CN113294991B - 一种硅片加工成型装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种硅片加工成型装置，涉及硅片加工技术领域，解决了不能够通过结构上的改进在实现加热管干燥的同时促进热气流与硅片的接触效率；再不能够通过结构上的改进实现硅片的风力干燥，且不能够在实现叶片式风力干燥的同时联动实现其他干燥结构的同步工作的问题。一种硅片加工成型装置，包括底座；所述底座为矩形板状结构。因齿轮安装在转轴上，且齿轮与齿排啮合，从而当滑动块移动时通过齿轮与齿排啮合可实现叶片的转动；转轴转动连接在滑动块上，且转轴上呈矩形阵列状安装有叶片，并且叶片位于加热管的正上方位置，从而一方面，当叶片转动时可将加热管产生的热量快速的吹向硅片，另一方面，在维护时通过叶片转动可实现加热管上灰尘的清洁。

Description

一种硅片加工成型装置
技术领域
本发明属于硅片加工技术领域，更具体地说，特别涉及一种硅片加工成型装置。
背景技术
硅片是制作晶体管和集成电路的原料，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力在硅片加工过程中需要对硅片进行清洗，在清洗后还需要对硅片进行烘干。
如申请号：CN201911396911.X，本发明公开了一种硅片加工用清洗装置，包括清洗框，所述清洗框的一侧外壁固定连接有正反转电机，且正反转电机的输出轴延伸入清洗框内的一端固定连接有螺纹丝杠，螺纹丝杠的一端与清洗框的一侧内壁之间通过轴承转动连接，所述螺纹丝杠的外壁螺纹连接有活动座，且活动座的顶部中间位置固定连接有支撑垫，支撑垫的顶部固定连接有置物台，置物台的顶部开有多个置物槽，所述清洗框的顶部一侧固定连接有第一电动推杆。本发明利用排水管和喷头将水喷射在置物台上，带动环形毛刷板和刷毛进行转动，从而对硅片进行清洗处理，代替人工清洗操作，并且可便于对清洗后的硅片进行烘干处理，提高装置的工作效率。
类似于上述申请的硅片加工装置目前还存在以下几点不足：
一个是，现有装置虽然能够利用加热管对硅片进行干燥，但是不能够通过结构上的改进在实现加热管干燥的同时促进热气流与硅片的接触效率；再者是，现有装置不能够通过结构上的改进实现硅片的风力干燥，且不能够在实现叶片式风力干燥的同时联动实现其他干燥结构的同步工作。
于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供一种硅片加工成型装置，以期达到更具有更加实用价值性的目的。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提供一种硅片加工成型装置，以解决现有一个是，现有装置虽然能够利用加热管对硅片进行干燥，但是不能够通过结构上的改进在实现加热管干燥的同时促进热气流与硅片的接触效率；再者是，现有装置不能够通过结构上的改进实现硅片的风力干燥，且不能够在实现叶片式风力干燥的同时联动实现其他干燥结构的同步工作的问题。
本发明一种硅片加工成型装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：
一种硅片加工成型装置，包括底座；
所述底座为矩形板状结构；
底座包括：
安装座，所述安装座焊接在底座上，且底座内插接有硅片；
滑动结构，所述滑动结构焊接在底座上；
干燥结构，所述干燥结构安装在滑动结构上。
进一步的，所述滑动结构包括：
滑动座，滑动座共设有两个，且两个滑动座对称焊接在底座上，并且每个滑动座上均滑动连接有一个滑动块；
加热管，加热管安装在两个滑动块上，且加热管位于硅片的上方位置。
进一步的，所述辅助结构还包括：
滑动杆，滑动杆共设有四根，且四根滑动杆均滑动连接在罩体上；四根滑动杆均为阶梯轴状结构，且四根滑动杆均与辅助板顶端面焊接相连；
弹性件，弹性件共设有四根，且四根弹性件分别套接在四根滑动杆上，并且四根弹性件共同组成了滑动杆和辅助板的弹性复位结构。
进一步的，所述辅助板为矩形板状结构，且辅助板底端面与叶片弹性接触，并且叶片组成了辅助板的连续拨动结构。
进一步的，所述滑动结构还包括：
通孔，通孔开设在右侧的滑动块上，且通孔还穿过罩体；通孔为柱形孔状结构，且通孔与齿轮和齿排的啮合处对正。
进一步的，所述干燥结构包括：
转轴,转轴转动连接在滑动块上，且转轴上呈矩形阵列状安装有叶片，并且叶片位于加热管的正上方位置。
进一步的，所述底座还包括：
齿排，齿排通过四个固定螺栓固定连接在底座上，且四个固定螺栓上均套接有一个弹性垫；
干燥结构还包括：
齿轮，齿轮安装在转轴上，且齿轮与齿排啮合。
进一步的，所述底座还包括：
挡块，挡块焊接在齿排上，且挡块位于左前侧固定螺栓的前侧位置；挡块上安装有接触开关，且接触开关与加热管以及加热管的供电单元电性相连，当接触开关被触碰时加热管处于断开状态。
进一步的，所述滑动结构还包括：
辅助杆，辅助杆焊接在滑动块上，且辅助杆为L形块状结构；当辅助杆的前端面与接触开关接触时辅助杆的右端面与左前侧固定螺栓的左端面接触；
滑动结构上焊接有辅助结构。
进一步的，所述辅助结构包括：
罩体，罩体焊接在两个滑动块上，且罩体位于叶片的上方位置；叶片位于罩体内，且罩体组成了叶片产生风力的限位遮挡结构。
与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
通过滑动结构的设置，因加热管安装在两个滑动块上，且加热管位于硅片的上方位置，从而当滑动座移动时通过加热管可对硅片进行烘干。
通过干燥结构的设置，因齿轮安装在转轴上，且齿轮与齿排啮合，从而当滑动块移动时通过齿轮与齿排啮合可实现叶片的转动；转轴转动连接在滑动块上，且转轴上呈矩形阵列状安装有叶片，并且叶片位于加热管的正上方位置，从而一方面，当叶片转动时可将加热管产生的热量快速的吹向硅片，另一方面，在维护时通过叶片转动可实现加热管上灰尘的清洁。
通过干燥结构和辅助结构的配合设置，第一，因罩体焊接在两个滑动块上，且罩体位于叶片的上方位置；叶片位于罩体内，且罩体组成了叶片产生风力的限位遮挡结构，从而保证了叶片产生的风力能够与硅片接触；
第二，因辅助板为矩形板状结构，且辅助板底端面与叶片弹性接触，并且叶片组成了辅助板的连续拨动结构，从而当叶片转动时可实现辅助板的往复运动，进而通过辅助板的往复运动产生的气流可实现硅片的风力干燥；
第三，因通孔开设在右侧的滑动块上，且通孔还穿过罩体；通孔为柱形孔状结构，且通孔与齿轮和齿排的啮合处对正，从而通过通孔处喷出的气流可实现齿轮和齿排的啮合处清洁。
附图说明
图1是本发明的轴视结构示意图。
图2是本发明图1的A处放大结构示意图。
图3是本发明的俯视结构示意图。
图4是本发明图3的B处放大结构示意图。
图5是本发明辅助结构剖开后的轴视结构示意图。
图6是本发明图5的C处放大结构示意图。
图7是本发明图5的主视结构示意图。
图8是本发明图7的D处放大结构示意图。
图中，部件名称与附图编号的对应关系为：
1、底座；101、安装座；102、齿排；103、固定螺栓；104、挡块；105、接触开关；2、滑动结构；201、滑动座；202、滑动块；203、加热管；204、通孔；205、辅助杆；3、干燥结构；301、转轴；302、叶片；303、齿轮；4、辅助结构；401、罩体；402、滑动杆；403、辅助板；404、弹性件；5、硅片。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不能用来限制本发明的范围。
在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例：
如附图1至附图8所示：
本发明提供一种硅片加工成型装置，包括底座1；
底座1为矩形板状结构；
底座1包括：
安装座101，安装座101焊接在底座1上，且底座1内插接有硅片5；
滑动结构2，滑动结构2焊接在底座1上；
干燥结构3，干燥结构3安装在滑动结构2上。
参考如图5，滑动结构2包括：
滑动座201，滑动座201共设有两个，且两个滑动座201对称焊接在底座1上，并且每个滑动座201上均滑动连接有一个滑动块202；
加热管203，加热管203安装在两个滑动块202上，且加热管203位于硅片5的上方位置，从而当滑动座201移动时通过加热管203可对硅片5进行烘干。
参考如图5，干燥结构3包括：
转轴301,转轴301转动连接在滑动块202上，且转轴301上呈矩形阵列状安装有叶片302，并且叶片302位于加热管203的正上方位置，从而一方面，当叶片302转动时可将加热管203产生的热量快速的吹向硅片5，另一方面，在维护时通过叶片302转动可实现加热管203上灰尘的清洁。
参考如图2，滑动结构2还包括：
通孔204，通孔204开设在右侧的滑动块202上，且通孔204还穿过罩体401；通孔204为柱形孔状结构，且通孔204与齿轮303和齿排102的啮合处对正，从而通过通孔204处喷出的气流可实现齿轮303和齿排102的啮合处清洁。
参考如图5，底座1还包括：
齿排102，齿排102通过四个固定螺栓103固定连接在底座1上，且四个固定螺栓103上均套接有一个弹性垫；
干燥结构3还包括：
齿轮303，齿轮303安装在转轴301上，且齿轮303与齿排102啮合，从而当滑动块202移动时通过齿轮303与齿排102啮合可实现叶片302的转动。
参考如图4和图5，底座1还包括：
挡块104，挡块104焊接在齿排102上，且挡块104位于左前侧固定螺栓103的前侧位置；挡块104上安装有接触开关105，且接触开关105与加热管203以及加热管203的供电单元电性相连，当接触开关105被触碰时加热管203处于断开状态。
参考如图3和图4，滑动结构2还包括：
辅助杆205，辅助杆205焊接在滑动块202上，且辅助杆205为L形块状结构；当辅助杆205的前端面与接触开关105接触时辅助杆205的右端面与左前侧固定螺栓103的左端面接触，从而当左前侧固定螺栓103松动后辅助杆205将无法实现与接触开关105的接触，进而辅助杆205可实现左前侧固定螺栓103的松动提示；
滑动结构2上焊接有辅助结构4。
参考如图5，辅助结构4包括：
罩体401，罩体401焊接在两个滑动块202上，且罩体401位于叶片302的上方位置；叶片302位于罩体401内，且罩体401组成了叶片302产生风力的限位遮挡结构，从而保证了叶片302产生的风力能够与硅片5接触。
参考如图5和图6，辅助结构4还包括：
滑动杆402，滑动杆402共设有四根，且四根滑动杆402均滑动连接在罩体401上；四根滑动杆402均为阶梯轴状结构，且四根滑动杆402均与辅助板403顶端面焊接相连；
弹性件404，弹性件404共设有四根，且四根弹性件404分别套接在四根滑动杆402上，并且四根弹性件404共同组成了滑动杆402和辅助板403的弹性复位结构。
参考如图5，辅助板403为矩形板状结构，且辅助板403底端面与叶片302弹性接触，并且叶片302组成了辅助板403的连续拨动结构，从而当叶片302转动时可实现辅助板403的往复运动，进而通过辅助板403的往复运动产生的气流可实现硅片5的风力干燥。
在另一实施例中，弹性件404可通过弹性伸缩杆来实现，通过弹性伸缩杆的伸缩实现辅助板403的往复运动方便快捷。
本实施例的具体使用方式与作用：
当滑动块202在滑动座201内滑动时，第一，因加热管203安装在两个滑动块202上，且加热管203位于硅片5的上方位置，从而当滑动座201移动时通过加热管203可对硅片5进行烘干；第二，因齿轮303安装在转轴301上，且齿轮303与齿排102啮合，从而当滑动块202移动时通过齿轮303与齿排102啮合可实现叶片302的转动；转轴301转动连接在滑动块202上，且转轴301上呈矩形阵列状安装有叶片302，并且叶片302位于加热管203的正上方位置，从而一方面，当叶片302转动时可将加热管203产生的热量快速的吹向硅片5，另一方面，在维护时通过叶片302转动可实现加热管203上灰尘的清洁；第三，因罩体401焊接在两个滑动块202上，且罩体401位于叶片302的上方位置；叶片302位于罩体401内，且罩体401组成了叶片302产生风力的限位遮挡结构，从而保证了叶片302产生的风力能够与硅片5接触；第四，因辅助板403为矩形板状结构，且辅助板403底端面与叶片302弹性接触，并且叶片302组成了辅助板403的连续拨动结构，从而当叶片302转动时可实现辅助板403的往复运动，进而通过辅助板403的往复运动产生的气流可实现硅片5的风力干燥；第五，因通孔204开设在右侧的滑动块202上，且通孔204还穿过罩体401；通孔204为柱形孔状结构，且通孔204与齿轮303和齿排102的啮合处对正，从而通过通孔204处喷出的气流可实现齿轮303和齿排102的啮合处清洁。
本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims (7)

1.一种硅片加工成型装置，其特征在于：包括底座(1)；
所述底座(1)为矩形板状结构；
底座(1)包括：
安装座(101)，所述安装座(101)焊接在底座(1)上，且底座(1)内插接有硅片(5)；
滑动结构(2)，所述滑动结构(2)焊接在底座(1)上；
所述滑动结构(2)包括：
滑动座(201)，滑动座(201)共设有两个，且两个滑动座(201)对称焊接在底座(1)上，并且每个滑动座(201)上均滑动连接有一个滑动块(202)；
加热管(203)，加热管(203)安装在两个滑动块(202)上；
干燥结构(3)，所述干燥结构(3)安装在滑动结构(2)上；
所述干燥结构(3)包括：
转轴(301),转轴(301)转动连接在滑动块(202)上，且转轴(301)上呈矩形阵列状安装有叶片(302)；
滑动结构(2)上焊接有辅助结构(4)；
所述辅助结构(4)包括：
罩体(401)，罩体(401)焊接在两个滑动块(202)上，且罩体(401)位于叶片(302)的上方位置；叶片(302)位于罩体(401)内，且罩体(401)组成了叶片(302)产生风力的限位遮挡结构；
滑动杆(402)，滑动杆(402)共设有四根，且四根滑动杆(402)均滑动连接在罩体(401)上；四根滑动杆(402)均为阶梯轴状结构，且四根滑动杆(402)均与辅助板(403)顶端面焊接相连；
弹性件(404)，弹性件(404)共设有四根，且四根弹性件(404)分别套接在四根滑动杆(402)上，并且四根弹性件(404)共同组成了滑动杆(402)和辅助板(403)的弹性复位结构；
所述辅助板(403)为矩形板状结构，且辅助板(403)底端面与叶片(302)弹性接触，并且叶片(302)组成了辅助板(403)的连续拨动结构。
2.如权利要求1所述一种硅片加工成型装置，其特征在于：所述加热管(203)位于硅片(5)的上方位置。
3.如权利要求1所述一种硅片加工成型装置，其特征在于：所述叶片(302)位于加热管(203)的正上方位置。
4.如权利要求1所述一种硅片加工成型装置，其特征在于：所述底座(1)还包括：
齿排(102)，齿排(102)通过四个固定螺栓(103)固定连接在底座(1)上，且四个固定螺栓(103)上均套接有一个弹性垫；
干燥结构(3)还包括：
齿轮(303)，齿轮(303)安装在转轴(301)上，且齿轮(303)与齿排(102)啮合。
5.如权利要求1所述一种硅片加工成型装置，其特征在于：所述底座(1)还包括：
挡块(104)，挡块(104)焊接在齿排(102)上，且挡块(104)位于左前侧固定螺栓(103)的前侧位置；挡块(104)上安装有接触开关(105)，且接触开关(105)与加热管(203)以及加热管(203)的供电单元电性相连，当接触开关(105)被触碰时加热管(203)处于断开状态。
6.如权利要求1所述一种硅片加工成型装置，其特征在于：所述滑动结构(2)还包括：
辅助杆(205)，辅助杆(205)焊接在滑动块(202)上，且辅助杆(205)为L形块状结构；当辅助杆(205)的前端面与接触开关(105)接触时辅助杆(205)的右端面与左前侧固定螺栓(103)的左端面接触。
7.如权利要求1所述一种硅片加工成型装置，其特征在于：所述滑动结构(2)还包括：
通孔(204)，通孔(204)开设在右侧的滑动块(202)上，且通孔(204)还穿过罩体(401)；通孔(204)为柱形孔状结构，且通孔(204)与齿轮(303)和齿排(102)的啮合处对正。
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