CN113296368A - 极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统。所述方法包括：输出液滴控制指令，液滴控制指令用于控制液滴靶生成装置以预设时间间隔产生预设速度的液滴；在液滴到达预设位置之后，输出预脉冲激光控制指令，预脉冲激光控制指令用于控制激光器发射预脉冲激光，使液滴在预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；在云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，输出主脉冲激光控制指令，主脉冲激光控制指令用于控制同一激光器发射主脉冲激光，使云雾团在主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，等离子体用于产生极紫外辐射。采用本申请实施例方法，能够有效提高等离子体极紫外辐射转换效率。

Description

极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统

技术领域

本申请涉及激光技术领域，特别是涉及一种极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统。

背景技术

光刻技术，作为半导体产业的核心技术之一，是一种用于芯片制造的图案形成技术。用于光刻技术的光源从436纳米到356纳米、248纳米、193纳米……光刻需要的线宽越来越小，对光源的波长要求越来越短。光源的波长范围已经从深紫外进化到极紫外范围。

目前，主要有四种方案可以获得极紫外光源，分别是：同步辐射源、激光等离子体、放电等离子体和激光辅助放电等离子体。选取哪一种方案，并如何运用该方案以大幅提高极紫外波段光刻机光源的功率来满足大规模工业生产的需要成为世界各国所必须攻克的主要难题之一。

其中，同步辐射源过于复杂和庞大的装置构造以及极其高昂的造价等，都表明同步辐射源并不适用于大规模工业生产；虽然，放电等离子体和激光辅助放电等离子体具有很多相似之处，它们均可以通过增大放电电流的功率来提高极紫外光的输出功率。但是，在靶材产生等离子体的过程中，会对电极产生热负荷和腐蚀，造成关键元件的损坏，所以需要经常清理和更换电极。因此，从长远的发展趋势上看，现用于大规模工业生产的方案多为激光等离子体。荷兰和日本都已经做出了性能良好的基于激光等离子体的极紫外光源。

然而，现有的激光等离子体光源的泵浦激光是采用二氧化碳激光器产生的激光，需要在空气中进行传播反射进入光刻光源系统，并且需要两个激光器产生不同的预脉冲和主脉冲分别加热液滴靶，其控制难度大，而且光源功率提升难度大，导致等离子体极紫外辐射转换效率不高。

发明内容

基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够提高等离子体极紫外辐射转换效率的极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统。

一种极紫外辐射控制方法，应用于极紫外辐射装置，所述极紫外辐射装置包括液滴靶生成装置和激光器，所述激光器包括至少一台；

所述极紫外辐射控制方法包括：

输出液滴控制指令，所述液滴控制指令用于控制所述液滴靶生成装置以预设时间间隔产生预设速度的液滴；

在所述液滴到达预设位置之后，输出预脉冲激光控制指令，所述预脉冲激光控制指令用于控制所述激光器发射预脉冲激光，使所述液滴在所述预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；

在所述云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，输出主脉冲激光控制指令，所述主脉冲激光控制指令用于控制同一所述激光器发射主脉冲激光，使所述云雾团在所述主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，所述等离子体用于产生极紫外辐射。

在其中一个实施例中，所述极紫外辐射装置还包括真空机构；在所述输出液滴控制指令之前，包括：

输出真空控制指令，所述真空控制指令用于控制所述真空机构对所述极紫外辐射装置抽真空，使所述极紫外辐射装置处于真空状态。

在其中一个实施例中，所述极紫外辐射装置还包括摄像头；在所述输出液滴控制指令之后，在所述输出预脉冲激光控制指令之前，还包括：

输出第一拍摄指令，所述第一拍摄指令用于控制所述摄像头对所述液滴进行拍摄得到液滴图像，所述液滴图像用于确定所述液滴的液滴参数。

在其中一个实施例中，在所述输出预脉冲激光控制指令之后，在所述输出主脉冲激光控制指令之前，还包括：

输出第二拍摄指令，所述第二拍摄指令用于控制所述摄像头对所述云雾团进行拍摄得到云雾团图像，所述云雾团图像用于确定所述云雾团的云雾团参数。

在其中一个实施例中，在所述输出主脉冲激光控制指令之后，还包括：

基于所述云雾团的云雾团参数，输出预脉冲激光调整指令，所述预脉冲激光调整指令用于控制所述激光器调整发射所述预脉冲激光的预脉冲激光参数。

在其中一个实施例中，在所述输出主脉冲激光控制指令之后，还包括：

根据所述等离子体产生的所述极紫外辐射的极紫外辐射参数，输出主脉冲激光调整指令，所述主脉冲激光调整指令用于控制所述激光器调整发射所述主脉冲激光的主脉冲激光参数。

一种极紫外辐射控制装置，所述极紫外辐射控制装置包括：

液滴靶生成装置控制模块，用于输出液滴控制指令，所述液滴控制指令用于控制所述液滴靶生成装置以预设时间间隔产生预设速度的液滴；

激光器控制模块，用于在所述液滴到达预设位置之后，输出预脉冲激光控制指令，所述预脉冲激光控制指令用于控制所述激光器发射预脉冲激光，使所述液滴在所述预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；在所述云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，输出主脉冲激光控制指令，所述主脉冲激光控制指令用于控制同一所述激光器发射主脉冲激光，使所述云雾团在所述主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，所述等离子体用于产生极紫外辐射。

一种电子设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述的方法的步骤。

一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述的方法的步骤。

一种极紫外辐射系统，所述极紫外辐射系统包括：极紫外辐射装置和如上述的电子设备；

所述极紫外辐射装置包括：

液滴靶生成装置，用于基于所述电子设备输出的液滴控制指令以预设时间间隔产生预设速度的液滴；

激光器，用于根据所述电子设备输出的预脉冲激光控制指令发射预脉冲激光，使所述液滴在所述预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；基于所述电子设备输出的主脉冲激光控制指令发射主脉冲激光，使所述云雾团在所述主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，所述等离子体用于产生极紫外辐射。

上述极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统，通过输出液滴控制指令，液滴控制指令用于控制液滴靶生成装置以预设时间间隔产生预设速度的液滴；在液滴到达预设位置之后，输出预脉冲激光控制指令，预脉冲激光控制指令用于控制激光器发射预脉冲激光，使液滴在预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；在云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，输出主脉冲激光控制指令，主脉冲激光控制指令用于控制同一激光器发射主脉冲激光，使云雾团在主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，等离子体用于产生极紫外辐射。采用上述实施例方法，通过控制激光器发射预脉冲激光，使液滴初步电离产生云雾团，再通过控制激光器发射主脉冲激光，使云雾团进一步电离产生等离子体，能够在主脉冲激光能量较低的情况下有效提高液滴的电离程度，从而降低生产成本，并提高等离子体极紫外辐射转换效率。

附图说明

图1为一个实施例中极紫外辐射装置的原理示意图；

图2为一个实施例中极紫外辐射控制方法的应用环境图；

图3为一个实施例中极紫外辐射控制方法的流程示意图；

图4为一个具体实施例中极紫外辐射装置的示意图；

图5为一个实施例中极紫外辐射控制装置的结构框图；

图6为一个实施例中电子设备的内部结构图；

图7为另一个实施例中电子设备的内部结构图。

具体实施方式

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

在其中一个实施例中，如图1所示，(a)为传统的极紫外辐射装置的原理示意图，其中，预脉冲激光和主脉冲激光为两路激光，分别由两台不同的预脉冲激光器和主脉冲激光器发出，(b)为本申请实施例的极紫外辐射装置的原理示意图，其中，预脉冲激光和主脉冲激光由同一激光器发出，预脉冲激光和主脉冲激光之间存在时间延迟。本申请实施例从改变泵浦光源种类的方式来提高激光等离子体极紫外辐射转换效率，将传统的预脉冲激光器与主脉冲激光器合二为一，通过控制激光器发射激光的激光脉冲参数，实现单个激光器发射预脉冲激光和主脉冲激光。其中，激光脉冲参数主要包括脉冲的脉宽、脉冲能量、峰值功率、每种脉冲时间间隔、每组脉冲时间间隔等。

在其中一个实施例中，本申请提供的极紫外辐射控制方法，可以应用于如图2所示的应用环境中。极紫外辐射系统包括极紫外辐射装置10和控制器20，极紫外辐射装置10包括液滴靶生成装置102和激光器106。在极紫外辐射系统中，极紫外辐射装置10通过网络或协议等其他通信方式与控制器20进行通信，控制器20通过输出控制指令对极紫外辐射装置10进行控制。

具体地，控制器20输出液滴控制指令，液滴控制指令用于控制液滴靶生成装置102以预设时间间隔产生预设速度的液滴104；在液滴104到达预设位置之后，控制器20输出预脉冲激光控制指令，预脉冲激光控制指令用于控制激光器106发射预脉冲激光1061，使液滴104在预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；在云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，控制器20输出主脉冲激光控制指令，主脉冲激光控制指令用于控制同一激光器106发射主脉冲激光1062，使云雾团在主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，等离子体用于产生极紫外辐射。

其中，控制器20可以但不限于是各种控制芯片、个人计算机、笔记本电脑、智能手机、平板电脑和便携式可穿戴设备等，也可以用独立的服务器或者是多个服务器组成的服务器集群来实现。需要说明的是，图1中的极紫外辐射装置10仅仅是其中一种极紫外辐射装置的示意图，具体的极紫外辐射装置可以包括比图中所示更多或更少的部件，或者具有不同的部件布置和连接方式。

在其中一个实施例中，如图3所示，提供了一种以控制器20为执行主体的极紫外辐射控制方法，以该方法应用于图2中的极紫外辐射装置10为例进行说明，包括以下步骤：

步骤S202，输出液滴控制指令，液滴控制指令用于控制液滴靶生成装置以预设时间间隔产生预设速度的液滴。

其中，极紫外辐射又称极紫外光，可以通过使用高能脉冲激光聚焦后辐照高密度靶材，在靶材吸收激光的能量之后，使靶材内部的粒子产生电离，在靶材与激光的交点处产生高温，从而使靶材电离产生等离子体，在等离子体中通过高电离态离子的电子跃迁，从而辐射出波长为13.5纳米(nm)的极紫外辐射。具体地，等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质。靶材可以为金属靶、液滴靶、气体靶等。

在其中一个实施例中，极紫外辐射装置包括液滴靶生成装置。液滴是指在静止条件下可沉降，在湍流条件下能保持悬浮状态的细小液体粒子，其主要粒径范围在200微米(μm)以下。液滴靶生成装置是一种用于喷射产生液滴靶材的装置，其喷射产生液滴的时间间隔、液滴速度、液滴直径等参数可以调节。其中，液滴靶生成装置可以为锡(Sn)液滴靶生成装置，用于均匀地产生Sn液滴。

具体地，控制器输出液滴控制指令，液滴控制指令用于控制液滴靶生成装置以预设时间间隔产生预设速度的液滴。其中，预设时间间隔可以设置为1秒(s)，液滴的预设速度可以设置为70米/秒(m/s)。

由于极紫外光具有能够电离几乎所有的组成普通物质的原子和分子的特性，使得它无法在普通物质包括空气中传播，因此极紫外辐射只能在真空中传播。在其中一个实施例中，极紫外辐射装置还包括真空机构。

其中，真空机构是指抽取内部空气以达到预定真空度的机构，可以包括真空泵等。具体地，在控制器输出液滴控制指令之前，还包括：输出真空控制指令。其中，真空控制指令用于控制真空机构对极紫外辐射装置抽真空，使极紫外辐射装置处于真空状态。

步骤S204，在液滴到达预设位置之后，输出预脉冲激光控制指令，预脉冲激光控制指令用于控制激光器发射预脉冲激光，使液滴在预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团。

其中，极紫外辐射装置包括激光器。激光器是指能够发生激光的装置，包括气体激光器、半导体激光器、光纤激光器等。具体地，光纤激光器包括晶体光纤激光器、非线性光学型光纤激光器、稀土类掺杂光纤激光器和塑料光纤激光器等。

在其中一个实施例中，激光器可以至少为一台，激光器的种类可以为光纤激光器。具体地，通过光纤激光器实现传统的预脉冲激光器与主脉冲激光器的组合，并通过单独控制光纤激光器发射激光的激光脉冲参数，实现单个激光器发射预脉冲激光和主脉冲激光。其中，激光脉冲参数主要包括脉冲的脉宽、脉冲能量、峰值功率、每种脉冲时间间隔、每组脉冲时间间隔等。其中，将依次发射的预脉冲激光与主脉冲激光作为一组脉冲。具体地，液滴在以预设速度达到预设位置之后，控制器输出预脉冲激光控制指令，预脉冲激光控制指令用于控制激光器发射预脉冲激光。

在其中一个实施例中，预脉冲激光是提高极紫外辐射转换效率的关键因素，在预脉冲激光与液滴的交点处产生高温，使液滴在预脉冲激光的轰击作用下初步电离，产生云雾团，并能够在主脉冲激光的能量较低的情况下提高极紫外辐射转换效率。具体地，液滴的初步电离程度与预脉冲激光的能量有关，初步电离程度为10％-20％之间。

步骤S206，在云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，输出主脉冲激光控制指令，主脉冲激光控制指令用于控制同一激光器发射主脉冲激光，使云雾团在主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，等离子体用于产生极紫外辐射。

在其中一个实施例中，液滴在预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团之后，云雾团会产生扩散和移动。具体地，在云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，控制器输出主脉冲激光控制指令，主脉冲激光控制指令用于控制同一激光器继续发射主脉冲激光。

其中，预设扩散程度可以设置为云雾团从直径为20μm扩散至直径为40μm，预设移动速度可以设置为80m/s，云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度的时间范围在10纳秒(ns)-20ns之间，即预脉冲激光与主脉冲激光的发射时间间隔在10ns-20ns之间。在主脉冲激光与云雾团的交点处产生高温，云雾团的电离程度在主脉冲激光的轰击作用下迅速提高，使电离程度达到95％。

上述极紫外辐射控制方法中，通过输出液滴控制指令，液滴控制指令用于控制液滴靶生成装置以预设时间间隔产生预设速度的液滴；在液滴到达预设位置之后，输出预脉冲激光控制指令，预脉冲激光控制指令用于控制激光器发射预脉冲激光，使液滴在预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；在云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，输出主脉冲激光控制指令，主脉冲激光控制指令用于控制同一激光器发射主脉冲激光，使云雾团在主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，等离子体用于产生极紫外辐射。采用上述实施例方法，通过控制激光器发射预脉冲激光，使液滴初步电离产生云雾团，再通过控制同一激光器发射主脉冲激光，使云雾团进一步电离产生等离子体，能够在主脉冲激光能量较低的情况下有效提高液滴的电离程度，从而降低生产成本，并提高等离子体极紫外辐射转换效率。

在其中一个实施例中，极紫外辐射装置还包括摄像头。摄像头可以但不限于是各种监控摄像头、数字摄像头、电荷耦合摄像头等，摄像头用于对液滴或云雾团进行拍摄，得到液滴图像或云雾团图像。其中，摄像头可以包括至少一组。

在其中一个实施例中，控制器在输出液滴控制指令之后，在输出预脉冲激光控制指令之前，还包括：输出第一拍摄指令。具体地，第一拍摄指令用于控制摄像头对液滴进行拍摄得到液滴图像。其中，当摄像头为两组摄像头时，第一拍摄指令用于控制第一组摄像头按照预设的拍摄时间间隔对液滴进行拍摄，液滴图像用于确定液滴的液滴参数。液滴参数主要包括液滴的速度、位置、间距、大小等。具体地，可以通过图像识别方式，将连续的多张图像进行叠加，确定液滴参数。控制器在根据液滴参数确定液滴到达预设位置之后，控制器输出预脉冲激光控制指令。

在其中一个实施例中，控制器在输出预脉冲激光控制指令之后，在输出主脉冲激光控制指令之前，还包括：输出第二拍摄指令。具体地，第二拍摄指令用于控制摄像头对云雾团进行拍摄得到云雾团图像。其中，当摄像头为两组摄像头时，第二拍摄指令用于控制第二组摄像头按照预设的拍摄时间间隔对云雾团进行拍摄，云雾团图像用于确定云雾团的云雾团参数。云雾团参数主要包括扩散程度、位置和移动速度等。具体地，可以通过图像识别方式，将连续的多张图像进行叠加，确定云雾团并取其轮廓，确定云雾团参数。控制器在根据云雾团参数确定云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，控制器输出主脉冲激光控制指令。

在其中一个实施例中，在主脉冲激光轰击云雾团之后，若等离子体未达到预期温度或云雾团未达到预期电离程度，为了进一步提高等离子体极紫外辐射转换效率，控制器在输出主脉冲激光控制指令之后，还包括：基于云雾团的云雾团参数，输出预脉冲激光调整指令。其中，预脉冲激光调整指令用于控制激光器调整发射预脉冲激光的预脉冲激光参数。预脉冲激光参数可以包括激光的波长、能量、功率和功率密度、照射方式、光斑面积等。

在其中一个实施例中，控制器在输出主脉冲激光控制指令之后，还包括：根据等离子体产生的极紫外辐射的极紫外辐射参数，输出主脉冲激光调整指令。其中，极紫外辐射参数主要包括极紫外辐射的强度、均匀性等，主脉冲激光调整指令用于控制激光器调整发射主脉冲激光的主脉冲激光参数。主脉冲激光参数可以包括激光的波长、能量、功率和功率密度、照射方式、光斑面积等。

为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及其中一个具体实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。

如图4所示为一个具体实施例中极紫外辐射系统中的极紫外辐射装置10的示意图，极紫外辐射装置10包括真空机构100、Sn液滴靶生成装置102、激光器106和摄像头108，Sn液滴靶生成装置102用于产生Sn液滴104。控制器执行一种极紫外辐射控制方法的具体步骤如下：

步骤1、输出真空控制指令，真空控制指令用于控制真空机构100对极紫外辐射装置10抽真空，使所述极紫外辐射装置10处于真空状态；

步骤2、输出液滴控制指令，液滴控制指令用于控制Sn液滴靶生成装置102均匀地产生Sn液滴104，其中，产生Sn液滴的时间间隔为1s，Sn液滴进入真空中的速度为70m/s；

步骤3、输出第一拍摄指令，第一拍摄指令用于控制摄像头108对Sn液滴进行拍摄得到液滴图像，液滴图像用于确定Sn液滴的液滴参数；

步骤4、在Sn液滴到达预设位置之后，输出预脉冲激光控制指令，预脉冲激光控制指令用于控制激光器106发射预脉冲激光1061，使Sn液滴104在预脉冲激光1061的轰击作用下初步电离产生Sn云雾团，其中，确保Sn液滴能被预脉冲激光轰击，使Sn液滴的初步电离程度在10％-20％之间；

步骤5、输出第二拍摄指令，第二拍摄指令用于控制摄像头108对Sn云雾团进行拍摄得到云雾团图像，云雾团图像用于确定Sn云雾团的云雾团参数；

步骤6、在Sn云雾团从直径为20μm扩散至直径为40μm，移动速度达到80m/s之后，输出主脉冲激光控制指令，主脉冲激光控制指令用于控制同一激光器106发射主脉冲激光1062，使Sn云雾团在主脉冲激光1062的轰击作用下进一步电离产生Sn等离子体，Sn等离子体用于产生13.5nm的极紫外辐射，其中，Sn云雾团的扩散和移动过程的时间范围在10ns-20ns之间，确保Sn液滴能被主脉冲激光轰击，使Sn云雾团的进一步电离程度达到95％；

步骤7、在等离子体未达到预期温度或云雾团未达到预期电离程度时，可以基于云雾团的云雾团参数，输出预脉冲激光调整指令，预脉冲激光调整指令用于控制激光器106调整发射预脉冲激光1061的预脉冲激光参数；或者，根据等离子体产生的极紫外辐射的极紫外辐射参数，输出主脉冲激光调整指令，主脉冲激光调整指令用于控制激光器106调整发射主脉冲激光1062的主脉冲激光参数，以进一步提高等离子体极紫外辐射的转化效率。

应该理解的是，虽然图3的流程图中的各个步骤按照箭头的指示依次显示，但是这些步骤并不是必然按照箭头指示的顺序依次执行。除非本文中有明确的说明，这些步骤的执行并没有严格的顺序限制，这些步骤可以以其它的顺序执行。而且，图3中的至少一部分步骤可以包括多个步骤或者多个阶段，这些步骤或者阶段并不必然是在同一时刻执行完成，而是可以在不同的时刻执行，这些步骤或者阶段的执行顺序也不必然是依次进行，而是可以与其它步骤或者其它步骤中的步骤或者阶段的至少一部分轮流或者交替地执行。

在其中一个实施例中，如图5所示，提供了一种极紫外辐射控制装置，该极紫外辐射控制装置包括：液滴靶生成装置控制模块410和激光器控制模块420，其中：

液滴靶生成装置控制模块410，用于输出液滴控制指令，所述液滴控制指令用于控制所述液滴靶生成装置以预设时间间隔产生预设速度的液滴。

激光器控制模块420，用于在所述液滴到达预设位置之后，输出预脉冲激光控制指令，所述预脉冲激光控制指令用于控制所述激光器发射预脉冲激光，使所述液滴在所述预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；在所述云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，输出主脉冲激光控制指令，所述主脉冲激光控制指令用于控制同一所述激光器发射主脉冲激光，使所述云雾团在所述主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，所述等离子体用于产生极紫外辐射。

在其中一个实施例中，所述极紫外辐射装置还包括真空机构；极紫外辐射控制装置还包括真空机构控制模块，其中：

真空机构控制模块，用于输出真空控制指令，所述真空控制指令用于控制所述真空机构对所述极紫外辐射装置抽真空，使所述极紫外辐射装置处于真空状态。

在其中一个实施例中，所述极紫外辐射装置还包括摄像头；极紫外辐射控制装置还包括摄像头控制模块，其中，摄像头控制模块包括以下单元：

第一拍摄控制单元，用于在所述输出液滴控制指令之后，在所述输出预脉冲激光控制指令之前，输出第一拍摄指令，所述第一拍摄指令用于控制所述摄像头对所述液滴进行拍摄得到液滴图像，所述液滴图像用于确定所述液滴的液滴参数。

第二拍摄控制单元，用于在所述输出预脉冲激光控制指令之后，在所述输出主脉冲激光控制指令之前，输出第二拍摄指令，所述第二拍摄指令用于控制所述摄像头对所述云雾团进行拍摄得到云雾团图像，所述云雾团图像用于确定所述云雾团的云雾团参数。

在其中一个实施例中，所述极紫外辐射控制装置还包括参数调整模块，其中，参数调整模块包括以下单元：

激光器参数第一调整单元，用于基于所述云雾团的云雾团参数，输出预脉冲激光调整指令，所述预脉冲激光调整指令用于控制所述激光器调整发射所述预脉冲激光的预脉冲激光参数。

激光器参数第二调整单元，用于根据所述等离子体产生的所述极紫外辐射的极紫外辐射参数，输出主脉冲激光调整指令，所述主脉冲激光调整指令用于控制所述激光器调整发射所述主脉冲激光的主脉冲激光参数。

关于极紫外辐射控制装置的具体限定可以参见上文中对于极紫外辐射控制方法的限定，在此不再赘述。上述极紫外辐射控制装置中的各个模块可全部或部分通过软件、硬件及其组合来实现。上述各模块可以硬件形式内嵌于或独立于电子设备中的处理器中，也可以以软件形式存储于电子设备中的存储器中，以便于处理器调用执行以上各个模块对应的操作。

在其中一个实施例中，提供了一种电子设备，该电子设备可以是服务器，其内部结构图可以如图6所示。该电子设备包括通过系统总线连接的处理器、存储器和网络接口。其中，该电子设备的处理器用于提供计算和控制能力。该电子设备的存储器包括非易失性存储介质、内存储器。该非易失性存储介质存储有操作系统、计算机程序和数据库。该内存储器为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该电子设备的数据库用于存储极紫外辐射控制数据。该电子设备的网络接口用于与外部的终端通过网络连接通信。该计算机程序被处理器执行时以实现一种极紫外辐射控制装置方法。

在其中一个实施例中，提供了一种电子设备，该电子设备可以是终端，其内部结构图可以如图7所示。该电子设备包括通过系统总线连接的处理器、存储器、通信接口、显示屏和输入装置。其中，该电子设备的处理器用于提供计算和控制能力。该电子设备的存储器包括非易失性存储介质、内存储器。该非易失性存储介质存储有操作系统和计算机程序。该内存储器为非易失性存储介质中的操作系统和计算机程序的运行提供环境。该电子设备的通信接口用于与外部的终端进行有线或无线方式的通信，无线方式可通过WIFI、运营商网络、NFC(近场通信)或其他技术实现。该计算机程序被处理器执行时以实现一种极紫外辐射控制方法。该电子设备的显示屏可以是液晶显示屏或者电子墨水显示屏，该电子设备的输入装置可以是显示屏上覆盖的触摸层，也可以是电子设备外壳上设置的按键、轨迹球或触控板，还可以是外接的键盘、触控板或鼠标等。

本领域技术人员可以理解，图6-图7中示出的结构，仅仅是与本申请方案相关的部分结构的框图，并不构成对本申请方案所应用于其上的电子设备的限定，具体的电子设备可以包括比图中所示更多或更少的部件，或者组合某些部件，或者具有不同的部件布置。

在其中一个实施例中，提供了一种电子设备，包括存储器和处理器，存储器中存储有计算机程序，该处理器执行计算机程序时实现如上所述的极紫外辐射控制方法的步骤。

在其中一个实施例中，提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现如上所述的极紫外辐射控制方法的步骤。

在其中一个实施例中，提供了一种极紫外辐射系统，所述极紫外辐射系统包括：极紫外辐射装置和如上所述的电子设备；

所述极紫外辐射装置包括：

液滴靶生成装置，用于基于所述电子设备输出的液滴控制指令以预设时间间隔产生预设速度的液滴；

激光器，用于根据所述电子设备输出的预脉冲激光控制指令发射预脉冲激光，使所述液滴在所述预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；基于所述电子设备输出的主脉冲激光控制指令发射主脉冲激光，使所述云雾团在所述主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，所述等离子体用于产生极紫外辐射。

本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例方法中的全部或部分流程，是可以通过计算机程序来指令相关的硬件来完成，所述的计算机程序可存储于一非易失性计算机可读取存储介质中，该计算机程序在执行时，可包括如上述各方法的实施例的流程。其中，本申请所提供的各实施例中所使用的对存储器、存储、数据库或其它介质的任何引用，均可包括非易失性和易失性存储器中的至少一种。非易失性存储器可包括只读存储器(Read-Only Memory，ROM)、磁带、软盘、闪存或光存储器等。易失性存储器可包括随机存取存储器(Random Access Memory，RAM)或外部高速缓冲存储器。作为说明而非局限，RAM可以是多种形式，比如静态随机存取存储器(Static Random Access Memory，SRAM)或动态随机存取存储器(Dynamic Random Access Memory，DRAM)等。

以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种极紫外辐射控制方法，应用于极紫外辐射装置，所述极紫外辐射装置包括液滴靶生成装置和激光器，所述激光器包括至少一台；

所述极紫外辐射控制方法包括：

输出液滴控制指令，所述液滴控制指令用于控制所述液滴靶生成装置以预设时间间隔产生预设速度的液滴；

在所述液滴到达预设位置之后，输出预脉冲激光控制指令，所述预脉冲激光控制指令用于控制所述激光器发射预脉冲激光，使所述液滴在所述预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；

在所述云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，输出主脉冲激光控制指令，所述主脉冲激光控制指令用于控制同一所述激光器发射主脉冲激光，使所述云雾团在所述主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，所述等离子体用于产生极紫外辐射。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述极紫外辐射装置还包括真空机构；在所述输出液滴控制指令之前，包括：

输出真空控制指令，所述真空控制指令用于控制所述真空机构对所述极紫外辐射装置抽真空，使所述极紫外辐射装置处于真空状态。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述极紫外辐射装置还包括摄像头；在所述输出液滴控制指令之后，在所述输出预脉冲激光控制指令之前，还包括：

输出第一拍摄指令，所述第一拍摄指令用于控制所述摄像头对所述液滴进行拍摄得到液滴图像，所述液滴图像用于确定所述液滴的液滴参数。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，在所述输出预脉冲激光控制指令之后，在所述输出主脉冲激光控制指令之前，还包括：

输出第二拍摄指令，所述第二拍摄指令用于控制所述摄像头对所述云雾团进行拍摄得到云雾团图像，所述云雾团图像用于确定所述云雾团的云雾团参数。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，在所述输出主脉冲激光控制指令之后，还包括：

基于所述云雾团的云雾团参数，输出预脉冲激光调整指令，所述预脉冲激光调整指令用于控制所述激光器调整发射所述预脉冲激光的预脉冲激光参数。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述输出主脉冲激光控制指令之后，还包括：

根据所述等离子体产生的所述极紫外辐射的极紫外辐射参数，输出主脉冲激光调整指令，所述主脉冲激光调整指令用于控制所述激光器调整发射所述主脉冲激光的主脉冲激光参数。

7.一种极紫外辐射控制装置，其特征在于，所述极紫外辐射控制装置包括：

液滴靶生成装置控制模块，用于输出液滴控制指令，所述液滴控制指令用于控制所述液滴靶生成装置以预设时间间隔产生预设速度的液滴；

激光器控制模块，用于在所述液滴到达预设位置之后，输出预脉冲激光控制指令，所述预脉冲激光控制指令用于控制所述激光器发射预脉冲激光，使所述液滴在所述预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；在所述云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，输出主脉冲激光控制指令，所述主脉冲激光控制指令用于控制同一所述激光器发射主脉冲激光，使所述云雾团在所述主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，所述等离子体用于产生极紫外辐射。

8.一种电子设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至6中任一项所述的方法的步骤。

9.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至6中任一项所述的方法的步骤。

10.一种极紫外辐射系统，其特征在于，所述极紫外辐射系统包括：极紫外辐射装置和如权利要求8所述的电子设备；

所述极紫外辐射装置包括：

液滴靶生成装置，用于基于所述电子设备输出的液滴控制指令以预设时间间隔产生预设速度的液滴；

激光器，用于根据所述电子设备输出的预脉冲激光控制指令发射预脉冲激光，使所述液滴在所述预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；基于所述电子设备输出的主脉冲激光控制指令发射主脉冲激光，使所述云雾团在所述主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，所述等离子体用于产生极紫外辐射。

Images