CN113251909A - 用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置与方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供了用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置与方法。标定装置包括：底座；固定于所述底座的位移导轨；滑动连接于所述位移导轨的位移平台；位移调节机构，所述位移调节机构用于使所述位移平台在所述位移导轨上可控地移动；x轴位移传感器支架，所述x轴位移传感器支架用于将x轴位移传感器设置于所述位移平台的滑动方向上；y轴位移传感器支架，所述y轴位移传感器支架用于将所述y轴位移传感器设置于y轴上。标定方法是通过调节x轴位移传感器和/或y轴位移传感器与试验样件的位置，得到单支电涡流传感器测量转轴位移的标定、电涡流传感器中心线位置偏差标定及电涡流传感器相互干扰标定的标定方法。

Description

用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置与方法

技术领域

本申请涉及传感器标定技术领域，特别是涉及一种用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置与用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定方法。

背景技术

电涡流传感器是一种可用于测量物体位移的装置，由于其测量精度高、响应速度快、抗干扰及污染能力强等特点，在测量领域得到了广泛的应用。

电涡流传感器在用于各种转轴位移测量时，通常需要2支电涡流传感器，在垂直于转轴中心线的某一平面中，以90°夹角布置，从而测量转轴在垂直于转轴中心线的特定平面内的运动轨迹。

在电涡流传感器的标定中，通常采用与转轴材料相同的平面测试样件进行标定，而不是针对转轴的圆柱面进行标定。当电涡流传感器用于转轴位移测量时，随着转轴直径的减小，转轴表面曲率增加，电涡流传感器测得的信号与平面测试样件测得的信号偏差增大，从而带来测量误差。

此外，为保证测量精度，电涡流传感器中心线应与转轴中心线相交且垂直。然而，在实际工程中，电涡流传感器中心线与转轴中心线不可避免地存在着一定的位置偏差。随着转轴直径的减小，电涡流传感器中心线位置偏差给测量带来的误差也将增大。现有电涡流传感器标定平台无法针对传感器中心线位置偏差对信号的影响进行测量。

同时，随着转轴直径的减小，布置在同一平面内的2支传感器在转轴表面上形成的电涡流感应区域开始相互叠加且叠加程度不断增大，从而造成信号干涉，增加测量误差。现有电涡流传感器标定平台只能针对单支传感器进行标定，无法考虑到同一平面上以一定夹角布置的2支传感器相互干扰的影响。

现有电涡流传感在测量转轴位移的应用中，为避免上述测量误差，通常要求转轴直径不低于电涡流传感器探头直径的3倍甚至10倍，大大限制了电涡流传感器在中小型旋转机械转轴位移测量中的应用。

发明内容

为了改善或解决背景技术中存在的至少一个问题，本申请提供了一种用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置与用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定方法。

该用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置包括：

底座；

位移导轨，所述位移导轨固定于所述底座；

位移平台，所述位移平台滑动连接于所述位移导轨；

位移调节机构，所述位移调节机构用于使所述位移平台在所述位移导轨上可控地移动；

x轴位移传感器支架，所述x轴位移传感器支架用于将x轴位移传感器设置于所述位移平台的滑动方向上，所述位移平台的滑动方向为x轴；

y轴位移传感器支架，所述y轴位移传感器支架用于将y轴位移传感器设置于y轴上，所述y轴与所述x轴垂直。

在至少一个实施方式中，所述位移平台用于固定试验样件，

所述x轴位移传感器是电涡流传感器，

所述y轴位移传感器是电涡流传感器。

在至少一个实施方式中，所述试验样件为圆柱体，所述试验样件的中心线垂直于所述位移平台，

所述x轴位移传感器支架具有与所述试验样件的圆周面相对并且用于安装所述x轴位移传感器的螺纹孔，从而使所述x轴位移传感器被定位成其中心线与所述试验样件的中心线相交，并且/或者，所述y轴位移传感器支架具有与所述试验样件的圆周面相对并且用于安装所述y轴位移传感器的螺纹孔，从而使所述y轴位移传感器被定位成其中心线与所述试验样件的中心线相交。

在至少一个实施方式中，标定装置还包括x轴位移测量装置，

所述x轴位移测量装置设置于所述x轴，所述x轴位移测量装置用于测量所述位移平台的移动距离。

在至少一个实施方式中，标定装置还包括y轴位移测量装置，

所述y轴位移测量装置用于测量所述y轴位移传感器的探头与所述试验样件在所述y轴上的距离。

在至少一个实施方式中，所述位移调节机构为螺杆，所述螺杆螺旋配合于所述位移导轨，所述螺杆抵接于所述位移平台，

所述螺杆能够沿着所述x轴移动，使得所述位移平台相对于所述位移导轨滑动。

在至少一个实施方式中，所述位移调节机构为滑杆，所述滑杆滑动配合于所述位移导轨，所述滑杆抵接于所述位移平台，

所述滑杆能够沿着所述x轴移动，使得所述位移平台相对于所述位移导轨滑动。

在至少一个实施方式中，所述位移调节机构上具有标定所述位移平台移动距离的刻度。

在至少一个实施方式中，所述底座上具有成阵列分布的多个定位孔，所述定位孔用于将所述位移导轨、所述x轴位移传感器支架、所述y轴位移传感器支架固定到所述底座上。

该用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定方法为单支电涡流传感器测量转轴位移标定法，

所述单支电涡流传感器测量转轴位移标定法包括：

提供试验样件，所述试验样件为柱形；

提供单支电涡流传感器和距离测量装置，并将所述电涡流传感器和所述距离测量装置定位成与所述试验样件的圆周面相对，移动所述电涡流传感器，记录所述电涡流传感器与所述试验样件的柱面在不同距离下的所述电涡流传感器的电压读数。

该用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定方法为电涡流传感器中心线位置偏差标定法，

所述电涡流传感器中心线位置偏差标定法包括：

提供试验样件，所述试验样件为柱形；

提供单支电涡流传感器，所述电涡流传感器为柱形，将所述电涡流传感器定位成与所述试验样件的圆周面相对；

使所述电涡流传感器的中心线与所述试验样件的中心线垂直相交，将此位置定义为中心线位置偏差为0，所述电涡流传感器的中心线方向为y轴方向，与所述y轴垂直且与所述试验样件的中心线垂直的方向为x轴方向；

保持所述电涡流传感器的探头位置与所述试验样件的圆柱表面的在所述y轴上的间隔距离固定，在所述x轴方向上移动所述试验样件或所述电涡流传感器，使得所述电涡流传感器的中心线与所述试验样件的中心线产生偏差距离；

记录不同偏差距离下所述电涡流传感器的电压读数。

该用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定方法为电涡流传感器相互干扰标定法，

所述电涡流传感器相互干扰标定法包括：

提供试验样件，所述试验样件为柱形；

提供设置于x轴上的x轴位移传感器，所述x轴位移传感器为电涡流传感器，将所述x轴位移传感器设置成与所述试验样件的圆周面相对，且垂直于所述试验样件的中心线；

提供设置于y轴上的y轴位移传感器，所述y轴位移传感器为电涡流传感器，将所述y轴位移传感器设置成与所述试验样件的圆周面相对，且垂直于所述试验样件的中心线，所述y轴与所述x轴垂直；

保持所述x轴位移传感器与所述试验样件位置固定，调节并测量所述y轴位移传感器与所述试验样件的距离，记录所述y轴位移传感器与所述试验样件的圆周面不同距离时所述x轴位移传感器的电压读数。

在至少一个实施方式中，所述标定方法使用前述的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置。

通过本申请提供的标定装置，利用位移平台和位移导轨可以实现在例如柱形样件、传感器与试验样件中心线偏差、传感器干扰条件下对样件的标定，得到不同情况下的偏差特性曲线，作为误差补偿基础，以减小或消除电涡流传感器在用于转轴位移测量时产生的误差。

通过本申请提供的单支电涡流传感器测量转轴位移的标定、电涡流传感器中心线位置偏差标定及电涡流传感器相互干扰标定的标定方法，可以得到不同情况下的偏差特性曲线，作为误差补偿基础，以减小或消除电涡流传感器在用于转轴位移测量时产生的误差。

附图说明

图1示出了根据本申请实施方式的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置的结构示意图。

图2示出了根据本申请实施方式的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置的工作原理示意图。

图3示出了根据本申请实施方式的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置的单支电涡流传感器测量转轴位移的标定方法原理图。

图4是图3的位移-电压特性曲线图。

图5示出了根据本申请实施方式的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置的电涡流传感器中心线位置偏差标定方法原理图。

图6是图5的中心线位置偏差-电压特性曲线图。

图7示出了根据本申请实施方式的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置的电涡流传感器相互干扰标定方法原理图。

图8是图7的干扰距离-电压特性曲线图。

附图标记说明

101底座；102位移导轨；103位移调节装置；104位移平台；105试验样件；106x轴位移传感器支架；107x轴位移传感器；108x轴位移测量装置；109y轴位移传感器支架；110y轴位移传感器；111定位孔；112螺栓；

701x轴位移传感器磁感应区域；702y轴位移传感器磁感应区域。

具体实施方式

下面参照附图描述本发明的示例性实施方式。应当理解，这些具体的说明仅用于示教本领域技术人员如何实施本发明，而不用于穷举本发明的所有可行的方式，也不用于限制本发明的范围。

本申请提供了用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置，用于在获取某种因素下(形状、位置、干扰等)电涡流传感器的输出特性，获得影响因素-传感器特性曲线。

通过本申请的装置与方法，例如厂家或研究人员可以系统地获取某种特定的影响因素的影响下，电涡流传感器工作特性的变化规律。例如厂家或研究人员可以对这些影响规律制作成误差补偿表，例如可以指导传感器使用者在不需要针对特定材料、直径、偏差、干扰等进行专门标定的情况下，仅依靠误差补偿表来进行修正，从而提高测量精度。

如图1所示，用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置可以包括底座101、位移导轨102、位移调节装置103、位移平台104、试验样件105、x轴位移传感器支架106、x轴位移传感器107、x轴位移测量装置108、y轴位移传感器支架109、y轴位移传感器110和电涡流传感器信号采集装置(未示出)。可以理解，试验样件105可以有多个，多个试验样件105可以具有不同的材料或直径。另外，试验样件105不必须作为标定装置的一部分，该标定装置可以用于对标定装置的使用者的各试验样件进行标定。

底座101用于固定位移导轨102、x轴位移传感器支架106和y轴位移传感器支架109。底座101上可以设置有若干成阵列分布的定位孔111。

位移导轨102、x轴位移传感器支架106和y轴位移传感器支架109可以通过定位孔111、螺栓112固定在底座101上。

位移调节装置103可以为螺杆，螺杆螺旋配合于位移导轨102，通过旋转螺杆使螺杆沿螺杆的中心线方向移动(螺旋旋进、退出)。位移调节装置103上可以设置刻度，指示移动距离。或者，位移调节装置103为滑杆，滑杆能够相对于位移导轨102移动。

位移平台104可以为滑块，安装在位移导轨102上。位移调节装置103的螺杆或滑杆可以抵接位移平台104，随着位移调节装置103上螺杆的螺旋旋进或滑杆滑动，位移平台104沿螺杆或滑杆的中心线方向移动。位移平台104上可以设置定位孔或夹具等，用于定位试验样件105。即，可以通过操作位移调节装置103，实现试验样件105在位移导轨102上的可控移动。

试验样件105通常采用与转轴等直径的圆柱形，也可根据标定试验需要，采用其他形状。试验样件105的中心线方向通常垂直于位移平台104所在平面。

取位移平台104的运动方向为x轴方向，沿x轴方向设置有x轴位移传感器支架106。x轴位移传感器支架106可以通过螺栓112固定在底座101上。可以理解，优选但非必须地，位移调节装置103的运动方向与位移平台104的运动方向相同。

x轴位移传感器支架106上设置有与试验样件105的圆周面相对并且用于安装x轴位移传感器107的螺纹孔，使得x轴位移传感器107被定位成其中心线与试验样件105的中心线相交。当试验样件105随位移平台104沿x轴方向移动时，试验样件105与x轴位移传感器107之间的间隙产生变化，从而产生相应的电信号。电信号由相应的信号采集装置记录。

x轴位移传感器支架106还可以设置定位孔，用于固定x轴位移测量装置108。x轴位移测量装置108可以采用机械式、光电式或其他形式。x轴位移测量装置108能够测量试验样件105沿x轴方向的移动距离，配合x轴位移传感器的电信号，得出距离-电信号对应规律。

优选地，x轴位移传感器107的中心线与x轴重合并穿过试验样件105的中心线，将同时与x轴位移传感器107的中心线、试验样件105的中心线相交且垂直的方向取为y轴方向。沿y轴方向设置有y轴位移传感器支架109。y轴位移传感器支架109可以通过螺栓112固定在底座101上。可以理解，电涡流传感器可以近似为柱形，且电涡流传感器的探头朝向试验样件105。电涡流传感器的探测范围为试验样件105的部分柱面，探测范围例如为图7所示的x轴位移传感器磁感应区域701与y轴位移传感器磁感应区域702。

相应地，y轴位移传感器支架109上也可以具有与试验样件105的圆周面相对并且用于安装y轴位移传感器110的螺纹孔，使得y轴位移传感器110被定位成其中心线与试验样件105的中心线相交。试验样件105沿x轴移动，可以模拟y轴位移传感器110的中心线与试验样件105的中心线位置偏差，从而对y轴位移传感器110电信号产生影响。电信号由相应的信号采集装置记录。

可以改变y轴位移传感器110到试验样件105的距离，实现y轴位移传感器110对x轴位移传感器107电信号不同程度的干扰。移动y轴位移传感器110的方法包括但不限于改变y轴位移传感器支架109在底座101上的固定位置和/或改变y轴位移传感器110在y轴位移传感器支架109上的安装位置。y轴位移可以采用卡尺等测量工具测量。

为了方便改变y轴位移传感器110到试验样件105的距离，可以改变y轴位移传感器110与y轴位移传感器支架109的安装方式，例如包括但不限于光滑面配合，使得y轴位移传感器110可以相对于y轴位移传感器支架109滑动。使得在不移动y轴位移传感器支架109的前提下，移动y轴位移传感器110，使采样距离的间隔更小。

如图2所示，本申请还提供了用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定方法，包括单支电涡流传感器测量转轴位移标定法、电涡流传感器中心线位置偏差标定法及电涡流传感器相互干扰标定法。

如图3、4所示，单支电涡流传感器测量转轴位移标定法包括，将试验样件105固定在位移平台104上，安装x轴位移传感器107，不安装y轴位移传感器110。x轴位移传感器107头部与试验样件105圆柱表面的间隔调节到x轴位移传感器107量程起点，记录电信号读数。操作位移调节装置103，使试验样件105沿x轴方向移动一定距离，记录电信号读数、x轴位移传感器107的电压读数及x轴位移测量装置108读数。

重复上述步骤，直至x轴位移传感器107探头位置与试验样件105圆柱表面的间隔达到x轴位移传感器107量程终点。得到如图3所示的位移-电压特性曲线，横坐标表示试验样件105的位移，纵坐标表示x轴位移传感器107的电压读数。还可以通过逐步改变试验样件105的直径，得到同种材料前提下试验样件105的直径与电涡流传感器的电压特性曲线。

如图5、6所示，电涡流传感器中心线位置偏差标定法包括，将试验样件105固定在位移平台104上，仅安装y轴位移传感器110，不安装x轴位移传感器107。y轴位移传感器110探头位置与试验样件105圆柱表面的间隔调节到y轴位移传感器110量程中某一点。操作位移调节装置103，使y轴位移传感器110的中心线与试验样件105的中心线垂直相交，此时y轴位移传感器110的中心线位置偏差为0，记录y轴位移传感器110的电压读数。操作位移调节装置103，使试验样件105沿x轴移动一定距离，记录y轴位移传感器110的电压读数及x轴位移测量装置108读数。

重复上述步骤，直至y轴位移传感器110的中心线位置偏差达到设定的最大值。得到如图6所示的偏差-电压特性曲线，横坐标表示y轴位移传感器110的中心线与试验样件105的中心线(在x轴方向上)的偏差，纵坐标表示y轴位移传感器110的电压读数。还可以改变y轴位移传感器110探头位置与试验样件105圆柱表面的间隔，得到不同间隔条件下的偏差-电压特性曲线。

如图7、8所示，电涡流传感器相互干扰标定法包括，将试验样件105固定在位移平台104，同时安装x轴位移传感器107、y轴位移传感器110。保持试验样件105、x轴位移传感器107位置固定，调节并测量y轴位移传感器110到试验样件105的距离(例如，图7中用实线和虚线示出了两个不同距离的距离差Δy)，记录该干扰距离下x轴位移传感器107的电压读数，从而得到如图8所示干扰距离-电压特性曲线，横坐标表示y轴位移传感器110到试验样件105的距离，纵坐标表示x轴位移传感器107的电压读数。

基于本申请提供的实验装置，还可以调整x轴位移传感器107的移动方式、y轴位移传感器110的移动方式，试验样件105的固定方式等，使标定试验能够顺利进行即可。

可以理解，实际工程中可以根据上述试验得到的特征曲线作为补偿算法的依据，综合分析、计算耦合情况，以消除或减少电涡流传感器在用于转轴位移测量时产生的误差。

本申请提供的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置与方法的有益效果包括：①直接对转轴圆柱面位移进行电涡流传感器标定，消除或减少了由转轴形状带来的测量误差；②能够测量电涡流传感器中心线位置偏差对传感器特性的影响，消除或减少了由传感器中心线位置偏差带来的测量误差；③能够测量在同一转轴周向布置的2支传感器的相互干扰，消除或减少由传感器相互干扰带来的测量误差；④消除或减少电涡流传感器在较小尺寸转轴位移测量中的误差，促进电涡流传感器在中小旋转机械转轴位移测量中的应用。

以上所述是本申请的优选实施方式，应当指出，对于本领域技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (13)

1.一种用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置，其特征在于，包括：

底座(101)；

位移导轨(102)，所述位移导轨(102)固定于所述底座(101)；

位移平台(104)，所述位移平台(104)滑动连接于所述位移导轨(102)；

位移调节机构(103)，所述位移调节机构(103)用于使所述位移平台(104)在所述位移导轨(102)上可控地移动；

x轴位移传感器支架(106)，所述x轴位移传感器支架(106)用于将x轴位移传感器(107)设置于所述位移平台(104)的滑动方向上，所述位移平台(104)的滑动方向为x轴；

y轴位移传感器支架(109)，所述y轴位移传感器支架(109)用于将y轴位移传感器(110)设置于y轴上，所述y轴与所述x轴垂直。

2.根据权利要求1所述的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置，其特征在于，

所述位移平台(104)用于固定试验样件(105)，

所述x轴位移传感器(107)是电涡流传感器，

所述y轴位移传感器(110)是电涡流传感器。

3.根据权利要求2所述的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置，其特征在于，

所述试验样件(105)为圆柱体，所述试验样件(105)的中心线垂直于所述位移平台(104)，

所述x轴位移传感器支架(106)具有与所述试验样件(105)的圆周面相对并且用于安装所述x轴位移传感器(107)的螺纹孔，从而使所述x轴位移传感器(107)被定位成其中心线与所述试验样件(105)的中心线相交，并且/或者，所述y轴位移传感器支架(109)具有与所述试验样件(105)的圆周面相对并且用于安装所述y轴位移传感器(110)的螺纹孔，从而使所述y轴位移传感器(110)被定位成其中心线与所述试验样件(105)的中心线相交。

4.根据权利要求1所述的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置，其特征在于，还包括x轴位移测量装置(108)，

所述x轴位移测量装置(108)设置于所述x轴，所述x轴位移测量装置(108)用于测量所述位移平台(104)的移动距离。

5.根据权利要求2所述的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置，其特征在于，还包括y轴位移测量装置，

所述y轴位移测量装置用于测量所述y轴位移传感器(110)的探头与所述试验样件(105)在所述y轴上的距离。

6.根据权利要求1所述的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置，其特征在于，

所述位移调节机构(103)为螺杆，所述螺杆螺旋配合于所述位移导轨(102)，所述螺杆抵接于所述位移平台(104)，

所述螺杆能够沿着所述x轴移动，使得所述位移平台(104)相对于所述位移导轨(102)滑动。

7.根据权利要求1所述的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置，其特征在于，

所述位移调节机构(103)为滑杆，所述滑杆滑动配合于所述位移导轨(102)，所述滑杆抵接于所述位移平台(104)，

所述滑杆能够沿着所述x轴移动，使得所述位移平台(104)相对于所述位移导轨(102)滑动。

8.根据权利要求6或7所述的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置，其特征在于，

所述位移调节机构(103)上具有标定所述位移平台(104)移动距离的刻度。

9.根据权利要求1所述的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置，其特征在于，

所述底座(101)上具有成阵列分布的多个定位孔(111)，所述定位孔(111)用于将所述位移导轨(102)、所述x轴位移传感器支架(106)、所述y轴位移传感器支架(109)固定到所述底座(101)上。

10.一种用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定方法，其特征在于，

所述用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定方法为单支电涡流传感器测量转轴位移标定法，

所述单支电涡流传感器测量转轴位移标定法包括：

提供试验样件(105)，所述试验样件(105)为柱形；

提供单支电涡流传感器和距离测量装置，并将所述电涡流传感器和所述距离测量装置定位成与所述试验样件(105)的圆周面相对，移动所述电涡流传感器，记录所述电涡流传感器与所述试验样件(105)的柱面在不同距离下的所述电涡流传感器的电压读数。

11.一种用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定方法，其特征在于，

所述用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定方法为电涡流传感器中心线位置偏差标定法，

所述电涡流传感器中心线位置偏差标定法包括：

提供试验样件(105)，所述试验样件(105)为柱形；

提供单支电涡流传感器，所述电涡流传感器为柱形，将所述电涡流传感器定位成与所述试验样件(105)的圆周面相对；

使所述电涡流传感器的中心线与所述试验样件(105)的中心线垂直相交，将此位置定义为中心线位置偏差为0，所述电涡流传感器的中心线方向为y轴方向，与所述y轴垂直且与所述试验样件(105)的中心线垂直的方向为x轴方向；

保持所述电涡流传感器的探头位置与所述试验样件(105)的圆柱表面的在所述y轴上的间隔距离固定，在所述x轴方向上移动所述试验样件(105)或所述电涡流传感器，使得所述电涡流传感器的中心线与所述试验样件(105)的中心线产生偏差距离；

记录不同偏差距离下所述电涡流传感器的电压读数。

12.一种用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定方法，其特征在于，

所述用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定方法为电涡流传感器相互干扰标定法，

所述电涡流传感器相互干扰标定法包括：

提供试验样件(105)，所述试验样件(105)为柱形；

提供设置于x轴上的x轴位移传感器(107)，所述x轴位移传感器(107)为电涡流传感器，将所述x轴位移传感器(107)设置成与所述试验样件(105)的圆周面相对，且垂直于所述试验样件(105)的中心线；

提供设置于y轴上的y轴位移传感器(110)，所述y轴位移传感器(110)为电涡流传感器，将所述y轴位移传感器(110)设置成与所述试验样件(105)的圆周面相对，且垂直于所述试验样件(105)的中心线，所述y轴与所述x轴垂直；

保持所述x轴位移传感器(107)与所述试验样件(105)位置固定，调节并测量所述y轴位移传感器(110)与所述试验样件(105)的距离，记录所述y轴位移传感器(110)与所述试验样件(105)的圆周面不同距离时所述x轴位移传感器(107)的电压读数。

13.根据权利要求10至12中任一项所述的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定方法，其特征在于，所述标定方法使用权利要求1至9中任一项所述的用于转轴位移测量的电涡流传感器的标定装置。

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