CN113624325A - 一种激光声传感器及系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种激光声传感器及系统，属于非接触激光自混合光学声音振动测量领域。包括拾音结构、光学检测结构、信号放大模块和信号处理模块，所述拾音结构包括壳体、拾音膜片、反光膜片、排气阀门、腔长调节器、内腔和外腔，所述拾音膜片在环境声压作用下产生机械振动带动外腔空气振动，并传递至体积远小于外腔的内腔空气振动，从而放大环境声压并驱动反光膜片振动，再由半导体激光器发出光信号至反光膜片中心区域，并接收反光膜片反射回的光信号，形成自混合干涉，经过信号放大模块与信号处理模块将模拟信号转化为数字信号，并采用相位解卷法解调自混合干涉信号，恢复膜片振动位移信号，达到监测环境声音振动的技术效果。
Description
技术领域
本发明涉及非接触激光自混合光学声音振动测量领域，特别是一种激光声传感器及系统。
背景技术
光学声传感器相比传统传感器相比，具有本质安全性、抗电磁干扰、防湿防潮等优点。同时，光学器件本身不发射任何电磁辐射，因此是防爆的。而且由于使用玻璃光纤传输的损耗低，电子设备和光学探头之间可实现长距离传输。这些特性促进了光学传感在测量监视等方面的新应用。
光学声传感器一般由拾音结构和光学检测结构组成，拾音结构一般采用拾音膜片将声压转换为机械振动，膜片的顺应性决定了声波检测的灵敏度。光学检测结构用于发射和接收测量激光。发射的测量光照射到振动膜片后被调制，光学检测结构接收调制光信号并通过光电探测器转换为电信号，然后通过模数转换得到数字信号，最后通过数字信号解调技术解调出振动信息并恢复声信号。
在过去的几年中，几种光学传声技术的转导机制如外差探测、零差探测和自混合干涉探测得到了开发应用。传统的外差或零差技术大多是通过将散射光与频率接近或等于原始激光频率的恒定光进行混频来实现的。与外差或零差干涉测量技术相比，自混干涉技术具有高紧凑性、实现简单等优点。其原理如下：激光器的出射光被外界物体部分反射或散射后，重新反馈回激光器的谐振腔内，与腔内光发生干涉，调制激光器的输出特性，通过解调光功率信号即可实现对目标物的物理量的测量。
专利CN110220584A提出了一种基于法布里-珀罗干涉结构的光学声传感器，其拾音结构由支座、拾音膜片和支撑梁构成，且拾音膜片与光纤端面形成法布里-珀罗腔。当拾音膜片就收声压振动时，腔长变化，输出相位调制光信号。
上述技术方案的缺点在于：拾音结构固定，因此声压探测灵敏度不可调，同时光学检测结构的结构较为复杂。
本发明利用可调节气腔大小的双气腔结构来实现振动放大倍数的调节，同时结合自混合干涉系统检测振动膜片的振动位移，两者配合使用，实现了声音振动信号的恢复，该发明灵敏度高，且装置结构简单，具有防潮、防电磁干扰、灵敏度高且可调等优点。
发明内容
本发明的发明目的是，针对上述问题，提供一种激光声传感器及系统，通过可调节气腔大小的双气腔结构来实现振动放大倍数的调节，达到调节声音振动放大倍数并提高振动膜片对声压灵敏度的技术效果；通过自混合干涉系统达到易准直、防潮、防电磁干扰、结构简单的技术效果；通过将双气腔放大结构与自混合干涉系统耦合来检测振动膜片的振动位移，最终实现了声音振动信号的恢复，达到检测声音振动灵敏度高且可调、装置结构简单并具有防潮、防电磁干扰的技术效果。
为达到上述目的，本发明所采用的技术方案是。
一种激光声传感器及系统，包括拾音结构、光学检测结构、信号放大模块和信号处理模块，其特征在于：所述拾音结构包括壳体、拾音膜片、反光膜片、排气阀门、腔长调节器、内腔和外腔，所述内腔体积可调，且所述内腔体积远小于外腔，所述反光膜片面积小于拾音膜片；所述光学检测结构包括支架和半导体激光器，所述支架用于将半导体激光器固定在壳体内，所述半导体激光器与支架、支架与壳体间均通过接触连接固定，所述半导体激光器用于发出光信号至反光膜片中心区域，并接收反光膜片反射回的光信号，形成自混合干涉信号；所述信号放大模块用于将光学检测模块输出的电流信号转换成电压信号并放大，并输出至信号处理模块；所述信号处理模块将模拟信号转换为数字信号，并采用相位解卷法解调自混合干涉信号，恢复膜片的振动位移信号。
其中，所述拾音膜片在环境声压作用下产生机械振动，并带动外腔空气振动，所述外腔空气振动通过壳体穿孔传递至体积远小于外腔的内腔，并带动内腔空气振动，从而放大环境声压并驱动反光膜振动，再由半导体激光器发出光信号至反光膜片中心区域，并接收反光膜片反射回的光信号，形成自混合干涉，经过信号放大模块与信号处理模块将模拟信号转化为数字信号，并采用相位解卷法解调自混合干涉信号，恢复膜片振动位移信号，达到监测环境声音振动的技术效果。
优选的，所述相位解卷法按如下步骤执行。
S1：获取自混合信号，对其进行隔直和归一化处理后得到P(n)。
S2：分别求P(n)的反转点位置和极大值、极小值位置；求反余弦信号
。
S3：设置中间变量初始值p=0，q=0，v=1；移除极大值和极小值中的反转点。
S4：计算每个P(n)点对应的中间变量值，首先判断n是否到达翻转点，如果是v=-v；再判断n是否到达极值点，如果到达极小值点q=q+v、p=p+1，如果到达极大值点p=p+1。
S5：计算解包裹相位
。
S6：计算
。
S7：计算位移
。
优选的，所述拾音膜片为圆形薄片，其边缘密封固定在壳体外腔端口。
优选的，所述排气阀门通过螺纹固定在壳体外腔壁上。
优选的，所述拾音膜片和反光膜片采用同种材料制成，且周缘采用锯齿波结构。
优选的，所述反光膜片密封固定在壳体内腔上端口。
优选的，所述腔长调节器通过螺纹固定在壳体下端口。
优选的，所述外腔与内腔之间通过壳体内的穿孔连通，形成封闭腔室。
优选的，所述腔长调节器通过旋转螺纹改变位置，调节内腔体积大小，改变内外腔体积比，从而改变声压放大倍数。
优选的，所述排气阀门在调节腔长调节器时打开，用于平衡内外腔气压；在腔长调节器位置固定时关闭，形成密封。
优选的，所述半导体激光器中内嵌的光电探测二极管将光信号转换为电流信号，并输出至信号放大模块。
优选的，所述拾音膜片内固定设有一个质量块，可将光学声传感器作为光学振动加速度计使用。
由于采用上述技术方案，本发明具有以下有益效果。
1、本发明利用可调节气腔大小的双气腔结构来实现振动放大倍数的调节，灵活性高，提高振动膜片对声压的灵敏度，以适应不同场景的振动放大倍数需求，应用程度广。
2、本发明采用的自混合干涉系统具有结构简单、易准直、防潮、防电磁干扰等特点。
3、本发明的双气腔放大结构结合自混合干涉系统检测振动膜片的振动位移，两者配合使用，实现了声音振动信号的恢复，该方案灵敏度高，且装置结构简单，具有防潮、防电磁干扰、灵敏度高且可调等优点。
附图说明
发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1 是本发明的系统示意图。
图2为一种拾音结构和光学检测结构的立体图。
图3为一种拾音结构和光学检测结构的俯视图。
图4为一种拾音结构和光学检测结构的剖面示意图。
图5 为隔直归一化处理后的自混合信号图。
图6 为本相位解卷法求得的振动位移图。
图7 为一种光学声传感器的结构示意图。
附图中，1-拾音结构；11-壳体；12-拾音膜片；13-反光膜片；14-排气阀门；15-腔长调节器；16-内腔；17-外腔；2-光学检测结构；21支架；22-半导体激光器；3-信号放大模块；4-信号处理模块。
具体实施方式
一种激光声传感器及系统，包括拾音结构1、光学检测结构2、信号放大模块3和信号处理模块4，其特征在于：所述拾音结构1包括壳体11、拾音膜片12、反光膜片13、排气阀门14、腔长调节器15、内腔16和外腔17，所述内腔16体积可调，且所述内腔16体积远小于外腔17，所述反光膜片13面积小于拾音膜片12；所述光学检测结构2包括支架21和半导体激光器22，所述支架21用于将半导体激光器22固定在壳体11内，所述半导体激光器22与支架21、支架21与壳体11间均通过接触连接固定，所述半导体激光器22用于发出光信号至反光膜片13中心区域，并接收反光膜片13反射回的光信号，形成自混合干涉信号；所述信号放大模块3用于将光学检测模块输出的电流信号转换成电压信号并放大，并输出至信号处理模块4；所述信号处理模块4将模拟信号转换为数字信号，并采用相位解卷法解调自混合干涉信号，恢复膜片的振动位移信号。
其中，所述拾音膜片21在环境声压作用下产生机械振动，并带动外腔17空气振动，所述外腔17空气振动通过壳体11穿孔传递至体积远小于外腔17的内腔16，并带动内腔16空气振动，从而放大环境声压并驱动反光膜片13振动，再由半导体激光器22发出光信号至反光膜片13中心区域，并接收反光膜片13反射回的光信号，形成自混合干涉，经过信号放大模块3与信号处理模块4将模拟信号转化为数字信号，并采用相位解卷法解调自混合干涉信号，恢复膜片振动位移信号，达到监测环境声音振动的技术效果。
所述相位解卷法按如下步骤执行。
S1：获取自混合信号，对其进行隔直和归一化处理后得到P(n)。
S2：分别求P(n)的反转点位置和极大值、极小值位置；求反余弦信号
。
S3：设置中间变量初始值p=0，q=0，v=1；移除极大值和极小值中的反转点；
S4：计算每个P(n)点对应的中间变量值，首先判断n是否到达翻转点，如果是v=-v；再判断n是否到达极值点，如果到达极小值点q=q+v、p=p+1，如果到达极大值点p=p+1。
S5：计算解包裹相位
。
S6：计算
。
S7：计算位移
。
所述拾音膜片21为圆形薄片，其边缘密封固定在壳体11外腔17端口。
所述排气阀门14通过螺纹固定在壳体11外腔17壁上。
所述拾音膜片21和反光膜片13采用同种材料制成，且周缘采用锯齿波结构。
所述反光膜片13密封固定在壳体11内腔16上端口。
所述腔长调节器15通过螺纹固定在壳体11下端口。
所述外腔17与内腔16之间通过壳体11内的穿孔连通，形成封闭腔室。
所述腔长调节器15通过旋转螺纹改变位置，调节内腔16体积大小，改变内腔16及外腔17体积比，从而改变声压放大倍数。
所述排气阀门14在调节腔长调节器15时打开，用于平衡内外腔气压；在腔长调节器15位置固定时关闭，形成密封。
所述半导体激光器22中内嵌的光电探测二极管将光信号转换为电流信号，并输出至信号放大模块。
所述拾音膜片内固定一个质量块，可以将光学声传感器2作为光学振动加速度计使用。
以下结合附图对发明的具体实施进一步说明。
实施例1
如图1所示的一种激光自混合光学声传感器，包括拾音结构1、光学检测结构2、信号放大模块3和信号处理模块4。拾音结构1由壳体11、拾音膜片12、反光膜片13、排气阀门14、腔长调节器15、内腔16和外腔17组成。
图2为光学声传感器的拾音结构和光学检测结构的立体图，图3为光学声传感器的拾音结构和光学检测结构的俯视图，图4该光学声传感器的拾音结构和光学检测结构的剖面示意图。如图所示，壳体11呈圆桶状结构，其上端、下端和右端均设有挖孔，分别用于装配配套的光学检测结构2、腔长调节器15、排气阀门14和拾音膜片12。拾音膜片12边缘通过压环密封固定在壳体11右侧开孔处，排气阀门14通过螺纹安装在壳体11上侧开孔处，反光膜片13边缘通过压环密封固定在壳体11内部穿孔处，腔长调节器15通过螺纹安装在壳体11下端开孔处。壳体11、拾音膜片12、反光膜片13、排气阀门14和腔长调节器15形成一个密封的、内外连通的双腔体结构。
拾音膜片12为圆形弹性膜片，由相同材料构成，如铁、铜及合金；玻璃或有机聚合物材料中的一种制成，其周缘采用锯齿波结构，具有更高的顺应性，从而提高振动传感灵敏度。反光膜片13与拾音膜片12具有同样的材料和结构，其面积比拾音膜片12小，且在面对光学检测结构的一侧涂有反光材料。腔长调节器15通过旋转螺纹调整位置，进而调节内腔16体积大小，改变内腔16和外腔17的体积比。排气阀门14在调节腔长调节器15时打开，用于平衡内外腔气压，在腔长调节器15位置固定时关闭，形成密封。
相较于传统光学拾音装置，本发明实施例的优点在于：具有高灵敏度和可调放大倍数。表现为：外界声压作用于拾音膜片12，使其发生振动，该振动引起外腔振动并传递到内腔，由于外腔体积远大于内腔，内腔的声压被大幅放大，因此反光膜片产生更大的振幅，大大提高了拾音结构的声压灵敏度。通过调节腔长调节器15可以调节放大倍数，也即拾音结构的声压灵敏度。
本实施例中，光学检测结构为自混合干涉结构，包括支架21和半导体激光器22，其中支架21用于将半导体激光器22固定在壳体中，半导体激光器22与支架21、支架21与壳体11间均通过接触连接固定。半导体激光器22垂直发射激光至反光膜片中心区域，经反射后沿原路返回激光器22，形成自混合干涉。半导体激光器22中内嵌光电探测二极管，将光信号转换为电流信号并通过引脚输出。
本实施例中，放大模块采用一级反向放大电路，输入为电流信号，输出为电压信号，放大倍数为10^4。
本实施例中，信号处理模块将模拟信号转换为数字信号，并通过数字信号处理技术实现自混合信号解调。测量具体实施时，所使用的相位解卷方法如以下步骤所示：
S1：获取自混合信号，对其进行隔直和归一化处理后得到P(n)。
S2：分别求P(n)的反转点位置和极大值、极小值位置；求反余弦信号
。
S3：设置中间变量初始值p=0，q=0，v=1；移除极大值和极小值中的反转点。
S4：计算每个P(n)点对应的中间变量值，首先判断n是否到达翻转点，如果是v=-v；再判断n是否到达极值点，如果到达极小值点q=q+v、p=p+1，如果到达极大值点p=p+1。
S5：计算解包裹相位
。
S6：计算
。
S7：计算位移
。
图5为隔直归一化处理后的自混合信号图，图6为使用本实施例相位解卷算法求得的振动位移。
实施例2
在本发明的第二个实施例中，提供了一种光学振动加速度传感器。图7为光学振动加速度传感器的剖面图，光学振动加速度传感器在第一实施例的基础上增加了质量块5和外壳6，其拾音结构1、光学检测结构2、信号放大模块3均相同。质量块5通过胶粘固定在拾音膜片上，外壳6通过胶粘或螺纹固定在壳体11上。将光学振动加速度传感器固定于振动物体上，物体振动将带动质量块5运动，信号处理模块4在第一实施例的基础上增加了位移微分计算，通过对位移进行2次微分即可计算出物体的加速度。
以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种激光声传感器及系统，包括拾音结构、光学检测结构、信号放大模块和信号处理模块，其特征在于：所述拾音结构包括壳体、拾音膜片、反光膜片、排气阀门、腔长调节器、内腔和外腔，所述内腔体积可调，且所述内腔体积远小于外腔，所述反光膜片面积小于拾音膜片；所述光学检测结构包括支架和半导体激光器，所述支架用于将半导体激光器固定在壳体内，所述半导体激光器与支架、支架与壳体间均通过接触连接固定，所述半导体激光器用于发出光信号至反光膜片中心区域，并接收反光膜片反射回的光信号，形成自混合干涉信号；所述信号放大模块用于将光学检测模块输出的电流信号转换成电压信号并放大，并输出至信号处理模块；所述信号处理模块将模拟信号转换为数字信号，并采用相位解卷法解调自混合干涉信号，恢复膜片的振动位移信号；
其中，所述拾音膜片在环境声压作用下产生机械振动，并带动外腔空气振动，所述外腔空气振动通过壳体穿孔传递至体积远小于外腔的内腔，并带动内腔空气振动，从而放大环境声压并驱动反光膜振动，再由半导体激光器发出光信号至反光膜片中心区域，并接收反光膜片反射回的光信号，形成自混合干涉，经过信号放大模块与信号处理模块将模拟信号转化为数字信号，并采用相位解卷法解调自混合干涉信号，恢复膜片振动位移信号，达到监测环境声音振动的技术效果。
2.如权利要求1所述的一种激光声传感器及系统，其特征在于：所述相位解卷法按如下步骤执行：
S1：获取自混合信号，对其进行隔直和归一化处理后得到P(n)；
S2：分别求P(n)的反转点位置和极大值、极小值位置；求反余弦信号
；
S3：设置中间变量初始值p=0，q=0，v=1；移除极大值和极小值中的反转点；
S4：计算每个P(n)点对应的中间变量值，首先判断n是否到达翻转点，如果是v=-v；再判断n是否到达极值点，如果到达极小值点q=q+v、p=p+1，如果到达极大值点p=p+1；
S5：计算解包裹相位
；
S6：计算
；
S7：计算位移
。
3.如权利要求1所述的一种激光声传感器及系统，其特征在于：所述拾音膜片为圆形薄片，其边缘密封固定在壳体外腔端口；所述排气阀门通过螺纹固定在壳体外腔壁上。
4.如权利要求1所述的一种激光声传感器及系统，其特征在于：所述拾音膜片和反光膜片采用同种材料制成，且周缘采用锯齿波结构。
5.如权利要求1所述的一种激光声传感器及系统，其特征在于：所述反光膜片密封固定在壳体内腔上端口；所述腔长调节器通过螺纹固定在壳体下端口。
6.如权利要求1所述的一种激光声传感器及系统，其特征在于：所述外腔与内腔之间通过壳体内的穿孔连通，形成封闭腔室。
7.如权利要求1所述的一种激光声传感器及系统，其特征在于：所述腔长调节器通过旋转螺纹改变位置，调节内腔体积大小，改变内外腔体积比，从而改变声压放大倍数。
8.如权利要求1所述的一种激光声传感器及系统，其特征在于：所述排气阀门在调节腔长调节器时打开，用于平衡内外腔气压；在腔长调节器位置固定时关闭，形成密封。
9.如权利要求1所述的一种激光声传感器及系统，其特征在于：所述半导体激光器中内嵌的光电探测二极管将光信号转换为电流信号，并输出至信号放大模块。
10.如权利要求1所述的一种激光声传感器及系统，其特征在于：所述拾音膜片内固定设有一个质量块，可将光学声传感器作为光学振动加速度计使用。
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Citations (7)
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|---|---|---|---|---|
| CN102721461A (zh) * | 2012-06-25 | 2012-10-10 | 哈尔滨工业大学 | 半导体激光自混合次声波检测装置及检测方法 |
| US20140338770A1 (en) * | 2013-05-20 | 2014-11-20 | King Fahd University Of Petroleum And Minerals | Dual resonator chamber with variable volume |
| CN106704835A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-24 | 东北石油大学 | 一种管道泄漏检测单点定位方法 |
| CN109029688A (zh) * | 2018-08-06 | 2018-12-18 | 中国科学院电子学研究所 | 增敏型光纤声传感器探头及其增敏结构 |
| CN109060106A (zh) * | 2018-09-11 | 2018-12-21 | 中国科学院电子学研究所 | 双腔组合光干涉声传感器探头及其传感系统 |
| CN110260971A (zh) * | 2019-07-01 | 2019-09-20 | 北京航空航天大学 | 一种声压信号放大结构 |
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2021
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Patent Citations (7)
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|---|---|---|---|---|
| CN102721461A (zh) * | 2012-06-25 | 2012-10-10 | 哈尔滨工业大学 | 半导体激光自混合次声波检测装置及检测方法 |
| US20140338770A1 (en) * | 2013-05-20 | 2014-11-20 | King Fahd University Of Petroleum And Minerals | Dual resonator chamber with variable volume |
| CN106704835A (zh) * | 2016-12-30 | 2017-05-24 | 东北石油大学 | 一种管道泄漏检测单点定位方法 |
| CN109029688A (zh) * | 2018-08-06 | 2018-12-18 | 中国科学院电子学研究所 | 增敏型光纤声传感器探头及其增敏结构 |
| CN109060106A (zh) * | 2018-09-11 | 2018-12-21 | 中国科学院电子学研究所 | 双腔组合光干涉声传感器探头及其传感系统 |
| CN110260971A (zh) * | 2019-07-01 | 2019-09-20 | 北京航空航天大学 | 一种声压信号放大结构 |
| CN215598551U (zh) * | 2021-08-16 | 2022-01-21 | 安徽至博光电科技股份有限公司 | 一种光学声传感器 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024153742A1 (en) * | 2023-01-19 | 2024-07-25 | Ams-Osram Ag | Sensor device for vital sign detection |
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