CN113684455A - 基于pvd制备防指印黑色膜的方法及镀膜件 - Google Patents

基于pvd制备防指印黑色膜的方法及镀膜件 Download PDF

Info

Publication number
CN113684455A
CN113684455A CN202110972235.7A CN202110972235A CN113684455A CN 113684455 A CN113684455 A CN 113684455A CN 202110972235 A CN202110972235 A CN 202110972235A CN 113684455 A CN113684455 A CN 113684455A
Authority
CN
China
Prior art keywords
film
plated
fingerprint
pvd
black film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202110972235.7A
Other languages
English (en)
Inventor
池松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xiamen Dajin Industry And Trade Co ltd
Original Assignee
Xiamen Dajin Industry And Trade Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xiamen Dajin Industry And Trade Co ltd filed Critical Xiamen Dajin Industry And Trade Co ltd
Priority to CN202110972235.7A priority Critical patent/CN113684455A/zh
Publication of CN113684455A publication Critical patent/CN113684455A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/0015Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterized by the colour of the layer
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/02Pretreatment of the material to be coated
    • C23C14/024Deposition of sublayers, e.g. to promote adhesion of the coating
    • C23C14/025Metallic sublayers
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/04Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C14/042Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/0605Carbon
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/06Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
    • C23C14/14Metallic material, boron or silicon
    • C23C14/16Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
    • C23C14/165Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon by cathodic sputtering
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34Sputtering
    • C23C14/3457Sputtering using other particles than noble gas ions

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)

Abstract

本发明涉及物理气相沉积表面处理技术领域,具体涉及到一种基于PVD制备防指印黑色膜的方法及镀膜件。本申请的基于PVD制备防指印黑色膜的方法,通过采用磁控溅射在待镀件表面沉积形成镀膜层,实现采用PVD镀膜技术,得到高端质感的黑色层,取代传统水电镀高浓度酸碱和铬酸等重污染的原料,且没有废水处理和排放问题;且镀膜层具有防指纹效果,同时致密性和耐磨性优异。本发明生产过程中具有无废水排放、成本低和性能优异等优点,可广泛应用于五金、家电、卫浴及汽车配件等领域。

Description

基于PVD制备防指印黑色膜的方法及镀膜件
技术领域
本发明涉及物理气相沉积表面处理技术领域,具体涉及到一种基于PVD制备防指印黑色膜的方法及镀膜件。
背景技术
金属或塑料表面产品需要增强抗腐蚀性、增加硬度、防止磨耗、提高导电性、润滑性、耐热性、和表面美观等功能,往往需要进行电镀处理。电镀工艺发展到现在,已经是目前非常重要的加工技术,在防护和装饰等用途上占有很大比重。尤其在电子工业、通信和军工、航天等领域大量在采用功能性电镀技术。虽然电镀的应用十分广泛,但电镀也是污染的三大行业之一,也会给人的健康带来极大的危害。
随着环保要求的提升,近年来发展了多种仿电镀技术,如一种用于五金工件表面的仿电镀加工工艺,依次包括以下步骤:喷底漆,使工件表面均匀地喷涂UV底漆并使UV底漆固化成膜;真空镀膜,将喷底漆后的工件放置于真空环境中,通过蒸馏或溅射的方式,以使工件上均匀的覆盖一层镀膜层;喷面漆,在镀膜层上均匀的喷涂高温亮光油漆;上色,将工件完全浸泡于染色剂中,以使工件表面着色。虽然可以得到仿电镀的金属层,但过程中包含真空镀膜,喷涂两道面漆和浸染上色,工序复杂,加工成本高,漆膜层不耐磨,且上色所用的染色剂为有毒性有机物,会对人体和环境造成一定危害。
发明内容
本发明的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种基于PVD制备防指印黑色膜的方法及镀膜件。
为实现上述目的,本发明采用的技术方案如下:基于PVD制备防指印黑色膜的方法,包括以下步骤:
S1、待镀件预处理:将待镀件表面油污洗净并脱去待镀件表面氧化膜,随后将待镀件放入真空炉中;
S2、待镀件清洗:真空炉中抽真空,升温至120~150℃,充入Ar,启动Ti弧靶,对待镀件进行等离子清洗;
S3、底层膜:关闭Ti弧靶,启动TiCrAl溅射靶,继续充入Ar,加载-70~-90V偏压,在待镀件表面沉积TiCrAl膜底层膜;
S4、黑色膜:关闭TiCrAl溅射靶,持续启动石墨靶,充入Ar,加载-40~-60V偏压,持续时间为2~5分钟,TiCrAl膜上沉积防指印黑色膜。
进一步的,还包括防指印黑色膜沉积完成后关闭石墨靶及所有电源,真空炉内逐步升压及降温至55℃~60℃后,取出镀膜件。
进一步的,将待镀件表面油污洗净并脱去待镀件表面氧化膜,包括采用硫酸溶液或磷酸溶液对待镀件表面进行预处理。
进一步的,待镀件清洗过程中在真空炉内偏压-700~-900V情况下对待镀件进行离子清洗。
进一步的,底层膜沉积过程中,真空炉内压强为6.0×10-3~8.0×10-3Pa。
进一步的,底层膜的厚度为0.03~0.06μm;所述黑色膜的厚度为0.02~0.05μm。
进一步的,步骤S3中Ar的流量为100~250sccm,靶电流为5~10A,电镀时间为5~8分钟。
进一步的,黑色膜沉积过程中还包括充入C2H2气体。
进一步的,步骤S4中Ar流量降低至40~80sccm,C2H2气体流量为150~250sccm,C2H2气体通入时间为1~5分钟。
一种镀膜件,包括待镀件,所述待镀件表面镀有采用上述的基于PVD制备防指印黑色膜的方法制得的镀膜层。
本发明的有益效果:由上述对本发明的描述可知,与现有技术相比,本发明的基于PVD制备防指印黑色膜的方法,通过采用PVD镀膜技术,可以得到高端质感的黑色层,取代传统水电镀高浓度酸碱和铬酸等重污染的原料,且没有废水处理和排放问题;且镀膜层采用大功率溅射,从而得到防指纹,致密性和耐磨性优异的复合镀膜层。本发明生产过程中具有无废水排放、成本低和性能优异等优点,可广泛应用于五金、家电、卫浴及汽车配件等领域。
附图说明
图1为本发明优选实施例中镀膜件的剖视图;
附图标记:1、待镀件;2、镀膜层;201、底层膜;202、黑色膜。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
参照图1所示,一种镀膜件,包括待镀件1,所述待镀件1表面镀有采用上述的基于PVD制备防指印黑色膜的方法制得的镀膜层2。
本发明的优选实施例,基于PVD制备防指印黑色膜的方法,包括以下步骤:
S1、待镀件预处理:将待镀件表面油污洗净并脱去待镀件表面氧化膜,随后将待镀件放入真空炉中;
S2、待镀件清洗:真空炉中抽真空,升温至120~150℃,充入Ar,启动Ti弧靶,对待镀件进行等离子清洗;
其中,待镀件清洗过程中在真空炉内偏压-700~-900V情况下对待镀件进行离子清洗;
S3、底层膜:关闭Ti弧靶,启动TiCrAl溅射靶,继续充入Ar,加载-70~-90V偏压,在待镀件表面沉积TiCrAl膜底层膜;
其中,底层膜沉积过程中,真空炉内压强为6.0×10-3~8.0×10-3Pa,Ar的流量为100~250sccm,靶电流为5~10A,电镀时间为5~8分钟,底层膜的厚度为0.03~0.06μm;
S4、黑色膜:关闭TiCrAl溅射靶,持续启动石墨靶,充入Ar,加载-40~-60V偏压,持续时间为2~5分钟,TiCrAl膜上沉积防指印黑色膜,其中所述黑色膜的厚度为0.02~0.05μm;
作为本发明的优选实施例,其还可具有以下附加技术特征:还包括防指印黑色膜沉积完成后关闭石墨靶及所有电源,真空炉内逐步升压及降温至55℃~60℃后,取出镀膜件。
本实施例中,将待镀件表面油污洗净并脱去待镀件表面氧化膜,包括采用硫酸溶液或磷酸溶液对待镀件表面进行预处理。
本实施例中,黑色膜沉积过程中还包括充入C2H2气体,且其充入的Ar流量降低至40~80sccm,C2H2气体流量为150~250sccm,C2H2气体通入时间为1~5分钟。
下面结合具体实施例说明:
实施例一
S1、待镀件预处理:将待镀件表面油污用硫酸溶液洗净并脱去待镀件表面氧化膜,随后将待镀件放入真空炉中;
S2、待镀件清洗:真空炉中抽真空,升温至130℃,充入Ar,启动Ti弧靶,在真空炉内偏压-700V情况下对待镀件进行等离子清洗;
S3、底层膜:关闭Ti弧靶,启动TiCrAl溅射靶,继续充入Ar,加载-70V偏压,在待镀件表面沉积TiCrAl膜底层膜;在该底层膜沉积过程中,真空炉内压强为6.0×10-3,Ar的流量为100sccm,靶电流为5A,电镀时间为5分钟,底层膜的厚度为0.03μm;
S4、黑色膜:关闭TiCrAl溅射靶,持续启动石墨靶,充入Ar,加载-40V偏压,持续时间为2分钟,TiCrAl膜上沉积防指印黑色膜,其中所述黑色膜的厚度为0.02μm;且防指印黑色膜沉积完成后关闭石墨靶及所有电源,真空炉内逐步升压及降温至55℃℃后,取出镀膜件1。
实施例二
S1、待镀件预处理:将待镀件表面油污用硫酸溶液洗净并脱去待镀件表面氧化膜,随后将待镀件放入真空炉中;
S2、待镀件清洗:真空炉中抽真空,升温至140℃,充入Ar,启动Ti弧靶,在真空炉内偏压-800V情况下对待镀件进行等离子清洗;
S3、底层膜:关闭Ti弧靶,启动TiCrAl溅射靶,继续充入Ar,加载-80V偏压,在待镀件表面沉积TiCrAl膜底层膜;在该底层膜沉积过程中,真空炉内压强为7.0×10-3,Ar的流量为200sccm,靶电流为8A,电镀时间为6分钟,底层膜的厚度为0.04μm;
S4、黑色膜:关闭TiCrAl溅射靶,持续启动石墨靶,充入Ar,再充入C2H2气体,且其充入的Ar流量降低至40sccm,C2H2气体流量为150sccm;加载-50V偏压,持续时间为3分钟,TiCrAl膜上沉积防指印黑色膜,其中所述黑色膜的厚度为0.03μm;且防指印黑色膜沉积完成后关闭石墨靶及所有电源,真空炉内逐步升压及降温至58℃后,取出镀膜件2。
实施例三
S1、待镀件预处理:将待镀件表面油污用硫酸溶液洗净并脱去待镀件表面氧化膜,随后将待镀件放入真空炉中;
S2、待镀件清洗:真空炉中抽真空,升温至150℃,充入Ar,启动Ti弧靶,在真空炉内偏压-900V情况下对待镀件进行等离子清洗;
S3、底层膜:关闭Ti弧靶,启动TiCrAl溅射靶,继续充入Ar,加载-85V偏压,在待镀件表面沉积TiCrAl膜底层膜;在该底层膜沉积过程中,真空炉内压强为7.5×10-3,Ar的流量为230sccm,靶电流为7A,电镀时间为7分钟,底层膜的厚度为0.05μm;
S4、黑色膜:关闭TiCrAl溅射靶,持续启动石墨靶,充入C2H2气体,C2H2气体流量为200sccm;加载-58V偏压,持续时间为5分钟,TiCrAl膜上沉积防指印黑色膜,其中所述黑色膜的厚度为0.05μm;且防指印黑色膜沉积完成后关闭石墨靶及所有电源,真空炉内逐步升压及降温至55℃后,取出镀膜件3。
对比实施例1
本实施例与实施例一的区别在于:防指印黑色膜沉积完成后关闭石墨靶及所有电源,真空炉内逐步升压及降温至80℃后,取出镀膜件4。
对比实施例2
本实施例与实施例一的区别在于:待镀件清洗过程中在真空炉内偏压-600V或-1000V情况下对待镀件进行离子清洗,其他步骤与实施例一相同,取出镀膜件5。
对比实施例3
本实施例与实施例一的区别在于:底层膜沉积过程中,真空炉内压强为5×10-3Pa或9×10-3Pa,其他步骤与实施例一相同,取出镀膜件6。
对比实施例4
本实施例与实施例一的区别在于:步骤S3中Ar的流量为90sccm,靶电流为11A,电镀时间为9分钟,其他步骤与实施例一相同,取出镀膜件7。
对比实施例5
本实施例与实施例二的区别在于:步骤S4中Ar流量降低至30sccm,C2H2气体流量为260sccm,C2H2气体通入时间为6分钟,其他步骤与实施例一相同,取出镀膜件8。
性能测试
a、防指纹测试
工具:白板笔和水,将白板笔和水涂覆于上述镀膜件1-8表面,静置3-5min,观察镀膜件表面的水珠状态。
其中镀膜件1-2表面的油墨和水均凝结成水珠,镀膜件3-8出现不同程度的油墨和水覆盖于镀膜件表面。
b、耐磨性测试
采用耐磨测试仪对镀膜件1-8进行抗摩擦性能检验,每50圈检测镀膜件表面的情况,直至250次。
通过耐磨性测试发现镀膜件1-2表面未见到基材;镀膜件3-8出现不同程度的裸露基材。
c、耐环境测试
将上述镀膜件1-8放入温度(48±2)℃,湿度(95±10)%的环境中放置48h,观察其涂层颜色变化;
通过耐环境测试发现镀膜件1-2外观均未发生变化,涂层也未脱落;镀膜件3-8出现不同程度的外观颜色褪色。
d、耐酸碱性能测试
将上述镀膜件1-8分别放入含有5mol/L盐酸溶液、5mol/L氢氧化钠溶液、5mol/L氯化钠溶液的封闭容器中,环境温度(23±2)℃,湿度(50±10)%,中放置48h,观察其涂层变化;
通过耐酸碱测试发现镀膜件1-2涂层在强酸、强碱溶液中镀膜件表面的涂层出现脱落,而在氯化钠溶液外观均未发生变化,涂层未脱落。而镀膜件3-8涂层在强酸、强碱溶液中镀膜件表面的涂层出现不同程度脱落,而在氯化钠溶液出现不同程度的外观颜色褪色。
本发明实现通过采用PVD镀膜技术,可以得到高端质感的黑色层,取代传统水电镀高浓度酸碱和铬酸等重污染的原料,且没有废水处理和排放问题;且镀膜层采用大功率溅射,从而得到防指纹,致密性和耐磨性优异的复合镀膜层。本发明生产过程中具有无废水排放、成本低和性能优异等优点,可广泛应用于五金、家电、卫浴及汽车配件等领域。
在不出现冲突的前提下,本领域技术人员可以将上述附加技术特征自由组合以及叠加使用。
可以理解,本发明是通过一些实施例进行描述的,本领域技术人员知悉的,在不脱离本发明的精神和范围的情况下,可以对这些特征和实施例进行各种改变或等效替换。另外,在本发明的教导下,可以对这些特征和实施例进行修改以适应具体的情况及材料而不会脱离本发明的精神和范围。因此,本发明不受此处所公开的具体实施例的限制,所有落入本申请的权利要求范围内的实施例都属于本发明所保护的范围内。

Claims (10)

1.基于PVD制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:包括以下步骤:
S1、待镀件预处理:将待镀件表面油污洗净并脱去待镀件表面氧化膜,随后将待镀件放入真空炉中;
S2、待镀件清洗:真空炉中抽真空,升温至120~150℃,充入Ar,启动Ti弧靶,对待镀件进行等离子清洗;
S3、底层膜:关闭Ti弧靶,启动TiCrAl溅射靶,继续充入Ar,加载-70~-90V偏压,在待镀件表面沉积TiCrAl膜底层膜;
S4、黑色膜:关闭TiCrAl溅射靶,持续启动石墨靶,充入Ar,加载-40~-60V偏压,持续时间为2~5分钟,TiCrAl膜上沉积防指印黑色膜。
2.根据权利要求1所述的基于PVD制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:还包括防指印黑色膜沉积完成后关闭石墨靶及所有电源,真空炉内逐步升压及降温至55℃~60℃后,取出镀膜件。
3.根据权利要求1所述的基于PVD制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:将待镀件表面油污洗净并脱去待镀件表面氧化膜,包括采用硫酸溶液或磷酸溶液对待镀件表面进行预处理。
4.根据权利要求1所述的基于PVD制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:所述待镀件清洗过程中在真空炉内偏压-700~-900V情况下对待镀件进行离子清洗。
5.根据权利要求1所述的基于PVD制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:所述底层膜沉积过程中,真空炉内压强为6.0×10-3~8.0×10-3Pa。
6.根据权利要求1所述的基于PVD制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:所述底层膜的厚度为0.03~0.06μm;所述黑色膜的厚度为0.02~0.05μm。
7.根据权利要求1所述的基于PVD制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:所述步骤S3中Ar的流量为100~250sccm,靶电流为5~10A,电镀时间为5~8分钟。
8.根据权利要求1所述的基于PVD制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:所述黑色膜沉积过程中还包括充入C2H2气体。
9.根据权利要求8所述的基于PVD制备防指印黑色膜的方法,其特征在于:所述步骤S4中Ar流量降低至40~80sccm,C2H2气体流量为150~250sccm,C2H2气体通入时间为1~5分钟。
10.一种镀膜件,包括待镀件,其特征在于:所述待镀件表面镀有采用权利要求1~9任一所述的基于PVD制备防指印黑色膜的方法制得的镀膜层。
CN202110972235.7A 2021-08-24 2021-08-24 基于pvd制备防指印黑色膜的方法及镀膜件 Pending CN113684455A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110972235.7A CN113684455A (zh) 2021-08-24 2021-08-24 基于pvd制备防指印黑色膜的方法及镀膜件

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110972235.7A CN113684455A (zh) 2021-08-24 2021-08-24 基于pvd制备防指印黑色膜的方法及镀膜件

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN113684455A true CN113684455A (zh) 2021-11-23

Family

ID=78581736

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110972235.7A Pending CN113684455A (zh) 2021-08-24 2021-08-24 基于pvd制备防指印黑色膜的方法及镀膜件

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113684455A (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010229552A (ja) * 2010-05-27 2010-10-14 Sumitomo Electric Ind Ltd 非晶質炭素被覆部材の製造方法
CN103882395A (zh) * 2014-01-15 2014-06-25 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种工件表面的pvd双色拉丝处理方法
US20160053371A1 (en) * 2013-03-28 2016-02-25 Citizen Watch Co., Ltd. Decorative article having black hard coating film
US20180371608A1 (en) * 2015-12-18 2018-12-27 Nippon Itf, Inc. Coating film, manufacturing method therefor, and pvd apparatus

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010229552A (ja) * 2010-05-27 2010-10-14 Sumitomo Electric Ind Ltd 非晶質炭素被覆部材の製造方法
US20160053371A1 (en) * 2013-03-28 2016-02-25 Citizen Watch Co., Ltd. Decorative article having black hard coating film
CN103882395A (zh) * 2014-01-15 2014-06-25 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 一种工件表面的pvd双色拉丝处理方法
US20180371608A1 (en) * 2015-12-18 2018-12-27 Nippon Itf, Inc. Coating film, manufacturing method therefor, and pvd apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP2481838B1 (en) Method for applying semi-dry electroplating method on surface of plastic substrate
CN101370961B (zh) 用于制造防腐蚀和高光泽基底的方法
US6896970B2 (en) Corrosion resistant coating giving polished effect
US20080156638A1 (en) Process for sputtering aluminum or copper onto aluminum or magnalium alloy substrates
EP2463031A1 (en) Method of preparing sandwich composite coating on engineering plastic surface
CN101760721B (zh) 一种塑料表面镀铬方法
KR100789766B1 (ko) 자동차용알루미늄휠건식도금방법
CN101676436B (zh) 表面处理方法
CN111411332A (zh) 一种无水低成本仿电镀膜及其表面处理方法
CN102029765B (zh) 多色耐磨金属装饰膜层的制作方法
CN108531854B (zh) 一种耐老化周期变量反应黑铬镀膜及形成方法
CN106637155A (zh) 镁合金表面耐磨耐腐蚀薄膜及其制备方法
US9138776B2 (en) Process for applying coatings with metallic chromium
EP1736566B1 (en) Method of applying coatings with a metallic or ceramic finish
CN108425089B (zh) 碳化铬复合膜层及其制备方法
CN113684455A (zh) 基于pvd制备防指印黑色膜的方法及镀膜件
KR101616908B1 (ko) 플라즈마를 이용한 건식 금속 코팅 방법
Vergason et al. PVD chromium coatings replacing decorative chromium electroplated coatings on plastics
CA2844882A1 (en) Coated article with dark color
CN113617610B (zh) 一种对黄铜或锌合金基材镀膜制备金属光泽水龙头的方法
US8007928B2 (en) Coated article with black color
CN114369794A (zh) 一种高分子材料表面镀耐磨膜层工艺及其制得的耐磨镀膜
CN107815657B (zh) 一种颜色可调的氧化铝陶瓷涂层及其制备方法
KR20030019567A (ko) 피복체
JP2021507105A (ja) 被覆基板の製造方法、被覆基板、およびその使用

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20211123