CN113629025A - 散热装置、电子器件和应用 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种散热装置、电子器件和应用，上述散热装置包括上盖板和下盖板；上盖板与下盖板配合围成进液微流道、散热腔和出液微流道，进液微流道设置有进液口，出液微流道设置有出液口，散热腔与进液微流道和出液微流道连通，散热腔内设置有多根间隔设置的散热柱，上盖板在对应散热腔的位置设置有散热接触区，散热柱在散热接触区与上盖板接触。上述散热装置中散热腔设计的散热柱，可以增大换热面积，增大冷却液的流体雷诺数，提高紊流效果，有效降低散热装置本身热阻，提高散热能力。进一步地，上述散热装置层数较少，可以通过增加单层厚度来增加其硬度，也就可以降低散热装置变形的几率，还可以缩短加工时长，实现产品质量可控。

Description

散热装置、电子器件和应用

技术领域

本发明涉及电子器件散热技术领域，特别是涉及一种散热装置、电子器件和应用。

背景技术

由于电子器件集成度不断提高，电子器件内部功率密度也不断突破新高，使电子器件发热量越来越大，严重影响了电子器件的工作寿命。电子器件的失效机率随着工作温度的升高急剧增加，电子器件工作环境温度每提升10℃，将使该器件的工作寿命降低到以前工作温度寿命的一半，因此电子器件在较低温度的环境下工作才能保证其可靠性。电子器件发热量的不断增大已经成为限制电子器件沿着摩尔定律的方向进一步提高集成度以及提升性能的瓶颈。因此需要通过设计高效的散热手段，将电子器件内部积聚的热量带出并将热量散发到外部环境中，从而将系统内部工作温度控制在能保证安全、可靠、高性能地工作的界限以内。如果散热管理系统设计不当，不能将电子器件工作温度控制在可接受的范围，将会引起许多潜在的问题，最直接的结果会使电子器件不能良好工作，可靠性下降甚至过早失效。

传统微通道散热器体积小，散热功率大，广泛应用于大功率激光器芯片上。由于体积小以及内部通道结构较为复杂，微流道散热器常以多层(两层以上)结构为主，以五层结构为例，最上层与最下层结构作为封板，中间三层加工流道，最后五层结合成一体，形成一个微通道散热器。但是由于多层结构复杂，且加工结合时存在层间结合力不一致，可能造成漏水以及内部通孔等缺陷，影响电子产品良率以及散热性能。此外，多层板在结合加工时，前处理相对复杂，加工时间相对较长，造成人工以及时间上的浪费。同时微通道散热器的多层结构结合时，层间界面热阻较大，影响散热性能。层间错位情况将影响散热器散热性能。多层图案结合为一体，出现层间错位的概率大。多层微流道的每一层厚度相对较薄，硬度不足，加工中容易出现变形。

发明内容

基于此，为了简化散热装置，减少层间界面热阻以及降低散热器变形几率，有必要提供一种散热装置、电子器件和应用。

本发明提供一种散热装置，包括上盖板和下盖板；

所述上盖板与所述下盖板配合围成进液微流道、散热腔和出液微流道，所述进液微流道设置有进液口，所述出液微流道设置有出液口，所述散热腔与所述进液微流道和所述出液微流道连通，所述散热腔内设置有多根间隔设置的散热柱，所述上盖板在对应所述散热腔的位置设置有散热接触区，所述散热柱在所述散热接触区与所述上盖板接触；

冷却液能够由所述进液口流入，经所述进液微流道进入所述散热腔，并在所述散热腔内与所述散热柱进行热交换，后经由所述出液微流道以及所述出液口流出。

在其中一个实施例中，所述上盖板和所述下盖板上均设置有流道槽和换热槽，所述上盖板上的流道槽与所述下盖板上的流道槽配合构成所述进液微流道和所述出液微流道，所述上盖板上的换热槽与所述下盖板上的换热槽配合构成所述散热腔。

在其中一个实施例中，所述进液微流道自其入口端向所述散热腔逐渐收窄。

在其中一个实施例中，所述出液微流道有多条，多条所述出液微流道与所述散热腔的不同位置连通。

在其中一个实施例中，所述进液微流道有一条，所述出液微流道有两条，且所述出液微流道设置于所述进液微流道的两侧。

在其中一个实施例中，相邻的任意两所述散热柱的柱心之间间距为0.4mm～0.8mm。

在其中一个实施例中，所述散热柱的径向尺寸在0.2mm～0.6mm。

在其中一个实施例中，所述散热柱、所述上盖板和所述下盖板的材质各自独立地选自铜或铝。

进一步地，本发明还提供一种电子器件，包括功能部件和如上所述的散热装置，所述功能部件的发热区与所述散热装置的所述散热接触区接触。

更进一步地，本发明提供上述的散热装置在制作电子器件散热器中的应用。

上述散热装置中散热腔设计的散热柱，可以增大换热面积，提高散热能力；此外，散热柱还可以进一步增大冷却液的流体雷诺数，提高紊流效果，从而提高散热性能。同时上述结构避免多层散热装置层间界面形成的大量的界面热阻，有效降低散热装置本身热阻，进一步提高散热性能以及缩短加工时长，实现产品质量可控。更进一步地，上述散热装置层数较少，可以通过增加单层厚度来增加其硬度，也就可以降低散热装置变形的几率。

附图说明

图1为本发明一实施方式的散热装置的示意图；

图2为图1所示散热装置的底视图；

图3为图1所示散热装置的俯视图；

图4为图1所示散热装置沿图3A-A’截面的剖面示意图。

附图标号说明如下：

10：散热装置，1011：上盖板，1012：下盖板，1021：进液口，1022：进液微流道，1031：出液口，1032：出液微流道，1041：散热柱，1042：散热接触区。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施例。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容的理解更加透彻全面。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。在本发明的描述中，“若干”的含义是至少一个，例如一个，两个等，除非另有明确具体的限定。

本发明中的词语“优选地”、更优选地”等是指，在某些情况下可提供某些有益效果的本发明实施方案。然而，在相同的情况下或其他情况下，其他实施方案也可能是优选的。此外，对一个或多个优选实施方案的表述并不暗示其他实施方案不可用，也并非旨在将其他实施方案排除在本发明的范围之外。

当本文中公开一个数值范围时，上述范围视为连续，且包括该范围的最小值及最大值，以及这种最小值与最大值之间的每一个值。进一步地，当范围是指整数时，包括该范围的最小值与最大值之间的每一个整数。此外，当提供多个范围描述特征或特性时，可以合并该范围。换言之，除非另有指明，否则本文中所公开之所有范围应理解为包括其中所归入的任何及所有的子范围。

需要说明的是，在本发明的描述中，对于方位词，如有术语“中心”、“横向”、“纵向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示方位和位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于叙述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定方位构造和操作，不能理解为限制本发明的具体保护范围。

在描述位置关系时，除非另有规定，否则当一元件例如层、膜或基板被指为在另一膜层“上”时，其能直接在其他膜层上或亦可存在中间膜层。进一步说，当层被指为在另一层“下”时，其可直接在下方，亦可存在一或多个中间层。亦可以理解的是，当层被指为在两层“之间”时，其可为两层之间的唯一层，或亦可存在一或多个中间层。

在使用本文中描述的“包括”、“具有”、和“包含”的情况下，意图在于覆盖不排他的包含，除非使用了明确的限定用语，例如“仅”、“由……组成”等，否则还可以添加另一部件。

除非相反地提及，否则单数形式的术语可以包括复数形式，并不能理解为其数量为一个。

此外，附图并不是以1:1的比例绘制，并且各元件的相对尺寸在附图中仅以示例地绘制，以便于理解本发明，但不一定按照真实比例绘制，附图中的比例不构成对本发明的限制。需要说明的是，当元件被称为“设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

如图1和图2所示，本发明提供一种散热装置10，包括上盖板1011和下盖板1012；

上盖板1011与下盖板1012配合围成进液微流道1022、散热腔和出液微流道1032，进液微流道1022设置有进液口1021，出液微流道1032设置有出液口1031，散热腔与进液微流道1022和出液微流道1032连通，散热腔内设置有多根间隔设置的散热柱1041，上盖板1011在对应散热腔的位置设置有散热接触区1042，散热柱1041在散热接触区1042与上盖板1011接触；

冷却液能够由进液口1021流入，经进液微流道1022进入散热腔，并在散热腔内与散热柱1041进行热交换，后经由出液微流道1032以及出液口1031流出。

如图3俯视图以及图4所示的剖面示意图，便于更好地理解本发明提供的散热装置10。

在一个具体示例中，上盖板1011和下盖板1012上均设置有流道槽和换热槽，上盖板1011上的流道槽与下盖板1012上的流道槽配合构成进液微流道1022和出液微流道1032，上盖板1011上的换热槽与下盖板1012上的换热槽配合构成散热腔。

可以理解地，上述散热接触区1042位于散热腔的上方。

在一个具体示例中，进液微流道1022自其入口端向散热腔逐渐收窄。

在一个具体示例中，出液微流道1032有多条，多条出液微流道1032与散热腔的不同位置连通。

在一个具体示例中，进液微流道1022有一条，出液微流道1032有两条，且出液微流道1032设置于进液微流道1022的两侧。

可以理解地，冷却液通过进液口1021进入散热装置10，向散热腔流动，与散热腔内的散热柱进行换热后冷却液沿着出液微流道1032往两边扩散，经双边的出液微流道1032流动至出液口1031，冷却液完成流动过程。

在一个具体示例中，散热柱1041为圆柱或多边形棱柱。

优选地，散热柱1041为圆柱，相较于多边形棱柱其与冷却液接触面积更大，可以实现良好的换热效果。

在一个具体示例中，相邻的任意两散热柱1041的柱心之间间距为0.4mm～0.8mm，优选地，柱心之间间距为0.5mm～7mm。

进一步地，散热柱1041的径向尺寸在0.2mm～0.6mm，优选地，径向尺寸在0.3mm～0.5mm。

可以理解地，对于散热柱为圆柱上述径向尺寸即为直径，对于散热柱为多边形棱柱上述径向尺寸即为内切圆直径。

当上述散热柱1041为圆柱，且各散热柱直径相同时，散热柱1041之间的柱心之间间距越小，散热装置10的散热性能越高，但是如果散热装置10中散热柱1041间距过小，散热柱1041在散热腔形成过大的密度会导致散热装置10压力损失增大。

更进一步地，上述散热柱1041的高度为0.6mm～1.2mm，优选地，散热柱1041的高度为0.8mm～1mm，散热柱1041的高度为具体地0.9mm。

在一个具体示例中，散热柱、上盖板和下盖板的材质各自独立地选自铜或铝。

可以理解地，上述散热柱、上盖板和下盖板为一体设计，即散热板、上盖板和下盖板的材质选择相同。

在一个具体示例中，上盖板1011和下盖板1012的总厚度为1mm～2mm。

优选地，上盖板1011与下盖板1012的总厚度为1.2mm～1.8mm，具体地总厚度为1.5mm，可以理解地，上盖板1011与下盖板1012的厚度为0.75mm。

上盖板1011和下盖板1012的长度和宽度的比例为(20mm～30mm):(8mm～15mm)。

可以理解地，位于上盖板1011的散热接触区1042与上盖板1011的边缘要存在一定距离。

优选地，散热接触区1042的任一边缘离其最近的上盖板1011的边缘的距离为0.5mm～0.8mm，具体地上述距离可以但不限于是0.5mm、0.6mm、0.7mm或0.8mm。

在一个具体示例中，冷却液选自水、乙二醇和氟化液中的至少一种。

优选地，冷却液为水。

上述散热装置10中散热腔内设计的散热柱1041，可以增大换热面积，提高散热能力；此外，散热柱1041还可以进一步增大冷却液的流体雷诺数，提高紊流效果，从而提高散热性能。同时上述结构避免多层散热装置层间界面形成的大量的界面热阻，有效降低散热装置10本身热阻，进一步提高散热性能以及缩短加工时长，实现产品质量可控。更进一步地，上述散热装置10的层数较少，可以通过增加单层厚度来增加其硬度，也就可以降低散热装置10变形的几率。

进一步地，本发明还提供一种电子器件，包括功能部件和散热装置10，功能部件的发热区与散热装置的散热接触区1042接触。

可以理解地，上述功能部件的发热区可以但不限于是激光器巴条。

同样地，上述功能部件的发热区与如上述的散热装置10的散热接触区1042接触的方式可以但不限于是焊接。

具体来说，冷却液通过进液口1021以及在上盖板1011以及下盖板1012形成的进液微流道1012进入散热装置10，进入散热腔进行热交换，使完成换热的冷却液由多条出液微流道1032至出液口1031，冷却液完成在散热装置10中换热流动过程。

功能部件的发热区固定在上盖板1011中散热接触区1042所在位置，功能部件工作产生热量后，热量通过上盖板1011上的散热接触区1042传递给散热柱1041与冷却液进行热交换，经过换热后冷却液带走散热柱1041的热量。

本发明提供的散热装置10中只需要设计一条进液微流道1022，便于液体无阻力到达散热腔，能有效避免造成不必要的压力损失。热量在散热腔被冷却液交换后，到达出液口，只需避开安装孔位设计两条出液微流道1032围绕进液微流道1022，能避免冷却液在流动过程中阻力带来的压力损失。

进一步地，上述散热装置10中散热腔是主要的热交换区域，此处设计大量散热柱1041，可有效增大换热面积，提高散热能力；散热柱1041之间相互交错，增大流体雷诺数，提高紊流效果，从而提高散热性能。

更进一步地，本发明提供上述的散热装置10在制作电子器件散热器中的应用。

以下提供具体的实施例对本发明的散热装置作进一步详细地说明。

实施例1

本实施例提供一种散热装置，包含上盖板和下盖板，其中上盖板、下盖板和散热柱均为铜材料，导热系数为380w/(mk)，上盖板和下盖板的长度为26.5mm，上盖板和下盖板的宽度为11.5mm，上盖板和下盖板形成的盖板区的厚度为1.5mm，散热接触区的宽度为4.08mm，散热接触区的长度为9.9mm，上述散热接触区距离上盖板的较长一侧的边缘0.8mm，距离上盖板的较短一侧的边缘0.5mm，散热柱的高度为0.9mm，散热柱与平行于上盖板的较长边缘设置的且相邻的散热柱的柱间间距为0.55mm，散热柱与不平行于上盖板的任一边缘设置的且相邻的散热柱的柱间间距为0.6mm，散热柱在散热腔内交替设置，冷却液为水，冷却液的泵入流量为0.3L/min，散热柱为直径为0.4mm的圆柱。

实施例2

本实施例提供一种散热装置，包含上盖板和下盖板，其中上盖板、下盖板和散热柱均为铜材料，导热系数为380w/(mk)，上盖板和下盖板的长度为26.5mm，上盖板和下盖板的宽度为11.5mm，上盖板和下盖板形成的盖板区的厚度为1.5mm，散热接触区的宽度为4.08mm，散热接触区的长度为9.9mm，上述散热接触区距离上盖板的较长一侧的边缘0.8mm，距离上盖板的较短一侧的边缘0.5mm，散热柱的高度为0.9mm，散热柱与平行于上盖板的较长边缘设置的且相邻的散热柱的柱间间距为0.55mm，散热柱与不平行于上盖板的任一边缘设置的且相邻的散热柱的柱间间距为0.5mm，散热柱在散热腔内交替设置，冷却液为水，冷却液的泵入流量为0.3L/min，散热柱为直径为0.4mm的圆柱。

实施例3

本实施例提供一种散热装置，包含上盖板和下盖板，其中上盖板、下盖板和散热柱均为铜材料，导热系数为380w/(mk)，上盖板和下盖板的长度为26.5mm，上盖板和下盖板的宽度为11.5mm，上盖板和下盖板形成的盖板区的厚度为1.5mm，散热接触区的宽度为4.08mm，散热接触区的长度为9.9mm，上述散热接触区距离上盖板的较长一侧的边缘0.8mm，距离上盖板的较短一侧的边缘0.5mm，散热柱的高度为0.9mm，散热柱与平行于上盖板的较长边缘设置的且相邻的散热柱的柱间间距为0.55mm，散热柱与不平行于上盖板的任一边缘设置的且相邻的散热柱的柱间间距为0.7mm，散热柱在散热腔内交替设置，冷却液为水，冷却液的泵入流量为0.3L/min，散热柱为直径为0.4mm的圆柱。

实施例4

本实施例提供一种散热装置，包含上盖板和下盖板，其中上盖板、下盖板和散热柱均为铜材料，导热系数为380w/(mk)，上盖板和下盖板的长度为26.5mm，上盖板和下盖板的宽度为11.5mm，上盖板和下盖板形成的盖板区的厚度为1.5mm，散热接触区的宽度为4.08mm，散热接触区的长度为9.9mm，上述散热接触区距离上盖板的较长一侧的边缘0.8mm，距离上盖板的较短一侧的边缘0.5mm，散热柱的高度为0.9mm，散热柱与平行于上盖板的较长边缘设置的且相邻的散热柱的柱间间距为0.5mm，散热柱与不平行于上盖板的任一边缘设置的且相邻的散热柱的柱间间距为0.6mm，散热柱在散热腔内交替设置，冷却液为水，冷却液的泵入流量为0.3L/min，散热柱为直径为0.4mm的圆柱。

实施例5

本实施例提供一种散热装置，包含上盖板和下盖板，其中上盖板、下盖板和散热柱均为铜材料，导热系数为380w/(mk)，上盖板和下盖板的长度为26.5mm，上盖板和下盖板的宽度为11.5mm，上盖板和下盖板形成的盖板区的厚度为1.5mm，散热接触区的宽度为4.08mm，散热接触区的长度为9.9mm，上述散热接触区距离上盖板的较长一侧的边缘0.8mm，距离上盖板的较短一侧的边缘0.5mm，散热柱的高度为0.9mm，散热柱与平行于上盖板的较长边缘设置的且相邻的散热柱的柱间间距为0.6mm，散热柱与不平行于上盖板的任一边缘设置的且相邻的散热柱的柱间间距为0.6mm，散热柱在散热腔内交替设置，冷却液为水，冷却液的泵入流量为0.3L/min，散热柱为直径为0.4mm的圆柱。

实施例6

本实施例提供一种散热装置，包含上盖板和下盖板，其中上盖板、下盖板和散热柱均为铜材料，导热系数为380w/(mk)，上盖板和下盖板的长度为26.5mm，上盖板和下盖板的宽度为11.5mm，上盖板和下盖板形成的盖板区的厚度为1.5mm，散热接触区的宽度为4.08mm，散热接触区的长度为9.9mm，上述散热接触区距离上盖板的较长一侧的边缘0.8mm，距离上盖板的较短一侧的边缘0.5mm，散热柱的高度为0.9mm，散热柱与平行于上盖板的较长边缘设置的且相邻的散热柱的柱间间距为0.55mm，散热柱与不平行于上盖板的任一边缘设置的且相邻的散热柱的柱间间距为0.6mm，散热柱在散热腔内交替设置，冷却液为水，冷却液的泵入流量为0.3L/min，散热柱为直径为0.3mm的圆柱。

实施例7

本实施例提供一种散热装置，包含上盖板和下盖板，其中上盖板、下盖板和散热柱均为铜材料，导热系数为380w/(mk)，上盖板和下盖板的长度为26.5mm，上盖板和下盖板的宽度为11.5mm，上盖板和下盖板形成的盖板区的厚度为1.5mm，散热接触区的宽度为4.08mm，散热接触区的长度为9.9mm，上述散热接触区距离上盖板的较长一侧的边缘0.8mm，距离上盖板的较短一侧的边缘0.5mm，散热柱的高度为0.9mm，散热柱与平行于上盖板的较长边缘设置的且相邻的散热柱的柱间间距为0.55mm，散热柱与不平行于上盖板的任一边缘设置的且相邻的散热柱的柱间间距为0.6mm，散热柱在散热腔内交替设置，冷却液为水，冷却液的泵入流量为0.3L/min，散热柱为直径为0.5mm的圆柱。

对比例1

本对比例提供一种五层结构的铜制散热器，此散热器包括由上至下依次为第一层至第五层，无散热柱结构，第一层与第五层为盖板层中间三层为换热层，进液微流道共有十条，冷却液由进液口从第四层的进液通道进入后依次经第三层流进第二层，再由第二层流出到达出液口，完成散热。

模拟与结果分析

利用仿真软件flotherm XT模拟一款五层结构微流道散热器与本发明两层结构设计的微通道散热装置，整体外围尺寸一致，模拟热源加热方式一致，且均为80W发热功耗，上述实施例1～7与对比例1的散热装置的散热模拟结果如下表1所示。

表1

	温升△T(℃)	压力损失(KPa)
			实施例1	17.5	45
实施例2	15.9	51
			实施例3	19.2	41
实施例4	17.2	50
			实施例5	18.3	39
实施例6	19.4	33
			实施例7	16.2	58
对比例1	20.5	45

上述散热器结构的材质均为铜时，使用五层微通道散热器时，热源表面温升为20.5℃，压力损失为45KPa，而采用本发明实施例1的散热装置，在相同压力损失的情况下，热源表面温升为17.5℃，同比降低3℃；当上述散热器结构的材质均为铝时，使用五层微通道散热器时，热源表面温升为24.3℃，压力损失为45KPa，而采用本发明实施例1的散热装置，在相同压力损失的情况下，热源表面温升为20.6℃，同比降低3.7℃，本发明的散热装置大幅提升了散热性能。

本发明还进一步探究了散热柱的直径以及散热柱之间的间距对散热装置的温升与压力损失的关系，在交错设置的散热柱间距不变的情况下，散热柱直径的增加温升明显下降但是压力损失明显上升，散热柱柱间间距的增加温升明显上升但是压力损失明显下降，因此要达到理想的热源表面温升以及压力损失还需要散热柱的直径与柱间距相匹配。

本发明采用双层散热装置与五层微通道散热器相同压力损失的条件下，本发明的双层结构在不增加压力损失的前提下，优化散热性能。进一步证明了本发明提供上述散热腔含有散热柱1041设计的散热装置10，可以有效增大换热面积，提高散热能力；此外，通过控制散热柱1041的直径和间距还可以进一步增大冷却液的流体雷诺数，提高紊流效果，从而提高散热性能。同时上述双层散热装置10避免多层散热装置层间界面形成的大量的界面热阻，实现了有效降低散热装置本身热阻，进一步提高散热性能与此同时上述散热装置层数较少，可以通过增加单层厚度来增加其硬度，也就可以有效减少散热装置变形的几率。本发明提供的散热装置10结构简单可以缩短加工时长，实现产品质量可控。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，便于具体和详细地理解本发明的技术方案，但并不能因此而理解为对发明专利保护范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。应当理解，本领域技术人员在本发明提供的技术方案的基础上，通过合乎逻辑地分析、推理或者有限的实验得到的技术方案，均在本发明所附权利要求的保护范围内。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求的内容为准，说明书以及附图可以用于解释权利要求的内容。

Claims (10)

1.一种散热装置，其特征在于，包括上盖板和下盖板；

所述上盖板与所述下盖板配合围成进液微流道、散热腔和出液微流道，所述进液微流道设置有进液口，所述出液微流道设置有出液口，所述散热腔与所述进液微流道和所述出液微流道连通，所述散热腔内设置有多根间隔设置的散热柱，所述上盖板在对应所述散热腔的位置设置有散热接触区，所述散热柱在所述散热接触区与所述上盖板接触；

冷却液能够由所述进液口流入，经所述进液微流道进入所述散热腔，并在所述散热腔内与所述散热柱进行热交换，后经由所述出液微流道以及所述出液口流出。

2.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述上盖板和所述下盖板上均设置有流道槽和换热槽，所述上盖板上的流道槽与所述下盖板上的流道槽配合构成所述进液微流道和所述出液微流道，所述上盖板上的换热槽与所述下盖板上的换热槽配合构成所述散热腔。

3.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述进液微流道自其入口端向所述散热腔逐渐收窄。

4.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述出液微流道有多条，多条所述出液微流道与所述散热腔的不同位置连通。

5.如权利要求4所述的散热装置，其特征在于，所述进液微流道有一条，所述出液微流道有两条，且所述出液微流道设置于所述进液微流道的两侧。

6.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于，相邻的任意两所述散热柱的柱心之间间距为0.4mm～0.8mm。

7.如权利要求1所述的散热装置，其特征在于，所述散热柱的径向尺寸在0.2mm～0.6mm。

8.如权利要求1～7任一项所述的散热装置，其特征在于，所述散热柱、所述上盖板和所述下盖板的材质各自独立地选自铜或铝。

9.一种电子器件，其特征在于，包括功能部件和如权利要求1～8任一项所述的散热装置，所述功能部件的发热区与所述散热装置的所述散热接触区接触。

10.如权利要求1～8任一项所述的散热装置在制作电子器件散热器中的应用。

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