CN113281301A - 一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器 - Google Patents

一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器 Download PDF

Info

Publication number
CN113281301A
CN113281301A CN202110523208.1A CN202110523208A CN113281301A CN 113281301 A CN113281301 A CN 113281301A CN 202110523208 A CN202110523208 A CN 202110523208A CN 113281301 A CN113281301 A CN 113281301A
Authority
CN
China
Prior art keywords
resonant cavity
refractive index
ring
temperature sensor
waveguide
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202110523208.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN113281301B (zh
Inventor
肖功利
徐燕萍
杨宏艳
曾丽珍
欧泽涛
陈剑云
李海鸥
李琦
张法碧
傅涛
孙堂友
陈永和
刘兴鹏
王阳培华
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Guilin University of Electronic Technology
Original Assignee
Guilin University of Electronic Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Guilin University of Electronic Technology filed Critical Guilin University of Electronic Technology
Priority to CN202110523208.1A priority Critical patent/CN113281301B/zh
Publication of CN113281301A publication Critical patent/CN113281301A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN113281301B publication Critical patent/CN113281301B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41—Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K11/00—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00
    • G01K11/32—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using changes in transmittance, scattering or luminescence in optical fibres
    • G01K11/3206—Measuring temperature based upon physical or chemical changes not covered by groups G01K3/00, G01K5/00, G01K7/00 or G01K9/00 using changes in transmittance, scattering or luminescence in optical fibres at discrete locations in the fibre, e.g. using Bragg scattering

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Abstract

本发明公开一种圆环‑矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器，其传感器由圆环‑矩形复合形成的谐振腔以及在侧面耦合具有金属壁的金属‑绝缘体‑金属(MIM)波导组成。当入射光在波导中传输并耦合到谐振腔时，当满足共振条件时，可以产生Fano共振，在透射谱上出现三个尖锐非对称的共振峰。研究了该传感器的传输特性和传感特性，通过优化结构的几何参数，可以得到其最大的折射率灵敏度(S)为914nm/RIU。此外，在介质中填充乙醇，可实现高灵敏度的温度传感器，其最大灵敏度为0.35nm/℃。经研究该结构具有较高的灵敏度，在促进集成光子器件在纳米级光学传感方面具有潜在的应用前景。

Description

一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器
技术领域
本发明涉及纳米级传感器技术领域，具体是一种圆环-矩形谐振腔结构 的折射率、温度传感器。
背景技术
传感器是日常生活中用于检测装置的一种重要手段，其在化学分析， 生物监测等领域具有重要的应用。表面等离子激元(SPPs)发生在金属-电介质 界面上，其MIM结构具有高约束、低损耗、传输长度长、易于制造等优点。 Fano共振是由宽连续态和窄离散态的散射干涉引起的，可以产生尖锐的，不对 称的透射谱。基于MIM波导的Fano共振对周围的环境和结构参数变化异常敏 感，因此在设计传感器方面深受关注。
随着应用和技术需求，可以实现多次Fano共振并可同时获得高灵敏度 的折射率传感器和温度传感器变得至关重要。研究人员设计了大量基于MIM波 导的折射率传感器，包括M型腔，T型腔，环形腔，十字形腔等。另外，还研 究了基于光纤布拉格光栅传感器，基于Mach-Zehnder干涉仪结构的光学温度传 感器，基于封装微滴回音廊模式(WGM)谐振器的高灵敏度温度传感器等等。但 如何对多次Fano共振进行有效调节以及同时实现折射率传感和温度传感功能 的探讨却少见报道，因此本发明设计了一种带有金属壁的MIM波导的可调多 Fano共振的折射率和温度传感器。
发明内容
本发明的目的是提供一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器， 其结构简单，便于制作。
为了达到上述目的，本发明提供一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、 温度传感器，通过以下技术方案来实现：
一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器，其传感器由输入波 导，输出波导和矩形-圆环复合形成的谐振腔组成，其中矩形-圆环复合形成的 谐振腔在输入波导和输出波导的一侧；当TM波入射到波导时，在金属表面产 生表面等离子激元(SPPs)，SPPs通过MIM波导耦合到谐振腔中，从而产生 线型尖锐的非对称Fano共振，调节该结构的几何参数和填充液体可以调谐Fano 共振峰和线型变化。
上述技术方案可采用如下优选方式：
为使该结构只允许传输TM波，将波导的宽度w设为50nm；所述的矩 形宽度为80nm～120nm；所述的矩形高度为230nm～270nm；所述的圆环外半 径为：200nm～240nm；带金属壁的MIM波导与矩形-圆环复合形成的谐振腔之 间的距离为：10nm～30nm；在所述的输入波导，输出波导和矩形-圆环复合形 成的谐振腔中填充液体材料实现折射率传感，其折射率范围为：1.33～1.43；在 在所述的输入波导，输出波导和矩形-圆环复合形成的谐振腔中填充乙醇材料 时，可以实现温度传感，环境温度范围为：-100℃～60℃。
与现有技术相比，本发明具有如下优点：
(1)该传感器可以获得多次Fano共振，通过改变结构的几何参数，可 以实现Fano共振的多峰调谐和线型变化，可以有效提升纳米传感器的应用范围。
(2)在该结构中的输入波导，输出波导和矩形-圆环复合形成的谐振腔 中填充液体材料时，可以实现折射率传感，在其填充乙醇时，可以实现温度传 感，因此该结构可以同时实现折射率传感和温度传感。该传感器具有结构简单， 集成度高，便于加工，在生物化学传感方面具有广泛的应用前景。
附图说明
图1为一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器二维结构示意 图。
图2为改变带金属壁的MIM波导与矩形-圆环复合形成的谐振腔之间的 距离g(10nm、15nm、20nm、25nm、30nm)，得到的透射光谱曲线图。
图3为改变矩形宽度L(80nm、90nm、100nm、110nm、120nm)，得 到的透射光谱曲线图。
图4为改变矩形高度d(230nm、240nm、250nm、260nm、270nm)， 得到的透射光谱曲线图。
图5为改变圆环外半径R(200nm、210nm、220nm、230nm、240nm)， 得到的透射光谱曲线图。
图6为通过改变输入波导，输出波导和矩形-圆环复合形成的谐振腔中 的折射率n(1.33、1.35、1.37、1.39、1.41、1.43)，得到传感器的传输特性曲 线。
图7为折射率n(1.33、1.35、1.37、1.39、1.41、1.43)与共振波长的 线性曲线。
图8为在输入波导，输出波导和矩形-圆环复合形成的谐振腔中填充乙 醇，不同环境温度T(-100℃、-60℃、-20℃、20℃、60℃)下的透射光谱曲线。
图9为环境温度T与共振波长的线性曲线。
具体实施方式
为了更好的理解本发明，下面结合实施例及附图对本发明作进一步解释 说明，以下实施例仅对本发明进行说明并非对其加以限制。
如图1所示，一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器，在金属 层(5)上刻蚀输入波导(1)，输出波导(2)和矩形(3)-圆环(4)复合形成 的谐振腔，其中矩形(3)-圆环(4)复合形成的谐振腔在输入波导和输出波导 的一侧，本实施例中金属层(5)为银材料。使光源在左端口入射，右端口输出， 求解偏微分方程，进行仿真计算。
如图2所示，在t＝20nm，R＝200nm，L＝100nm，d＝250nm保持不变下， 以5nm的步长使耦合距离g从10nm增加到30nm。由图可以看出，随着g的增 加，透射率有明显的下降趋势，同时共振波长有轻微的移动，这可能是因为耦 合区域的局部SPPs模的有效折射率的微扰所致的。
如图3所示，在t＝20nm，g＝10nm，R＝200nm，d＝250nm保持不变下， 矩形的宽度L以10nm的步长从80nm增加到100nm，由图可知，随着L的增加， 谐振腔的有效长度减小，FR1，FR2，FR3的谐振波长出现蓝移。
如图4所示，在t＝20nm，g＝10nm，R＝200nm，L＝100nm保持不变下， 矩形的高度d以10nm的步长从230nm增加到270nm。由图得出，随着d的增加， 谐振腔的有效长度增大，FR1，FR3的共振波长出现红移，FR2与变化与矩形d 无关，因此FR2共振波长基本不变。
如图5所示，t＝20nm，g＝10nm，L＝100nm，d＝250nm保持不变下，环形 谐振腔的外半径R以10nm的步长从190nm到230nm。可以从图中观察到，随 着R的增大，三个共振波长出现明显的红移，说明Fano共振峰主要由暗模式决 定的，R的增加导致窄带离散态的光谱中的共振波长增加，因此出现共振波长红 移的现象。
以上结果说明，通过改变该几个的几何参数可以有效调节多次Fano共 振峰。
下面研究该结构的Fano共振在传感特性方面的应用，首先是该结构的 折射率传感特性。
如图6所示，在其它参数保持不变的情况下，使介质的折射率n以0.02 的步长从1.33增加到1.43。可以看出，随着折射率的增加，三个Fano共振峰出 现明显的线性红移。
如图7所示，为不同折射率和共振波长之间的线性关系曲线图。基于此 关系曲线，根据灵敏度(S)公式：S＝dλ/dn(nm/RIU)表示为因介质折射率的变 化引起的共振波长的偏移。得到三个Fano共振的灵敏度分别为654nm/RIU， 722nm/RIU，914nm/RIU，可知灵敏度是评估传感特性的一个重要参数。
接下来，我们通过分析透射光谱来研究结构的温度传感特性。在结构的 介质中填充乙醇材料，因乙醇具有较高的折射率温度系数并且其折射率可以随温 度呈线性变化，所以用该结构可以实现纳米级的温度传感器乙醇的折射率可以定 义为：n＝n0-dn/dT(T-T0)其中T0表示室温为20℃，T为T0温度下的环境温度， n0为T0温度下的介质折射率，其值为n0＝1.36084，dn/dT表示为因环境温度的 变化引起乙醇折射率的变换，其值为dn/dT＝3.94×10-4。因为乙醇的熔点为 -114.3℃，沸点为78℃，因此环境温度T以步长为40℃从-100℃到60℃范围进 行分析。
如图8所示，为不同环境温度下的透射光谱，由图可知随着T的增加， 共振波长出现蓝移。因为由乙醇折射率公式可知，随着T的增大，乙醇折射率n 明显下降。
如图9所示，为环境温度T和共振波长之间的线性关系曲线图,其温度 传感器灵敏度可定义为：dλ/dT(nm/℃)，由图可以明显得出其线性关系，并且得 到三个Fano共振的温度灵敏度分别为0.25nm/℃，0.29nm/℃，0.35nm/℃。
以上所述实施方式仅仅是对本发明进行了具体说明，并非是限制于本发 明范围，在不脱离本发明的原理前提下，凡是在本领域技术人员对本发明的技 术方案做出各种等同的变形或改进，均视为在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器，其特征在于：在金属层(5)上刻蚀输入波导(1)，输出波导(2)和矩形(3)-圆环(4)复合形成的谐振腔，其中矩形(3)-圆环(4)复合形成的谐振腔在输入波导和输出波导的一侧；
当TM波入射到波导时，在金属表面产生表面等离子激元(SPPs)，SPPs通过MIM波导耦合到谐振腔中，从而产生线型尖锐的非对称Fano共振，调节该结构的几何参数和填充液体可以调谐Fano共振峰和线型变化。
2.根据权利要求1所述一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器，其特征在于：为使该结构只允许传输TM波，将波导的宽度w设为50nm。
3.根据权利要求1所述一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器，其特征在于：谐振腔由矩形(3)-圆环(4)复合形成，改变矩形的长度和高度以及圆环外半径时，使Fano共振峰发生变化。
4.根据权利要求1所述一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器，其特征在于：改变带金属壁的MIM波导与矩形-圆环复合形成的谐振腔之间的距离会使透射谱发生变化。
5.根据权利要求1所述一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器，其特征在于：金属层(5)为银材料。
6.根据权利要求1所述一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器，其特征在于：在输入波导(1)，输出波导(2)和矩形(3)-圆环(4)复合形成的谐振腔中填充液体材料，实现折射率传感，其折射率范围为1.33～1.43。
7.根据权利要求1所述一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器，其特征在于：在在输入波导(1)，输出波导(2)和矩形(3)-圆环(4)复合形成的谐振腔中填充乙醇时，可以实现该结构的温度传感。
CN202110523208.1A 2021-05-13 2021-05-13 一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器 Active CN113281301B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110523208.1A CN113281301B (zh) 2021-05-13 2021-05-13 一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110523208.1A CN113281301B (zh) 2021-05-13 2021-05-13 一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN113281301A true CN113281301A (zh) 2021-08-20
CN113281301B CN113281301B (zh) 2022-10-04

Family

ID=77278799

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110523208.1A Active CN113281301B (zh) 2021-05-13 2021-05-13 一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113281301B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114720423A (zh) * 2022-03-10 2022-07-08 北京化工大学 一种高灵敏度折射率纳米传感器
CN114778488A (zh) * 2022-03-09 2022-07-22 中国科学院合肥物质科学研究院 一种基于开环腔耦合MIM波导的多重Fano共振折射率传感器
CN115453433A (zh) * 2022-11-09 2022-12-09 南方电网数字电网研究院有限公司 石墨烯非对称结构磁传感器及其参数确定方法

Citations (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060170931A1 (en) * 2003-08-13 2006-08-03 The Regents Of The University Of Michigan Biochemical sensors with micro-resonators
US20080008418A1 (en) * 2006-03-29 2008-01-10 3M Innovative Properties Company Coupling light into microresonators
BRPI0606051A (pt) * 2006-09-14 2008-04-29 Faculdade Catolicas sensor óptico de temperatura e pressão e uso do mesmo
CN101196596A (zh) * 2007-10-24 2008-06-11 北京航空航天大学 基于双环谐振腔的可调光学陷波滤波器
US20080266573A1 (en) * 2006-11-03 2008-10-30 Chung-An University Industry Academy Cooperation Foundation Micro resonator sensor
US20090214159A1 (en) * 2008-02-26 2009-08-27 Sungkyunkwan University Foundation For Corporate Collaboration Metal waveguide device and nano plasmonic integrated circuits and optical integrated circuit module using the same
JP2012002510A (ja) * 2010-06-14 2012-01-05 Nara Institute Of Science & Technology 金属ナノ粒子の選択配置方法
JP2012083168A (ja) * 2010-10-08 2012-04-26 Konica Minolta Holdings Inc 微小物質検出センサおよびそれを有する微小物質検出装置
US20120281957A1 (en) * 2011-05-08 2012-11-08 Georgia Tech Research Corporation Plasmonic and photonic resonator structures and methods for large electromagnetic field enhancements
CN105259141A (zh) * 2015-10-30 2016-01-20 山东大学 一种基于多孔铝膜结构的表面等离子共振高折射率传感器及其应用
CN105300926A (zh) * 2015-10-14 2016-02-03 西安石油大学 基于微光纤环谐振腔的折射率传感器
CN105954892A (zh) * 2016-06-28 2016-09-21 东南大学 一种基于SOI的Si-PLZT异质结结构的混合型电光环形调制器
CN206431044U (zh) * 2017-01-16 2017-08-22 中北大学 基于金属介质波导耦合谐振腔Fano共振的折射率传感单元
US20170343750A1 (en) * 2016-05-27 2017-11-30 Nxgen Partners Ip, Llc System and method for tranmissions using eliptical core fibers
CN208206796U (zh) * 2018-04-10 2018-12-07 西北师范大学 基于mim波导耦合矩形和双圆环形谐振腔的折射率传感器
CN109030415A (zh) * 2018-07-16 2018-12-18 南京邮电大学 一种基于双Fano共振的折射率传感器
CN109100331A (zh) * 2018-07-02 2018-12-28 桂林电子科技大学 一种正六边形晶格结构的金属孔阵列等离激元光纤传感器
CN109270031A (zh) * 2018-09-06 2019-01-25 桂林电子科技大学 一种圆环-矩形复合纳米孔阵列表面等离激元光纤传感器
CN110927113A (zh) * 2019-10-29 2020-03-27 桂林电子科技大学 一种纤维集成氢气传感器及其制作方法
CN110987037A (zh) * 2019-12-11 2020-04-10 岭东核电有限公司 基于光纤光栅传感器的核电环境安全监测方法及装置

Patent Citations (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20060170931A1 (en) * 2003-08-13 2006-08-03 The Regents Of The University Of Michigan Biochemical sensors with micro-resonators
US20080008418A1 (en) * 2006-03-29 2008-01-10 3M Innovative Properties Company Coupling light into microresonators
BRPI0606051A (pt) * 2006-09-14 2008-04-29 Faculdade Catolicas sensor óptico de temperatura e pressão e uso do mesmo
US20080266573A1 (en) * 2006-11-03 2008-10-30 Chung-An University Industry Academy Cooperation Foundation Micro resonator sensor
CN101196596A (zh) * 2007-10-24 2008-06-11 北京航空航天大学 基于双环谐振腔的可调光学陷波滤波器
US20090214159A1 (en) * 2008-02-26 2009-08-27 Sungkyunkwan University Foundation For Corporate Collaboration Metal waveguide device and nano plasmonic integrated circuits and optical integrated circuit module using the same
JP2012002510A (ja) * 2010-06-14 2012-01-05 Nara Institute Of Science & Technology 金属ナノ粒子の選択配置方法
JP2012083168A (ja) * 2010-10-08 2012-04-26 Konica Minolta Holdings Inc 微小物質検出センサおよびそれを有する微小物質検出装置
US20120281957A1 (en) * 2011-05-08 2012-11-08 Georgia Tech Research Corporation Plasmonic and photonic resonator structures and methods for large electromagnetic field enhancements
CN105300926A (zh) * 2015-10-14 2016-02-03 西安石油大学 基于微光纤环谐振腔的折射率传感器
CN105259141A (zh) * 2015-10-30 2016-01-20 山东大学 一种基于多孔铝膜结构的表面等离子共振高折射率传感器及其应用
US20170343750A1 (en) * 2016-05-27 2017-11-30 Nxgen Partners Ip, Llc System and method for tranmissions using eliptical core fibers
CN105954892A (zh) * 2016-06-28 2016-09-21 东南大学 一种基于SOI的Si-PLZT异质结结构的混合型电光环形调制器
CN206431044U (zh) * 2017-01-16 2017-08-22 中北大学 基于金属介质波导耦合谐振腔Fano共振的折射率传感单元
CN208206796U (zh) * 2018-04-10 2018-12-07 西北师范大学 基于mim波导耦合矩形和双圆环形谐振腔的折射率传感器
CN109100331A (zh) * 2018-07-02 2018-12-28 桂林电子科技大学 一种正六边形晶格结构的金属孔阵列等离激元光纤传感器
CN109030415A (zh) * 2018-07-16 2018-12-18 南京邮电大学 一种基于双Fano共振的折射率传感器
CN109270031A (zh) * 2018-09-06 2019-01-25 桂林电子科技大学 一种圆环-矩形复合纳米孔阵列表面等离激元光纤传感器
CN110927113A (zh) * 2019-10-29 2020-03-27 桂林电子科技大学 一种纤维集成氢气传感器及其制作方法
CN110987037A (zh) * 2019-12-11 2020-04-10 岭东核电有限公司 基于光纤光栅传感器的核电环境安全监测方法及装置

Non-Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
N.L.KAZANSKIY ET,AL: "Plasmonic sensors based on Metal-insulator-metal waveguides for refractive index sensing applications:A brief review", 《PHYSICA E:LOW-DIMENSIONAL SYSTEMS AND NANOSTRUCTURES》 *
ZHAO CHEN ET,AL: "High sensitivity plasmonic sensing based on Fano interference in a rectangular ring waveguide", 《OPTICS COMMUNICATIONS》 *
ZIXUAN XU ET,AL: "Plasmonic-induced transparency based on MIM waveguide achieved by the structure including a rectangular ring and a rectangular strip", 《SPIE NANOSCIENCE+ENGINEERING》 *
杨宏艳 等: "纳米金属复合孔阵列强透射折射率传感器研究", 《深圳大学学报理工版》 *
魏国强 等: "带有同心双圆环谐振腔的MIM波导的Fano谐振特性研究", 《量子光学学报》 *

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114778488A (zh) * 2022-03-09 2022-07-22 中国科学院合肥物质科学研究院 一种基于开环腔耦合MIM波导的多重Fano共振折射率传感器
CN114778488B (zh) * 2022-03-09 2023-08-11 中国科学院合肥物质科学研究院 一种基于开环腔耦合MIM波导的多重Fano共振折射率传感器
CN114720423A (zh) * 2022-03-10 2022-07-08 北京化工大学 一种高灵敏度折射率纳米传感器
CN115453433A (zh) * 2022-11-09 2022-12-09 南方电网数字电网研究院有限公司 石墨烯非对称结构磁传感器及其参数确定方法
CN115453433B (zh) * 2022-11-09 2023-01-20 南方电网数字电网研究院有限公司 石墨烯非对称结构磁传感器及其参数确定方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN113281301B (zh) 2022-10-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Rakhshani Refractive index sensor based on dual side-coupled rectangular resonators and nanorods array for medical applications
CN113281301A (zh) 一种圆环-矩形谐振腔结构的折射率、温度传感器
Hajshahvaladi et al. A high-sensitivity refractive index biosensor based on Si nanorings coupled to plasmonic nanohole arrays for glucose detection in water solution
Wu et al. Plasmon-induced transparency and refractive index sensing in side-coupled stub-hexagon resonators
Sahu et al. Porous silicon based Bragg-grating resonator for refractive index biosensor
Gowdhami et al. Photonic crystal based biosensors: An overview
CN108519352A (zh) 一种基于金属-介质-金属波导布拉格光栅的折射率传感器
CN112881339B (zh) 基于Fano共振的侧边耦合波导谐振腔的溶液浓度传感器
Kwon Deep subwavelength-scale metal–insulator–metal plasmonic disk cavities for refractive index sensors
CN109030415A (zh) 一种基于双Fano共振的折射率传感器
CN113252607A (zh) 基于Tamm/Fano共振的折射率传感器
Yadav et al. High sensitivity plasmonic refractive index sensor for early anaemia detection
Bensalah et al. Design and Analysis of a Mid-Infrared Ultra-High Sensitive Sensor Based on Metal-Insulator-Metal Structure and Its Application for Temperature and Detection of Glucose.
Cui et al. Band-stop filter and narrow band-pass filter based on metal-insulator-metal waveguide
Bahri et al. A high-sensitivity biosensor based on a metal–insulator–metal diamond resonator and application for biochemical and environment detections
Goyal et al. Performance analysis of organic material assisted dynamically tunable excitation of optical Tamm state
CN112098366B (zh) 一种实现三个Fano共振的内嵌双U型折射率传感器
CN110068893B (zh) 一种含局部中间折射率包层的双直波导微环结构
Li et al. Tunable plasmonically induced reflection in HRR-coupled MIM waveguide structure
Adhikari et al. Enhanced coupling efficiency in metal–dielectric–metal waveguide-ring structure for plasmonic temperature sensor and sucrose concentration detector
Tang et al. Design and optimization of hexagonal SPR-based photonic crystal fiber magnetic field sensor with magnetic fluid infiltration
Wei et al. Fano resonance in MDM plasmonic waveguides coupled with split ring resonator
CN110596041A (zh) 一种基于等离子体金刚石纳米环的折射率传感器
CN110261000A (zh) 一种基于Fano共振的温度传感器
Alzahrani et al. Phase change material and MXene composited refractive index sensor for a wide range of sensing applications at visible and infrared wavelength spectrum

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant