CN113483726A - 一种小型化、高精度三维角度运动误差测量方法与系统 - Google Patents

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Abstract

本发明属于光学精密测量技术领域，公开了一种小型化、高精度三维角度运动误差测量方法与系统，系统包括激光发射模块、俯仰角偏摆角误差测量模块和滚转角误差测量模块。滚转角误差测量模块利用俯仰角偏摆角误差测量模块得到的俯仰角误差信息，求得滚转角误差。与基于激光准直法和激光自准直的三自由度角度运动误差测量方法相比，本发明只需要单束光便可测量，极大节省了装置的体积；同时光路调整容易，不需要借助水平仪；与激光干涉法相比，本发明受外界影响较小，测量结果稳定，极大提高了测量效率。

Description

一种小型化、高精度三维角度运动误差测量方法与系统
技术领域
本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种小型化、高精度三维角度运动误差测量方法与系统。
背景技术
高精度加工和测量系统中存在六自由度运动误差，当运动轴和测量轴不共线时，其中存在三个角度误差将会引起阿贝误差，对高精度加工和测量系统的定位精度产生较大的影响，因此测量三维角度运动误差是十分必要的。
对于俯仰角误差和偏摆角误差的测量方法，国内外学者已经有了广泛研究，常见的方法有激光干涉法和激光自准直法等。激光干涉法通过棱镜组合，将运动台的角度变化转换为干涉测量的光程变化。因为干涉的测量基准是激光波长，所以激光干涉法测量俯仰角误差和偏摆角误差的精度非常高。但干涉信号受环境光影响较大，使用难度大，测量效率低。激光自准直法应用较为广泛，当移动端平面反射镜存在俯仰角误差和偏摆角误差时，其反射光也会产生相应角度，将光线的角度信息转换为四象限光电探测器上的光斑偏移，因为激光自准直法原理简单且操作简便，所以在实际工程问题中被广泛应用。
由于滚转角误差方向和运动方向垂直，所以在三维角度运动误差测量中，滚转角误差测量难度最大，常见的滚转角误差测量方法有双光束法(CN201480077557.3单根光纤耦合双频激光六自由度误差同时测量系统CN202010177627.X基于干涉仪模块的半导体激光六自由度误差测量系统)、激光干涉法(Simultaneous Measurement of AbsoluteDistance and Angle Based on Dispersive Interferometry A HeterodyneInterferometer for Simultaneous Measurement of Roll and Straightness)、偏振法(正交偏振激光角度测量技术综述)等。双光束法利用几何原理，固定端发射两束激光，通过两个四象限光电探测器上的光斑的相对位置变化求解滚转角误差，但其对光束的平行度要求较高，当光束存在平行度误差时，其测量误差会随距离增加而增大，且在测量前需要商用水平仪调整光路，测量难度大、精度较差；激光干涉法的原理是将移动端的滚转角误差转化为测量光与参考光的光程差，分辨率高但光学元件较多，结构复杂；偏振法在检测光强变化时，光线的偏振态变化较小，分辨率低，测量精度差，很难推广使用。
以上测量方法均属于单一误差测量方法。在实际测量中，需要运动误差多参数同时测量。三维角度运动误差测量方法是将各个单项误差测量方法进行组合常见的方法有基于激光准直法和激光自准直法的三自由度角度运动误差测量方法和基于激光干涉法的三自由度角度运动误差测量方法。相较于激光干涉法，激光准直法和激光自准直法的三自由度角度运动误差测量方法具有结构简单、操作方便的优点，但是在测量滚转角误差时需要引入双平行光束。由上述可知，双平行光束的调节较困难。因此，本发明提出了一种体积小、易集成、光路调节简单、测量精度高的三维角度运动误差光学测量系统。
发明内容
针对现有技术问题，本发明提出一种以半导体激光器为测量光源的小型化、高精度三维角度运动误差测量方法与系统。
一种小型化、高精度三维角度运动误差测量系统，包括激光发射模块、俯仰角偏摆角误差测量模块，所述的激光发射模块包括半导体激光器、直角反射镜；所述的俯仰角偏摆角误差测量模块包括分光棱镜、第一平面反射镜、第一平凸透镜、第一四象限光电探测器；其特征在于，还包括滚转角误差测量模块；所述的滚转角误差测量模块包括半透半反膜、第二平面反射镜、第三平面反射镜、第四平面反射镜、第五平面反射镜、第四平凸透镜、第二四象限光电探测器。
其中，所述的俯仰角误差、偏摆角误差测量模块利用激光自准直原理，实现同时测量俯仰角误差和偏摆角误差；从直角反射镜出射的光线经过分光棱镜达到粘贴在分光棱镜表面的半透半反膜发生透射和反射，其中反射光再次经过分光棱镜反射，经第一平面反射镜反射后透过第一平凸透镜打在第一四象限光电探测器上，第一四象限光电探测器上的光斑位移包含线性位移平台的偏摆角误差、俯仰角误差信息。
所述的滚转角误差测量模块中经过半透半反膜的透射光依次经由第二平面反射镜和第三平面反射镜，再经过第五平面反射镜反射，通过第四平凸透镜打在第二象限光电探测器，第二四象限光电探测器上的光斑位移包含线性位移平台的俯仰角误差、滚转角误差信息。
进一步地，所述滚转角误差测量模块中还包括第二平凸透镜、第三平凸透镜，第二平凸透镜、第三平凸透镜位于第三平面反射镜和第五平面反射镜之间，组成滚转角误差敏感元件。
进一步地，上述第二四象限光电探测器与第四平凸透镜相对Z轴共线，第五平面反射镜相对于第四平凸透镜成45°角放置，第三平凸透镜与第二平凸透镜相对于X轴共线，第四平面反射镜的初始位置相对于第二平凸透镜成45°角放置，第三平面反射镜的初始位置与第四平面反射镜垂直。
进一步地，上述第二平面反射镜与第三平面反射镜的夹角为90°+θy，θy为第三平面反射镜的局部坐标系O2-XYZ(相对于全局坐标系O-XYZ绕Y轴逆时针旋转45°)绕Y轴旋转角度；第二平面反射镜和第三平面反射镜的法向量与平面XOZ平行。
本发明具有以下优点及效果：与基于激光准直法和激光自准直的三自由度角度运动误差测量方法相比，本发明只需要单束光便可测量，极大节省了装置的体积；同时光路调整容易，不需要借助水平仪；与激光干涉法相比，本发明受外界影响较小，测量结果稳定，极大提高了测量效率。
附图说明
图1一种小型化、高精度三维角度运动误差测量方法与系统光路图
图2滚转角误差测量模块示意图
图3透镜组合放大灵敏度原理图
图中，1半导体激光器；2直角反射镜；3分光棱镜；4第一平面反射镜；5第一平凸透镜；6第一四象限光电探测器；7半透半反膜；8第二平面反射镜；9第三平面反射镜；10第四平面反射镜；11第二平凸透镜；12第三平凸透镜；13第五平面反射镜；14第四平凸透镜；15第二四象限光电探测器。
具体实施方式
为了更清楚的阐述本发明，下面将结合附图及实施例对发明进行详细的分析。应当注明，以下具体描述是说明性而非限制性内容，不应限制本发现保护的范围。
如附图1所示，本发明提供的技术方案是：一种小型化、高精度三维角度运动误差测量方法与系统。本系统分为移动端和固定端，移动端产生三维角度运动误差，通过镜组将光线反射给固定端，固定端静止不动，负责接收光信号。本系统包括：半导体激光器1，直角反射镜2，分光棱镜3，第一平面反射镜4，第一平凸透镜5，第一四象限光电探测器6，半透半反膜7，第二平面反射镜8，第三平面反射镜9，第四平面反射镜10，第二平凸透镜11，第三平凸透镜12，第五平面反射镜13，第四平凸透镜14，第二四象限光电探测器15。
其中分光棱镜3、半透半反膜7、第一平面反射镜4、第二平面反射镜8、第三平面反射镜9安装在移动端，半透半反膜7贴在分光棱镜3上，将分光棱镜3的部分透射光反射，其余各部分安装在固定端。安装时，各部分均安装在线性平面内，统一基高为10mm。
在本系统的三自由度误差测量中，俯仰角误差、偏摆角误差的测量是基于激光的自准直原理；滚转角误差的测量基于第二四象限光电探测器数值计算得到。下面就各个误差的测量原理进行说明：
基于激光自准直原理的俯仰角误差、偏摆角误差测量原理：如附图1所示，半导体激光器1出射的光经过直角反射镜2进入到分光棱镜3，进入分光棱镜3的光线分为透射光和反射光两部分，透射光打在半透半反膜7发生透射和反射，反射光再次进入分光棱镜3分光，反射光经过第一平面反射镜4反射后透过第一平凸透镜5打在第一四象限光电探测器6上，作为测量移动端俯仰角误差和偏摆角误差的测量光，当移动端存在俯仰角误差和偏摆角误差时，第一四象限光电探测器6上的光斑会产生位移，从而使第一四象限光电探测器9的四个象限的电压值(V1,V2,V3,V4)发生变化,则实际的俯仰角误差和偏摆角误差可表示为：
Figure BDA0003149168070000051
Figure BDA0003149168070000052
其中，fL表示第一四象限光电探测器6的灵敏度。
滚转角误差测量原理参见附图2：全局坐标系O-XYZ如图中所示，第二四象限光电探测器15与第四平凸透镜14相对Z轴共线，第五平面反射镜13相对于第四平凸透镜14成45°角放置，第三平凸透镜12与第二平凸透镜11相对于X轴共线，第四平面反射镜10的初始位置相对于第二平凸透镜11成45°角放置，第三平面反射镜9的初始位置与第四平面反射镜10垂直，第二平面反射镜8与第三平面反射镜9的夹角为90°+θy(二者法向量与平面XOZ平行)。
半透半反膜7的透射光线先后经过第二平面反射镜8、第三平面反射镜9和第四平面反射镜10反射，再经过第二平凸透镜11和第三平凸透镜12放大灵敏度，第三平凸透镜12的出射光线经过第五平面反射镜13反射，最后透过第四平凸透镜14打在第二四象限光电探测器15上。第二平面反射镜的局部坐标系O1-XYZ相对于全局坐标系O-XYZ绕Y轴逆时针旋转45°，第三平面反射镜的局部坐标系O2-XYZ相对于全局坐标系O-XYZ绕Y轴逆时针旋转45°，利用光线追迹法计算可以得到：
在全局坐标系中，第二平面反射镜8的入射光线I1的方向向量、第二平面反射镜镜8和第三平面反射镜9的法向量分别可以表示为：
Figure BDA0003149168070000053
Figure BDA0003149168070000061
Figure BDA0003149168070000062
上式中，
Figure BDA0003149168070000063
当移动端存在三个角度误差时，第二平面反射镜8和第三平面反射镜9变换后的法向量分别为：
Figure BDA0003149168070000064
Figure BDA0003149168070000065
第二平面反射镜8的反射光线I2的方向向量为：
Figure BDA0003149168070000066
第三平面反射镜9的反射光线I3的方向向量为：
Figure BDA0003149168070000067
将
Figure BDA0003149168070000068
代回上式，此时第二四象限光电探测器15测量的水平光斑偏移量Δx和竖直光斑偏移量Δy分别为：
Figure BDA0003149168070000071
上式中f为第四平凸透镜14的焦距。第二四象限光电探测器15的x方向光斑位移为定值，y方向光斑位移包含俯仰角误差和滚转角误差信息。将步骤1中的俯仰角误差εy带入公式(10)得到滚转角误差εz。
从式(10)可以看出，滚转角的分辨率与第四平凸透镜14的焦距和位姿角θy的大小相关。本系统使用的四象限光电探测器的分辨率为1μm，为了得到位姿角θy的最佳角度，通过模拟计算出位姿角在±45°范围内，每间隔10°的分辨率结果，如表1所示。从表中数据可以看出，θy越接近于±45°，滚转角误差的测量分辨率越高，且当θy为±45°，分辨率最大为10.31″；θy越接近于0°，分辨率则越低。
表1不同位姿角θy计算得到的滚转角误差测量分辨率
Figure BDA0003149168070000072
当移动端移动时，第三平面反射镜9的反射光线I3在第四平凸透镜14上会产生位移l，为了保证整体装置的便携性，不宜增加光学元件的尺寸，最终选择θy不超过15°。
但移动端存在滚转角误差时，反映在第二四象限光电探测器15上的光斑位移较小，为了提高滚转角误差灵敏度，本发明还增加了第二平凸透镜11和第三平凸透镜12组成的误差敏感模组。
透镜组合放大灵敏度的原理如附图3所示。第二平凸透镜11和第三平凸透镜12置于两者焦距之和的位置，当入射光以角度θ1穿过第二平凸透镜11，第三平凸透镜12出射时角度为θ2。θ1和θ2存在以下关系：
Figure BDA0003149168070000081
从上式可以看出，θ2相对于θ1，放大了
Figure BDA0003149168070000082
倍，即当第二平凸透镜11焦距大于第三平凸透镜焦距时，可以对移动端的滚转角信息进行放大。
本发明利用激光自准直原理和双平面镜组合测量三维角度运动误差，从而实现移动平台三维角度运动误差同时测量的目的；该方法体积小、易集成、光路调节简单、测量精度高，适用多种高精密场合。

Claims (7)

1.一种小型化、高精度三维角度运动误差测量系统，包括激光发射模块、俯仰角偏摆角误差测量模块，所述的激光发射模块包括半导体激光器(1)、直角反射镜(2)；所述的俯仰角偏摆角误差测量模块包括分光棱镜(3)、第一平面反射镜(4)、第一平凸透镜(5)、第一四象限光电探测器(6)；其特征在于，还包括滚转角误差测量模块；所述的滚转角误差测量模块包括半透半反膜(7)、第二平面反射镜(8)、第三平面反射镜(9)、第四平面反射镜(10)、第五平面反射镜(13)、第四平凸透镜(14)、第二四象限光电探测器(15)；
其中，所述的俯仰角误差、偏摆角误差测量模块利用激光自准直原理，实现同时测量俯仰角误差和偏摆角误差；从直角反射镜(2)出射的光线经过分光棱镜(3)达到粘贴在分光棱镜表面的半透半反膜(7)发生透射和反射，其中反射光再次经过分光棱镜(7)反射，经第一平面反射镜(4)反射后透过第一平凸透镜(5)打在第一四象限光电探测器(6)上，第一四象限光电探测器(6)上的光斑位移包含线性位移平台的偏摆角误差、俯仰角误差信息；
所述的滚转角误差测量模块中经过半透半反膜(7)的透射光依次经由第二平面反射镜(8)和第三平面反射镜(9)，再经过第四平面反射镜(10)和第五平面反射镜(13)反射，通过第四平凸透镜(14)打在第二象限光电探测器(15)，第二四象限光电探测器(15)上的光斑位移包含线性位移平台的俯仰角误差、滚转角误差信息。
2.根据权利要求1所述的小型化、高精度三维角度运动误差测量系统，其特征在于，所述滚转角误差测量模块中还包括第二平凸透镜(11)、第三平凸透镜(12)，第二平凸透镜(11)、第三平凸透镜(12)位于第四平面反射镜(11)和第五平面反射镜(13)之间，组成滚转角误差敏感元件。
3.根据权利要求1所述的小型化、高精度三维角度运动误差测量系统，其特征在于，第二四象限光电探测器(15)与第四平凸透镜(14)相对Z轴共线，第五平面反射镜(13)相对于第四平凸透镜(14)成45°角放置，第三平凸透镜(12)与第二平凸透镜(11)相对于X轴共线，第四平面反射镜(10)的初始位置相对于第二平凸透镜(11)成45°角放置，第三平面反射镜(9)的初始位置与第四平面反射镜(10)垂直。
4.根据权利要求1所述的小型化、高精度三维角度运动误差测量系统，其特征在于，第二平面反射镜(8)与第三平面反射镜(9)的夹角为90°+θy，θy为第三平面反射镜(9)的局部坐标系O2-XYZ绕Y轴旋转角度；所述局部坐标系O2-XYZ为相对于全局坐标系O-XYZ绕Y轴逆时针旋转45°；第二平面反射镜8和第三平面反射镜9的法向量与平面XOZ平行。
5.根据权利要求4所述的小型化、高精度三维角度运动误差测量系统，其特征在于，0°<θy<45°。
6.根据权利要求4所述的小型化、高精度三维角度运动误差测量系统，其特征在于，其中θy为15°。
7.权利要求1-6任一所述系统的三维角度运动误差测量方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1，利用俯仰角误差、偏摆角误差测量模块，得到俯仰角误差、偏摆角误差：
半导体激光器(1)出射的光经过直角反射镜(2)进入到分光棱镜(3)，进入分光棱镜(3)的光线分为透射光和反射光两部分，透射光打在半透半反膜(7)发生透射和反射，反射光再次进入分光棱镜(3)分光，反射光经过第一平面反射镜(4)反射后透过第一平凸透镜(5)打在第一四象限光电探测器(6)上，作为测量移动端俯仰角误差和偏摆角误差的测量光，当移动端存在俯仰角误差和偏摆角误差时，第一四象限光电探测器(6)上的光斑会产生位移，从而使第一四象限光电探测器(6)的四个象限的电压值V1、V2、V3、V4发生变化，则实际的俯仰角误差εy和偏摆角误差εx表示为：
Figure FDA0003149168060000031
Figure FDA0003149168060000032
其中，fL表示第一四象限光电探测器(6)的灵敏度；
步骤2，利用滚转角误差测量模块得到滚转角误差：
半透半反膜(7)的透射光线先后经过第二平面反射镜(8)、第三平面反射镜(9)和第四平面反射镜(10)反射，再经过第三平凸透镜(12)的出射光线经过第五平面反射镜(13)反射，最后透过第四平凸透镜(14)打在第二四象限光电探测器(15)上；第二平面反射镜的局部坐标系O1-XYZ相对于全局坐标系O-XYZ绕Y轴逆时针旋转90°，第三平面反射镜的局部坐标系O2-XYZ相对于全局坐标系O-XYZ绕Y轴逆时针旋转90°，利用光线追迹法计算得到：
在全局坐标系中，第二平面反射镜(8)的入射光线I1的方向向量、第二平面反射镜镜(8)和第三平面反射镜(9)的法向量分别表示为：
Figure FDA0003149168060000033
Figure FDA0003149168060000034
Figure FDA0003149168060000035
其中，
Figure FDA0003149168060000036
当移动端存在三个角度误差时，第二平面反射镜(8)和第三平面反射镜(9)变换后的法向量分别为：
Figure FDA0003149168060000041
Figure FDA0003149168060000042
第二平面反射镜(8)的反射光线I2的方向向量为：
Figure FDA0003149168060000043
第三平面反射镜(9)的反射光线I3的方向向量为：
Figure FDA0003149168060000044
将
Figure FDA0003149168060000045
代回上式，此时第二四象限光电探测器(15)测量的水平光斑偏移量Δx和竖直光斑偏移量Δy分别为：
Figure FDA0003149168060000046
其中f为第四平凸透镜(14)的焦距；第二四象限光电探测器(15)的x方向光斑位移为定值，y方向光斑位移包含俯仰角误差和滚转角误差信息；
将步骤1中的俯仰角误差εy带入公式(10)得到滚转角误差εz。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114812392A (zh) * 2022-04-24 2022-07-29 合肥工业大学 一种激光六自由度运动误差同步测量系统

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000275030A (ja) * 1999-03-29 2000-10-06 Nec Corp 移動ステージのローリング角度測定方法及び装置
CN102252634A (zh) * 2011-06-16 2011-11-23 中国科学技术大学 基于望远系统的激光多自由度精密测量系统
CN107462210A (zh) * 2017-07-19 2017-12-12 中国科学院上海光学精密机械研究所 直线导轨的滚转角测量装置
CN110672061A (zh) * 2019-10-14 2020-01-10 苏州大学 一种三维角度测量方法及其装置
CN110715603A (zh) * 2019-11-12 2020-01-21 大连理工大学 一种机床工作台五自由度误差同时测量系统及方法
CN111351430A (zh) * 2020-03-13 2020-06-30 大连理工大学 基于光束自动稳定的半导体激光运动误差测量系统及方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000275030A (ja) * 1999-03-29 2000-10-06 Nec Corp 移動ステージのローリング角度測定方法及び装置
CN102252634A (zh) * 2011-06-16 2011-11-23 中国科学技术大学 基于望远系统的激光多自由度精密测量系统
CN107462210A (zh) * 2017-07-19 2017-12-12 中国科学院上海光学精密机械研究所 直线导轨的滚转角测量装置
CN110672061A (zh) * 2019-10-14 2020-01-10 苏州大学 一种三维角度测量方法及其装置
CN110715603A (zh) * 2019-11-12 2020-01-21 大连理工大学 一种机床工作台五自由度误差同时测量系统及方法
CN111351430A (zh) * 2020-03-13 2020-06-30 大连理工大学 基于光束自动稳定的半导体激光运动误差测量系统及方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
GUO YAN 等: "Three-degree-of-freedom autocollimator based on a combined target reflector", 《APPLIED OPTICS》 *
YINDI CAI 等: "Robust roll angular error measurement system for precision machines", 《OPTICS EXPRESS》 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114812392A (zh) * 2022-04-24 2022-07-29 合肥工业大学 一种激光六自由度运动误差同步测量系统
CN114812392B (zh) * 2022-04-24 2023-08-08 合肥工业大学 一种激光六自由度运动误差同步测量系统

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