CN113674237A - 一种晶圆盘的扫描方法、装置、计算机设备及存储介质 - Google Patents

一种晶圆盘的扫描方法、装置、计算机设备及存储介质 Download PDF

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CN113674237A CN202110935239.8A CN202110935239A CN113674237A CN 113674237 A CN113674237 A CN 113674237A CN 202110935239 A CN202110935239 A CN 202110935239A CN 113674237 A CN113674237 A CN 113674237A
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Abstract

本发明实施例公开了一种晶圆盘的扫描方法、装置、计算机设备及存储介质。该方法包括：通过视觉识别确定晶圆盘上每个晶粒的位置信息；根据位置信息确定晶圆盘上的初始扫描区域并启动扫描；根据位置信息确定当前扫描区域的第一可移动状态，并将第一可移动状态插入数据记录容器；根据位置信息确定当前扫描区域的相邻扫描区域的第二可移动状态；根据数据记录容器中记录的可移动状态以及第二可移动状态确定下一扫描区域，以前往下一扫描区域继续扫描，并将下一扫描区域的可移动状态插入数据记录容器中；然后返回重新确定第二可移动状态，直至确定所有的扫描区域。从而无需人工设置起始点和结束点，且避免了对无晶粒位置的扫描以及设备大范围的移动。

Description

一种晶圆盘的扫描方法、装置、计算机设备及存储介质
技术领域
本发明实施例涉及晶粒分选技术领域，尤其涉及一种晶圆盘的扫描方法、装置、计算机设备及存储介质。
背景技术
随着信息、通信以及光电产业的快速发展，电子产品逐渐走向高阶化及轻薄化，在高速度、高频率以及小型化的需求下，晶圆线路更加细致且微小化。晶粒为一般半导体组件的基本原料，体积极为细小，在加工之前必须先经测试筛选以确保半导体组件的良好率。
在晶粒分选的传统扫描方案中，通常是需要人工定义扫描的起始点和结束点，从而确定扫描范围，然后在确定的扫描范围中采用弓字形路径进行行列扫描，为了扫描不遗漏，对所有可扫描的点均进行了扫描，其中包括没有晶粒的点，从而造成了浪费。
发明内容
本发明实施例提供一种晶圆盘的扫描方法、装置、计算机设备及存储介质，以无需人工设置起始点和结束点，从任意有晶粒位置自适应生成扫描路径，并避免对无晶粒位置进行扫描。
第一方面，本发明实施例提供了一种晶圆盘的扫描方法，该方法包括：
步骤A、通过视觉识别确定晶圆盘上每个晶粒的位置信息；
步骤B、根据所述位置信息确定所述晶圆盘上的初始扫描区域，并启动扫描；
步骤C、根据所述位置信息确定当前扫描区域的第一可移动状态，并将所述第一可移动状态插入数据记录容器；
步骤D、根据所述位置信息确定当前扫描区域的相邻扫描区域的第二可移动状态；
步骤E、根据所述数据记录容器中记录的可移动状态以及所述第二可移动状态确定下一扫描区域，以前往所述下一扫描区域继续扫描，并将所述下一扫描区域的可移动状态插入所述数据记录容器中；然后返回执行步骤D，直至确定所有的扫描区域。
可选的，所述根据所述位置信息确定当前扫描区域的第一可移动状态，包括：
根据定位模板的尺寸以及相机的视野大小在所述相机拍摄到的所述当前扫描区域的图像中确定边界区域；其中，所述边界区域包括左边界区域、上边界区域、右边界区域以及下边界区域，所述定位模板为晶粒的定位标准图像；
识别各个所述边界区域中是否存在晶粒，并根据识别结果确定所述第一可移动状态。
可选的，所述根据定位模板的尺寸以及相机的视野大小在所述相机拍摄到的所述当前扫描区域的图像中确定边界区域，包括：
将所述相机的视野宽度与预设边界宽度系数相乘得到预设边界宽度，将所述相机的视野高度与预设边界高度系数相乘得到预设边界高度；
将所述预设边界宽度与所述定位模板的宽度中的较大值确定为所述左边界区域和所述右边界区域的宽度；将所述预设边界高度与所述定位模板的高度中的较大值确定为所述上边界区域和所述下边界区域的高度。
可选的，在所述将所述预设边界宽度与所述定位模板的宽度中的较大值确定为所述左边界区域和所述右边界区域的宽度；将所述预设边界高度与所述定位模板的高度中的较大值确定为所述上边界区域和所述下边界区域的高度之前，还包括：
根据预设有效扫描区域对所述定位模板的宽度和高度进行调整。
可选的，所述预设边界宽度系数为10％，所述预设边界高度系数为10％，所述预设有效扫描区域为80％。
可选的，所述第一可移动状态包括：
若所述第一可移动状态的值为第一预设值，则表示当前扫描区域不可移动；
若所述第一可移动状态的值为第二预设值，则表示当前扫描区域可以向左侧相邻扫描区域移动；
若所述第一可移动状态的值为第三预设值，则表示当前扫描区域可以向上侧相邻扫描区域移动；
若所述第一可移动状态的值为第四预设值，则表示当前扫描区域可以向右侧相邻扫描区域移动；
若所述第一可移动状态的值为第五预设值，则表示当前扫描区域可以向下侧相邻扫描区域移动；
若所述第一可移动状态的值非所述第一预设值、所述第二预设值、所述第三预设值、所述第四预设值及所述第五预设值，则将所述第一可移动状态的值拆分为所述第二预设值、所述第三预设值、所述第四预设值及所述第五预设值中至少两者之和，并根据拆分得到的预设值确定当前扫描区域可以移动至的相邻扫描区域。
可选的，所述根据所述数据记录容器中记录的可移动状态以及所述第二可移动状态确定下一扫描区域，包括：
反向遍历所述数据记录容器的扫描点；针对所遍历的每个所述扫描点，按照预设顺序规则遍历所述扫描点的可移动状态对应可扫描的各个相邻扫描区域，若出现目标相邻扫描区域的第二可移动状态为允许移动，则将所述目标相邻扫描区域确定为所述下一扫描区域。
第二方面，本发明实施例还提供了一种晶圆盘的扫描装置，该装置包括：
位置信息确定模块，用于通过视觉识别确定晶圆盘上每个晶粒的位置信息；
初始扫描区域确定模块，用于根据所述位置信息确定所述晶圆盘上的初始扫描区域，并启动扫描；
第一可移动状态确定模块，用于根据所述位置信息确定当前扫描区域的第一可移动状态，并将所述第一可移动状态插入数据记录容器；
第二可移动状态确定模块，用于根据所述位置信息确定当前扫描区域的相邻扫描区域的第二可移动状态；
下一扫描区域确定模块，用于根据所述数据记录容器中记录的可移动状态以及所述第二可移动状态确定下一扫描区域，以前往所述下一扫描区域继续扫描，并将所述下一扫描区域的可移动状态插入所述数据记录容器中；然后返回所述第二可移动状态确定模块继续执行，直至确定所有的扫描区域。
第三方面，本发明实施例还提供了一种计算机设备，该计算机设备包括：
一个或多个处理器；
存储器，用于存储一个或多个程序；
当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行，使得所述一个或多个处理器实现本发明任意实施例所提供的晶圆盘的扫描方法。
第四方面，本发明实施例还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时实现本发明任意实施例所提供的晶圆盘的扫描方法。
本发明实施例提供了一种晶圆盘的扫描方法，首先通过视觉识别确定晶圆盘上每个晶粒的位置信息，然后根据所得到的位置信息确定晶圆盘上的初始扫描区域，并启动扫描，再根据所得到的位置信息确定当前扫描区域的第一可移动状态，并将第一可移动状态插入数据记录容器，接着根据所得到的位置信息确定当前扫描区域的相邻扫描区域的第二可移动状态，然后即可根据数据记录容器中记录的可移动状态以及第二可移动状态确定下一扫描区域，同时将下一扫描区域的可移动状态插入数据记录容器中，将下一扫描区域作为当前扫描区域重复确定其相邻区域的第二可移动状态以及再下一扫描区域的过程，直至确定所有的扫描区域即可完成整个晶圆盘的扫描。本发明实施例所提供的晶圆盘的扫描方法，通过自适应的确定初始扫描区域并生成扫描路径，无需人工设置起始点和结束点，即可从任意有晶粒位置自行进行扫描，且仅对有晶粒位置进行扫描，同时，每次通过相邻扫描区域的可移动状态确定下一扫描区域，还可以避免大范围的移动，从而增强扫描时设备的稳定性。
附图说明
图1为本发明实施例一提供的晶圆盘的扫描方法的流程图；
图2为本发明实施例二提供的晶圆盘的扫描装置的结构示意图；
图3为本发明实施例三提供的计算机设备的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
在更加详细地讨论示例性实施例之前应当提到的是，一些示例性实施例被描述成作为流程图描绘的处理或方法。虽然流程图将各步骤描述成顺序的处理，但是其中的许多步骤可以被并行地、并发地或者同时实施。此外，各步骤的顺序可以被重新安排。当其操作完成时所述处理可以被终止，但是还可以具有未包括在附图中的附加步骤。所述处理可以对应于方法、函数、规程、子例程、子程序等等。
实施例一
图1为本发明实施例一提供的晶圆盘的扫描方法的流程图。本实施例可适用于对晶圆盘上的晶粒进行扫描分选的情况，该方法可以由本发明实施例所提供的晶圆盘的扫描装置来执行，该装置可以由硬件和/或软件的方式来实现，一般可集成于计算机设备中。如图1所示，具体包括如下步骤：
S11、通过视觉识别确定晶圆盘上每个晶粒的位置信息。
具体的，可以通过视觉识别检测待扫描区域内的晶粒，并确定每个晶粒的位置信息，其中，待扫描区域可以是一矩形区域，并包括完整的晶圆盘区域。晶粒一般呈阵列排布，在纵横方向上排列整齐，并具有相同的尺寸，即针对每个晶粒，一般仅可能在其上下左右四个方向上存在相邻的晶粒。通过确定晶圆盘上每个晶粒的位置信息，即可确定每个晶粒是否存在相邻的晶粒，以进一步判断是否可以进行移动扫描等等。其中，可以采用现有的任意视觉识别方法，本实施例中不作具体的限制。
S12、根据所述位置信息确定所述晶圆盘上的初始扫描区域，并启动扫描。
具体的，可以首先移动到晶圆盘上任一有晶粒的位置开始扫描，具体可以在确定了每个晶粒的位置信息之后，随机选定一个晶粒作为起始点，或者也可以将当前距离扫描设备最近的晶粒作为起始点，以减少设备的移动，并尽快的开始扫描过程，还可以通过人工随机将设备移动到有晶粒的位置等等。在确定了作为起始点的晶粒之后，可以根据该晶粒的位置信息以及定位模板的尺寸信息，初始化待扫描区域内的各个扫描区域，以将待扫描区域划分为适应晶粒尺寸的区域，每个区域可包括一个晶粒，以每次完成一个晶粒的扫描，其中，定位模板即晶粒的定位标准图像。在完成了扫描区域的划分之后，即可将作为起始点的晶粒所在的扫描区域作为初始扫描区域，并启动扫描。
S13、根据所述位置信息确定当前扫描区域的第一可移动状态，并将所述第一可移动状态插入数据记录容器。
具体的，在启动扫描之后，当前扫描区域即初始扫描区域，则首先可以根据获得的位置信息确定作为起始点的晶粒是否存在相邻的晶粒，即可移动状态可以是，若作为起始点的晶粒上方存在相邻的晶粒，则可以向其上方移动，若作为起始点的晶粒左方存在相邻的晶粒，则可以向其左方移动，若作为起始点的晶粒下方存在相邻的晶粒，则可以向其下方移动，若作为起始点的晶粒右方存在相邻的晶粒，则可以向其右方移动。因此，第一可移动状态可以是当前扫描区域在上左下右四个方向上分别是否可以移动。在确定了当前扫描区域的第一可移动状态之后，可以将第一可移动状态插入数据记录容器，以对其进行记录，以便后续使用。
其中，可选的，所述第一可移动状态包括：若所述第一可移动状态的值为第一预设值，则表示当前扫描区域不可移动；若所述第一可移动状态的值为第二预设值，则表示当前扫描区域可以向左侧相邻扫描区域移动；若所述第一可移动状态的值为第三预设值，则表示当前扫描区域可以向上侧相邻扫描区域移动；若所述第一可移动状态的值为第四预设值，则表示当前扫描区域可以向右侧相邻扫描区域移动；若所述第一可移动状态的值为第五预设值，则表示当前扫描区域可以向下侧相邻扫描区域移动；若所述第一可移动状态的值非所述第一预设值、所述第二预设值、所述第三预设值、所述第四预设值及所述第五预设值，则将所述第一可移动状态的值拆分为所述第二预设值、所述第三预设值、所述第四预设值及所述第五预设值中至少两者之和，并根据拆分得到的预设值确定当前扫描区域可以移动至的相邻扫描区域。具体的，可以通过具体的数值来定义当前扫描区域的可移动状态，以便计算机使用。其中示例性的，第一预设值可以设置为-1，第二预设值可以设置为1，第三预设值可以设置为2，第四预设值可以设置为4，第五预设值可以设置为8，并且，上述预设值可以累加表示可移动状态，即当第一可移动状态的值非第一预设值、第二预设值、第三预设值、第四预设值及第五预设值时，可以将第一可移动状态的值拆分为第二预设值、第三预设值、第四预设值及第五预设值中至少两者之和，并根据拆分得到的预设值确定当前扫描区域可以移动至的相邻扫描区域，如上示例性的，若当前扫描区域在左、上、右及下四个方向均可以移动，则第一可移动状态可以是1+2+4+8＝15，则相应的，15仅可以拆分为1+2+4+8，则当第一可移动状态为15时，即可确定当前扫描区域可以向左、上、右及下四个方向移动。通过将第二预设值、第三预设值、第四预设值及第五预设值分别设置为1、2、4和8，可以保证任意累加得到的值不重复，从而可以很好的根据累加的值确定当前扫描区域可移动至的相邻扫描区域。另外，还可以设置第六预设值来表示默认状态，即尚未开始扫描时的状态，其中，第六预设值可以设置为0。
可选的，所述根据所述位置信息确定当前扫描区域的第一可移动状态，包括：根据定位模板的尺寸以及相机的视野大小在所述相机拍摄到的所述当前扫描区域的图像中确定边界区域；其中，所述边界区域包括左边界区域、上边界区域、右边界区域以及下边界区域，所述定位模板为晶粒的定位标准图像；识别各个所述边界区域中是否存在晶粒，并根据识别结果确定所述第一可移动状态。
具体的，可以首先通过CCD相机拍摄一张当前扫描区域的图像，其中，相机的视野大小可以大于扫描区域的大小，同时，位置信息可以包括晶粒中心所在的位置，并且相机的视野大小可以使得以晶粒中心为相机视野中心拍摄的当前扫描区域的图像包括各个方向上相邻的扫描区域中晶粒的部分或全部，从而可以根据拍摄到的图像确定是否存在相邻的晶粒。在通过相机拍摄得到当前扫描区域的图像之后，可以根据定位模板的尺寸以及相机的视野大小在该图像中自适应的确定边界区域，以便更准确的确定相邻的扫描区域中是否存在晶粒。其中，边界区域包括左边界区域、上边界区域、右边界区域及下边界区域，则可以通过分别识别各个边界区域中是否存在晶粒，来确定当前扫描区域的第一可移动状态。
进一步可选的，所述根据定位模板的尺寸以及相机的视野大小在所述相机拍摄到的所述当前扫描区域的图像中确定边界区域，包括：将所述相机的视野宽度与预设边界宽度系数相乘得到预设边界宽度，将所述相机的视野高度与预设边界高度系数相乘得到预设边界高度；将所述预设边界宽度与所述定位模板的宽度中的较大值确定为所述左边界区域和所述右边界区域的宽度；将所述预设边界高度与所述定位模板的高度中的较大值确定为所述上边界区域和所述下边界区域的高度。
具体的，假设相机视野的宽度和高度分别为width和height，预设边界宽度系数为rate0，预设边界高度系数为rate1，定位模板的宽度和高度分别为wModel和hModel，则首先分别计算预设边界宽度width*rate0和预设边界高度height*rate1，然后分别将width*rate0与wModel，以及height*rate1与hModel进行比较，并将其中的较大值分别确定为左边界区域和右边界区域的宽度wMax，以及上边界区域和下边界区域的高度hMax，以保证能够将相邻的扫描区域中的晶粒包括在各个边界区域中，其中，预设边界宽度系数与预设边界高度系数可以相同。针对每张图像，可以图像左上角为坐标原点，以直角坐标系向右为横轴正方向，向下为纵轴正方向，则左边界区域的左边界横坐标为0、上边界纵坐标为0、右边界横坐标为wMax、下边界纵坐标为height，上边界区域的左边界横坐标为0、上边界纵坐标为0、右边界横坐标为width、下边界纵坐标为hMax，右边界区域的左边界横坐标为width-wMax、上边界纵坐标为0、右边界横坐标为width、下边界纵坐标为height，下边界区域的左边界横坐标为0、上边界纵坐标为height-hMax、右边界横坐标为width、下边界纵坐标为height。
进一步可选的，在所述将所述预设边界宽度与所述定位模板的宽度中的较大值确定为所述左边界区域和所述右边界区域的宽度；将所述预设边界高度与所述定位模板的高度中的较大值确定为所述上边界区域和所述下边界区域的高度之前，还包括：根据预设有效扫描区域对所述定位模板的宽度和高度进行调整。具体的，如上示例性的，在将预设边界宽度与定位模板的宽度，以及预设边界高度与定位模板的高度进行比较之前，可以首先将定位模板的宽度和定位模板的高度分别乘以预设有效扫描区域rate2，以对定位模板的尺寸进行调整，即分别将width*rate0与wModel*rate2，以及height*rate1与hModel*rate2进行比较，以得到wMax和hMax。其中，可选的，所述预设边界宽度系数为10％，所述预设边界高度系数为10％，所述预设有效扫描区域为80％，从而可以避免由于定位模板的尺寸较小所导致的相邻晶粒识别结果不准确的问题。
S14、根据所述位置信息确定当前扫描区域的相邻扫描区域的第二可移动状态。
具体的，第二可移动状态的确定过程可以参考如上关于第一可移动状态的确定过程，在此将不再累述。其中，相邻扫描区域可以包括左、上、右及下四个方向上的扫描区域，可以理解为，第一可移动状态为需要记录在数据记录容器中的可移动状态，而第二可移动状态为尚不需记录在数据记录容器中的可移动状态，后续根据第二可移动状态确定下一扫描区域之后，可以从第二可移动状态中确定需要记录在数据记录容器中的可移动状态。特别的，当根据位置信息确定某个相邻扫描区域不存在晶粒时，可以不对其第二可移动状态进行确定。
S15、根据所述数据记录容器中记录的可移动状态以及所述第二可移动状态确定下一扫描区域，以前往所述下一扫描区域继续扫描，并将所述下一扫描区域的可移动状态插入所述数据记录容器中；然后返回执行步骤S14，直至确定所有的扫描区域。
具体的，数据记录容器中记录的可移动状态即当前已完成扫描的扫描区域(包括当前扫描区域)的可移动状态，第二可移动状态即当前扫描区域的相邻扫描区域(其中可不包括已完成扫描的扫描区域)的可移动状态，通过根据数据记录容器中记录的可移动状态以及第二可移动状态来确定下一扫描区域，可以使得扫描路径相对集中，从而减少扫描设备的移动。在确定了下一扫描区域之后，即可前往下一扫描区域进行扫描，同时可将下一扫描区域的可移动状态插入数据记录容器中，并返回执行步骤S14，此时当前扫描区域即更新为该下一扫描区域。下一扫描区域的可移动状态即可以是当前扫描区域的相邻扫描区域的第二可移动状态中的一个，当当前扫描区域非初始扫描区域时，下一扫描区域的可移动状态还可以是已完成扫描的扫描区域的相邻扫描区域的第二可移动状态中的一个。特别的，当根据数据记录容器中记录的可移动状态以及第二可移动状态无法确定得到下一扫描区域时，即在当前已完成扫描的所有扫描区域的附近没有发现可扫描的区域时，则扫描完成，即得到了完整的扫描路径。
可选的，所述根据所述数据记录容器中记录的可移动状态以及所述第二可移动状态确定下一扫描区域，包括：反向遍历所述数据记录容器的扫描点；针对所遍历的每个所述扫描点，按照预设顺序规则遍历所述扫描点的可移动状态对应可扫描的各个相邻扫描区域，若出现目标相邻扫描区域的第二可移动状态为允许移动，则将所述目标相邻扫描区域确定为所述下一扫描区域。
具体的，可以采用迭代回退的扫描策略进行扫描。其中，预设顺序规则可以是上左下右的顺序。示例性的，针对当前扫描区域，即数据记录容器中最新插入的数据对应的扫描区域(扫描点)，首先判断其上方的相邻扫描区域的第二可移动状态，若该第二可移动状态为不允许移动，则接着判断其左方的相邻扫描区域的第二可移动状态，若其上方的相邻扫描区域的第二可移动状态为允许移动，则可以将其上方的相邻扫描区域确定为目标相邻扫描区域，继而可以将该目标相邻扫描区域确定为下一扫描区域，并移动至下一扫描区域，开启新一轮的判断过程。若依次判断当前扫描区域的上左下右四个相邻扫描区域(判断时可去除已完成扫描的扫描区域)的第二可移动状态均为不允许移动，则可在数据记录容器中回退一个点，即当前扫描区域的前一个扫描点，重新按照预设顺序规则判断该扫描点的相邻扫描区域(可去除已完成扫描的扫描区域)中是否存在目标相邻扫描区域的第二可移动状态为允许移动，若存在，则将该目标相邻扫描区域确定为下一扫描区域，并移动至下一扫描区域，开启新一轮的判断过程，若仍不存在，则继续回退，直至确定目标相邻扫描区域。特别的，当遍历完数据记录容器中的所有扫描点之后，若仍没有发现可扫描的目标相邻扫描区域，则整个扫描过程完成。
本发明实施例所提供的技术方案，首先通过视觉识别确定晶圆盘上每个晶粒的位置信息，然后根据所得到的位置信息确定晶圆盘上的初始扫描区域，并启动扫描，再根据所得到的位置信息确定当前扫描区域的第一可移动状态，并将第一可移动状态插入数据记录容器，接着根据所得到的位置信息确定当前扫描区域的相邻扫描区域的第二可移动状态，然后即可根据数据记录容器中记录的可移动状态以及第二可移动状态确定下一扫描区域，同时将下一扫描区域的可移动状态插入数据记录容器中，将下一扫描区域作为当前扫描区域重复确定其相邻区域的第二可移动状态以及再下一扫描区域的过程，直至确定所有的扫描区域即可完成整个晶圆盘的扫描。通过自适应的确定初始扫描区域并生成扫描路径，无需人工设置起始点和结束点，即可从任意有晶粒位置自行进行扫描，且仅对有晶粒位置进行扫描，同时，每次通过相邻扫描区域的可移动状态确定下一扫描区域，还可以避免大范围的移动，从而增强扫描时设备的稳定性。
实施例二
图2为本发明实施例二提供的晶圆盘的扫描装置的结构示意图，该装置可以由硬件和/或软件的方式来实现，一般可集成于计算机设备中，用于执行本发明任意实施例所提供的晶圆盘的扫描方法。如图2所示，该装置包括：
位置信息确定模块21，用于通过视觉识别确定晶圆盘上每个晶粒的位置信息；
初始扫描区域确定模块22，用于根据所述位置信息确定所述晶圆盘上的初始扫描区域，并启动扫描；
第一可移动状态确定模块23，用于根据所述位置信息确定当前扫描区域的第一可移动状态，并将所述第一可移动状态插入数据记录容器；
第二可移动状态确定模块24，用于根据所述位置信息确定当前扫描区域的相邻扫描区域的第二可移动状态；
下一扫描区域确定模块25，用于根据所述数据记录容器中记录的可移动状态以及所述第二可移动状态确定下一扫描区域，以前往所述下一扫描区域继续扫描，并将所述下一扫描区域的可移动状态插入所述数据记录容器中；然后返回所述第二可移动状态确定模块继续执行，直至确定所有的扫描区域。
本发明实施例所提供的技术方案，首先通过视觉识别确定晶圆盘上每个晶粒的位置信息，然后根据所得到的位置信息确定晶圆盘上的初始扫描区域，并启动扫描，再根据所得到的位置信息确定当前扫描区域的第一可移动状态，并将第一可移动状态插入数据记录容器，接着根据所得到的位置信息确定当前扫描区域的相邻扫描区域的第二可移动状态，然后即可根据数据记录容器中记录的可移动状态以及第二可移动状态确定下一扫描区域，同时将下一扫描区域的可移动状态插入数据记录容器中，将下一扫描区域作为当前扫描区域重复确定其相邻区域的第二可移动状态以及再下一扫描区域的过程，直至确定所有的扫描区域即可完成整个晶圆盘的扫描。通过自适应的确定初始扫描区域并生成扫描路径，无需人工设置起始点和结束点，即可从任意有晶粒位置自行进行扫描，且仅对有晶粒位置进行扫描，同时，每次通过相邻扫描区域的可移动状态确定下一扫描区域，还可以避免大范围的移动，从而增强扫描时设备的稳定性。
在上述技术方案的基础上，可选的，第一可移动状态确定模块23，包括：
边界区域确定子模块，用于根据定位模板的尺寸以及相机的视野大小在所述相机拍摄到的所述当前扫描区域的图像中确定边界区域；其中，所述边界区域包括左边界区域、上边界区域、右边界区域以及下边界区域，所述定位模板为晶粒的定位标准图像；
晶粒识别子模块，用于识别各个所述边界区域中是否存在晶粒，并根据识别结果确定所述第一可移动状态。
在上述技术方案的基础上，可选的，边界区域确定子模块，包括：
预设边界尺寸确定单元，用于将所述相机的视野宽度与预设边界宽度系数相乘得到预设边界宽度，将所述相机的视野高度与预设边界高度系数相乘得到预设边界高度；
边界尺寸确定单元，用于将所述预设边界宽度与所述定位模板的宽度中的较大值确定为所述左边界区域和所述右边界区域的宽度；将所述预设边界高度与所述定位模板的高度中的较大值确定为所述上边界区域和所述下边界区域的高度。
在上述技术方案的基础上，可选的，边界区域确定子模块，还包括：
模板尺寸调整单元，用于在所述将所述预设边界宽度与所述定位模板的宽度中的较大值确定为所述左边界区域和所述右边界区域的宽度；将所述预设边界高度与所述定位模板的高度中的较大值确定为所述上边界区域和所述下边界区域的高度之前，根据预设有效扫描区域对所述定位模板的宽度和高度进行调整。
在上述技术方案的基础上，可选的，所述预设边界宽度系数为10％，所述预设边界高度系数为10％，所述预设有效扫描区域为80％。
在上述技术方案的基础上，可选的，所述第一可移动状态包括：
若所述第一可移动状态的值为第一预设值，则表示当前扫描区域不可移动；
若所述第一可移动状态的值为第二预设值，则表示当前扫描区域可以向左侧相邻扫描区域移动；
若所述第一可移动状态的值为第三预设值，则表示当前扫描区域可以向上侧相邻扫描区域移动；
若所述第一可移动状态的值为第四预设值，则表示当前扫描区域可以向右侧相邻扫描区域移动；
若所述第一可移动状态的值为第五预设值，则表示当前扫描区域可以向下侧相邻扫描区域移动；
若所述第一可移动状态的值非所述第一预设值、所述第二预设值、所述第三预设值、所述第四预设值及所述第五预设值，则将所述第一可移动状态的值拆分为所述第二预设值、所述第三预设值、所述第四预设值及所述第五预设值中至少两者之和，并根据拆分得到的预设值确定当前扫描区域可以移动至的相邻扫描区域。
在上述技术方案的基础上，可选的，下一扫描区域确定模块25具体用于：
反向遍历所述数据记录容器的扫描点；针对所遍历的每个所述扫描点，按照预设顺序规则遍历所述扫描点的可移动状态对应可扫描的各个相邻扫描区域，若出现目标相邻扫描区域的第二可移动状态为允许移动，则将所述目标相邻扫描区域确定为所述下一扫描区域。
本发明实施例所提供的晶圆盘的扫描装置可执行本发明任意实施例所提供的晶圆盘的扫描方法，具备执行方法相应的功能模块和有益效果。
值得注意的是，在上述晶圆盘的扫描装置的实施例中，所包括的各个单元和模块只是按照功能逻辑进行划分的，但并不局限于上述的划分，只要能够实现相应的功能即可；另外，各功能单元的具体名称也只是为了便于相互区分，并不用于限制本发明的保护范围。
实施例三
图3为本发明实施例三提供的计算机设备的结构示意图，示出了适于用来实现本发明实施方式的示例性计算机设备的框图。图3显示的计算机设备仅仅是一个示例，不应对本发明实施例的功能和使用范围带来任何限制。如图3所示，该计算机设备包括处理器31、存储器32、输入装置33及输出装置34；计算机设备中处理器31的数量可以是一个或多个，图3中以一个处理器31为例，计算机设备中的处理器31、存储器32、输入装置33及输出装置34可以通过总线或其他方式连接，图3中以通过总线连接为例。
存储器32作为一种计算机可读存储介质，可用于存储软件程序、计算机可执行程序以及模块，如本发明实施例中的晶圆盘的扫描方法对应的程序指令/模块(例如，晶圆盘的扫描装置中的位置信息确定模块21、初始扫描区域确定模块22、第一可移动状态确定模块23、第二可移动状态确定模块24及下一扫描区域确定模块25)。处理器31通过运行存储在存储器32中的软件程序、指令以及模块，从而执行计算机设备的各种功能应用以及数据处理，即实现上述的晶圆盘的扫描方法。
存储器32可主要包括存储程序区和存储数据区，其中，存储程序区可存储操作系统、至少一个功能所需的应用程序；存储数据区可存储根据计算机设备的使用所创建的数据等。此外，存储器32可以包括高速随机存取存储器，还可以包括非易失性存储器，例如至少一个磁盘存储器件、闪存器件、或其他非易失性固态存储器件。在一些实例中，存储器32可进一步包括相对于处理器31远程设置的存储器，这些远程存储器可以通过网络连接至计算机设备。上述网络的实例包括但不限于互联网、企业内部网、局域网、移动通信网及其组合。
输入装置33可用于通过CCD相机获取所需的图像，以及产生与计算机设备的用户设置和功能控制有关的键信号输入等。输出装置34可包括显示屏等设备，可用于向用户展示最终的扫描路径以及扫描效果等。
实施例四
本发明实施例四还提供一种包含计算机可执行指令的存储介质，该计算机可执行指令在由计算机处理器执行时用于执行一种晶圆盘的扫描方法，该方法包括：
步骤A、通过视觉识别确定晶圆盘上每个晶粒的位置信息；
步骤B、根据所述位置信息确定所述晶圆盘上的初始扫描区域，并启动扫描；
步骤C、根据所述位置信息确定当前扫描区域的第一可移动状态，并将所述第一可移动状态插入数据记录容器；
步骤D、根据所述位置信息确定当前扫描区域的相邻扫描区域的第二可移动状态；
步骤E、根据所述数据记录容器中记录的可移动状态以及所述第二可移动状态确定下一扫描区域，以前往所述下一扫描区域继续扫描，并将所述下一扫描区域的可移动状态插入所述数据记录容器中；然后返回执行步骤D，直至确定所有的扫描区域。
存储介质可以是任何的各种类型的存储器设备或存储设备。术语“存储介质”旨在包括：安装介质，例如CD-ROM、软盘或磁带装置；计算机系统存储器或随机存取存储器，诸如DRAM、DDR RAM、SRAM、EDO RAM、兰巴斯(Rambus)RAM等；非易失性存储器，诸如闪存、磁介质(例如硬盘或光存储)；寄存器或其它相似类型的存储器元件等。存储介质可以还包括其它类型的存储器或其组合。另外，存储介质可以位于程序在其中被执行的计算机系统中，或者可以位于不同的第二计算机系统中，第二计算机系统通过网络(诸如因特网)连接到计算机系统。第二计算机系统可以提供程序指令给计算机用于执行。术语“存储介质”可以包括可以驻留在不同位置中(例如在通过网络连接的不同计算机系统中)的两个或更多存储介质。存储介质可以存储可由一个或多个处理器执行的程序指令(例如具体实现为计算机程序)。
当然，本发明实施例所提供的一种包含计算机可执行指令的存储介质，其计算机可执行指令不限于如上所述的方法操作，还可以执行本发明任意实施例所提供的晶圆盘的扫描方法中的相关操作。
计算机可读的信号介质可以包括在基带中或者作为载波一部分传播的数据信号，其中承载了计算机可读的程序代码。这种传播的数据信号可以采用多种形式，包括但不限于电磁信号、光信号或上述的任意合适的组合。计算机可读的信号介质还可以是计算机可读存储介质以外的任何计算机可读介质，该计算机可读介质可以发送、传播或者传输用于由指令执行系统、装置或者器件使用或者与其结合使用的程序。
计算机可读介质上包含的程序代码可以用任何适当的介质传输，包括但不限于无线、电线、光缆、RF等等，或者上述的任意合适的组合。
通过以上关于实施方式的描述，所属领域的技术人员可以清楚地了解到，本发明可借助软件及必需的通用硬件来实现，当然也可以通过硬件实现，但很多情况下前者是更佳的实施方式。基于这样的理解，本发明的技术方案本质上或者说对现有技术做出贡献的部分可以以软件产品的形式体现出来，该计算机软件产品可以存储在计算机可读存储介质中，如计算机的软盘、只读存储器(Read-Only Memory,ROM)、随机存取存储器(RandomAccess Memory,RAM)、闪存(FLASH)、硬盘或光盘等，包括若干指令用以使得一台计算机设备(可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等)执行本发明各个实施例所述的方法。
注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种晶圆盘的扫描方法，其特征在于，包括：
步骤A、通过视觉识别确定晶圆盘上每个晶粒的位置信息；
步骤B、根据所述位置信息确定所述晶圆盘上的初始扫描区域，并启动扫描；
步骤C、根据所述位置信息确定当前扫描区域的第一可移动状态，并将所述第一可移动状态插入数据记录容器；
步骤D、根据所述位置信息确定当前扫描区域的相邻扫描区域的第二可移动状态；
步骤E、根据所述数据记录容器中记录的可移动状态以及所述第二可移动状态确定下一扫描区域，以前往所述下一扫描区域继续扫描，并将所述下一扫描区域的可移动状态插入所述数据记录容器中；然后返回执行步骤D，直至确定所有的扫描区域。
2.根据权利要求1所述的晶圆盘的扫描方法，其特征在于，所述根据所述位置信息确定当前扫描区域的第一可移动状态，包括：
根据定位模板的尺寸以及相机的视野大小在所述相机拍摄到的所述当前扫描区域的图像中确定边界区域；其中，所述边界区域包括左边界区域、上边界区域、右边界区域以及下边界区域，所述定位模板为晶粒的定位标准图像；
识别各个所述边界区域中是否存在晶粒，并根据识别结果确定所述第一可移动状态。
3.根据权利要求2所述的晶圆盘的扫描方法，其特征在于，所述根据定位模板的尺寸以及相机的视野大小在所述相机拍摄到的所述当前扫描区域的图像中确定边界区域，包括：
将所述相机的视野宽度与预设边界宽度系数相乘得到预设边界宽度，将所述相机的视野高度与预设边界高度系数相乘得到预设边界高度；
将所述预设边界宽度与所述定位模板的宽度中的较大值确定为所述左边界区域和所述右边界区域的宽度；将所述预设边界高度与所述定位模板的高度中的较大值确定为所述上边界区域和所述下边界区域的高度。
4.根据权利要求3所述的晶圆盘的扫描方法，其特征在于，在所述将所述预设边界宽度与所述定位模板的宽度中的较大值确定为所述左边界区域和所述右边界区域的宽度；将所述预设边界高度与所述定位模板的高度中的较大值确定为所述上边界区域和所述下边界区域的高度之前，还包括：
根据预设有效扫描区域对所述定位模板的宽度和高度进行调整。
5.根据权利要求4所述的晶圆盘的扫描方法，其特征在于，所述预设边界宽度系数为10％，所述预设边界高度系数为10％，所述预设有效扫描区域为80％。
6.根据权利要求2所述的晶圆盘的扫描方法，其特征在于，所述第一可移动状态包括：
若所述第一可移动状态的值为第一预设值，则表示当前扫描区域不可移动；
若所述第一可移动状态的值为第二预设值，则表示当前扫描区域可以向左侧相邻扫描区域移动；
若所述第一可移动状态的值为第三预设值，则表示当前扫描区域可以向上侧相邻扫描区域移动；
若所述第一可移动状态的值为第四预设值，则表示当前扫描区域可以向右侧相邻扫描区域移动；
若所述第一可移动状态的值为第五预设值，则表示当前扫描区域可以向下侧相邻扫描区域移动；
若所述第一可移动状态的值非所述第一预设值、所述第二预设值、所述第三预设值、所述第四预设值及所述第五预设值，则将所述第一可移动状态的值拆分为所述第二预设值、所述第三预设值、所述第四预设值及所述第五预设值中至少两者之和，并根据拆分得到的预设值确定当前扫描区域可以移动至的相邻扫描区域。
7.根据权利要求1所述的晶圆盘的扫描方法，其特征在于，所述根据所述数据记录容器中记录的可移动状态以及所述第二可移动状态确定下一扫描区域，包括：
反向遍历所述数据记录容器的扫描点；针对所遍历的每个所述扫描点，按照预设顺序规则遍历所述扫描点的可移动状态对应可扫描的各个相邻扫描区域，若出现目标相邻扫描区域的第二可移动状态为允许移动，则将所述目标相邻扫描区域确定为所述下一扫描区域。
8.一种晶圆盘的扫描装置，其特征在于，包括：
位置信息确定模块，用于通过视觉识别确定晶圆盘上每个晶粒的位置信息；
初始扫描区域确定模块，用于根据所述位置信息确定所述晶圆盘上的初始扫描区域，并启动扫描；
第一可移动状态确定模块，用于根据所述位置信息确定当前扫描区域的第一可移动状态，并将所述第一可移动状态插入数据记录容器；
第二可移动状态确定模块，用于根据所述位置信息确定当前扫描区域的相邻扫描区域的第二可移动状态；
下一扫描区域确定模块，用于根据所述数据记录容器中记录的可移动状态以及所述第二可移动状态确定下一扫描区域，以前往所述下一扫描区域继续扫描，并将所述下一扫描区域的可移动状态插入所述数据记录容器中；然后返回所述第二可移动状态确定模块继续执行，直至确定所有的扫描区域。
9.一种计算机设备，其特征在于，包括：
一个或多个处理器；
存储器，用于存储一个或多个程序；
当所述一个或多个程序被所述一个或多个处理器执行，使得所述一个或多个处理器实现如权利要求1-7中任一所述的晶圆盘的扫描方法。
10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，该程序被处理器执行时实现如权利要求1-7中任一所述的晶圆盘的扫描方法。
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