台高度位置限位点、检测平台水平位置限位点、检测平台倾斜位置限位点和检测平台旋转角度限位点；多个检测平台限位点分别从多个位置限位和角度限位，限制芯片检测平台的极限位置；

S306、当检测平台需要进行旋转倾斜操作时，通过调节电磁悬浮点的电流调节电磁悬浮点的电磁场大小，调节芯片检测平台的倾斜角度；通过调节电磁斥力点的电流调节多个电磁斥力点的电磁场大小，调节芯片检测平台的水平旋转角位移；通过电磁悬浮点和电磁斥力点配合调节芯片检测平台的倾转角度。

8.根据权利要求5所述的一种芯片检测平台防震动智能记忆稳定平衡方法，其特征在于，S400包括：

S401、对每个需求的平衡状态，通过可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点、检测平台限位点的调节位置进行机器学习调节位置自动记忆；

S402、在进行芯片检测时，调节位置机器学习自动记忆对芯片检测平台检测时所需平衡状态时，各可调节电磁悬浮点、可调节电磁斥力点和检测平台限位点的进行综合设置自动调节；

S403、保持芯片检测平台在芯片检测过程中处于防震动稳定平衡状态，并在需要调整检测位置角度时，进行芯片检测平台高度位移无机械震动平稳调节，自动持续更新机器学习调节位置记忆。

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