CN113302902A - 与真空泵送和/或减排系统的控制器相关的方法 - Google Patents

与真空泵送和/或减排系统的控制器相关的方法 Download PDF

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Abstract

一种将标识符分配给模块化真空泵送和/或减排系统（2）的控制器（28）的方法，该方法包括：由模块化真空泵送和/或减排系统的第一控制器（22）确定第一标识符将被分配给模块化真空泵送和/或减排系统的第二控制器（28），其中，第二控制器位于模块化真空泵送和/或减排系统的模块（10）处；由第一控制器向第二控制器发送指示第一标识符的第一信号；通过耦合到模块的用户输入设备（32）接收用户输入；以及由第二控制器响应于用户输入而采用第一标识符作为其标识符。

Description

与真空泵送和/或减排系统的控制器相关的方法
技术领域
本发明涉及真空泵送和/或减排（abatement）系统的控制器。
背景技术
真空泵送和/或减排系统被用于各种不同的技术领域，例如半导体制造。通常，在所述系统中，使用真空泵送装备将气体（例如，来自工业过程的气体）泵送出特定位置，并且使用减排装备减排（例如，消灭或处置）已经产生的不期望的物质（例如，废气）。
取决于所涉及的过程，对于真空泵送和减排可能会存在不同的标准。例如，通常期望将不同的真空泵送装备和不同的减排装备用于涉及不同过程气体、不同气体压力和不同气体流的不同过程。而且，通常期望使用不同的减排装备来消灭或处置不同的不期望物质。
真空泵送和/或减排系统通常会根据它们将被使用的特定过程来定制设计。然而，设计、制造和安装这种定制系统所花费的时间量通常较长，因为不同的过程需要不同的真空泵送和减排系统解决方案。
除了真空泵送和/或减排装备之外，真空泵送和/或减排系统通常还包括用于控制系统操作的电子控制器。
发明内容
根据本发明的第一方面，提供了一种将标识符分配给模块化真空泵送和/或减排系统的控制器的方法，所述方法包括：由所述模块化真空泵送和/或减排系统的第一控制器确定第一标识符将被分配给所述模块化真空泵送和/或减排系统的第二控制器，其中，所述第二控制器位于所述模块化真空泵送和/或减排系统的模块处；由所述第一控制器向所述第二控制器发送指示所述第一标识符的第一信号；通过耦合到所述模块的用户输入设备来接收用户输入；以及响应于所述用户输入，由所述第二控制器采用所述第一标识符作为其标识符。
该方法还可以包括：响应于确定所述第一标识符将被分配给所述第二控制器，通过用户界面显示所述第二控制器将被分配所述第一标识符的指示。
该方法还可以包括由所述第二控制器向所述第一控制器发送所述第二控制器已经采用所述第一标识符作为其标识符的确认。
该方法还可以包括由所述第一控制器确定存在经由连接而连接到所述第二控制器的第三控制器；由所述第一控制器向所述第二控制器和所述第三控制器发送指示第二标识符的第二信号，其中，所述第二信号还指示所述第二控制器与所述第三控制器之间的所述连接；由所述第二控制器经由所述第二控制器与所述第三控制器之间的所述连接向所述第三控制器发送信号；以及响应于经由所述连接而发送的所述信号，由所述第三控制器采用所述第二标识符作为其标识符。
该方法还可以包括由所述第三控制器向所述第一控制器发送所述第三控制器已经采用所述第二标识符作为其标识符的确认。
该方法还可以包括：响应于所述第三控制器已经采用所述第二标识符作为其标识符的所述确认，由所述第一控制器向所述第二控制器和另外的第三控制器发送指示另外的第二标识符的另外的第二信号，其中，所述另外的第二信号指示所述第二控制器与所述另外的第三控制器之间的连接；由所述第二控制器经由所述第二控制器与所述另外的第三控制器之间的所述连接向所述另外的第三控制器发送另外的信号；以及响应于经由所述第二控制器与所述另外的第三控制器之间的所述连接而发送的所述另外的信号，由所述另外的第三控制器采用所述另外的第二标识符作为其标识符。
该方法可以还包括由所述另外的第三控制器向所述第一控制器发送所述另外的第三控制器已经采用所述另外的第二标识符作为其标识符的另外的确认。
该方法还可以包括响应于所述第一信号的发送而启动定时器。如果在从所述定时器启动起的预定时间量内在所述用户输入设备处接收到用户输入，则所述第二控制器仅采用所述第一标识符作为其标识符。
用户输入设备可以是按钮。用户输入可以包括按下该按钮。
用户输入设备可以包括发光设备。
第一控制器可被配置成控制模块化真空泵送和/或减排系统的全部或部分的操作。
第二控制器和第三控制器可以是被配置成控制模块化真空泵送和/或减排系统的模块中的仅一个的操作的模块控制系统的部分。
第一控制器和第二控制器可以经由通信网络彼此连接。
第一信号可以是广播信号。
第二信号可以是广播信号。
根据本发明的第二方面，提供了一种用于将标识符分配给模块化真空泵送和/或减排系统的控制器的系统，所述系统包括：第一控制器；第二控制器，其位于所述模块化真空泵送和/或减排系统的模块处；以及用户输入设备，其耦合到所述模块，其中，所述系统被配置成执行根据第一方面的方法。
根据本发明的第三方面，提供了一种模块化真空泵送和/或减排系统，其包括根据第二方面的系统。
附图说明
图1是示出真空泵送和/或减排系统的示意图（未按比例）；
图2是示出真空泵送和/或减排系统的控制器的示意图（未按比例）；以及
图3是示出将标识符分配给真空泵送和/或减排系统的模块控制系统的控制器的方法的流程图。
具体实施方式
图1是示出了模块化真空泵送和/或减排系统2的示意图（未按比例）。系统2经由系统2和实体4之间的一个或多个流体输入管线6（通常称为“前级管线”）流体地连接到实体4。实体4可以是例如在诸如半导体制造之类的工业过程中使用的室或空间。系统2也流体地连接到排气管线8。
在操作中，系统2经由流体输入管线6将气体泵送出实体4和/或减排（例如消灭或处置）由实体4产生的可能存在于泵送气体中的不期望物质。系统2还将废气（其可以是已经经历了减排过程的气体）泵送出系统2到排气管线8中，从而从系统2中移除废气。
系统2包括多个模块10，其也可以被称为“单元”或“片”。每个模块10包括一个或多个装置12。每个装置12被配置成执行系统2内的相应功能。例如，装置12可以是用于将气体泵送出实体4的真空泵、用于减排由实体4产生的不期望物质的减排装置、或者用于将特定频率的AC电功率转换为另一频率的AC电功率的逆变器。然而，一个或多个装置12不限于此。通常，每个装置12可以是用于真空泵送和/或减排系统中的任何装置。在一些实施例中，两个或更多个装置12彼此基本上相同和/或执行基本上相同的功能。
如上所述，系统2包括用于控制系统2的操作的多个电子控制器。现在将参照图2更详细地描述这些控制器。
图2是示出了真空泵送和/或减排系统2的多个控制器的示意图（未按比例）。
在该实施例中，系统2包括中央控制器22、用户界面23和多个模块控制系统24。为了易于理解和清楚，在图2中详细示出了模块控制系统24中的仅一个。
中央控制器22被配置成控制真空泵送和/或减排系统2的所有或部分的操作。例如，中央控制器22可以被配置成控制真空泵送和/或减排系统2的多个不同模块10的装置12。在该实施例中，中央控制器22位于系统2的模块10中的一个处（例如，在其中或其上）。用户界面23通过用户界面链路25连接到中央控制器22。用户界面链路25可以是有线的或无线的链路。用户界面23被配置成从用户接收一个或多个用户输入，并且基于所接收的一个或多个用户输入经由用户界面链路25将一个或多个信号发送到中央控制器22。中央控制器22被配置成响应于并依赖于从用户界面23接收到的一个或多个信号来执行一个或多个动作。以这种方式，用户能够通过使用用户界面23来命令中央控制器22执行一个或多个动作。用户界面23可以是任何适当的用户界面（例如，触摸屏或键盘和监视器）。
在该实施例中，每个模块控制系统24被配置成控制真空泵送和/或减排系统2的模块10中的仅一个的操作。特别地，每个模块控制系统24被配置成控制真空泵送和/或减排系统2的不同的相应模块10。更特别地，每个模块控制系统24被配置成控制其被配置成控制的模块10的一个或多个装置12中的每一个。每个模块控制系统24位于其被配置成控制的模块10处（例如，在其中或其上）。在该实施例中，每个模块控制系统24远离中央控制器22定位（即，在与中央控制器22所在的模块10不同的模块10处）。
每个模块控制系统24包括模块主控制器28、多个模块从控制器30和用户输入设备32。
模块主控制器28被配置成控制模块控制系统24被配置成控制的模块10的一个或多个装置12的操作。每个模块从控制器30被配置成控制模块控制系统24被配置成控制的模块10的不同相应装置12。由模块从控制器30控制的装置12不是由模块主控制器28控制的，反之亦然。
中央控制器22和多个模块控制系统24经由通信网络26彼此连接。更具体地说，中央控制器22、模块控制系统24的模块主控制器28、和模块控制系统24的模块从控制器30经由通信网络26彼此连接。中央控制器22、模块控制系统24的模块主控制器28、和模块控制系统24的模块从控制器30被配置成经由通信网络26向彼此发送一个或多个信号。中央控制器22、模块控制系统24的模块主控制器28、和模块控制系统24的模块从控制器30也被配置成经由通信网络26从彼此接收一个或多个信号。换句话说，中央控制器22、模块控制系统24的模块主控制器28、和模块控制系统24的模块从控制器30经由通信网络26彼此双向通信。在该实施例中，通信网络26是有线通信网络（例如，以太网）。
每个模块控制系统24的模块主控制器28和模块从控制器30经由多个第一连接34彼此连接。每个第一连接34可以是例如离散数字连接。更具体地说，每个模块从控制器30经由相应的第一连接34连接到模块主控制器28。模块主控制器28被配置成经由相应的第一连接34将一个或多个信号发送到每个模块从控制器30。在该实施例中，第一连接34是有线连接（例如电缆）。每个第一连接34将模块主控制器28的相应输出（例如数字输出）连接到模块从控制器30之一的相应输入（例如数字输入）。下面将参考图3更详细地描述使用第一连接34的方式。
用户输入设备32经由第二连接35连接到模块主控制器28。第二连接35可以是例如离散数字连接。用户输入设备32被配置成从用户接收用户输入。用户输入设备32还被配置成响应于所接收的用户输入经由第二连接35向模块主控制器28发送信号。用户输入设备32耦合（例如，机械耦合）到模块控制系统24被配置成控制的模块10。而且，用户输入设备32位于模块控制系统24被配置成控制的模块10处（例如，在其中或其上）。下面将参考图3更详细地描述使用用户输入设备32和第二连接35的方式。
在该实施例中，用户输入设备32包括发光设备（未示出），其被配置成从用户输入设备32发射光，从而使用户输入设备32对用户更可见。在该实施例中，用户输入设备32包括可由用户操作以提供用户输入（即，通过按下按钮）的按钮。
上述控制器中的每一个包括用于实现指令和使用数据的一个或多个处理器，包括以存储在机器可读存储介质中或上的计算机程序或多个计算机程序的形式的指令和/或数据，所述机器可读存储介质诸如计算机存储器、计算机盘、ROM、PROM等或者这些或其他存储介质的任何组合。每个控制器还可以包括用于存储指令和/或数据的计算机可读存储介质。在安装真空泵送和/或减排系统2期间，将标识符（例如，唯一名称或地址）分配给每个模块控制系统24的模块主控制器28，使得模块主控制器28可在它们通信时由系统2的其他控制器标识。还将相应的标识符分配给每个模块控制系统24的每个模块从控制器30，使得模块从控制器30可在它们通信时由系统2的其他控制器标识。每个标识符可以与真空泵送和/或减排系统2中的特定物理位置（例如，特定模块）相关联，使得一旦被分配了标识符，每个控制器就也与特定物理位置相关联。将标识符分配给控制器的该过程可以被称为控制器的“委任”。
为了委任的目的，中央控制系统22包括预存储的信息，其使得中央控制系统22能够确定布置真空泵送和/或减排系统2中的所有控制器的方式。更具体地说，预存储的信息包括真空泵送和/或减排系统2的模块10的列表、真空泵送和/或减排系统中的主控制器28及其相关联的模块10的列表、真空泵送和/或减排系统2中的从控制器30及其相关联的主控制器28的列表、以及主控制器28中的每一个的输出的列表。现在将参照图3描述将标识符分配给模块控制系统24之一的控制器的方法。应当理解，也可以针对真空泵送和/或减排系统2的其他模块控制系统24中的每一个来执行（例如，顺序地重复）该方法，但是为了易于理解和清楚起见，将参照图3描述仅一个模块控制系统24的委任。
图3是示出了将标识符分配给模块控制系统24之一（其在下文中被称为“当前”模块控制系统24）的控制器28、30的方法的一个实施例的流程图。
在步骤s2，中央控制器22确定当前模块控制系统24的控制器28、30中的每一个将被分配相应的标识符。更具体地，中央控制器22从上述预存储的信息中的模块列表中选择模块10之一，并且确定所选模块10的模块控制系统24将是要对其执行委任的当前模块控制系统24。
在步骤s4，响应于在步骤s2的确定，用户界面23显示当前模块控制系统24的控制器28、30将被分配标识符的指示。例如，用户界面23可显示真空泵送和/或减排系统2的模块10的列表，并且突出显示当前模块控制系统24被配置成控制的模块10。
在步骤s6，中央控制器22经由通信网络26将第一广播信号发送到真空泵送和/或减排系统2中的所有控制器。因此，模块主控制器28经由通信网络26接收第一广播信号。第一广播信号指示第一标识符。此外，第一广播信号使得尚未被分配标识符的所有模块控制系统24的用户输入设备32的发光设备（包括当前模块控制系统24的用户输入设备32的发光设备）从关断状态切换到接通状态，从而发射光。
在步骤s8，用户观察在用户界面23上显示的指示，并且找到当前模块控制系统24的用户输入设备32的位置。在步骤s6由接通的用户输入设备32的发光设备发射的光可以帮助用户找到当前模块控制系统24的用户输入设备32。然后，用户在当前模块控制系统24的用户输入设备32处提供用户输入。用户输入设备32接收用户输入，并且经由第二连接35将指示用户输入的信号发送到模块主控制器28。在该实施例中，用户输入设备32包括按钮，并且用户通过按下按钮来提供用户输入。
在步骤s10，模块主控制器28（其已经接收到第一广播信号）响应于接收到指示用户输入的信号而采用第一标识符作为其标识符。例如，模块主控制器28可以将第一标识符存储在其存储器中，并且将其自身配置成对寻址到第一标识符的命令或请求进行响应。模块主控制器28还将其状态从“未委任”改变为“委任”（即，通过在其存储器中存储指示其已经被分配了标识符的信息），并且关断其用户输入设备32的发光设备。另外，当前模块控制系统的用户输入设备32由主控制器28来禁用，使得其发光设备在其他模块10的控制器的后续委任期间不会再次接通。换言之，发光设备在其他模块10的控制器的后续委任期间保持在其关断状态，从而向用户指示当前模块控制系统24已经被委任了。
在步骤s12，模块主控制器28经由通信网络26向中央控制器22发送模块主控制器28已经采用第一标识符作为其标识符的确认。使用第一广播信号中指示的中央控制器22的地址将确认发送到中央控制器22。以这种方式，由模块主控制器28通知中央控制器22已经成功地完成了将第一标识符分配给模块主控制器28。
在步骤s14，中央控制器22确定当前模块控制系统24是否包括任何模块从控制器30。换句话说，中央控制器22确定是否存在经由一个或多个第一连接34连接到模块主控制器28的任何模块从控制器30。在该实施例中，该确定是基于在中央控制器22中的预存储的信息来执行的，所述信息指示当前模块控制系统24是否包括任何模块从控制器30。
如果中央控制器22确定不存在模块从控制器30，则中央控制器22确定完成了将标识符分配给当前模块控制系统24，并且该方法结束。另一方面，如果中央控制器22确定存在一个或多个模块从控制器30，则该方法进行到步骤s16。
在步骤s16，中央控制器22经由通信网络26将第二广播信号发送到真空泵送和/或减排系统2中的所有控制器。于是，模块主控制器28和模块从控制器30经由通信网络26接收第二广播信号。第二广播信号指示第二标识符。第二广播信号还指示来自上述预存储的信息中的主控制器28的输出列表中的主控制器28的输出之一。由于所指示的输出对应于第一连接34中的一个，所以第二广播信号也指示模块主控制器28和模块从控制器30之间的第一连接34。
在步骤s18，响应于第二广播信号，模块主控制器28经由所指示的第一连接34向经由所指示的第一连接34连接到模块主控制器28的模块从控制器30发送信号。更具体地，响应于第二广播信号，模块主控制器28使能与所指示的第一连接34对应的所指示的输出，从而经由所指示的第一连接34向经由所指示的第一连接34连接到模块主控制器28的模块从控制器30的输入发送信号。
在步骤s20，响应于经由所指示的第一连接34发送的信号，经由所指示的第一连接34连接到模块主控制器28的模块从控制器30采用第二标识符作为其标识符。例如，模块从控制器30可以将第二标识符存储在存储器中，并且将其自身配置成对寻址到第二标识符的命令或请求做出响应。模块从控制器30还将其状态从未委任改变为委任。
在步骤s22，模块从控制器30经由通信网络26向中央控制器22发送其已经采用第二标识符作为其标识符的确认。使用第二广播信号中指示的中央控制器22的地址来将确认发送到中央控制器22。以这种方式，由模块从控制器30通知中央控制器22已经成功地完成了向模块从控制器28的第二标识符的分配。
在步骤s24，中央控制器22确定当前模块控制系统24是否包括任何更多的其他模块从控制器30。如果中央控制器22确定在当前模块控制系统24中存在一个或多个其他模块从控制器30，则该方法返回到步骤s16，以用于另一个模块从控制器30。如果中央控制器22确定在当前模块控制系统24中不存在更多的模块从控制器30，则中央控制器22确定完成了向当前模块控制系统24的标识符的分配，并且该方法结束。
以这种方式，针对当前模块控制系统24的每个模块从控制器30顺序重复步骤s16至s22，直到当前模块控制系统24的所有模块从控制器30都被分配了不同的相应的第二标识符。
应当理解，图3的流程图中所描绘的和上面所描述的一些过程步骤可以被省略或者以与上面所呈现的和图3中所示出的顺序不同的顺序来执行。此外，尽管为了理解的方便和容易，这些过程步骤被描述为离散时间顺序的步骤，然而，一些过程步骤实际上也可以被同时执行或者在时间上至少在某种程度上重叠。
如上所述，在完成上述方法之后，针对下一个模块控制系统重复相同的方法，然后对其之后的下一个模块控制系统重复相同的方法，依此类推，直到真空泵送和/或减排系统2的所有模块控制系统的所有控制器都被分配了标识符。
因此，提供了一种将标识符分配给真空泵送和/或减排系统2的控制器的方法。
有利地，上述方法倾向于允许以高效的方式执行真空泵送和/或减排系统的控制器的委任，因为可以使用每个模块处的单个用户输入向每个模块的控制器分配标识符。
有利地，上述方法倾向于促进真空泵送和/或减排系统的模块化，因为每个模块的控制器可以与其他模块的控制器单独地被分配标识符。
有利地，上述方法倾向于使模块主控制器和模块从控制器不具有关于它们的位置和/或身份的任何预加载信息，使得通用控制器可以用于这些控制器。
在上述实施例中，通信网络是有线通信网络。然而，在其他实施例中，作为代替，通信网络是无线通信网络。
在上述实施例中，用户输入设备是按钮。然而，在其他实施例中，作为代替，用户输入设备是另一类型的用户输入设备（例如，语音控制的用户输入设备）。
在上述实施例中，模块从控制器响应于经由第一连接从模块主控制器接收到的信号而采用第二标识符。然而，在其他实施例中，省略了第一连接，并且作为代替，模块从控制器响应于在相应的附加用户输入设备处提供的用户输入而采用第二标识符（以与模块主控制器采用第一标识符的方式类似的方式）。在这些实施例中，模块从控制器被分配第二标识符，而不涉及模块主控制器。
在一些实施例中，存在用于在用户输入设备处提供用户输入的超时时段。在这些实施例中，响应于上述步骤s6，启动定时器（例如，通过中央控制器22）。如果用户在从定时器启动起的预定时间量内没有在用户输入设备处提供用户输入，则该方法终止。另一方面，如果用户在从定时器启动起的预定时间量内在用户输入设备处确实提供了用户输入，则该方法从如上所述的步骤s10继续。换句话说，在这些实施例中，如果在从定时器启动起的预定时间量内在用户输入设备处接收到了用户输入，则模块主控制器仅采用第一标识符作为其标识符。
在一些实施例中，模块从控制器被省略，因此仅模块主控制器被分配标识符。
附图标记
2：模块化真空泵送和/或减排系统
4：实体
6：流体输入管线
8：排气管线
10：模块
12：装置
22：中央控制器
23：用户界面
24：模块控制系统
25：用户界面链接
26：通信网络
28：模块主控制器
30：模块从控制器
32：用户输入设备
34：第一连接
35：第二连接。

Claims (15)

1.一种将标识符分配给模块化真空泵送和/或减排系统的控制器的方法，所述方法包括：
由所述模块化真空泵送和/或减排系统的第一控制器确定第一标识符将被分配给所述模块化真空泵送和/或减排系统的第二控制器，其中，所述第二控制器位于所述模块化真空泵送和/或减排系统的模块处；
由所述第一控制器向所述第二控制器发送指示所述第一标识符的第一信号；
通过耦合到所述模块的用户输入设备来接收用户输入；以及
响应于所述用户输入，由所述第二控制器采用所述第一标识符作为其标识符。
2.根据权利要求1所述的方法，还包括：
响应于确定所述第一标识符将被分配给所述第二控制器，通过用户界面显示所述第二控制器将被分配所述第一标识符的指示。
3.根据权利要求1或2所述的方法，还包括：
由所述第二控制器向所述第一控制器发送所述第二控制器已经采用所述第一标识符作为其标识符的确认。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，还包括：
由所述第一控制器确定存在经由连接而连接到所述第二控制器的第三控制器；
由所述第一控制器向所述第二控制器和所述第三控制器发送指示第二标识符的第二信号，其中，所述第二信号还指示所述第二控制器与所述第三控制器之间的所述连接；
由所述第二控制器经由所述第二控制器与所述第三控制器之间的所述连接向所述第三控制器发送信号；以及
响应于经由所述连接而发送的所述信号，由所述第三控制器采用所述第二标识符作为其标识符。
5.根据权利要求4所述的方法，还包括：
由所述第三控制器向所述第一控制器发送所述第三控制器已经采用所述第二标识符作为其标识符的确认。
6.根据权利要求5所述的方法，还包括：
响应于所述第三控制器已经采用所述第二标识符作为其标识符的所述确认，由所述第一控制器向所述第二控制器和另外的第三控制器发送指示另外的第二标识符的另外的第二信号，其中，所述另外的第二信号指示所述第二控制器与所述另外的第三控制器之间的连接；
由所述第二控制器经由所述第二控制器与所述另外的第三控制器之间的所述连接向所述另外的第三控制器发送另外的信号；以及
响应于经由所述第二控制器与所述另外的第三控制器之间的所述连接而发送的所述另外的信号，由所述另外的第三控制器采用所述另外的第二标识符作为其标识符。
7.根据权利要求6所述的方法，还包括：
由所述另外的第三控制器向所述第一控制器发送所述另外的第三控制器已经采用所述另外的第二标识符作为其标识符的另外的确认。
8. 根据权利要求1至7中任一项所述的方法，还包括：
响应于所述第一信号的发送而启动定时器，并且
其中，如果在从所述定时器启动起的预定时间量内在所述用户输入设备处接收到用户输入，则所述第二控制器仅采用所述第一标识符作为其标识符。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其中，所述用户输入设备是按钮，并且所述用户输入包括按下所述按钮。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，其中，所述用户输入设备包括发光设备。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的方法，其中，所述第一控制器被配置成控制所述模块化真空泵送和/或减排系统的全部或部分的操作。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的方法，其中，所述第二控制器和所述第三控制器是被配置成控制所述模块化真空泵送和/或减排系统的模块中的仅一个的操作的模块控制系统的部分。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的方法，其中，所述第一控制器和所述第二控制器经由通信网络彼此连接。
14.一种用于将标识符分配给模块化真空泵送和/或减排系统的控制器的系统，所述系统包括：
第一控制器；
第二控制器，其位于所述模块化真空泵送和/或减排系统的模块处；以及
用户输入设备，其耦合到所述模块，
其中，所述系统被配置成执行根据权利要求1所述的方法。
15.一种模块化真空泵送和/或减排系统，包括根据权利要求14所述的系统。
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