CN113584486A - 一种蚀刻喷淋均压装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种蚀刻喷淋均压装置，包括：均压体，均压体上设有第一均压腔、第二均压腔、第三均压腔、至少一个连通第一均压腔内部与外部的进液口、多个与第一均压腔和第二均压腔连通的第一出液口、多个与第二均压腔和第三均压腔连通的第二出液口、多个连通第三均压腔内部与外部的第三出液口，进液口与第一出液口错开设置，多个第二出液口与多个第一出液口对应错开设置，多个第三出液口与多个第二出液口对应错开设置，第三出液口均连接有喷咀，采用上述技术方案，通过多次分流及均压可以充分保证每个喷咀的喷压一致，喷液量一致，作用在产品上的力度在同面积上一致，进而保证产品蚀刻表面的均匀性及蚀刻质量。

Description

一种蚀刻喷淋均压装置

技术领域

本发明涉及蚀刻喷淋相关技术领域，特别涉及一种蚀刻喷淋均压装置。

背景技术

蚀刻(etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(wet etching)和干蚀刻(dry etching)两类。最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量(Weight Reduction)仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上。

在连续的板子蚀刻中，蚀刻速率越一致，越能获得均匀蚀刻的板子。要达到这一要求，必须保证蚀刻液在蚀刻的全过程始终保持在最佳的蚀刻状态。现有蚀刻喷管的结构是：进液管连接一个喷管，喷管上连接多个喷咀，液体进入喷管后，因惯性力存在，喷液主力向前，在单一喷管内液体存在严重扰流现象，喷管上单个喷咀的喷压不一致，单个喷咀的喷雾形状不一致，单个喷咀的喷雾形状不能持续有效的保持一致，从而造成蚀刻效果的不稳定，致使对蚀刻表面均匀性产生影响，进而影响产品的蚀刻质量，在正常生产中无法进行有效的预防及克服。

发明内容

为了克服现有的技术缺陷，本发明的目的在于提供一种蚀刻喷淋均压装置以解决上述技术问题。

本发明解决技术问题所采用的技术方案如下：

根据本发明的一个方面，设计出一种蚀刻喷淋均压装置，包括：均压体，所述均压体上设有第一均压腔、第二均压腔、第三均压腔、至少一个连通第一均压腔内部与外部的进液口、多个与第一均压腔和第二均压腔连通的第一出液口、多个与第二均压腔和第三均压腔连通的第二出液口、多个连通第三均压腔内部与外部的第三出液口，所述进液口与所述第一出液口错开设置，多个第二出液口与多个第一出液口对应错开设置，多个第三出液口与多个第二出液口对应错开设置，所述第三出液口均连接有喷咀。

采用上述技术方案，通过进液口与第一出液口错开设置，当液体从进液口进入到第一均压腔后可以向两侧进行第一分流，防止液体进入第一均压腔后直接从第一出液口输出，保证分流效果，通过第一出液口与第二出液口错开设置，当第一均压腔中的液体从第一出液口进入第二均压腔后可以向两侧进行第二次分流，防止液体进入第二均压腔后直接从第二出液口输出，保证分流效果，及均衡各个第二出液口的压力，通过第二出液口与第三出液口错开设置，当第二均压腔中的液体从第二出液口进入第三均压腔后可以向两侧进行第三次分流，防止液体进入第三均压腔后直接从第三出液口输出，对液体进行再次分流，及均衡各个第三出液口的压力，通过多次分流及均压可以充分保证每个喷咀的喷压一致，喷液量一致，喷咀的喷雾形状一致，喷咀的喷雾形状可持续有效的保持一致，作用在产品上的力度在同面积上一致，进而保证产品蚀刻表面的均匀性及蚀刻质量。

为了更好的解决上述技术缺陷，本发明还具有更佳的技术方案：

在一些实施方式中，所述第一出液口与所述第三出液口数量相等、尺寸相同，且尺寸均小于所述第二出液口的尺寸。

第一出液口采用与第三出液口数量相等、尺寸相同的设计，可以保证第二均压腔与第三均压腔中液体的输入量与输出量一致，实现较佳的均压效果；第二出液口的尺寸采用大于第一出液口与第三出液口尺寸的设计，增大出液量，可以降低进入第三均压腔中液流的冲击及紊乱，保证具较佳的均压效果。

在一些实施方式中，多个所述第一出液口设置成一排，且相邻第一出液口之间等距设置，所述第三出液口与所述第一出液口上下一一对应设置；

所述第二出液口设置成一排，且第二出液口一一对应位于相邻的两个第一出液口之间中部的下方。

由此，保证具有较佳的均压效果，进一步保证每个喷咀的喷压一致，喷液量一致。

在一些实施方式中，所述均压体上设有一个所述进液口，该进液口位于均压体的中部并连接有进液管。

在一些实施方式中，所述均压体上设有两个所述进液口，该两个进液口中左端的进液口距均压体左端端部的距离与右端的进液口距均压体右端端部的距离相等，且左端的进液口距均压体左端端部的距离与右端的进液口距均压体右端端部的距离之和大于两个进液口之间的距离。

在一些实施方式中，所述均压体上设有两个所述进液口，两个进液口对应设于均压体长度方向上的两个三等点位置。

由此，可以保证从两进液口进入第一均压腔内的液流分别分流成两股后，其中两股液流在第一均压腔中部会聚碰撞与两股分别与第一均压腔左右两端碰撞时间相同，可以降低液流在第一均压腔中的冲击及波动，降低对液体均压的影响。

在一些实施方式中，所述第一均压腔中部设有与均压体内侧壁连接的隔板。由此，通过隔板可以将第一均压腔分为左端的第一均压腔和右端的第一均压腔两部分，当从两进液口进入左端及右端的第一均压腔内的液流分别分流成两股后，两股液流到隔板的时间与到第一均压腔端部的时间相同，可以进一步降低液流在第一均压腔中的波动，降低对液体均压的影响。

在一些实施方式中，两个所述进液口中的一个连接有T型管接头，另一个连接有直角管接头，所述T型管接头和直角管接头连接在同一进液管上。

在一些实施方式中，两个所述进液口均连接有直角管接头，两个直角管接头对应与进液分管两端连接，所述进液分管中部通过T型管接头连接有进液管。

在一些实施方式中，所述均压体主要由第一均压体、连接在第一均压体下端的第二均压体和连接在第二均压体下端的第三均压体构成，或者由3D打印一体成型。

附图说明

图1为本发明提供的一种实施方式的蚀刻喷淋均压装置的结构示意图；

图2为本发明提供的另一种实施方式的蚀刻喷淋均压装置的结构示意图；

图3为本发明提供的又一种实施方式的蚀刻喷淋均压装置的结构示意图；

图4为本发明提供的再一种实施方式的蚀刻喷淋均压装置的结构示意图；

附图标记：

1、均压体；11、第一均压腔；12、第二均压腔；13、第三均压腔；21、第一均压体；22、第二均压体；23、第三均压体；14、进液口；15、第一出液口；16、第二出液口；17、第三出液口；3、进液管；4、喷咀；5、T型管接头；6、直角管接头；7、进液分管；8、隔板。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本发明进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本发明的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本发明的概念。

实施例1

参考图1所示，本发明提供的一种实施方式的蚀刻喷淋均压装置，包括：均压体1，均压体1上设有第一均压腔11、第二均压腔12、第三均压腔13。进一步，均压体1主要由第一均压体21、连接在第一均压体21下端的第二均压体22和连接在第二均压体22下端的第三均压体23构成，第一均压体21呈中空的圆柱体结构，或者呈中空的矩形体结构，第一均压体21内部设有第一均压腔11，第二均压体22上端设有第一凹槽，第一均压体21底部与第一凹槽形成第二均压腔12，第三均压体23上端设有第二凹槽，第二均压体22底部与第二凹槽形成第三均压腔13。在其它实施例中，均压体1由3D打印一体成型。

第一均压体21上设有至少一个连通第一均压腔11内部与外部的进液口14，进液口14设置在第一均压体21顶部或侧部，本实施例优选进液口14设置在第一均压体21顶部，进液口14可以设置一个、或两个、或三个、或四个、或更多个，本实施例优选进液口14设置一个，并且设置在第一均压体21顶部中部位置，进液口14连接有进液管3。

第一均压体21上设有与第一均压腔11和第二均压腔12连通的第一出液口15，第一出液口15设置在第一均压体21底部，第一出液口15为圆形结构、或为半圆形结构、或椭圆形结构、或三角形结构、或四边形结构、或五边形结构，本实施例优选第一出液口15为圆形结构，第一出液口15可以设置两个、或三个、或四个、或五个、或六个、或更多个，本实施例优选第一出液口15设置四个，四个第一出液口15设置成一排，且相邻之间等距设置。

第二均压体22上设有与第二均压腔12和第三均压腔13连通的第二出液口16，第二出液口16设置在第二均压体22底部，第二出液口16为圆形结构、或为半圆形结构、或椭圆形结构、或三角形结构、或四边形结构、或五边形结构，本实施例优选第二出液口16为圆形结构，第二出液口16可以设置两个、或三个、或四个、或五个、或六个、或更多个，本实施例优选第二出液口16设置三个，三个第二出液口16设置成一排，且相邻之间等距设置。三个第二出液口16与四个第一出液口15对应错开设置，进一步，第二出液口16一一对应位于相邻的两个第一出液口15之间中部的下方。

第三均压体23上设有连通第三均压腔13内部与外部的第三出液口17，第三出液口17设置在第三均压体23底部，第三出液口17数量与第一出液口15数量相等，第三出液口17尺寸与第一出液口15尺寸相同，该尺寸指的是直径或长宽，第三出液口17与第一出液口15上下一一对应设置。

第三出液口17均连接有喷咀4。

进液口14与第一出液口15错开设置。

第一出液口15尺寸小于第二出液口16的尺寸。

图1中箭头方向代表液体的流向，液体穿过第一均压腔、多个第一出液口、第二均压腔、多个第二出液口、第三均压腔、进入第三出液口并从喷咀喷出，通过多次分流及均压可以充分保证每个喷咀的喷压一致，喷液量一致，作用在产品上的力度在同面积上一致，进而保证产品蚀刻表面的均匀性及蚀刻质量。

实施例2

参考图2所示，本发明提供的另一种实施方式的蚀刻喷淋均压装置，包括：均压体1，均压体1上设有第一均压腔11、第二均压腔12、第三均压腔13。进一步，均压体1主要由第一均压体21、连接在第一均压体21下端的第二均压体22和连接在第二均压体22下端的第三均压体23构成，第一均压体21呈中空的圆柱体结构，或者呈中空的矩形体结构，第一均压体21内部设有第一均压腔11，第二均压体22上端设有第一凹槽，第一均压体21底部与第一凹槽形成第二均压腔12，第三均压体23上端设有第二凹槽，第二均压体22底部与第二凹槽形成第三均压腔13。在其它实施例中，均压体1由3D打印一体成型。

第一均压体21上设有至少一个连通第一均压腔11内部与外部的进液口14，进液口14设置在第一均压体21顶部或侧部，本实施例优选进液口14设置在第一均压体21顶部，进液口14可以设置一个、或两个、或三个、或四个、或更多个，本实施例优选进液口14设置两个，该两个进液口14中左端的进液口14距第一均压体21左端端部的距离与右端的进液口14距第一均压体21右端端部的距离相等，且左端的进液口14距第一均压体21左端端部的距离与右端的进液口14距第一均压体21右端端部的距离之和大于两个进液口14之间的距离，两个进液口14中的一个连接有T型管接头5，另一个连接有直角管接头6，该T型管接头5和直角管接头6连接在同一进液管3上。

第一均压体21上设有与第一均压腔11和第二均压腔12连通的第一出液口15，第一出液口15设置在第一均压体21底部，第一出液口15为圆形结构、或为半圆形结构、或椭圆形结构、或三角形结构、或四边形结构、或五边形结构，本实施例优选第一出液口15为圆形结构，第一出液口15可以设置两个、或三个、或四个、或五个、或六个、或七个、或八个、或更多个，本实施例优选第一出液口15设置八个，八个第一出液口15设置成一排，且相邻之间等距设置。

第二均压体22上设有与第二均压腔12和第三均压腔13连通的第二出液口16，第二出液口16设置在第二均压体22底部，第二出液口16为圆形结构、或为半圆形结构、或椭圆形结构、或三角形结构、或四边形结构、或五边形结构，本实施例优选第二出液口16为圆形结构，第二出液口16可以设置两个、或三个、或四个、或五个、或六个、或七个、或更多个，本实施例优选第二出液口16设置七个，七个第二出液口16设置成一排，且相邻之间等距设置。七个第二出液口16与八个第一出液口15对应错开设置，进一步，第二出液口16一一对应位于相邻的两个第一出液口15之间中部的下方。

第三均压体23上设有连通第三均压腔13内部与外部的第三出液口17，第三出液口17设置在第三均压体23底部，第三出液口17数量与第一出液口15数量相等，第三出液口17尺寸与第一出液口15尺寸相同，该尺寸指的是直径或长宽，第三出液口17与第一出液口15上下一一对应设置。

第三出液口17均连接有喷咀4。

进液口14与第一出液口15错开设置。

第一出液口15尺寸小于第二出液口16的尺寸。

图2中箭头方向代表液体的流向，液体穿过第一均压腔、多个第一出液口、第二均压腔、多个第二出液口、第三均压腔、进入第三出液口并从喷咀喷出，通过多次分流及均压可以充分保证每个喷咀的喷压一致，喷液量一致，作用在产品上的力度在同面积上一致，进而保证产品蚀刻表面的均匀性及蚀刻质量。

实施例三

参考图3所示，本发明提供的又一种实施方式的蚀刻喷淋均压装置，包括：均压体1，均压体1上设有第一均压腔11、第二均压腔12、第三均压腔13。进一步，均压体1主要由第一均压体21、连接在第一均压体21下端的第二均压体22和连接在第二均压体22下端的第三均压体23构成，第一均压体21呈中空的圆柱体结构，或者呈中空的矩形体结构，第一均压体21内部设有第一均压腔11，第二均压体22上端设有第一凹槽，第一均压体21底部与第一凹槽形成第二均压腔12，第三均压体23上端设有第二凹槽，第二均压体22底部与第二凹槽形成第三均压腔13。在其它实施例中，均压体1由3D打印一体成型。

第一均压体21上设有至少一个连通第一均压腔11内部与外部的进液口14，进液口14设置在第一均压体21顶部或侧部，本实施例优选进液口14设置在第一均压体21顶部，进液口14可以设置一个、或两个、或三个、或四个、或更多个，本实施例优选进液口14设置两个，两个进液口14对应设于第一均压体21长度方向上的两个三等点位置，即左端的进液口14距第一均压体21左端的距离与距第一均压体21中部的距离相等，并且左端的进液口14距第一均压体21左端的距离与右端的进液口14距第一均压体21右端的距离及距第一均压体21中部的距离均相等。两个进液口14均连接有直角管接头6，两个直角管接头6对应与进液分管7两端连接，进液分管7中部通过T型管接头5连接有进液管3。

第一均压体21上设有与第一均压腔11和第二均压腔12连通的第一出液口15，第一出液口15设置在第一均压体21底部，第一出液口15为圆形结构、或为半圆形结构、或椭圆形结构、或三角形结构、或四边形结构、或五边形结构，本实施例优选第一出液口15为圆形结构，第一出液口15可以设置两个、或三个、或四个、或五个、或六个、或七个、或八个、或更多个，本实施例优选第一出液口15设置八个，八个第一出液口15设置成一排，且相邻之间等距设置。

第二均压体22上设有与第二均压腔12和第三均压腔13连通的第二出液口16，第二出液口16设置在第二均压体22底部，第二出液口16为圆形结构、或为半圆形结构、或椭圆形结构、或三角形结构、或四边形结构、或五边形结构，本实施例优选第二出液口16为圆形结构，第二出液口16可以设置两个、或三个、或四个、或五个、或六个、或七个、或更多个，本实施例优选第二出液口16设置七个，七个第二出液口16设置成一排，且相邻之间等距设置。七个第二出液口16与八个第一出液口15对应错开设置，进一步，第二出液口16一一对应位于相邻的两个第一出液口15之间中部的下方。

第三均压体23上设有连通第三均压腔13内部与外部的第三出液口17，第三出液口17设置在第三均压体23底部，第三出液口17数量与第一出液口15数量相等，第三出液口17尺寸与第一出液口15尺寸相同，该尺寸指的是直径或长宽，第三出液口17与第一出液口15上下一一对应设置。

第三出液口17均连接有喷咀4。

进液口14与第一出液口15错开设置。

第一出液口15尺寸小于第二出液口16的尺寸。

图3中箭头方向代表液体的流向，液体穿过第一均压腔、多个第一出液口、第二均压腔、多个第二出液口、第三均压腔、进入第三出液口并从喷咀喷出，通过多次分流及均压可以充分保证每个喷咀的喷压一致，喷液量一致，作用在产品上的力度在同面积上一致，进而保证产品蚀刻表面的均匀性及蚀刻质量。

实施例四

参考图4所示，本发明提供的再一种实施方式的蚀刻喷淋均压装置，本实施例与实施例三的不同之处在于：第一均压腔11中部设有与均压体上的第一均压体21内侧壁连接的隔板8，隔板8将第一均压腔11分为左端的第一均压腔和右端的第一均压腔两部分，当从两进液口进入左端及右端的第一均压腔内的液流分别分流成两股后，两股液流到隔板8的时间与到第一均压腔端部的时间相同，可以进一步降低液流在第一均压腔中的波动，降低对液体均压的影响。

以上所述的仅是本发明的一些实施方式，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种蚀刻喷淋均压装置，其特征在于，包括：均压体(1)，所述均压体(1)上设有第一均压腔(11)、第二均压腔(12)、第三均压腔(13)、至少一个连通第一均压腔(11)内部与外部的进液口(14)、多个与第一均压腔(11)和第二均压腔(12)连通的第一出液口(15)、多个与第二均压腔(12)和第三均压腔(13)连通的第二出液口(16)、多个连通第三均压腔(13)内部与外部的第三出液口(17)，所述进液口(14)与所述第一出液口(15)错开设置，多个第二出液口(16)与多个第一出液口(15)对应错开设置，多个第三出液口(17)与多个第二出液口(16)对应错开设置，所述第三出液口(17)均连接有喷咀(4)。

2.根据权利要求1所述的一种蚀刻喷淋均压装置，其特征在于，所述第一出液口(15)与所述第三出液口(17)数量相等、尺寸相同，且尺寸均小于所述第二出液口(16)的尺寸。

3.根据权利要求1所述的一种蚀刻喷淋均压装置，其特征在于，多个所述第一出液口(15)设置成一排，且相邻第一出液口(15)之间等距设置，所述第三出液口(17)与所述第一出液口(15)上下一一对应设置；

所述第二出液口(16)设置成一排，且第二出液口(16)一一对应位于相邻的两个第一出液口(15)之间中部的下方。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的一种蚀刻喷淋均压装置，其特征在于，所述均压体(1)上设有一个所述进液口(14)，该进液口(14)位于均压体(1)的中部并连接有进液管(3)。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的一种蚀刻喷淋均压装置，其特征在于，所述均压体(1)上设有两个所述进液口(14)，该两个进液口(14)中左端的进液口(14)距均压体(1)左端端部的距离与右端的进液口(14)距均压体(1)右端端部的距离相等，且左端的进液口(14)距均压体(1)左端端部的距离与右端的进液口(14)距均压体(1)右端端部的距离之和大于两个进液口(14)之间的距离。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的一种蚀刻喷淋均压装置，其特征在于，所述均压体(1)上设有两个所述进液口(14)，两个进液口(14)对应设于均压体(1)长度方向上的两个三等点位置。

7.根据权利要求6所述的一种蚀刻喷淋均压装置，其特征在于，所述第一均压腔(11)中部设有与均压体(1)内侧壁连接的隔板(8)。

8.根据权利要求5所述的一种蚀刻喷淋均压装置，其特征在于，两个所述进液口(14)中的一个连接有T型管接头(5)，另一个连接有直角管接头(6)，所述T型管接头(5)和直角管接头(6)连接在同一进液管(3)上。

9.根据权利要求6所述的一种蚀刻喷淋均压装置，其特征在于，两个所述进液口(14)均连接有直角管接头(6)，两个直角管接头(6)对应与进液分管(7)两端连接，所述进液分管(7)中部通过T型管接头(5)连接有进液管(3)。

10.根据权利要求1所述的一种蚀刻喷淋均压装置，其特征在于，所述均压体(1)主要由第一均压体(21)、连接在第一均压体(21)下端的第二均压体(22)和连接在第二均压体(22)下端的第三均压体(23)构成，或者由3D打印一体成型。

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