CN113654156B - 一种洁净室结构及洁净室净化系统 - Google Patents

一种洁净室结构及洁净室净化系统 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种洁净室结构及洁净室净化系统，涉及洁净室相关领域，为解决目前洁净室中回风结构的进风位置粉尘含量高于出风位置粉尘含量，导致洁净室内的粉尘基本集中于回风位置处，洁净室内局部区域的粉尘超出标准值的问题。所述洁净室主体包括洁净室外框架，所述洁净室外框架的内侧设置有洁净室内框架，所述洁净室外框架与洁净室内框架之间形成夹腔，所述回风单元包括回风分管，所述回风分管内侧的下端设置有回风口，所述回风口的内部安装有第一初效过滤器，所述洁净室内框架内部的后端以及内部两侧的后端均设置有减尘凸起框架，所述减尘凸起框架内侧的下端设置有通风口，所述洁净室内框架与减尘凸起框架的内部设置有洁净内腔。

Description

一种洁净室结构及洁净室净化系统
技术领域
本发明涉及洁净室相关领域，具体为一种洁净室结构及洁净室净化系统。
背景技术
洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。洁净室的洁净度往往受到气流的影响，即人、机器隔间、建筑结构等所产生的尘埃之移动、扩散受到气流的支配。利用HEPA、ULPA过滤空气，其尘埃的收集率达99.97～99.99995％之多，然而洁净室内除了人以外，尚有机器等之发尘源，机器发生的尘埃一旦扩散，即无法保持洁净空间，因此必须利用气流将发生的尘埃迅速排出室外。
洁净室的空气循环是通过设置的回风结构和送风结构实现的，送风结构和回风结构位置均设置有过滤器对空气进行过滤，而风力流向因素和过滤器的过滤效果，送风结构的进风位置粉尘含量高于出风位置粉尘含量，回风结构的进风位置粉尘含量高于出风位置粉尘含量，洁净室内的粉尘基本集中于回风位置处，导致洁净室内局部区域的粉尘超出标准值，对于洁净室的洁净程度不利；因此市场急需研制一种洁净室结构及洁净室净化系统来帮助人们解决现有的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种洁净室结构及洁净室净化系统，以解决上述背景技术中提出的目前洁净室中回风结构的进风位置粉尘含量高于出风位置粉尘含量，导致洁净室内的粉尘基本集中于回风位置处，洁净室内局部区域的粉尘超出标准值的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种洁净室结构，包括洁净室主体、送风单元和回风单元，所述洁净室主体包括洁净室外框架，所述洁净室外框架的内侧设置有洁净室内框架，所述洁净室外框架与洁净室内框架之间形成夹腔，所述回风单元包括回风分管，回风分管设置于夹腔内部的后端和夹腔内部两侧的后端，回风分管与洁净室外框架和洁净室内框架通过固定卡扣固定，所述回风分管内侧的下端设置有回风口，所述回风口的内部安装有第一初效过滤器，第一初效过滤器与回风分管密封连接，回风口的外沿与洁净室内框架卡合，回风口与洁净室内框架密封连接，所述洁净室内框架内部的后端以及内部两侧的后端均设置有减尘凸起框架，减尘凸起框架与回风分管位置对应，所述减尘凸起框架内侧的下端设置有通风口，减尘凸起框架设置为空心结构，所述洁净室内框架与减尘凸起框架的内部设置有洁净内腔。
优选的，所述回风单元还包括回风总管、U形连通管、中间连接管和中间环管，回风分管位于中间环管下端的后端和中间环管下端两侧的后端，中间连接管位于中间环管上端的前端，U形连通管位于中间连接管的上端，回风总管位于U形连通管后端的中间，回风总管、U形连通管、中间连接管、中间环管和回风分管连通。
优选的，所述洁净室主体还包括上防护板和吊顶天花板，吊顶天花板位于洁净室外框架和洁净室内框架的上端，上防护板位于吊顶天花板的上端，U形连通管与上防护板通过支撑件支撑连接，所述上防护板与吊顶天花板之间形成中间夹层。
优选的，所述送风单元包括送风总管、连接板和送风分管，送风总管位于连接板上端的后端，送风分管位于连接板下端的前端，送风总管、连接板和送风分管连通，连接板和送风分管位于中间夹层的内部。
优选的，所述中间夹层内部沿送风分管的下端设置有密封箱，所述密封箱与送风分管通过送风连接管连接，所述密封箱与上防护板通过连接吊杆连接，所述密封箱与吊顶天花板密封连接。
优选的，所述密封箱内部的上端设置有均流弧形板，均流弧形板上设置有贯穿孔，均流弧形板上贯穿孔的直径由中间向外侧扩大，所述密封箱内部的下端设置有送风口，所述送风口的内部安装有高效过滤器。
优选的，所述洁净室主体内部中间的前端设置有去尘通道，所述去尘通道与洁净室内框架通过第二洁净门密封连接，所述去尘通道与洁净室外框架通过第一洁净门密封连接。
一种洁净室净化系统，所述净化系统包括净化单元，所述净化单元包括进风口、第二初效过滤器、风机、中效过滤器和出风口，进风口的输入端与回风总管的输出端连接，出风口的输出端与送风总管的输入端连接，进风口、第二初效过滤器、风机、中效过滤器和出风口依次设置。
优选的，所述净化单元还包括新风口和第三初效过滤器，第三初效过滤器的输出端与第二初效过滤器的输入端连接。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
1、该发明中，洁净室主体设置有洁净室外框架和洁净室内框架双层结构，在洁净室外框架和洁净室内框架之间形成夹腔，回风单元的回风分管固定于夹腔内，回风分管的回风口卡于洁净室内框架内，使回风分管与洁净室内框架之间密封良好，在洁净室内框架内侧沿回风分管的内侧设置有减尘凸起框架，减尘凸起框架设置为空心结构，减尘凸起框架内侧的下端设置有通风口，当洁净室净化系统工作中，内部的气体通过送风口进入洁净内腔中并分布于洁净内腔内，风机通过回风分管抽取洁净内腔内空气，回风分管抽取的空气通过通风口进入减尘凸起框架内部，再通过回风口的第一初效过滤器进入回风分管中，抽取带有粉尘的空气主要集中于减尘凸起框架内，从而解决了目前洁净室中回风结构的进风位置粉尘含量高于出风位置粉尘含量，导致洁净室内的粉尘基本集中于回风位置处，洁净室内局部区域的粉尘超出标准值的问题。
2、该发明中，回风分管上端连通有中间环管，中间环管上端的前端设置有中间连接管，中间连接管的上端连通有U形连通管，U形连通管后端的中间连通有回风总管，回风总管、U形连通管、中间连接管、中间环管和回风分管连通路径曲折，减少粉尘反向从回风总管流向回风分管的可能，从而减小因反向回风而导致的粉尘进入洁净室内框架内部的可能性。
3、该发明中，回风分管位于洁净室内框架内部后端和内部两侧后端的下端位置，送风单元中送风分管上送风口则均匀分布于内部前端的上端位置，送风位置和回风位置的方向相对，送入净化的风能够快速充满洁净内腔，并能快速回风，保证洁净内腔的洁净程度。
4、该发明中，送风分管不是直接连接高效过滤器，而是连接密封箱的送风连接管，送风分管送入的空气通过送风连接管进入密封箱的内部，通过均流弧形板平均导流后通过高效过滤器过滤，能够避免高效过滤器的利用位置集中在进风中间位置，扩大净化过滤效果；且高效过滤器设置于密封箱内部对送入的空气进行过滤，扩大高效过滤器与吊顶天花板的密封效果。
附图说明
图1为本发明的一种洁净室结构的主视图；
图2为本发明的回风单元的结构示意图；
图3为本发明的送风单元的局部结构示意图；
图4为本发明的洁净室主体的结构示意图；
图5为本发明的送风单元与洁净室主体的连接关系示意图；
图6为本发明的洁净室净化系统的工作原理图。
图中：1、洁净室主体；101、洁净室外框架；102、洁净室内框架；103、夹腔；104、减尘凸起框架；105、通风口；106、洁净内腔；107、去尘通道；108、第一洁净门；109、第二洁净门；110、上防护板；111、吊顶天花板；112、中间夹层；2、送风单元；201、送风总管；202、连接板；203、送风分管；204、送风连接管；205、密封箱；206、均流弧形板；207、送风口；208、高效过滤器；209、连接吊杆；3、回风单元；301、回风总管；302、U形连通管；303、中间连接管；304、支撑件；305、中间环管；306、回风分管；307、回风口；308、第一初效过滤器；4、净化单元；401、进风口；402、第二初效过滤器；403、风机；404、中效过滤器；405、出风口；406、新风口；407、第三初效过滤器。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。
请参阅图1-6，本发明提供的一种实施例：一种洁净室结构，包括洁净室主体1、送风单元2和回风单元3，洁净室主体1包括洁净室外框架101，洁净室外框架101的内侧设置有洁净室内框架102，洁净室外框架101与洁净室内框架102之间形成夹腔103，回风单元3包括回风分管306，回风分管306设置于夹腔103内部的后端和夹腔103内部两侧的后端，回风分管306与洁净室外框架101和洁净室内框架102通过固定卡扣固定，回风分管306内侧的下端设置有回风口307，回风口307的内部安装有第一初效过滤器308，第一初效过滤器308与回风分管306密封连接，回风口307的外沿与洁净室内框架102卡合，回风口307与洁净室内框架102密封连接，洁净室内框架102内部的后端以及内部两侧的后端均设置有减尘凸起框架104，减尘凸起框架104与回风分管306位置对应，减尘凸起框架104内侧的下端设置有通风口105，减尘凸起框架104设置为空心结构，洁净室内框架102与减尘凸起框架104的内部设置有洁净内腔106。
进一步，回风单元3还包括回风总管301、U形连通管302、中间连接管303和中间环管305，回风分管306位于中间环管305下端的后端和中间环管305下端两侧的后端，中间连接管303位于中间环管305上端的前端，U形连通管302位于中间连接管303的上端，回风总管301位于U形连通管302后端的中间，回风总管301、U形连通管302、中间连接管303、中间环管305和回风分管306连通，回风分管306中抽取的空气依次通过中间环管305、中间连接管303和U形连通管302进入回风总管301内，回风总管301、U形连通管302、中间连接管303、中间环管305和回风分管306连通路径曲折，减少粉尘反向从回风总管301流向回风分管306的可能。
进一步，洁净室主体1还包括上防护板110和吊顶天花板111，洁净室内框架102与底面和吊顶天花板111的连接均设置有弧形拐角，并设置有密封料从底面和吊顶天花板111面延伸上洁净室内框架102，从而避免连接位置处灰尘积累，不易清理的问题，吊顶天花板111采用彩钢板，吊顶天花板111位于洁净室外框架101和洁净室内框架102的上端，上防护板110位于吊顶天花板111的上端，U形连通管302与上防护板110通过支撑件304支撑连接，上防护板110与吊顶天花板111之间形成中间夹层112。
进一步，送风单元2包括送风总管201、连接板202和送风分管203，送风总管201位于连接板202上端的后端，送风分管203位于连接板202下端的前端，送风总管201、连接板202和送风分管203连通，连接板202为板状结构，连接板202内部设置有空腔，将两个送风总管201送入的风量分布均匀送入送风分管203内，连接板202和送风分管203位于中间夹层112的内部。
进一步，中间夹层112内部沿送风分管203的下端设置有密封箱205，密封箱205与送风分管203通过送风连接管204连接，密封箱205与上防护板110通过连接吊杆209连接，密封箱205与吊顶天花板111密封连接。
进一步，密封箱205内部的上端设置有均流弧形板206，均流弧形板206上设置有贯穿孔，均流弧形板206上贯穿孔的直径由中间向外侧扩大，从而起到均流的效果，避免送风完全从中间位置进入，密封箱205内部的下端设置有送风口207，送风口207的内部安装有高效过滤器208。
进一步，洁净室主体1内部中间的前端设置有去尘通道107，去尘通道107内部含有一整套单独的净化系统，基本结构相同，去尘通道107内部设置有去尘机构，再此处再次去尘，防止外界粉尘带入，去尘通道107与洁净室内框架102通过第二洁净门109密封连接，去尘通道107与洁净室外框架101通过第一洁净门108密封连接，第一洁净门108与第二洁净门109具有联动机构，第一洁净门108与第二洁净门109不同时开启，从而降低外界粉尘进入的可能。
一种洁净室净化系统，净化系统包括净化单元4，净化单元4包括进风口401、第二初效过滤器402、风机403、中效过滤器404和出风口405，进风口401的输入端与回风总管301的输出端连接，出风口405的输出端与送风总管201的输入端连接，进风口401、第二初效过滤器402、风机403、中效过滤器404和出风口405依次设置，回风和新风最后通过第二初效过滤器402初效过滤，再通过中效过滤器404中效过滤，最后通过高效过滤器208高效过滤，逐级减小通过粉尘大小，直至高效过滤器208将粉尘几乎全部滤过。
进一步，净化单元4还包括新风口406和第三初效过滤器407，第三初效过滤器407的输出端与第二初效过滤器402的输入端连接。
工作原理：当洁净室净化系统工作，通过新风口406进入的空气经过第三初效过滤器407过滤后进入第二初效过滤器402中再次过滤，并通过风机403的输送作用进入中效过滤器404中过滤，并通过净化单元4的出风口405进入送风单元2的送风口207中，通过高效过滤器208高效过滤后进入洁净内腔106，并分布于洁净内腔106内。风机403通过回风分管306抽取洁净内腔106内空气，回风分管306抽取的空气通过通风口105进入减尘凸起框架104内部，再通过回风口307的第一初效过滤器308进入回风分管306中，回风分管306中抽取的空气依次通过中间环管305、中间连接管303和U形连通管302进入回风总管301内，回风总管301、U形连通管302、中间连接管303、中间环管305和回风分管306连通路径曲折，减少粉尘反向从回风总管301流向回风分管306的可能，进入回风总管301内的空气重新进入进入净化单元4的进风口401内，进风口401进入的回风与新风口406进入的新风共同通过第二初效过滤器402过滤，重新进行循环。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (8)

1.一种洁净室结构，包括洁净室主体(1)、送风单元(2)和回风单元(3)，其特征在于：所述洁净室主体(1)包括洁净室外框架(101)，所述洁净室外框架(101)的内侧设置有洁净室内框架(102)，所述洁净室外框架(101)与洁净室内框架(102)之间形成夹腔(103)，所述回风单元(3)包括回风分管(306)，回风分管(306)设置于夹腔(103)内部的后端和夹腔(103)内部两侧的后端，回风分管(306)与洁净室外框架(101)和洁净室内框架(102)通过固定卡扣固定，所述回风分管(306)内侧的下端设置有回风口(307)，所述回风口(307)的内部安装有第一初效过滤器(308)，第一初效过滤器(308)与回风分管(306)密封连接，回风口(307)的外沿与洁净室内框架(102)卡合，回风口(307)与洁净室内框架(102)密封连接，所述洁净室内框架(102)内部的后端以及内部两侧的后端均设置有减尘凸起框架(104)，减尘凸起框架(104)与回风分管(306)位置对应，所述减尘凸起框架(104)内侧的下端设置有通风口(105)，减尘凸起框架(104)设置为空心结构，所述洁净室内框架(102)与减尘凸起框架(104)的内部设置有洁净内腔(106)；所述回风单元(3)还包括回风总管(301)、U形连通管(302)、中间连接管(303)和中间环管(305)，回风分管(306)位于中间环管(305)下端的后端和中间环管(305)下端两侧的后端，中间连接管(303)位于中间环管(305)上端的前端，U形连通管(302)位于中间连接管(303)的上端，回风总管(301)位于U形连通管(302)后端的中间，回风总管(301)、U形连通管(302)、中间连接管(303)、中间环管(305)和回风分管(306)连通。
2.根据权利要求1所述的一种洁净室结构，其特征在于：所述洁净室主体(1)还包括上防护板(110)和吊顶天花板(111)，吊顶天花板(111)位于洁净室外框架(101)和洁净室内框架(102)的上端，上防护板(110)位于吊顶天花板(111)的上端，U形连通管(302)与上防护板(110)通过支撑件(304)支撑连接，所述上防护板(110)与吊顶天花板(111)之间形成中间夹层(112)。
3.根据权利要求2所述的一种洁净室结构，其特征在于：所述送风单元(2)包括送风总管(201)、连接板(202)和送风分管(203)，送风总管(201)位于连接板(202)上端的后端，送风分管(203)位于连接板(202)下端的前端，送风总管(201)、连接板(202)和送风分管(203)连通，连接板(202)和送风分管(203)位于中间夹层(112)的内部。
4.根据权利要求3所述的一种洁净室结构，其特征在于：所述中间夹层(112)内部沿送风分管(203)的下端设置有密封箱(205)，所述密封箱(205)与送风分管(203)通过送风连接管(204)连接，所述密封箱(205)与上防护板(110)通过连接吊杆(209)连接，所述密封箱(205)与吊顶天花板(111)密封连接。
5.根据权利要求4所述的一种洁净室结构，其特征在于：所述密封箱(205)内部的上端设置有均流弧形板(206)，均流弧形板(206)上设置有贯穿孔，均流弧形板(206)上贯穿孔的直径由中间向外侧扩大，所述密封箱(205)内部的下端设置有送风口(207)，所述送风口(207)的内部安装有高效过滤器(208)。
6.根据权利要求1所述的一种洁净室结构，其特征在于：所述洁净室主体(1)内部中间的前端设置有去尘通道(107)，所述去尘通道(107)与洁净室内框架(102)通过第二洁净门(109)密封连接，所述去尘通道(107)与洁净室外框架(101)通过第一洁净门(108)密封连接。
7.一种洁净室净化系统，基于权利要求1-6任意一项一种洁净室结构实现，其特征在于：所述净化系统包括净化单元(4)，所述净化单元(4)包括进风口(401)、第二初效过滤器(402)、风机(403)、中效过滤器(404)和出风口(405)，进风口(401)的输入端与回风总管(301)的输出端连接，出风口(405)的输出端与送风总管(201)的输入端连接，进风口(401)、第二初效过滤器(402)、风机(403)、中效过滤器(404)和出风口(405)依次设置。
8.根据权利要求7所述的一种洁净室净化系统，其特征在于：所述净化单元(4)还包括新风口(406)和第三初效过滤器(407)，第三初效过滤器(407)的输出端与第二初效过滤器(402)的输入端连接。
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Denomination of invention: A cleanroom structure and cleanroom purification system

Effective date of registration: 20221108

Granted publication date: 20220726

Pledgee: Bank of China Limited Wuhan Hanyang sub branch

Pledgor: WUHAN GREEN-M CLEAN TECHNOLOGY ENGINEERING Co.,Ltd.

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