CN113310609A - 一种光纤聚合物微腔压力传感器及制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种光纤聚合物微腔压力传感器及制备方法，该光纤聚合物微腔压力传感器中光纤一端的端面上设有凹陷，凹陷与空气之间设有微气腔，加热激光由光纤另一端射入至设有凹陷的光纤端面，在凹陷端面滴有紫外胶。本发明中公开的光纤聚合物微腔压力传感器的制备方法通过加热激光改变光纤端面的紫外胶的几何参数，可灵活控制紫外胶厚度以及微气腔长度，调控传感器压力敏感特性，提升传感器性能与适用性，可满足不同应用场合对压力、声波、超声波检测的需要。
Description
技术领域
本发明涉及光纤压力传感器技术领域，具体涉及一种光纤聚合物微腔压力传感器及制备方法。
背景技术
光纤压力传感是以光为载体、光纤为媒介，感知和传输外界压力信号，具有体积小、重量轻、电绝缘性强、抗电磁干扰等优点。同时，该传感器可以承受高温、高压以及强烈的冲击与振动等极端条件，可用于易燃易爆、高温和高压等环境中的压力检测。
光纤法布里-珀罗传感器是一种新型传感器，通过在光纤内做出两个高反射膜层，形成一个具有一定尺寸的F-P腔，当光束经过此F-P腔时，发生透射和反射的多光束干涉，反射回来的干涉信号携带了腔长的变化信息。所以，当外界参量发生变化时，导致F-P腔腔长产生相应的变化，从而改变干涉信号，因此实现了传感。目前大部分膜片式光纤法布里-珀罗传感器结构制作涉及向微小的光纤端面转移微米甚至纳米厚度的膜片，过程复杂且工艺要求较高，并且传感器如腔长、膜厚等参数的重复性也难以保证。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中的光纤法布里-珀罗传感器结构制作涉及向微小的光纤端面转移微米甚至纳米厚度的膜片，过程复杂且工艺要求较高，并且传感器如腔长、膜厚等参数的重复性也难以保证的问题，提供一种光纤聚合物微腔压力传感器及制备方法。
本发明的第一个目的可以通过采取如下技术方案达到：
一种光纤聚合物微腔压力传感器，所述聚合物微腔压力传感器包括光纤1和空心圆柱结构5，所述光纤1与空心圆柱结构5熔接形成光纤-空心圆柱结构微结构，所述光纤1一端的端面上设有凹陷，凹陷与空气之间设有微气腔2，所述微气腔2在空心圆柱结构5内部，在光纤1一端的端面凹陷处滴有紫外胶4，所述紫外胶4通过固化形成聚合物薄膜，所述光纤1的端面与聚合物薄膜界面分别构成法布里-珀罗腔的两个反射面。
进一步地，所述光纤-空心圆柱结构微结构端面镀有金膜。
进一步地，所述光纤1在设有凹陷一端的端面上镀有光吸收介质，用于吸收光并产热，光吸收介质是金属膜或碳纳米材料，厚度在1-4nm之间。
进一步地，加热激光由所述光纤1另一端射入至设有凹陷的光纤端面，通过加热激光改变光纤端面的紫外胶4的几何参数，控制紫外胶4的厚度以及微气腔2的长度。
本发明的第二个目的可以通过采取如下技术方案达到：
一种光纤聚合物微腔压力传感器的制备方法，所述制备方法过程如下：
S1、将光纤1与空心圆柱结构5熔接形成光纤-空心圆柱结构微结构；
S2、在所述光纤1一端的端面上加工凹陷；
S3、在所述光纤-空心圆柱结构微结构端面镀金膜；
S4、在光纤1一端的凹陷处涂装紫外胶4；
S5、利用光源发射加热激光，加热激光由光纤1另一端射入至设有凹陷的光纤端面，调节所述加热激光的功率改变所述紫外胶的厚度；
S6、利用紫外灯照射紫外胶使其固化形成聚合物薄膜。
进一步地，所述步骤S2中光纤1一端的端面上加工凹陷的过程如下：
在光纤1一端的端面通过电弧放电熔接一段毛细管或空心光纤；或将光纤1一端的端面插入内径大于光纤外径的毛细管或陶瓷芯，然后采用胶封或激光焊接方法固定。
进一步地，所述光纤-空心圆柱结构微结构的表面上金膜厚度在1-4nm之间。
进一步地，所述步骤S4中，利用移液管或者熔接机将紫外胶涂装在端面凹陷处，所述紫外胶是一种液体聚合物。
进一步地，所述步骤S5中，从泵浦光源发出的波长为980nm的加热激光通过光纤传输至滴有紫外胶的光纤端面，其中，波长为980nm的加热激光的功率范围为0-500mW，采用连续光或者脉冲光。
进一步地，所述步骤S6中利用紫外灯照射紫外胶5-10min使其固化。
本发明相对于现有技术具有如下的优点及效果：
本发明中的光纤聚合物微腔压力传感器及制备方法，一是直接在所述凹陷的端面滴所述紫外胶，并将所述紫外胶固化，直接避免了膜转移的问题。并且由于所述紫外胶固化前是液态，所以固化形成的紫外胶膜是可以在所述凹陷内部的，可以更好的保证所述紫外胶膜不被外界因素破坏。二是在固化前将所述加热激光由光纤另一端射入至设有凹陷的光纤端面，调节所述加热激光的功率改变所述紫外胶的厚度，这样可以精准的调控所述紫外胶的厚度以及腔长。三是由于不同的所述紫外胶膜的厚度对应的所述加热激光的功率是一定的，所以这种制备方法是可重复的。
附图说明
图1是本发明实施例中公开的光纤聚合物微腔压力传感器在制备过程中的一结构图；
图2是本发明实施例中公开的光纤聚合物微腔压力传感器在制备过程中的又一结构图；
图3是本发明实施例中公开的光纤聚合物微腔压力传感器在制备过程中的又一结构图；
图4是本发明实施例中公开的光纤聚合物微腔压力传感器在制备过程中的另一结构图；
图5是本发明实施例中公开的光纤聚合物微腔压力传感器的结构图；
图6是本发明实施例中公开的光纤聚合物微腔压力传感器的制备过程图；
附图中，附图标记说明如下：1-光纤，2-微气腔，3-移液管，4-紫外胶，5-空心圆柱结构，6-加热激光，7-气压，8-紫外灯。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例一
如图5所示，本实施例公开了一种光纤聚合物微腔压力传感器，该聚合物微腔压力传感器包括光纤1和空心圆柱结构5，光纤1与空心圆柱结构5熔接形成光纤-空心圆柱结构微结构，光纤1一端的端面上设有凹陷，凹陷与空气之间设有微气腔2，微气腔2在空心圆柱结构5内部，在光纤1一端的端面凹陷处滴有紫外胶4，紫外胶4通过固化形成聚合物薄膜，光纤1的端面与聚合物薄膜界面分别构成法布里-珀罗腔的两个反射面。
本实施例中，光纤-空心圆柱结构微结构端面镀有金膜。
本实施例中，光纤1在设有凹陷一端的端面上镀有光吸收介质，用于吸收光并产热，光吸收介质是金属膜或碳纳米材料，厚度在1-4nm之间。
本实施例中，加热激光由光纤1另一端射入至设有凹陷的光纤端面，通过加热激光改变光纤端面的紫外胶4的几何参数，控制紫外胶4的厚度以及微气腔2的长度。
本实施例中，聚合物材料可以是光敏材料，也可以是热敏材料，经特定波长光照或加热后固化。
实施例二
如图6所示，本实施例公开了一种光纤聚合物微腔压力传感器的制备方法，图1、图2、图3和图4分别是光纤聚合物微腔压力传感器在制备过程中各个步骤对应的结构图。
以上实施例中公开的光纤聚合物微腔压力传感器的制备方法，过程如下：
S1、将光纤1与空心圆柱结构5熔接形成光纤-空心圆柱结构微结构；
S2、在光纤1一端的端面上加工凹陷；
本实施例中，在所述光纤1一端的端面上加工凹陷具体过程如下：化学腐蚀或激光刻蚀光纤端面；或，在所述光纤1一端的端面固定一段空心圆柱结构。
作为一种可选方案，光纤端面的加工凹陷包括采用电弧放电方法在光纤1一端的端面通过电弧放电熔接一段毛细管或空心光纤；或将光纤一端的端面插入内径大于光纤外径的毛细管或陶瓷芯，然后采用胶封或激光焊接方法固定。电弧放电熔接和胶封或激光焊接较为常见，本实施例中不再赘述。
S3、在光纤-空心圆柱结构微结构端面镀金膜；
本实施例中，光纤-空心圆柱结构微结构的表面上镀有金膜，该金膜厚度在1-4nm之间，且金膜作用为增加加热激光能量。
S4、在光纤1一端的凹陷处涂装紫外胶4；
其中，紫外胶是一种液体聚合物。
本实施例中，利用移液管将紫外胶涂装在端面凹陷处上，需注意的是，为了尽量使紫外胶滴的少，应尽量使用小的移液管。
作为一种可选方案，在端面凹陷处涂装紫外胶4的方法还包括利用熔接机进行涂装紫外胶。
S5、利用光源发射加热激光，加热激光由光纤1另一端射入至设有凹陷的光纤端面，调节所述加热激光的功率改变所述紫外胶的厚度；
作为一种可选方案，如图2所示，从泵浦光源发出的波长为980nm的加热激光通过光纤传输至上述滴有紫外胶的光纤端面。由光纤端面出射的光被微气腔中空气吸收后温度升高，使气压增大，从而推动紫外胶移动，从而使紫外胶初步变薄。需要注意的是，可以通过调节980nm加热激光的功率，来改变气压，从而改变紫外胶的厚度。波长为980nm的加热激光的功率范围为0-500mW，采用连续光或者脉冲光。
S6、利用紫外灯照射紫外胶使其固化形成聚合物薄膜。
在本实施例中，在显微镜下判断微气腔2的直径与聚合物薄膜厚度，待达到设计值，稳定加热激光功率，并利用紫外灯照射，固化聚合物薄膜。
在本实施例中，如图3所示，用紫外灯照射被推动过的紫外胶，使紫外胶逐渐固化，在此过程中，紫外胶由于逐渐固化，会进一步的变薄。需要注意的是，为了使紫外胶完全固化，紫外灯需要照射5-10min。
如图4所示，当紫外胶完全固化之后，关闭980nm加热激光，微气腔由于温度降低使气压降低，从而紫外胶由于外界压力向凹陷内部移动，在移动过程中会残留一部分在凹陷内表面，从而使所示紫外胶变的更薄。
上述实施例为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种光纤聚合物微腔压力传感器，其特征在于，所述聚合物微腔压力传感器包括光纤(1)和空心圆柱结构(5)，所述光纤(1)与空心圆柱结构(5)熔接形成光纤-空心圆柱结构微结构，所述光纤(1)一端的端面上设有凹陷，凹陷与空气之间设有微气腔(2)，所述微气腔(2)在空心圆柱结构(5)内部，在光纤(1)一端的端面凹陷处滴有紫外胶(4)，所述紫外胶(4)通过固化形成聚合物薄膜，所述光纤(1)的端面与聚合物薄膜界面分别构成法布里-珀罗腔的两个反射面。
2.根据权利要求1所述的一种光纤聚合物微腔压力传感器，其特征在于，所述光纤-空心圆柱结构微结构端面镀有金膜。
3.根据权利要求1所述的一种光纤聚合物微腔压力传感器，其特征在于，所述光纤(1)在设有凹陷一端的端面上镀有光吸收介质，用于吸收光并产热，光吸收介质是金属膜或碳纳米材料，厚度在1-4nm之间。
4.根据权利要求1所述的一种光纤聚合物微腔压力传感器，其特征在于，加热激光由所述光纤(1)另一端射入至设有凹陷的光纤端面，通过加热激光改变光纤端面的紫外胶(4)的几何参数，控制紫外胶(4)的厚度以及微气腔(2)的长度。
5.一种根据权利要求1至4任一所述的光纤聚合物微腔压力传感器的制备方法，其特征在于，所述制备方法过程如下：
S1、将光纤(1)与空心圆柱结构(5)熔接形成光纤-空心圆柱结构微结构；
S2、在所述光纤(1)一端的端面上加工凹陷；
S3、在所述光纤-空心圆柱结构微结构端面镀金膜；
S4、在光纤(1)一端的凹陷处涂装紫外胶(4)；
S5、利用光源发射加热激光，加热激光由光纤(1)另一端射入至设有凹陷的光纤端面，调节所述加热激光的功率改变所述紫外胶的厚度；
S6、利用紫外灯照射紫外胶使其固化形成聚合物薄膜。
6.根据权利要求5所述的一种光纤聚合物微腔压力传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中光纤(1)一端的端面上加工凹陷的过程如下：
在光纤(1)一端的端面通过电弧放电熔接一段毛细管或空心光纤；或将光纤(1)一端的端面插入内径大于光纤外径的毛细管或陶瓷芯，然后采用胶封或激光焊接方法固定。
7.根据权利要求5所述的一种光纤聚合物微腔压力传感器的制备方法，其特征在于，所述光纤-空心圆柱结构微结构的表面上金膜厚度在1-4nm之间。
8.根据权利要求5所述的一种光纤聚合物微腔压力传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S4中，利用移液管或者熔接机将紫外胶涂装在端面凹陷处，所述紫外胶是一种液体聚合物。
9.根据权利要求5所述的一种光纤聚合物微腔压力传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S5中，从泵浦光源发出的波长为980nm的加热激光通过光纤传输至滴有紫外胶的光纤端面，其中，波长为980nm的加热激光的功率范围为0-500mW，采用连续光或者脉冲光。
10.根据权利要求5所述的一种光纤聚合物微腔压力传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤S6中利用紫外灯照射紫外胶5-10min使其固化。
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Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113701915A (zh) * | 2021-09-03 | 2021-11-26 | 西安石油大学 | 一种内嵌空气泡的聚合物填充型光纤温度传感器制备方法 |
| CN114705349A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-07-05 | 黑龙江大学 | 结合镀膜技术的游标增敏光纤气压传感器及其制备方法 |
| CN115453683A (zh) * | 2022-09-29 | 2022-12-09 | 哈尔滨工程大学 | 一种光纤fp干涉腔及其制备方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110023617A1 (en) * | 2009-08-03 | 2011-02-03 | University Of Maryland | Ultra-miniature fiber-optic pressure sensor system and method of fabrication |
| JP2012127781A (ja) * | 2010-12-15 | 2012-07-05 | Denso Corp | 力学量センサ |
| CN106895942A (zh) * | 2017-04-18 | 2017-06-27 | 深圳大学 | 一种光纤端面薄膜型气压传感器的制备方法及制备装置 |
| CN107817043A (zh) * | 2017-09-22 | 2018-03-20 | 暨南大学 | 一种空气微腔式光纤水听器及制作方法和信号检测方法 |
| US20200013946A1 (en) * | 2017-10-24 | 2020-01-09 | Purdue Research Foundation | Machines and processes for producing polymer films and films produced thereby |
| CN112014328A (zh) * | 2019-12-02 | 2020-12-01 | 暨南大学 | 一种光纤微气腔传感器及制备与信号检测方法 |
-
2021
- 2021-05-08 CN CN202110499762.0A patent/CN113310609B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20110023617A1 (en) * | 2009-08-03 | 2011-02-03 | University Of Maryland | Ultra-miniature fiber-optic pressure sensor system and method of fabrication |
| JP2012127781A (ja) * | 2010-12-15 | 2012-07-05 | Denso Corp | 力学量センサ |
| CN106895942A (zh) * | 2017-04-18 | 2017-06-27 | 深圳大学 | 一种光纤端面薄膜型气压传感器的制备方法及制备装置 |
| CN107817043A (zh) * | 2017-09-22 | 2018-03-20 | 暨南大学 | 一种空气微腔式光纤水听器及制作方法和信号检测方法 |
| US20200013946A1 (en) * | 2017-10-24 | 2020-01-09 | Purdue Research Foundation | Machines and processes for producing polymer films and films produced thereby |
| CN112014328A (zh) * | 2019-12-02 | 2020-12-01 | 暨南大学 | 一种光纤微气腔传感器及制备与信号检测方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| W. P. CHEN: "Multimode fiber tip Fabry-Perot cavity for highly sensitive pressure measurement", 《SCIENTIFIC REPORTS》 * |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113701915A (zh) * | 2021-09-03 | 2021-11-26 | 西安石油大学 | 一种内嵌空气泡的聚合物填充型光纤温度传感器制备方法 |
| CN113701915B (zh) * | 2021-09-03 | 2023-06-23 | 西安石油大学 | 一种内嵌空气泡的聚合物填充型光纤温度传感器制备方法 |
| CN114705349A (zh) * | 2022-03-31 | 2022-07-05 | 黑龙江大学 | 结合镀膜技术的游标增敏光纤气压传感器及其制备方法 |
| CN115453683A (zh) * | 2022-09-29 | 2022-12-09 | 哈尔滨工程大学 | 一种光纤fp干涉腔及其制备方法 |
| CN115453683B (zh) * | 2022-09-29 | 2024-02-23 | 哈尔滨工程大学 | 一种光纤fp干涉腔及其制备方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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