CN1134543A - 激光转动照射装置 - Google Patents

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Abstract

一种激光转动照射装置,其主体部分有发光组件、使激光束转动扫描的扫描组件、检测目标反射体反射光的反射光检测组件、检测激光束照射方向角度的角度检测组件,还有根据该角度检测组件及所述反射光检测组件之检测结果控制激光束扫描范围的扫描控制部分,以及在所述扫描范围内驱动扫描电动机的转动控制部分。

Description

激光转动照射装置
本发明涉及可发射激光束进行扫描,形成基准线、基准面的激光转动照射装置。
土木建筑领域中,为了确定高处的基准位置,铅直位置,往往使用各种可用偏振光束在水平面内或者竖直平面内回转扫描的激光转动照射装置。例如,在室内做内装修作业时,往往要用激光束先在壁上打出墨线,以此基准来确定窗框的高度,或者是用激光束在天花板上打出墨线,从而确定荧光灯的安装位置。
近年来,随着可见半导体激光器的实用化,已出现使用这种可见半导体激光器的激光转动照射装置,从而可进行目视作业。从确保作业者的安全角度考虑,需限制这种激光转动照射装置的激光输出功率。因此,在需要目视确认入射偏振光束之反射的作业中,测定的作业距离均比较短。
由此,图9所示的那种可使入射偏振光束往复扫描,以提高偏振光之反射光束视在辉度,增长作业距离的激光转动照射装置亦已实用化,为在适当范围内往复扫描,必需获知扫描位置。为此这种激光转动照射装置在壁面8等作业地点设置目标反射体2,通常检测来自该目标反射体2的偏振光反射束,来检知目标反射体的位置。该激光转动照射装置的装置主体1具有可发射激光束的转动部件4,转动该转动部件4,使激光束作环形扫描,以检知偏振反射光束的位置。往复转动所述转动部件4,使激光束以所述目标反射体2之中心在所需范围内做往复扫描。
对于这种激光转动照射装置来说,为确保识别目标反射体,若射出的光为偏振光,则由目标反射体反射的偏振光应与射出光的偏振方向不同。玻璃面等就不能作反射体,因为它们具有保持偏振方向而反射的性质,不能做这种识别。
所述激光转动照射装置的结构为:测出目标反射体,在所需的设定范围内往复扫描,以致往复扫描的范围是固定的,而且当移去目标反射体时,不再进行往复扫描,只能为全圆周扫描。由此,现有的激光转动照射装置必须在要进行刻画的位置处设置目标反射体,而且,当要对水平线等在所需范围内打出墨线时,必须在两个位置设置目标反射体,在该二位置分别进行刻画。再有,若要刻画的地方为天花板等时,需用梯子等进行复杂作业。
本发明旨在简化基准位置刻画、打出墨线等操作,使得在易于改变激光束往复扫描范围的同时,即使移去目标反射体也能维持往复扫描状态。另一目的即要能确实区分目标反射体与非目标反射体,以便能确实地测出目标反射体。
本发明的激光转动照射装置具有:主体部分,它由发光组件、使激光束转动扫描的扫描组件、检测目标反射体反射光的反射光检测组件及检测激光束照射方向角度的角度检测组件构成;扫描控制部分,它根据所述角度检测组件和反射光检测组件的检测结果控制激光束扫描范围,还具有转动控制部分,它在所述扫描范围内驱动扫描电动机。
扫描控制部分具有根据所述角度检测组件和反射光检测组件的检测结果算出扫描范围的运算组件以及存储该扫描范围的存储组件。它可以检测并存储目标反射体的第一方向,检测并存储第二方向上的目标反射体,从而以第一方向为起点,在其与第二方向间往复扫描。它可按自目标反射体检出时间起经预定时间并且存储该目标反射体方向的方式改变扫描范围。可在经过目标反射体检出时间的预定时间后,用该目标反射体设定了扫描范围以后,移去目标反射体,并用扫描控制部分存储扫描范围。它可在存储了扫描范围后,于反射光检测部分再次测到目标反射体时解除该扫描范围存储。
当自主体部分射出的激光束为偏振光束时,所述主体部分还可具有:检测目标反射体偏振光反射束的第一检测组件,检测与偏振光反射束不同的目标反射体之偏振光束的第二检测组件,以及比较第一检测组件的输出与第二检测组件的输出,用以识别目标反射体的反射光束检测回路。
若所述目标反射体的反射画至少有两个反射部分,则目标反射体的至少两个反射部分为偏振光保持反射部分和/或偏振光变换反射部分。而且,其中的至少一个为偏振光保持反射部分者可保持所述偏振光入射束的偏振方向并射出偏振光反射束;至少一个为偏振光变换反射部分者可改变所述偏振光入射束的偏振方向并射出偏振光反射束。另外,目标反射体的至少一个反射部分仅由反射层构成,作为偏振光保持反射部分,可保持偏振光入射束的偏振方向并射出偏振光反射束;至少一个反射部分由双折射层和反射层构成,作为偏振光变换反射部分,可改变偏振光入射束的偏振方向并射出偏振光反射束。而且,它可由目标反射体的反射光束检测出偏振光变换反射部分与偏振光保持反射部分的界面。可将目标反射体的反射部分设在基板上,并形成与反射部分邻接的基板露出部分。
图1是表示本发明一种具体实施例的方框图;
图2是表示该实施例中反射光束检测回路的方框图;
图3是表示该实施例中转动方向控制部分的方框图;
图4是表示用于所述反射光束检测回路的信号波形说明图;
图5是表示目标反射体的斜视说明图;
图6A是表示所述目标反射体与偏振光入射束间关系之说明图;
图6B是表示目标反射体和由目标反射体输出信号间关系的说明图;
图7是表示本发明一种具体实施例的动作方式流程图;
图7A-7E是表示其它目标反射体实例的示意图;
图8是表示本发明一种具体实施例的动作方式说明图;
图9是表示现有实例的动作方式说明图。
以下对照附图说明本发明的一种具体实施例。
图1示出按照本发明构造的激光转动照射装置。该激光转动照射装置由转动照射装置主体1和与该主体1分离配置的目标反射体2构成。
首先说明转动照射装置主体1。
转动照射装置主体1由发光部分3、转动部分4、反射光检测部分5、扫描控制部分6和发光部件激励部分7构成。
以下说明所述发光部分3。
在发射线偏振光入射束的激光二极管10的光轴上,从该激光二极管10一侧起,依次设置准直镜11、第一λ/4双折射部件12及开孔反射镜13。从所述激光二极管10射出的线偏振光射束被所述准直镜11变为平行光束,再由所述第一λ/4双折射部件12变换成圆偏振光。圆偏振光射束通过开孔反射镜13,射向转动部分4。
所述转动部分4将自发光部分3入射的偏振光射束沿水平方向射出、扫描。能够将发光部分3的偏振光射束光轴变向90°的五棱镜14被装设于以所述偏振光射束光轴为心转动的转动支承台15上。该转动支承台15经从动齿轮16、驱动齿轮17与扫描电动机18相连。由编码器19检测该转动支承台15之转动;该编码器19测得之信号被送入所述扫描控制部分6。
来自所述目标反射体2的偏振光反射束入射至该转动部分4。入射到所述五棱镜14的偏振光反射束被变向,至所述开孔反射镜13,并由该开孔反射镜13将偏振光反射束入射到反射光检测部分5。
以下说明所述反射光检测部分5。
沿所述开孔反射镜13的反射光轴,从该开孔反射镜13一侧顺次设置聚光镜20、第二λ/4双折射部件21、针孔22、偏振光射束分离器23、由充电二极管等构成的第一光接收器24。还在所述偏振光射束分离器23的反射光轴上设置由光电二极管等构成的第二光接收器25。将所述第一光接收器24、第二光接收器25的输出送至反射光束检测回路26。
偏振光射束分离器23将入射到反射光检测部分5的偏振光反射束分束,并入射到所述第一和第二光接收器24和25。由于所述第二λ/4双折射部件21与所述偏振光射束分离器23的配置,使前述发光部分3射出又返回主体的偏振光射束两次透过λ/4双折射部件,从而使具有与偏振光反射束之偏振方向一致的偏振方向之光束射向所述第一光接收器24,并使偏振方向与发光部分3射出之偏振光束同方向、回到主体的偏振光反射束射向第二光接收器25。
对照图2,说明所述反射光束检测回路26的一种具体实施例。
所述第一、第二光接收器24和25的输出经放大器31和35输入差动放大器32,而该差动放大器32的输出经同步检测器33会合输入差动放大器34。另外,所述第一、第二光接收器24和25的输出还经前述放大器31和35输入加法放大器36,该加法放大器36的输出经同步检测器38会合输入差动放大器39。所述差动放大器39及前述差动放大器34的输出被送至扫描控制部分6。
所述反射光束检测回路26还有振荡回路40。振荡回路40向所述同步检测器33和38输出同步检波用的时钟信号,同时向前述发光部件激励部分7发出脉冲调制所需要的时钟信号。而所述发光部件激励部分7根据反射光束检测回路26来的时钟信号对所述激光二极管10所射出的偏振光射束进行脉冲调制。
所述扫描控制部分6由CPU42、角度检测部分43、转动方向控制部分44及转动控制部分45构成。由前述编码器19输出的信号输入到所述角度检测部分43,同时,所述反射光束检测回路26输出的信号输入到CPU42。
所述角度检测部分43以计数来自编码器19之信号等方式,测出偏振光射束出射方向的角度,并将测得之角度信号送至所述CPU42、转动方向控制部分44。所述CPU42以来自前述反射光束检测回路26的信号识别目标反射体2,并由所述角度检测部分43的信号判断其方向。另外,所述CPU42还可用来予图示的外部组件相对于目标点,即目标反射体2设定并输入往复扫描的角宽度,由该角宽度算出反转位置α、β(后述),并将反转位置信号送入所述转动方向控制部分44。该转动方向控制部分44根据来自前述CPU42、角度检测部分43的信号算出反转信号,并将该反转信号输出至所述转动控制部分45。转动控制部分45根据该反转信号控制扫描电动机18的转动,使得自所述转动部分4射出的偏振光射束在小范围内进行往复扫描。
所述转动方向控制部分44的构成被示于图3,它由数字比较器47、数字比较器49、自锁电路46、自锁电路48、“与”门50、“与”门51、“与”门53、“或”门52及倒相放大器54构成。
通过自锁电路46和48将来自前述CPU42的反转位置信号输入所述数字比较器47和49,并将来自所述CPU42的自锁信号输入所述自锁电路46和48。另外,将来自角度检测部分43的角度信号也输入所述数字比较器47和49。来自所述数字比较器47、49的信号经“与”门50和51输入“或”门52。来自角度检测部分43的转动方向信号被输入“与”门50,同时,来自所述角度检测部分43的转动方向信号经倒相放大器54倒相后输入“与”门51。所述“或”门52的输出及来自所述CPU42的转动方向控制部分禁止信号均被输入“与”门53;该“与”门53的输出被送至前述转动控制部分45。
继而,在图5中说明前述之目标反射体2。
基板27上形成反射层28,图中左半部贴以λ/4双折射部件29,反射层28的露出部分构成保持入射光束偏振方向反射的偏振光保持反射部分,而λ/4双折射部件29部分构成相对于入射光束改变偏振方向反射的偏振光变换反射部分。所述反射层28由再现性反射材料构成,布置有多个微小隅角棱镜,以及球面反射体等。所述λ/4双折射部件29的作用在于,使偏振光反射束相对于入射光束发生λ/4的相位差。
以下说明工作过程。先说明对目标反射体2的检测。
激光二极管10受所述发光部件激励部分7的激励所发出的偏振光射束按所述振荡器40产生的时钟信号被调制。由所述激光二极管10发出的线偏振光射束被所述准直镜11变为平行光束,再透过所述第一λ/4双折射部件12,成为圆偏振光射束。圆偏振光射束穿过所述开孔反射镜13,再由所述五棱镜14变为水平方向射出。
前述扫描电动机18经驱动齿轮17、从动齿轮16使五棱镜14转动。最初,所述五棱镜14的转动范围为全圆周,所以五棱镜14射出的偏振光射束为全圆周扫描。
由全圆周扫描的偏振光射束扫过所述目标反射体2。扫过反射体2时,偏振光射束被该目标反射体2反射,该偏振光反射束入射到前述五棱镜14。
如前所述,目标反射体2的半边为单反射层28,而另半边贴有λ/4双折射部件29。由此,由反射层28露出部分反射的偏振光反射束是保持入射偏振光射束之偏振状态的圆偏振光,而透过所述λ/4双折射部件29,被反射层28反射,再透过所述λ/4双折射部件29的偏振光反射光束相对于入射偏振光射束之偏振状态是有λ/2相位差的圆偏振光。
被目标反射体2反射的偏振光反射光束由所述五棱镜14转向90°入射到开孔反射镜13,该开孔反射镜13向着聚光镜20反射所述的反射光束。聚光镜20将反射光束以会聚光形式射向第二λ/4双折射部件21。第二λ/4双折射部件21将反射回来的圆偏振光变换为线偏振光,射向针孔22。由于像前述那样,被反射层28露出部分反射的反射光束与被λ/4双折射部件29反射的反射光束差λ/2相位,所以,被所述第二λ/4双折射部件21变换为线偏振光的两束反射光的偏振平面相差90°。
如果针孔22不正对与主体射出之偏振光射束相对应的光轴,就不会产生使反射光束射向光接收器24和25的作用。通过该针孔22的反射光束射向前述之偏振光射束分离器23。
该偏振光射束分离器23令偏振方向与发光部件3射出之偏振光射束偏振方向差180°的偏振光透过,而令偏振方向与发光部件3射出之偏振光射束偏振方向差90°的偏振光受到反射。透过偏振光射束分离器23的反射光束被该偏振光射束分离器23分成正交的偏振光成分;前述光接收器24和25分别接收被分割的反射光束。
第一光接收器24和第二光接收器25接收光量的情况是:出于所述第二λ/4双折射部件21与偏振光射束分离器23的关系,在主体外面两次透射过λ/4双折射部件,即由所述目标反射体2之λ/4双折射部件29部分反射的偏振光反射束射入反射光检测部件5时,入射到所述第一光接收器24的光量多于入射到所述第二光接收器25的光量;而未透射过λ/4双折射部件,即由目标反射体2之反射层28露出部分或其它反射体反射的偏振光反射束射入时,入射到所述第二光接收器25的光量多于入射到所述第一光接收器24的光量。
而且,依据入射到第一光接收器24、第二光接收器25偏振光反射束的光量差,即可识别入射的偏振光反射束是由所述目标反射体2的反射层28露出部分反射的,亦或是由所述λ/4双折射部件29部分反射的。
对照图4,以给出愈为详细的叙述。
对于两次透射过λ/4双折射部件29的反射光束的情况,入射到所述反射光检测部分5中第一光接收器24的光量多于入射到第二光接收器的光量。此二信号如图4中a、b所示。由前述放大器31以及放大器35分别放大光接收器24、25的输出信号,并由差动放大器32做差,其信号如图4C所示。由来自振荡回路40的时钟信号1对差动放大器32的输出信号同步检测,得到对于偏置电压为正的电压(如图4d所示),而由时钟信号2同步检测,则得到对于偏置电压为负的电压(如图4e所示)。用差动放大器34对同步检测所得的电压做差(d-e),其输出相对于偏置电压为正电压(如图4f所示)。
对于未透射过λ/4双折射部件的反射光束情况,入射到所述反射光检测部分之第二光接收器25的光量多于入射到第一光接收器24的光量。此二信号如图4中h、i所示。由放大器31以及放大器35分别放大光接收器24、25的输出信号,并由差动放大器32做差,输出信号如图4j所示。由来自振荡回路40的时钟信号1对差动放大器32的输出信号同步检测,可得到对于偏置电压为负的电压(如图4k所示),而由时钟信号2同步检测,则得到对于偏置电压为正的电压(如图41所示)。用差动放大器34对同步检测所得的电压做差(k-1),其输出相对于偏置电压为负电压(如图4m所示)。
在像图6A所示那样,以偏振光射束扫描目标反射体2时,反射光束检测回路26之差动放大器34的输出为图6B所示的波形。当该差动放大器34之输出为正信号,正信号的后沿在预定时间内有负信号后沿时,则识别出目标反射体2。识别出目标反射体2,则前述扫描控制部分6对扫描电动机18驱动控制,使前述五棱镜14往复回转,致使来自转动照射装置之主体1所射出的偏振光射束以目标反射体2为中心,往复扫描。另外,在使用目标反射体2的情况下,偏振光射束的转动方向逆转时,反射光束检测回路26之差动放大器34的输出信号之正负变化顺序也逆转。
自转动照射装置主体1出射的偏振光射束受到镜子等单次反射的目标反射体2反射的情况下,差动放大器34输出信号的正负顺序不变。由于接收到反射光束时的偏振光射束的转动方向与逆转的转动方向顺序一致,所以由单次目标反射体2以外,即由目标反射体2的往复反射的反射光束可对除目标反射体2以外物体反射的反射光束做出识别。
继而,对照图7、图8,说明本实施例所涉及之偏振光射束的扫描动作。
启动装置,先按稳定转速令激光束全圆周扫描,即处在搜索状态。在搜索状态下,按前述方式识别出目标反射体2,并由前述角度检测部分43得出目标反射体2的位置方向角度(计数值A),相对于该计数值A,在预定的宽度之间,即反转位置α、β之间做往复扫描;往复扫描的周期为譬如10次/秒。
给所述CPU42设定输入往复扫描宽度(角宽度)。从前述计数值A减去一个定值(所述角宽度),算出转动方向反转至顺时针方向之反转位置α;再从前述计数值A加上一个定值,算出转动方向反转至逆时针方向之反转位置β。
将所述CPU42算出的反转位置α及反转位置β作为比较基准值转入前述转动方向控制部分44。
将反转位置α存储在前述自锁电路46中,并将转动方向反转至逆时针方向的反转位置β存储在自锁电路48中。前述数字比较器47比较角度检测器43之编码器的计数值和自锁电路46中所存的反转位置α。当激光束应回转到逆时针方向,即编码器19计数值与自锁电路46所存的值相等时,从数字比较器47输出的信号使转动方向反转。转动方向反转后沿顺时针方向转动,直到超过被存储于自锁电路46的反转位置,使数字比较器47再次输出信号。此时,激光束沿顺时针方向转动扫描,“与”门50抑制数字比较器47发出的信号,而不使转动方向反转。类似地,数字比较器49比较角度检测器43之编码器的计数值和自锁电路48所存的反转位置β。当它们相等时,输出信号,“与”门51抑制反转后再次输出的信号使激光束反时针方向转动。“或”门52于“与”门50、51中任何一个有输出时,都向“与”门53送出信号。“与”门53对于无需反转转动方向的搜索状态,由CPU42进行抑制,而不向转动方向控制部分44输出反转信号。
而且,可以从所述转动方向控制部分44向转动控制部分45发出反转信号。转动控制部分45控制扫描电动机18的转动方向;在反转位置α与β之间往复扫描。在往复扫描过程中,没有来自目标反射体2的信号时,转动方向控制部分44处于被抑制的搜索状态。当由角度检测部分43检测到有目标反射体2的方向的计数值A,并且在预定时间内该计数值A无变化时,即以该计数值A为起点,使扫描范围处在可变模式下。
对于扫描范围可变模式,由前述起点沿扫描线移动目标反射体2;以所述起点为一端,以移动点为一端,构成扫描范围。也即扫描范围之另一端可与目标反射体2一起移动。若如前述之往复扫描的周期为10次/秒的程度,即有充分的可跟随性。而且,在扫描范围可变模式下,还可以相对前述基准点增大限程的幅度(往复扫描宽度)。
将前述起点以及移动后的目标反射体2的位置作为所述角度控制部分43计数值的最大值Amax和最小值Amin存储起来,按给最大值Amax加一个定值而从最小值Amin减去一个定值后的计算结果被送入转动控制部分44的方式,即可改变扫描范围,使扫描端仅沿目标反射体2移动的方向扩大,扩大量为其移动量。
在目标反射体2位于激光束扫描位置以外,无偏振光反射信号返回到转动照射装置主体1的情况下,则保持反转位置,继续往复扫描的扫描保持模式。在扫描保持模式下,如果再度得到来自目标反射体2的信号,则在有目标反射体2的方向的计数值A上加、减一个定值来计算反转位置,那么即使移动目标反射体,也能以目标反射体为中心往复扫描。
另外,计算所述反转位置间的一个定值可大于来自目标反射体的偏振光反射光束接收光信号所确定之目标反射体宽度,并且可用于改变偏振光射束往复扫描的距离。
如需解除所述之扫描保持模式,可在扫描线上再配置目标反射体2,并使来自目标反射体2的反射激光束回到所述转动照射装置主体1。当该转动照射装置主体1测得反射激光束时,即返回以目标反射体2为中心的往复扫描状态;若在前述之预定时间内移去目标反射体2,则返回全圆周搜索状态。
如上所述,在一段时间内保持目标反射体2,即可使扫描范围被记忆下来,而且在保持一段时间后移动目标反射体2,就能得到所需宽度之扫描范围,并在移去目标反射体2后,也能维持该扫描范围。由于移去目标反射体2以后仍可保持扫描状态,于是无需在天花板等激光束照射的目标表面上实际设置目标反射体2,而可以将目标反射体2保持在转动照射装置主体1的附近,并确定扫描范围,从而可省去在工作条件恶劣的场所的繁杂的刻画操作。
图7A-7E示出目标反射体2的其它实例。这就是在基极27的一部分设置反射部分,并在与该反射部分邻接处形成基板27的露出部分。
图7A所示的目标反射体2相邻地设置偏振光保持反射部分28和偏振光变换反射部分29。图7B所示的目标反射体2的两个反射部分均为偏振光保持反射部分28、28,而且该二偏振光保持反射部分呈分离状设置。图7C所示的目标反射体2的两个分离设置的反射部分中之一为偏振光保持反射部分28,另一个则为偏振光变换反射部分29。图7D所示之目标反射体2的两个分离设置的反射部分均为偏振光变换反射部分29、29。图7E所示的目标反射体2有两组分离设置的反射部分,每一组都由相邻的偏振光保持反射部分28和偏振光变换反射部分29构成。
采用如上所述之本发明,可在所需范围内实行激光束往复扫描,省去打出墨线等刻画操作,而且无需在目标表面上保有目标反射体,因而可大大提高可操作性。而且,由于能可靠地检测出目标反射体,因而可以提高装置的可靠性。

Claims (12)

1.一种激光转动照射装置,具有主体部分,其主体部分具有发光组件、使激光束转动扫描的扫描组件、检测目标反射体反射光的反射光检测组件、检测激光束照射方向角度的角度检测组件;依该角度检测组件和所述反射光检测组件之检测结果控制激光束扫描范围的扫描控制部分;在所述扫描范围内驱动扫描电动机的转动控制部分。
2.一种如权利要求1所述的激光转动照射装置,其特征在于:扫描控制部分具有依所述角度检测组件及所述反射光检测组件之检测结果计算扫描范围的计算组件和存储扫描范围的存储组件。
3.一种如权利要求2所述的激光转动照射装置,其特征在于:它检测并存储目标反射体的第一方向,又检测并存储处于第二方向的目标反射体,并且以所述第一方向为起点,在第二方向间往复扫描。
4.一种如权利要求2或3所述的激光转动照射装置,其特征在于:在目标反射体检测时间经历预定的时间时存储该目标反射体的方向,同时改变扫描范围。
5.一种如权利要求1至4中任一项所述的激光转动照射装置,其特征在于:在目标反射体检测时间经历预定时间以后,由该目标反射体设定扫描范围后移去目标反射体,同时由所述扫描控制部分存储该扫描范围。
6.一种如权利要求5所述的激光转动照射装置,其特征在于:存储扫描范围以后,当反射光检测组件再检测到目标反射体时,解除扫描范围的存储。
7.一种如权利要求1或2所述的激光转动照射装置,其特征在于:由主体部分射出的激光束为偏振光束,并且该本体部分具有检测自目标反射体反射之偏振光反射束的第一检测组件,还具有检测不同于所述偏振光反射束的自目标反射体反射之偏振光反射束的第二检测组件,以及比较第一检测组件输出与第二检测组件输出以识别目标反射体的反射光检测回路;所述目标反射体的反射面至少有两个反射部分。
8.一种如权利要求7所述的激光转动照射装置,其特征在于:所述目标反射体的至少两个反射部分为偏振光保持反射部分和/或偏振光变换反射部分。
9.一种如权利要求7所述的激光转动照射装置,其特征在于:所述目标反射体的至少一个反射部分为可保持所述偏振光射束偏振方向地反射偏振光反射束的偏振光保持反射部分,至少一个为可改变所述偏振光射束偏振方向地反射偏振光反射束的偏振光变换反射部分。
10.一种如权利要求7所述的激光转动照射装置,其特征在于:目标反射体的至少一个反射部分仅由反射层构成,是可以反射保持偏振光射束偏振方向之偏振光反射束的偏振光保持反射部分;至少一个由双折射层与反射层构成,是可以反射改变偏振光射束偏振方向之偏振光反射束的偏振光变换反射部分。
11.一种如权利要求9所述的激光转动照射装置,其特征在于:用目标反射体的反射束检测所述偏振光变换反射部分与偏振光保持反射部分的分界部。
12.一种如权利要求7至11任一项所述的激光转动照射装置,其特征在于:所述目标反射体的反射部分设在基板上,而且与反射部分邻接的部分形成基板露出部分。
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3757344B2 (ja) * 1997-02-09 2006-03-22 株式会社トプコン 回転レーザー照射装置
US5977534A (en) * 1997-04-11 1999-11-02 Spectra-Precision, Inc. Laser transmitter incorporating target dither
US6091487A (en) * 1997-09-09 2000-07-18 Spectra Precision, Inc. Laser transmitter incorporating auto scan dither zone
JP3897322B2 (ja) * 1998-02-09 2007-03-22 株式会社トプコン レーザ照射装置
EP1204860A1 (en) * 1999-08-16 2002-05-15 Applied Materials, Inc. Variable angle illumination wafer inspection system
US6848188B2 (en) 2001-08-10 2005-02-01 Toolz, Ltd. Laser alignment device providing multiple references
JP5000819B2 (ja) * 2001-08-30 2012-08-15 株式会社トプコン 回転レーザ装置
US7266897B2 (en) * 2004-06-21 2007-09-11 Laserline Mfg., Inc. Self-aligning, self plumbing baseline instrument
AU2007213532B2 (en) * 2006-02-10 2011-06-16 Spinvox Limited A mass-scale, user-independent, device-independent, voice message to text conversion system
DE102010031634A1 (de) * 2010-07-21 2012-01-26 Hilti Aktiengesellschaft Lasergerät und Verfahren zur Einstellung der Laserleistung
US8684632B2 (en) 2010-12-08 2014-04-01 Laserline Mfg., Inc. Systems and methods for laying out and installing a solar panel array

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE787649A (fr) * 1971-09-20 1973-02-19 Blount & George Inc Systeme de poursuite ou de depistage a l'aide d'un instrument d'optiqu
US3823313A (en) * 1972-02-14 1974-07-09 Laser Alignment Laser fanning device
US4372640A (en) * 1981-03-23 1983-02-08 Lacroix Eugene F Line maker with laser source
FR2592721B1 (fr) * 1986-01-08 1988-11-04 Signaux Entr Electriques Procede et dispositif de telemetrie ecartometrie laser sur cibles cooperatives
JP2829912B2 (ja) * 1992-05-22 1998-12-02 株式会社トプコン レーザ測量機
JP3100478B2 (ja) * 1992-10-27 2000-10-16 株式会社トプコン 往復レーザ走査システムを有するレーザ回転照射装置
JP3474605B2 (ja) * 1993-06-25 2003-12-08 株式会社トプコン 対象反射物体検出装置

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