CN113686850A - 一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统，包括:水平滑动组件；CCD相机，固定在水平滑动组件上；前后移动机构，包括驱动电机和精密直线移动机构，驱动电机与滑座固定连接，驱动电机驱动精密直线移动机构带动滑台沿滑座移动；上下调整机构，包括底座、移动件和调整固定件，调整固定件用于调整和固定底座和移动件之间的相对位置，移动件与滑座连接；抗干扰系统，包括相机罩、电机罩和抗干扰线管，相机罩和电机罩由金属制成，且相机罩和电机罩上设有电镀层，相机罩具有与CCD相机的镜头相对应的窗口，相机罩和电机罩连接有至少一条抗干扰线管，CCD相机和驱动电机的控制线和或信号线配置在抗干扰线管内。

Description

一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统
技术领域
本发明涉及真空腔体成像技术领域，尤其涉及一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统。
背景技术
目前在真空镀膜、半导体行业、激光领域等，都大范围的使用真空腔体来提供高真空环境，有一些腔体较大，但样品处于腔体中央，经常需要使用远距离成像系统来监测样品，成本较高且经常受限于观测角度，难以得到样品状态。需要研制一种适用于真空环境的近距离成像系统，对样品、元器件或者靶点进行高分辨成像。
发明内容
鉴于上述状况，有必要提出一种能够在真空环境高分辨率成像的适用于真空环境的抗辐射监测成像系统。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统，包括:水平滑动组件；CCD相机，固定在所述水平滑动组件上；前后移动机构，包括驱动电机和精密直线移动机构，所述驱动电机与所述滑座固定连接，所述驱动电机驱动所述精密直线移动机构带动所述滑台沿所述滑座移动；上下调整机构，包括底座、移动件和调整固定件，所述调整固定件用于调整和固定所述底座和所述移动件之间的相对位置，所述移动件与所述滑座连接；抗干扰系统，包括相机罩、电机罩和抗干扰线管，所述相机罩和所述电机罩由金属制成，且所述相机罩和所述电机罩上设有电镀层，所述相机罩罩设于所述CCD相机罩外，所述相机罩具有与所述CCD相机的镜头相对应的窗口，所述电机罩罩设于所述驱动电机外，所述相机罩和所述电机罩连接有至少一条抗干扰线管，所述CCD相机和所述驱动电机的控制线和或信号线配置在所述抗干扰线管内。
进一步的，所述CCD相机具有图像校正功能。
进一步的，所述精密直线移动机构包括丝杆，所述驱动电机驱动所述丝杆转动，带动所述滑台进行直线移动。
进一步的，还包括与所述CCD相机连接的上位机，所述上位机包括处理模块、显示屏和输入模块。
进一步的，所述窗口处设有电磁屏蔽玻璃。
进一步的，所述电磁屏蔽玻璃与相机罩密封连接。
进一步的，在相机罩内环绕所述窗口设有可调光的LED灯阵。
进一步的，所述CCD相机配备有电动三可变镜头。
进一步的，所述电镀层为镀镍层。
本发明的有益效果在于：通过前后移动机构和水平滑动组件的配合能够精密地驱动CCD相机进行前后移动，从而调节CCD相机的位置，调节CDD相机的焦点位置，自动聚焦获取更为清晰的图像；通过上下调整机构，可以根据工件的高度进行适应性调节；并且设置了抗干扰系统，对CCD相机、驱动电机以及相应的信号线或控制线进行了防护，避免了电磁干扰，提高了稳定性和成像效果。
附图说明
图1是本发明实施例一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统的结构示意图；
图2是本发明实施例一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统的另一方向的结构示意图；
图3是本发明实施例一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统的CCD相机的示意图。
标号说明：
110、滑座；120、滑台；200、CCD相机；300、前后移动机构；
310、驱动电机；320、丝杆；410、底座；420、移动件；430、调整固定件；510、相机罩；520、电机罩。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
请参照图1-图3，一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统，包括:水平滑动组件；CCD相机，固定在水平滑动组件上；前后移动机构300，包括驱动电机310和精密直线移动机构，驱动电机310与滑座110固定连接，驱动电机310驱动精密直线移动机构带动滑台120沿滑座110移动；上下调整机构，包括底座410、移动件420和调整固定件430，调整固定件430用于调整和固定底座410和移动件420之间的相对位置，移动件420与滑座110连接；抗干扰系统，包括相机罩510、电机罩520和抗干扰线管，相机罩510和电机罩520由金属制成，且相机罩510和电机罩520上设有电镀层，相机罩510罩设于CCD相机罩510外，相机罩510具有与CCD相机的镜头相对应的窗口，电机罩520罩设于驱动电机310外，相机罩510和电机罩520连接有至少一条抗干扰线管，CCD相机和驱动电机310的控制线和或信号线配置在抗干扰线管内。
通过前后移动机构300和水平滑动组件的配合能够精密地驱动CCD相机进行前后移动，从而调节CCD相机的位置，调节CDD相机的焦点位置，自动聚焦获取更为清晰的图像；通过上下调整机构，可以根据工件的高度进行适应性调节；并且设置了抗干扰系统，对CCD相机、驱动电机310以及相应的信号线或控制线进行了防护，避免了电磁干扰，提高了稳定性和成像效果。
优选的，CCD相机具有图像校正功能。简单的，通过CCD相机自带功能或者上位机即可以实现图像校正功能，并且还可以通过显示屏来进行人工校正辅助；一般的，通过存储器和比较器进行完成，即通过存储器预设的若干点的图像信息与CCD相机实时拍摄的图像进行比对，选择比对数据最接近的图像。
请参照图1-图3，精密直线移动机构包括丝杆320，驱动电机310驱动丝杆320转动，带动滑台120进行直线移动。丝杆320的精密度高，能够完成小位移，方便CCD相机聚焦。
优选的，还包括与CCD相机连接的上位机，上位机包括处理模块、显示屏和输入模块。设置上位机，不能方便处理信息，还方便进行人机操作，可以理解的，上位机通过控制线或者信号线连接CCD相机和驱动电机310，通过有线连接可以避免电磁干扰，保证稳定性。特别的，通过上位机还可以完成自动聚焦，即通过前后移动机构300调整聚焦点，上位机获取横向灰度以及纵向灰度对比，选取最佳值。
特别的，窗口处设有电磁屏蔽玻璃。设置电磁屏蔽玻璃，进行电磁防护，且电磁屏蔽玻璃具有防爆、高保真、高清晰的特点，并且可以保护镜头，电磁屏蔽玻璃可以根据需要选择丝网夹芯型或镀膜型。
特别的，电磁屏蔽玻璃与相机罩510密封连接。简单的，可以通过胶粘密封，也可以通过密封垫圈进行密封。
特别的，在相机罩510内环绕窗口设有可调光的LED灯阵。可以理解的，LED灯阵一般连接有功率调节电路，通过需要调节功率从而调节LED灯阵的亮度，设置LED灯阵能够辅助CCD相机获取更加清晰明亮的图像，提高显示效果。
优选的，CCD相机配备有电动三可变镜头。电动三可变镜头可以调节光圈、镜头变焦焦距和对焦距离；在通过前后移动机构300调焦的情况下，通过电动三可变镜头进行短距离调焦，能够更加精密的进行调节，提高调节的精度。
优选的，电镀层为镀镍层。简单的，也可以采用其它具有电磁防护效果的镀层。
可以理解的，滑座110和滑台120为导轨导槽配合结构，即其中一个上设有导轨另个上设有相适配的导槽；上下调整机构可以同理配置，调整固定件430为拧紧螺丝或者其他固定机构；或者，底座410和移动件420上均设置导槽，调整固定件430为与导槽相适配的拧紧螺丝，通过手动调节高度再通过拧紧螺丝进行固定；特别的，调整固定件430也可以为气缸或者气体直线驱动机构，气缸的推杆与移动件相连。
综上所述，本发明提供的一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统，通过前后移动机构和水平滑动组件的配合能够精密地驱动CCD相机进行前后移动，从而调节CCD相机的位置，调节CDD相机的焦点位置，自动聚焦获取更为清晰的图像；通过上下调整机构，可以根据工件的高度进行适应性调节；并且设置了抗干扰系统，对CCD相机、驱动电机以及相应的信号线或控制线进行了防护，避免了电磁干扰，提高了稳定性和成像效果。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内，当可利用上述揭示的技术内容做出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本发明技术方案内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (9)

1.一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统，其特征在于，包括:
水平滑动组件，包括滑动配合的滑座和滑台；
CCD相机，固定在所述滑台上；
前后移动机构，包括驱动电机和精密直线移动机构，所述驱动电机与所述滑座固定连接，所述驱动电机驱动所述精密直线移动机构带动所述滑台沿所述滑座移动；
上下调整机构，包括底座、移动件和调整固定件，所述调整固定件用于调整和固定所述底座和所述移动件之间的相对位置，所述移动件与所述滑座连接；
抗干扰系统，包括相机罩、电机罩和抗干扰线管，所述相机罩和所述电机罩由金属制成，且所述相机罩和所述电机罩上设有电镀层，所述相机罩罩设于所述CCD相机罩外，所述相机罩具有与所述CCD相机的镜头相对应的窗口，所述电机罩罩设于所述驱动电机外，所述相机罩和所述电机罩连接有至少一条抗干扰线管，所述CCD相机和所述驱动电机的控制线和或信号线配置在所述抗干扰线管内。
2.根据权利要求1所述的一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统，其特征在于，所述CCD相机具有图像校正功能。
3.根据权利要求1所述的一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统，其特征在于，所述精密直线移动机构包括丝杆，所述驱动电机驱动所述丝杆转动，带动所述滑台进行直线移动。
4.根据权利要求1所述的一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统，其特征在于，还包括与所述CCD相机连接的上位机，所述上位机包括处理模块、显示屏和输入模块。
5.根据权利要求1所述的一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统，其特征在于，所述窗口处设有电磁屏蔽玻璃。
6.根据权利要求5所述的一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统，其特征在于，所述电磁屏蔽玻璃与相机罩密封连接。
7.根据权利要求1所述的一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统，其特征在于，在相机罩内环绕所述窗口设有可调光的LED灯阵。
8.根据权利要求1所述的一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统，其特征在于，所述CCD相机配备有电动三可变镜头。
9.根据权利要求1所述的一种适用于真空环境的抗辐射监测成像系统，其特征在于，所述电镀层为镀镍层。
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